【課題】所要電力が最低限とされた、真空室内を超高真空とするためのシステムを提供すること。
【解決手段】真空ポンプは、格子およびサブリメーション要素を備えることが可能である。この格子は、格子開口、および、少なくとも１つの格子面によって画定され得る格子内部を有していてもよい。サブリメーション要素は、格子内部に配置されてもよく、また、昇華温度を超えてサブリメーション要素を加熱した際に、昇華して格子内部に反応膜を形成するように構成されていてもよい。反応膜は、格子開口を介して格子内部に入って反応膜と接触する気体分子を捕獲するのに効果的であり得る。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、真空ポンプの再生のためによる装置稼働率の低下を防止できる真空処理装置及び真空処理方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバ内を所定の真空度にし、該所定の真空度を維持し、前記所定の真空度を有する前記チャンバ内で所定の処理をする真空処理装置または真空処理方法であって、再生処理が必要な複数台の真空ポンプで前記所定の真空度を得、複数台の前記真空ポンプのうち少なくとも１台の第１の真空ポンプと前記真空チャンバとを隔離し、前記隔離された前記真空ポンプの再生処理を行ない、複数台の前記真空ポンプのうち前記第１の真空ポンプでない他の前記真空ポンプのうち少なくとも1台の第２の前記真空ポンプで前記真空チャンバの前記所定の真空度を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】適切にクライオポンプの真空度保持状態を検査できるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの真空度保持判定方法を提供する。
【解決手段】気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネル４８と、クライオパネル４８を収容するポンプ容器３６とを備えるクライオポンプの排気処理を制御するクライオポンプ制御装置８０において、圧力制御部９４は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きを停止させる。真空度保持判定部９２は、第１測定時刻と第２測定時刻におけるポンプ容器３６内の圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する。第１測定時刻は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知した時刻に、真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して定められる。 （もっと読む）

【課題】第３種の気体について高い排気速度をもたらすクライオポンプを提供する。
【解決手段】前部クライオパネル・アレイが開放的な構成であることで、気体を第２段のアレイに向かって集中させるように形作られた放射シールドへの気体の高いコンダクタンスがもたらされる。第２段のアレイは、吸着剤で被覆されたバッフルからなる開放的な構成を有している。実質的にすべての吸着剤が、放射シールドまたは放射シールドの開口への直接の視線を有しており、実質的にすべてのバッフルが、吸着剤で被覆されている。１つの形態において、第２段のクライオポンプ・アレイは、円板をおおむね球形の包絡面を形成するように扇形に配置したアレイを有している。 （もっと読む）

【課題】 低温付着物の蓄積空間を最大化し、迅速な圧力回復を達成すること。
【解決手段】クライオポンプは、第１段熱ステーションと、第１段熱ステーションよりも低温に冷却される第２段熱ステーションと、を有する冷凍機と、第１段熱ステーションと熱的に接続した第１段クライオパネル組立体と、第２段熱ステーションと熱的に接続した第２段クライオパネル組立体と、第１段クライオパネル組立体及び第２段クライオパネル組立体を収容するハウジングと、第２段クライオパネル組立体に捕集された付着物を外部に排出するベントバルブ組立体と、を備え、ベントバルブ組立体は、リリーフバルブと、Ｏリングシールと、フィンと、を有する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプシステムの複数の圧縮機間でより均等に負荷を分担する。
【解決手段】クライオポンプシステム１０００は、複数のクライオポンプ１０と、複数のクライオポンプ１０に作動気体を供給するために、各々が制御出力に従って並列に運転される複数の圧縮機ユニット１０２、１０４と、複数の圧縮機ユニット１０２、１０４の各々に対する制御出力を決定するクライオポンプコントローラ１００と、を備え、クライオポンプコントローラ１００は、少なくとも１つの圧縮機ユニット１０２、１０４について制御出力を決定するために使用される設定値を、各圧縮機ユニット１０２、１０４の運転状態を平準化するよう調整する。 （もっと読む）

【課題】実用性に優れるフィルタ構造を有するクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプは、外部環境からクライオポンプ内部空間を画定するクライオポンプ容器３０と、クライオポンプ容器３０に接続されており、クライオポンプ内部空間から外部環境へと流体を排出するための排出ダクト８２と、排出ダクト８２を排出される流体から異物を除去するためのフィルタ１０２と、フィルタ１０２を排出ダクト８２に取り付けるためのフィルタ取付部材１０８と、を備え、フィルタ１０２を迂回させるためのバイパス流路１１２の少なくとも一部がフィルタ取付部材１０８に形成されているフィルタ構造１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。クライオポンプは、冷凍機と、冷凍機により冷却されるクライオパネルと、クライオパネルを目標温度に制御するよう冷凍機の運転周波数を制御する制御部と、を備える。制御部は、冷凍機の運転周波数が第１判定基準に達した場合に運転周波数を第１判定時間監視し、運転周波数が第１判定基準よりも高負荷に相当する第２判定基準に達した場合にクライオパネルの温度を第１判定時間よりも短い第２判定時間監視する。 （もっと読む）

【課題】それぞれのクライオポンプ/トラップの消費電力を把握、及び、表示することを可能としたクライオポンプ/トラップシステム、また、そのシステムを搭載する真空処理装置を提供することにある。
【解決手段】コンプレッサから各クライオポンプに供給されるヘリウムガスの流量として、膨張空間容積と、膨張空間の絶対温度の逆数と、冷凍サイクルの実行速度との積を算出し、積の値の合計値を求め、合計値に対する各クライオポンプについての割合を算出して、コンプレッサの消費電力を前記排気システムの消費電力と等価とみなして、その割合から各クライオポンプについて消費電力を算出して表示することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】排気対象容積を所望の真空度に短時間で回復させることを可能とするコールドトラップ及び真空排気装置を提供する。
【解決手段】コールドトラップ２１０は、冷凍機２２２と、冷凍機２２２に熱的に接続され冷却されるコールドパネル２２０と、を備える。コールドパネル２２０には粗面２４２が形成されている。コールドトラップ２１０は例えば、ターボ分子ポンプ２１２に真空チャンバ２１６を接続する排気流路２１４に配置され、真空チャンバ２１６から排気流路２１４を通じてターボ分子ポンプ２１２へと吸入されて排気される気体の一部をコールドパネル２２０の表面に凍結して捕捉する。 （もっと読む）

【課題】真空槽内配置型コールドトラップの連続使用および再生を従来よりも効率に行うことができる真空排気装置を提供する。
【解決手段】真空排気装置１０２は、真空槽１０内を排気できる真空ポンプ１１と、真空槽１０内のガスを凍結トラップできるコールドトラップ３５と、真空槽１０内に配された凹型の蓋部３２と、蓋部３２に対置された平板状の座部３３と、を備える。そして、蓋部３２と座部３３とによって、コールドトラップ３５を格納できるコールドトラップ室３７の形成が行われる。 （もっと読む）

【課題】排気能力の向上、再生時間の短縮化およびバルブの駆動系の簡素化が実現可能な真空排気装置および真空排気装置の使用方法を提供する。
【解決手段】真空排気装置１０２は、真空槽１０内を排気できる主ポンプ１１と、主ポンプ１１の排気口１１Ａの開閉に用いられ、互いに対置された弁体２２および弁座２３を有するバルブ２０と、を備える。そして、バルブ２０による排気口１１Ａの閉栓時に、排気口１１Ａから隔離された副ポンプ２５が配された副ポンプ隔離室２７が、弁体２２および弁座２３によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】永久磁石を用いた受動型磁気軸受は、大型支持体を低価格で安定に回転させることが困難である。一方、水蒸気の排気速度を増大させるためにクライオトラップを付加すると同時に高温超伝導磁気軸受を利用するのは、高温超伝導体のコストと冷凍機の冷凍能力が過大となるため、システム全体でかえって高価格となる。
【解決手段】小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの前段に、クライオトラップと高温超伝導磁気軸受で支持された中型高真空ブースターポンプを配置する。中型高真空ブースターポンプを非接触電磁誘導結合機により、後段の小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプと結合させ、小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの回転トルクで中型高真空ブースターポンプを回転させ、中型相当のターボ分子ポンプの排気速度を実現し、しかもクライオトラップで水蒸気の排気速度はクライオポンプ相当である真空ポンプシステムを実現する。 （もっと読む）

【課題】ゲート弁の背後に取り付けられる標準的なサイズのクライオポンプを、入口アレイをより大きい直径に拡張することによってグループＩのためのより高い排気速度を備えるクライオポンプに適合することを容易にする。
【解決手段】入口アレイをより大きい直径に拡張することによって、非標準的なゲート弁の背後に取り付けられるよう構成される標準的なサイズのクライオポンプ。フランジに取り付けられる拡張部を使用することによって、非標準的なゲート弁の背後に取り付けられるよう構成される標準的なサイズのクライオポンプであり、フランジは非標準的なゲート弁の直径に対応する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプおよび冷凍機において、各冷却ステージの冷却温度を制御する。
【解決手段】クライオポンプにおいて、冷凍機は、直列に連結された第１シリンダ及び第２シリンダと、第１冷却ステージと、第２冷却ステージと、を含み、周期的に第１シリンダ及び第２シリンダの内部に作動気体を吸入して膨張させて外部に排気することにより第１冷却ステージを第１の冷却温度に冷却し、第２冷却ステージを第２の冷却温度に冷却する。制御部は、第１の冷却温度を目標温度に維持するように冷凍機への作動気体の吸排気周期を制御する。放射シールドは、ポンプ容器の内面に対向する外面を有するシールド基材と、吸排気周期を短くして第２の冷却温度を要求冷却温度よりも低温とするようにシールド基材よりも高い放射率を有する材料でシールド基材の外表面の少なくとも一部を被覆する放射吸収層と、を含む。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプ装置の誤配線を見つけ出すことで、誤配線から生じる故障や誤動作等を未然に防ぐこと。
【解決手段】 クライオポンプ装置は、クライオポンプ内における温度及び圧力の少なくともいずれか一方を検出するセンサと、クライオポンプ内の温度及び圧力の少なくともいずれか一方の変化をセンサの検知結果に基づき検知することで、コントローラとクライオポンプとの間の接続状態を判定するコントローラと、コントローラの判定結果から、クライオポンプに関して推定される異常箇所を表示する表示装置と、を有する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの排気性能の最適化を図る。
【解決手段】クライオポンプ１０は、一端に開口部を有する筒状の熱シールド１６と、熱シールド１６内部に配置され、熱シールド１６よりも低温に冷却されるパネル構造体１４と、を備え、パネル構造体１４表面に形成された吸着領域にて開口部から熱シールド１６内部へと飛来する気体分子を吸着により捕捉して排気する。パネル構造体１４は、気体分子が開口部から直線的な飛来経路を経て到達しうる部位に第１の吸着領域が形成され、気体分子が開口部から直線的な飛来経路を経ては到達しない部位に第２の吸着領域が形成され、第１の吸着領域の単位面積当たり排気速度が第２の吸着領域の単位面積当たり排気速度よりも相対的に高くされている。 （もっと読む）

【課題】低温脆性や部材の変形の問題が生じず、クライオパネルを製作する際に、各部材同士を適正に接合することが可能なクライオパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】冷媒ガスを高圧にする圧縮機と、２段式の冷却ステージを有する蓄冷式冷凍機とを有するクライオポンプ内の、前記冷却ステージの高温段側に設けられ、外部から流体が進入する際の入熱を抑制する入熱抑制部材が設けられたクライオパネルの製造方法であって、当該製造方法は、前記入熱抑制部材を構成する部品同士を接合するステップを有し、該部品同士を接合するステップは、低融点ろう材を用いて、部品同士の接合を行うステップを有することを特徴とするクライオパネルの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明はクライオポンプの運転データをメンテナンス用コンピュータに供給してメンテナンス処理を行うクライオポンプシステム及びクライオポンプのメンテナンス方法に関し、メンテナンス効率の向上を図ることを課題とする。
【解決手段】複数のクライオポンプ２０と、この複数のクライオポンプ２０の制御を行うメインコントローラ３と、メインコントローラ３に設けられクライオポンプ２０の個々の運転データを一括的に格納する記憶装置１７と、クライオポンプ２０のメンテナンス時に前記運転データに基づきデータ処理を行うメンテナンスコンピュータ４と、前記記憶装置１７からメンテナンスコンピュータ４に対しコンパクトフラッシュカード５を用いて運転データを送出する。 （もっと読む）

【課題】冷凍能力の高い大型の冷凍機を用いることなく、クライオパネルの冷却時間の短縮、排気速度の向上を図るのに好適な小型のクライオパネル冷却構造を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１内のクライオパネル２と真空チャンバー１外の冷凍機３とを熱伝導材４によって連結し、冷凍機３から熱伝導材４を介してクライオパネル２を冷却するクライオパネル冷却構造において、熱伝導材４については、アルミニュウム等のように体積当たりの熱容量が銅より小さい金属母材の内部にカーボンファイバ等のような繊維状の高熱伝導物質を埋め込んだ複合材を使用して作製されるものとする。 （もっと読む）