【課題】均一で正確な吐出量、吐出圧力で、レジスト液などの薬液の塗布を行うことが可能な定量送液ポンプ、およびそれを用いた薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】シリンジ本体内を軸方向に往復動するピストン部材と、ピストン部材によって区画され、ピストン部材の移動に連動して、容積が相互に逆方向に増減する２つのシリンジ室と、２つのシリンジ室にそれぞれ連結され、非圧縮性流体の作用によって作動する２つのポンプとを備え、ピストン部材を駆動装置により往復動させることで、２つのシリンジ室の容積を相互に逆方向に増減させて、２つのポンプの吸入工程と吐出工程とを相互に逆に行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】 小型モータであって、モータ軸と回転体との圧入面積を大きく保持し、且つ、合成樹脂にて成形されたブラケットが高温にて変形しても回転体がポンプケースの底板に接触するのを回避してポンプ作動が円滑に実行されるようにする。
【解決手段】 揺動体２６は偏心回転軸３０を介してモータ３９の回転駆動する回転体２に偏心して設けられ、モータの回転駆動に連動して揺動し、揺動作用を受けてダイヤフラム２４が上下動してポンプ動作を行うように構成されたポンプで、モータケース４０にモータ軸３３の軸受４５を保持する円筒部４６が設けられ、且つ、軸受はモータ側略半部に嵌着されてポンプ側に空間部３が形成され、空間部の内径より外径が小径に形成された凸部２ａを記回転体に形成してモータ軸を固着し、且つ、回転体とポンプケース２２の底板２２ｄとの間に所定の距離を保持するように配設する。 （もっと読む）

【課題】体積が小さく、搬送効率が高く、騒音が低く、有効寿命が長く、保守の容易な多段ダイアフラムポンプを得ること。
【解決手段】多段ダイアフラムポンプが、ポンプ体と、主軸１と、主軸１によって駆動される往復駆動機構と、往復駆動機構と接続され、ポンプ体の作業チャンバ内へ延びている駆動軸１５と、作業チャンバ前端に配置された吸い込み逆止め弁及び排出逆止め弁とを含み、しかも、関連駆動軸１５には、直列配置された複数の皿状ダイアフラム４が取り付けられ、各皿状ダイアフラム４の前方にはピストン６が固定され、隣接する皿状ダイアフラムの間には液圧媒体が充填され、最前部の皿状ダイアフラムの前方に配置されたピストンが、作業チャンバ内の液体材料と直接に接触しており、各ピストン６と作業チャンバ壁との間にシールリング５が配置されている。 （もっと読む）

【課題】既存の周辺構成をそのまま変えること無く、当該周辺構成から発生した熱を効率良く外部へ拡散させることが可能な低コストのポンプ用軸受ユニットを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム式ポンプに用いられるポンプ用軸受ユニットであって、回転運動を直線運動に或いは直線運動を回転運動に変換して伝達するためのコネクティングロッド４が設けられており、コネクティングロッドは、軸受８を介して偏心回転機構２に固定される固定部４ａと、ダイヤフラムが取付られる取付部４ｂと、固定部と取付部とを連結する連結部４ｃとを具備し、当該コネクティングロッドは、熱伝導率が０.１〜０.５watt/m・℃以上の樹脂材で一体成型されている。 （もっと読む）

【課題】吐出時の流路加圧に伴ってベローズ外側から大きな圧力を受けた場合であれ、ベローズに生じる劣化や破損を抑制するような、高耐久性を備えたベローズ式ポンプを提供する。
【解決手段】給排ポート１３ｂを通じて気体が給排されることによりベローズ１１が伸縮し、吸入ポート１４ａおよび吐出ポート１４ｂを通じて薬液の移送（吸入および吐出）を行うポンプにおいて、ベローズ１１の伸縮部分１１ａについてベローズ１１内側への変形を規制する規制部材１６を、ベローズ１１の内壁に対し所定のクリアランスをもたせて、その伸縮部分１１ａに近接するように配設する。さらに、ベローズ１１のヘッド部分１１ｂに収容空間１１ｅを設け、上記規制部材１６にこの収容空間１１ｅを出入りさせることによって、伸張時（吐出時）に伸縮部分１１ａが伸びた分（伸張部分）についても、その全体にわたって、上記ベローズ１１内側への変形が規制されるようにする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で膜式ポンプの背圧室側に充填される作動油の劣化を最小限に抑えるようにして、作動油交換に要する手間およびコストを軽減する。
【解決手段】カム室４０Ａ内に配設したカム１６の回動で往復摺動するプランジャ２４Ａにより背圧室３０Ａ内の作動流体に脈圧を与え主流体室２５Ａの主流体を加圧して送出するものであって、プランジャ２４Ａに背圧室３０Ａとカム室４０Ａとを連通させる連通路が設けられた膜式ポンプ１Ａにおいて、プランジャ２４Ａに、略下死点位置で開通してカム室４０Ａの作動油を背圧室３０Ａに導入するインレット用の連通路２４１ａと、略上死点位置で開通して背圧室３０Ａの作動油をカム室４０Ａに送出するアウトレット用の連通路２４１ｂとを備えており、プランジャ２４Ａの往復摺動により背圧室３０Ａとカム室４０Ａとの間を作動油が循環する。 （もっと読む）

【課題】蠕動ポンプの圧力変動を低減する。
【解決手段】蠕動ポンプであって、弾性的に変形可能なホースを備え、そのホースは媒体注入口と媒体排出口を有し、加圧要素はホースに沿って移動および加圧面に抗して押圧しながら、ホース部分を局所的に圧縮して閉塞し、媒体は媒体注入口を経て引き込まれ、媒体排出口を経て排出される。加圧面は、上記媒体注入口につながるインフィード部分を備え、この部分の加圧要素からの距離が、加圧要素が存在するときに、ホースが実質的に全く無変形で開いている第１の値から、ホースが加圧要素によって局所的に圧縮されて閉じられる第２の値まで減少し、実質的に一定である距離を有する中間部分を備え、また、アウトフィード部分を備え、このアウトフィード部分の加圧要素からの距離が第２の値から第１の値まで増加する。アウトフィード部分、インフィード部分の長さは、加圧要素の間の距離の１倍と２倍との間にある。 （もっと読む）

【課題】腐食性の液体を供給するためのポンプに用いることができ、しかも耐久性、ポンプの定流量性能、定量性能、液置換性能を向上することができ、またポンプ圧力室の洗浄時間を短縮することができるピストンとそのピストンの製造方法及びそのピストンを備えたポンプを提供する。
【解決手段】シリンダ１１内に移動自在に支持され往復駆動されるピストン１は、腐食性の液体によって劣化しないようフッ素樹脂で形成される。該ピストン１のローリング部２は１ｍｍ以下の厚さで、可撓性を有し、略１８０度の折返し部３を経て開放端部にフランジ部７を有し、該フランジ部７がシリンダ１１に取付けられ、ピストン支持体１５の外周面とシリンダ１１の内周面に密着しながら、この２面間の隙間で撓みや折曲りを生じることなく円滑にローリングする。 （もっと読む）

【課題】 プランジャが摺動方向に対して傾かないようにして、長寿命化を図れるソレノイドを提供する。
【解決手段】 励磁コイル３５と、励磁コイル３５の内側に設けられる、内部にプランジャ挿入孔３９が形成された円筒状のガイドパイプ３７と、励磁コイル３５を囲んで配置された固定ヨーク３６と、ガイドパイプ３７のプランジャ挿入孔３９内で摺動可能に配置され、固定ヨーク３６との間で空隙を空けて配置され、固定ヨーク３６との間で磁気回路を形成するプランジャ３８とを具備するソレノイド３４において、ガイドパイプ３７のプランジャ挿入孔３９の中心軸線は、ガイドパイプ３７の外周に対する中心軸線から偏位して形成されている。 （もっと読む）

【課題】蠕動ポンプ内にあるホースの寿命を大幅に増大させる。更にポンプ能力をポンプの循環速度の増加によって増加させる。
【解決手段】媒体の循環のための蠕動ポンプは、弾性的に変形可能なホースを備え、ホースが加圧面に抗して置かれ、ホースは媒体注入口と媒体排出口を有し、加圧要素がホースに沿って移動するように、加圧要素は、稼働中、加圧要素に接触しているホース部分を加圧面に抗して押圧しながら、ホース部分を局所的に圧縮して閉塞し、加圧手段の稼働の間、媒体は媒体注入口を経て引き込まれ、そして圧力下で媒体排出口を経て排出される。このポンプは、加圧面、ホースおよび加圧要素を備えた加圧手段は潤滑剤を含む槽内に置かれ、ホースは均質な熱可塑性の加硫物のみからなるという特別な特徴を持っている。 （もっと読む）

【課題】高い耐圧性を有するとともに、変形および復元が容易な流体移送用チューブを提供する。
【解決手段】チューブ１０は、形状記憶合金からなる金属製中空管１１と、金属製中空管１１の内部に挿入された中実弾性体１２とを含んでいる。流体は、中実弾性体１２と金属製中空管１１との間に形成される円環状の空間１３を流通する。中実弾性体１２は、回転体３０の突起部３２からの外力により容易に変形するとともに、この外力が除去されると元の形状に復元する性質を有する。 （もっと読む）

【課題】エア駆動式のダイアフラムポンプを採用したシステムにあって、高い塗料吐出圧力を得ることができながらも、ダイアフラムの優れた耐久性を確保する。
【解決手段】塗料圧送システム２１を、塗料Ｐを供給する塗料供給源２２、この塗料供給源２２の塗料Ｐを圧送するエア駆動式のダイアフラムポンプ２３、このダイアフラムポンプ２３に駆動用の高圧エアを供給するエア駆動機構２４等から構成する。ダイアフラムポンプ２３として、出力圧力と入力圧力との圧力比率が、例えば１．５：１のものを採用する。エア駆動機構２４を、コンプレッサ４８、このコンプレッサ４８からのエアを２倍に増圧してダイアフラムポンプ２３に向けて出力する増圧弁４９から構成する。 （もっと読む）

【課題】耐メタノール特性を向上して発電効率を低下させないようにすると共に、低硬度化が可能で且つ温度依存性を低下させて耐熱老化性を向上してポンプ性能を安定させて信頼性を向上することができる燃料電池小型ポンプ用ゴム部材及びそれを用いた燃料電池小型ポンプを提供する。
【解決手段】メタノールを含有する燃料を燃料電池の発電部に供給するための燃料電池小型ポンプに用いられる燃料電池小型ポンプ用ゴム部材であって、圧縮永久歪みが１０％以下であり且つ酢酸エチルによる６時間ソックスレー抽出率が４ｗｔ％以下であるシリコーンゴムからなる。 （もっと読む）

【課題】膜式ポンプにおいて、膜部材の耐久性を確保しながら大流量・高吐出圧を実現する。
【解決手段】ダイヤフラム２１で区画された主流体加圧室２ｂと背圧室２ａとを備え、背圧室２ａにポンプ手段で圧送された作動流体を導入する導入配管５ａが接続し導入した作動流体で主流体加圧室２ｂの主流体を加圧して圧送する膜式ポンプ２Ａにおいて、背圧室２ａに、作動流体を作動流体貯留容器側に戻す戻し配管５ｂが底壁側に接続されるとともにダイヤフラム２１の変位に応じて戻し配管５ｂ開口部を開閉する弁構造が設けられており、ダイヤフラム２１の主流体加圧室２ｂ側への変位量が所定の上限値を超えたときに弁構造が開弁して背圧室２ａの圧力を低下させるものとして、ダイヤフラム２１の変位上限を機械的に自己規制する。 （もっと読む）

【課題】スクイーズ式ポンプに装備して、高圧かつ高速で流体を圧送する際の耐久性を高めることができるポンピングチューブの提供。
【解決手段】内面ゴム層３の外側に二層の主補強コード層４ａ、４ｂを設ける。アラミッド中繊維を撚って外周コード１０を形成する。時計の１１時に相当する位置よりも吐出側を外周コード１０で螺旋状に取り巻いて外周コード層５を形成する。外周コード層５が座屈を防止して、主補強コード層４ａ、４ｂの剥離による疲労破断を防止する。外周コード層５を最外層として、ポンピングチューブ１の肉厚を薄くし、ゴム内部からの発熱を抑える。アラミッド繊維コードを露出させて摩擦係数を小さくし、ゴム表面での発熱を抑える。毛羽立った中繊維アラミッドの端部をゴムに食い込ませて、熱で劣化する接着剤を不要にして、耐熱性を高める。 （もっと読む）

【課題】高精度に計量された一定微量の液体材料を供給できる、コンパクトな液体材料供給装置を提供する。
【解決手段】上板１１が下板１２に接近するように撓んで変形すると、凹部１２ａの容積が減少し、上板１１の変形量に応じた量だけ、吐出路１２ｃから潤滑油が吐出して、軸受１に供給されることとなる。一方、上板１１が下板１２から離隔するように撓んで変形すると、凹部１２ａの容積が増大するので、上板１１の変形量に応じた量だけ、供給路１２ｂから潤滑油を吸引することとなる。 （もっと読む）

【課題】 構造が比較的簡単で製造コストが安く、しかもチューブの点検や交換を容易に行えるチューブポンプを提供する。
【解決手段】少なくとも円筒室３を構成する部分を弾性材料で形成したハウジング本体１と、円筒室３の外周部に当接して円筒室３の変形を阻止する押さえ部２ａを備えた硬質材料からなる蓋板２とでハウジングＡを構成した。従って、蓋板２を外した状態では円筒室３を変形させることができ、加圧部材５でチューブ４が圧迫されている箇所でも円筒室３を外側に変形させて圧迫状態を緩和すれば、チューブ４の取り出しや挿入が比較的容易にできるので、点検や交換のためのチューブの着脱が容易となる。 （もっと読む）

【課題】より簡易に、安定して動作するマイクロポンプを得る。
【解決手段】マイクロポンプの弁体５４（またはダイアフラム）に接合される駆動体３０は、弁体５４を駆動する力を発生させる圧電体６２と、当該圧電体６２と弁体５４との間に介在する弾性体６０と、を備えている。圧電体６２は、電圧印加により撓みを生じる。この圧電体６２は、弾性体６０の上面に接合されている。弾性体６０は、所定の弾性を備えており、弁体５４を構成する凹部７０に充填されている。この弾性体６０は、圧電体６２から生じた力を、ほぼ平均化された力として弁体５４に伝達する。かかる力を受けた弁体５４は、その最も撓み易い位置、すなわち、弁体５４の略中心を撓み中心として撓む。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムと仕切部材とを、容易に、かつポンプ特性のバラツキが生じることなく、十分なシール性をもって固着させることができるダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】仕切板１０の両側に、樹脂ダイヤフラム３１、金属ダイヤフラム３２、圧電素子３３の接合体であるアクチュエータ３０を配置して、各アクチュエータ３０と仕切板１０との間の空間をポンプ室３４として区画し、「２つのアクチュエータ：２つのポンプ室」のダイヤフラムポンプを構成する。仕切板１０に、各ポンプ室３４を連通する吸入側連通路１４ａおよび吐出側連通路１４ｂを形成し、さらにこれら連通路１４ａ，１４ｂから側面方向に延びる吸入流路１５ａおよび吐出流路１５ｂを貫通形成する。ポンプ室３４の周囲において樹脂ダイヤフラム３１を仕切板１０にレーザ溶着して各流路１５ａ，１５ｂに干渉しない封止部４１を形成し、シール性を確保して接合状態を均質なものとする。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子が高湿度に曝されない構造による、高信頼性で、小型薄型化が可能で、かつ、大流量の特性をもつ圧電型液体搬送器を提供する。
【解決手段】バイモルフ型圧電振動子１２のポンプ室９側である接水部に対し、片面に金属箔１１が貼り付けられた樹脂シートからなる接水樹脂シート１０を接水側が樹脂シートとなるように固着し、この接水樹脂シート１０でポンプ筐体部１の側壁上端部まで含めてポンプ室９を覆い、ポンプ筐体部１とポンプ蓋部１５との間に挟みこむ構成とする。また、ポンプ蓋部１５と接水樹脂シート１０との間に、透湿性の低い耐湿シートゴム１３を挟みこむ。また、振動の支持となるポンプ室９の外周に対して、圧電振動子の電極外周がその内側となるように構成する。 （もっと読む）