【課題】 ダイヤフラムポンプにおいて、流体に含まれている不純物等によって弁体が開閉できなくなるようなことがなく、ポンプを正常に動作させる。
【解決手段】 バルブホルダー１８には、ポンプ室２２内の流体を吐出するための吐出通路２０と、この吐出通路２０からポンプ室２２への流体の逆流を規制する吐出用弁体２３とが備えらている。バルブホルダー１８はフッ素樹脂系の材料によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動子とリード線との接続信頼性（耐久性）が高い配線構造を得る。
【解決手段】半田付けに代えて導電性粘着材を用いることに着目する一方、導電性粘着材だけでは接続部の十分な信頼性を得ることが困難であるとの認識に基づき、接続端子と膜状電極とを導電性粘着材により粘着し、かつ、該接続端子上に、該接続端子を膜状電極に押し付ける方向の力を与える押え部材を当接させた。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの耐久性を向上させることができるダイヤフラム型ポンプを提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム型ポンプは、ダイヤフラム１４を支持する第１支持部４６を介して連結された駆動体２４を備えるとともに、ダイヤフラム１４の外周部１４ａを支持する第２支持部６０を装置ケース１０に備えている。さらに、装置ケース１０には、ダイヤフラム１４の変形によって容積が増減変更するポンプ室１５が形成され、前記駆動体２４が往復動することで前記ダイヤフラム１４が変形してポンプ作用を奏する。第１支持部４６及び第２支持部６０は、ダイヤフラム１４が変形する際に、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間、及び第１支持面５５と第２支持面５６との間で該ダイヤフラム１４がずれ動くことができるように構成されている。また、ダイヤフラム１４は第１〜第３ダイヤフラム１４１〜１４３を積層して構成されている。 （もっと読む）

【課題】 長期間に渡り防水性を維持する薄型、高吐出圧力で、且つ温度による流量の変化が少ない屈曲振動子及びダイヤフラム型ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】 電圧を印加することにより、屈曲変位を発生し、前記電圧の時間的変化に応じて屈曲振動する円板状或いは矩形板状といった板状の圧電振動子１６全体を金属薄膜２４ａ，２４ｂで覆い、その際、金属薄膜を圧電振動子の表面に密着させて、且つ圧電振動子の縁部に空隙２６ａが出来るように金属薄膜を圧電振動子の縁部の外側で密封する。 （もっと読む）

プラスティック製のマイクロ流体構造体は、実質的に硬いダイアフラムを有し、このダイアフラムは、基板の表面に対抗して載置された弛緩状態と、基板の表面から離れるように移動した作動状態との間で作動する。明細書の記載から明らかなように、ダイアフラムとともに形成されたマイクロ流体構造体は、簡便に製造され、バルブやポンプなどの構成部品として容易に作製することができる。
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本発明は、ポンプ容器の内部の少なくとも１つの吸入口および少なくとも１つの放出口に少なくとも１つのポンプ室（１５）が形成され、ポンプ容器の切妻とポンプ容器の壁に連結する少なくとも１つの完全に密封された膜（１４）との間で区切られるポンプ室（１５）から構成される液体またはガスを注入するための電磁駆動膜ポンプである。膜は、該ポンプ容器の軸方向に運転する心棒（１３）に取り付けられ、心棒は、少なくとも２つの該心棒の縦方向に分離された緩衝において吊るされる。
緩衝の少なくとも１つは、ポンプ容器の壁（４）の方へ外側に半径方向において心棒に取り付けられる薄板バネ（９）で構成される。心棒は、縦方向の振動のため、電磁石（７）からの磁場によって駆動され、対応する往復運動で膜を動かす磁性材料で構成される。薄板バネ（９）は内側のおよび少なくとも1つの外側の部分で構成され、その外側の部分はポンプ容器および心棒（１３）の内側の部分に取り付けられる。これらの部分は、バネが心棒（１３）に取り付けられる点の各々の側面に配置される２つの弾性脚部によって互いに連結される。 （もっと読む）

【課題】小型化および軽量化を図れるポンプ、冷却システム、および電子機器を提供する。
【解決手段】ポンプ４１は、伸縮可能に構成され内部に流体を流通可能とし互いに連接される２つのベローズ４１１と、各ベローズ４１１の連接位置に取り付けられ、各ベローズ４１１間を流体が流通可能とする開口部４１２１を有し、各ベローズ４１１を伸縮させる移動部材４１２と、流体の流れ方向により流体抵抗が異なる逆止弁４１３と、移動部材４１２を移動させる駆動装置４１４とを備える。駆動装置４１４は、相対位置を変更可能とする固定子４１４１および磁性体リング４１４２を備える。磁性体リング４１４２は、移動部材４１２に取り付けられる。固定子４１４１および磁性体リング４１４２は、互いに非接触の状態で相対的に移動する。 （もっと読む）

【課題】アッパハウジングとロアハウジングに跨って形成する流路の接続部分および吸入流路と吐出流路の液密性を高い信頼性と耐久性で確保した４バルブダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】ダイヤフラムの上下にアッパポンプ室とロアポンプ室を画成する凹部；上記ロアポンプ室に連通する吸入ポートと吐出ポート；上記吸入ポートと吐出ポートをアッパポンプ室に連通させる分岐流路；吸入ポートとアッパポンプ室及び該吸入ポートとロアポンプ室との間にそれぞれ設けられた吸入側逆止弁と、上記吐出ポートとアッパポンプ室及び該吐出ポートとロアポンプ室との間にそれぞれ設けられた吐出側逆止弁；を備え、分岐流路は、アッパハウジングとロアハウジングのいずれか一方に形成した穴部と、この穴部に嵌合される凸筒状部と、この穴部と凸筒状部の間に形成した環状隙間に、圧縮力が径方向に生じるようにして介在させたシールリングとを含むダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】空気などのように粘性の低い流体を高圧力で送給する一方で、この送給手段をできるだけ小型化可能なダイアフラム型のポンプを提供する。
【解決手段】送給管と送出管とを接続して、送給管から送給された流体を送出管から送出するポンプにおいて、送給管及び送出管とそれぞれ一方向弁を介して連通して流体を一時的に貯留する貯留室を備えたハウジングと、貯留室に面して配置して進退駆動させることにより送給管から流体を貯留室に吸引した後に送出管に押出する振動板と、この振動板を進退駆動させる駆動部とを備え、振動板には外周縁に沿ってリング状のチューブを設け、このチューブを介して振動板をハウジングに装着し、チューブを弾性変形させることにより振動板を進退させる。 （もっと読む）

【課題】上流の一次ポンプで送出された主流体を更に加圧して送出する膜式ポンプについて、一次ポンプの吐出圧力による負荷が膜部材に加わることを回避して、その耐久性を良好なものとする。
【解決手段】ベローズ３１で背圧室３０Ａと区画された主流体加圧室２５Ａに主流体を充填し、カム室３０内のカム１６の回動により往復摺動するプランジャ２４Ａで背圧室３０Ａ内の作動流体に脈圧を与え主流体をさらに加圧して送出する膜式ポンプ３Ａにおいて、プランジャ２４Ａに背圧室３０Ａとカム室３０とを連通させる連通路２４１が設けられてプランジャ２４Ａの所定位置で開通するものとし、且つ、カム室３０に一次ポンプ圧が導入され連通路２４１が開通する所定のタイミングで背圧室３０Ａに一次ポンプ圧が導入されて背圧室３０Ａと主流体加圧室２５Ａの圧力とが一致する行程を有する。 （もっと読む）

【課題】 表裏の少なくとも一面に圧電体を有する圧電振動子と、この圧電振動子との間に可変容積室を形成するハウジングの凹部と、この凹部に沿って配設され上記圧電振動子に接触して可変容積室を形成するシール部材と、上記圧電振動子表面の圧電体に対する給電端子とを備えた圧電ポンプにおいて、シール部材の耐久性を損なうことのない寿命の長い圧電ポンプを得る。
【解決手段】 シール部材と給電端子が平面的に見て交差しないように、上記圧電振動子と可変容積室の平面形状及び給電端子位置を設定した圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】 フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３を採用して、ポンプの耐薬品性及び定量性を確保しながら、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等が生じ難く、且つ、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができ、例えば、半導体のレジスト液塗布用ポンプ等、半導体や液晶プロセス用ポンプとして使用できる耐久性及び汎用性に優れたローリングダイヤフラム（定量）ポンプを提供する。
【解決手段】 ローリングダイヤフラムポンプは、シリンダ１、ピストン２及びローリングダイヤフラム３により画成され、液体の吸込口６及び吐出口７が開口された圧力室４を備える。そして、ポンプ駆動源としてリニアアクチュエータ８を備え、この出力軸１８をピストン２に結合すると共に、ピストン２とシリンダ１間にピストン２の往復移動を許容して回転を規制する回り止め手段１９，２０を設け、ピストン２を往復駆動する。 （もっと読む）

【課題】 気体を微量であっても高い精度で搬送することができ、しかも信頼性に優れる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】 気体搬送ポンプ１０は、チャンバー部１２、入口側チャンネル１３、出口側チャンネル１４、テーパ状の入口側ディフューザ部１５、テーパ状の出口側ディフューザ部１６からなる流路と、ヒータ２０を備えるようにし、ヒータ２０によってチャンバー部１２内の気体を膨張・収縮させて体積変化を生じさせることで、入口側チャンネル１３から出口側チャンネル１４へと気体を確実に搬送するようにした。 （もっと読む）

【課題】 チューブのへたりを抑え、且つ、部品点数の少ないチュービングポンプ構造を提供する。
【解決手段】 チュービングガイド１０ａ、１０ｂと、段部５’を設けたバックプレート５と、単一部材からなるシャトル７と、から構成される吐出機構を有するチュービングポンプ駆動部１により、チューブ押圧時には完全密閉せず、チューブ開放時にはチュービングガイド１０ａ、１０ｂでチューブの外形を復元し、チューブのへたりを抑え、且つ、シャトル７を単一部材で構成することにより、部品点数の少ないチュービングポンプの提供が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 流体に混入してポンプ内に吸入される塵埃等または溶着によって発生する溶着かすに起因するポンプの性能の低下を阻止する。
【解決手段】 バルブホルダー１８に取り付けられた吸入用弁体２４は、ポンプ室２２から吸入通路２１への流体の逆流を規制する。吸入通路２１が多数の小径の通路２１ａによって構成され、互いに隣接する通路２１ａ，２１ａ間の間隔を同一になるように配設されている。 （もっと読む）

【課題】 ローラの停止位置にかかわらず、チューブを交換することができ、かつ、流路を直線的に形成したい場合にチューブの全長を短くすること。
【解決手段】 直列ロータ型チューブポンプ１００は、ベース１０と、これに固定されたモータ２０とを有し、モータにより駆動される３本の駆動軸２１、２２、２３が一直線上に並んでベース１０に回転可能に設けられている。各駆動軸には、それぞれ一対のローラを備える第１、第２、第３のロータ３１、３２、３３が取り付けられている。可動ハウジング５０は、ロータに対して離反し、あるいは、接近する方向スライド可能にベースに設けられ、ローラとの間で弾性チューブ１を挟み込む３つの円筒壁部５１、５２、５３を備える。モータを回転させると、ローラと円筒壁部との間で弾性チューブが連続的に押しつぶされ、チューブ内の液体が送られる。 （もっと読む）

輸送室の過充填に起因する膜破損および自吸不能の問題を克服する膜ポンプ。シリンダの上部の面に、空気を油タンクに排出する溝を設ける。加えて、膜に連結され、ピストンに支持されたバイアスばねを、異常な吸入圧に打ち勝つ付勢力を発現できるばね定数をもつ強いバイアスばねにする。
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【課題】二枚のダイアフラムが常に特定の設置位置に保持され、吸引ストロークから加圧ストロークの移行の間に折り畳まれないようにする。
【解決手段】ポンプハウジングに挿入された二枚のダイアフラム（１９，２０）を備えた膜型ポンプ（１）にして、上記ダイアフラムがダイアフラム（１９，２０）間に配置され且つ交互に作用され得る調整ピストン（２２）を用いて作動され得る膜型ポンプにおいて、ダイアフラム（１９，２０）が、互いに向き合った湾曲部（４１）又は互いに背を向けた湾曲部（４１’）を用いて、しっかり締められ、ダイアフラム（１９，２０）と調整ピストン（２２）を収容するシリンダ（２１）との間に形成された二つの反応空間（２７，２８）が、ハイドロリック媒体で満たされ、ハイドロリック連結部（Ｈ）を用いた強制配置において共に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 ピストンおよびシリンダの摺動部をシールするシール部材が不要な容積型ポンプを提供する。
【解決手段】 超磁歪アクチュエータ１５により往復動する往復動部材２１とポンプハウジング１３とを金属ベローズ１９で接続してポンプ室２２を区画し、ポンプ室２２に吸入弁２３および吐出弁２４を接続したので、シール部材を介して摺動するピストンおよびシリンダを不要にし、部品点数の削減、摺動抵抗の削減およびシール部材の噛み込みによる作動不良の回避が可能になる。またポンプ室２２の内部に作動流体排除ブロック２９を配置して該ポンプ室２２の容積を減少させたので、高圧時における作動流体の圧縮性の影響を最小限に抑えてポンプ効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 高信頼性を有し、組立てが容易で且つ部品点数が少ない安価な流体搬送装置の提供を目的とする。
【解決手段】 内部に気密空間５を有し且つ流体の吸入口３と流体の吐出口４を有し、吸入口３及び吐出口４には各々逆流を防止する逆止弁８，９が配置された流体搬送装置において、二枚の圧電セラミックス板１０，１２を接合して金属弾性板１１に接合して成るバイモルフ型圧電アクチュエータ１を流体搬送装置の筐体７と一体成型したことを特徴とする。 （もっと読む）