【課題】シール部、ステータ、ロータおよびスリンガの間で、潤滑材を保持すると共に汚染物質を入らせないようにするシール構造の提供。
【解決手段】軸受組立体１０は、車軸のジャーナル部分の周りに嵌め合わされた内側レースウェイを含むころ軸受を有している。外側レースウェイ３２は、内側レースウェイと組み合わされて、ころ要素を受け入れている。バックリング６６はシャフトのフィレット２２の中心に置かれる。環状の摩耗リングは、インナレースとバックリング６６との間に位置付けられる。改良された潤滑材シール構造は、摩耗リングと外側レースウェイ３２との間に設けられており、ロータと、シールと、スリンガと、ある実施形態ではステータと、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】真空槽の外部に動力源を配置して、直線移動力や回転移動力を真空槽内に導入するときに、オーリングの変形によってリークが発生することの無い真空装置を提供する。
【解決手段】真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の先端を真空槽２１内に挿入し、根本を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にして動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を直線移動と回転移動させる。噴出装置１７と開口２２との間に複数の排気溝を設け、真空槽２１に近い排気溝を最も大きな排気コンダクタンスで、真空排気装置１５に接続する。開口２２に最近の排気溝内の圧力を低くすることができ、真空槽２１内を高真空雰囲気にすることができる。 （もっと読む）

【課題】大型の蒸気タービンの要求の厳しい環境に対応するために公知のフィルムライディングシールを改良する。
【解決手段】タービンの固定部分に取り付けられた第１のシール面と、タービンの回転部分に取り付けられた第２のシール面とを有し、これらのシール面が、運転中に、２つのシール面の間に流体媒体の薄いフィルムが形成されることにより接触及び／又は漏れを減じるように構造化されており、第１又は第２のシール面のうちの少なくとも一方が、タービンタービンが停止している間又は低速で回転している間、シールを開放させる引込め力を受け、タービンの運転回転速度において、前記引込め力に反作用する力を受けるように、第１又は第２のシール面のうちの少なくとも一方が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】ターボ回転機械の稼動状態に応じて、回転部材の全周に亘ってシール間隙を調整しうる自動調整シールを提供する。
【解決手段】自動調整シール１は、静止部材に支持され、ロータ２の全周に亘って設けられて、ターボ回転機械の高圧側と低圧側とを仕切る複数のフィン部材１０と、ターボ回転機械の稼動状態に応じて複数のフィン部材１０を回転させる回転機構２０，５２とを備える。回転機構２０，５２によって、ターボ回転機械の稼動状態に応じてフィン部材１０が回転して、フィン部材１０とロータ２との間隙が調節される。 （もっと読む）

【課題】回転環と静止環が接触回転することによる摩耗の発生を低減し、且つシール性を保持しつつドライガスシールの大径化を容易に可能にする。
【解決手段】回転軸２に取り付けた回転環５と回転環５に対向してハウジング１に支持される静止環６とを有し、回転環５と静止環６の対向面５ａ，６ａの一方には動圧発生溝７が備えられ、静止環６をバネ８によって回転環５に押し付けるようにしたガスシール装置であって、回転環５の静止環６との対向面６ａに、ポリベンゾイミダゾール系の樹脂をコーティングした樹脂膜１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】回転軸の振動や偏芯回転による軸シール機構の高圧側規制部材の損傷を回避しつつ、軸シール機構の各薄板シール片に対する浮上力を十分に確保する。
【解決手段】周方向に微小空間を開けて配列された多数の薄板シール片２０の高圧側に沿い、回転軸６の外周に沿って、高圧側から多数の薄板シール片２０へ流体の流れを規制する高圧側規制部材３０を備えている。高圧側規制部材３０は、可撓性を有する多数の線材３５を有している。多数の線材３５は、長手方向が回転軸６の径方向成分を有する方向を向き、線材の径方向内側端である先端３５ｂは、自由端を成して、回転軸６の外周面に近接又は接触している。周方向で互いに隣り合っている線材３５の相互は、その長手方向の一部で接触している。 （もっと読む）

【課題】作動流体の変動に伴うシールフィンの振動を抑制することができる軸シール装置を提供する。
【解決手段】回転軸の軸方向に隣接されて配置された高圧領域と低圧領域とをシールする軸シール装置１０において、回転軸が貫通する貫通孔を有するケース部材１２と、ケース部材１２の貫通孔に沿って固定された固定端部１１ａと、貫通孔の径方向に自由に振動する自由端部１１ｂと、回転軸の軸方向に沿って形成されたシール面１１ｃとを有する複数のシールフィン１１と、自由端部１１ｂのシール面１１ｃの裏面１１側から接触または一定の隙間を確保した非接触状態で延在する弾性部材２１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】本出願は、蒸気タービン（２００）で使用するための可変蒸気シールシステム（２１０）を提供する。
【解決手段】本可変蒸気シールシステム（２１０）は、シール蒸気ヘッダ（１９０）と、第１の圧力セクション（１１０）と、第１の圧力セクション（１１０）の周りに配置された第１の圧力シール（２２０）と、第１の圧力シール（２２０）を通りかつシール蒸気ヘッダ（１９０）に延在する流路（２４５）とを含むことができる。第１の圧力シール（２２０）は、第１の圧力シール（２２０）を通ってシール蒸気ヘッダ（１９０）に至る流路（２４５）を変化させる可動シールパッキンリング（２４０）を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 変形が少なく、流量を一定に維持することのできる信頼性の高い非接触型シールリングを提供する。
【解決手段】 固定環２と回転環３とからなり、流体Ｆが供給される隙間Ｓを介してそれぞれの端面２ａ，３ａが対向して配置されてなる非接触型シールリング１であって、回転環３は、窒化珪素の含有量が81.8質量％以上のセラミックスからなり、セラミックスは、酸化カルシウム，酸化アルミニウムおよび希土類元素の酸化物を含み、酸化カルシウム，酸化アルミニウムおよび希土類元素の酸化物の合計100質量％に対して、酸化カルシウムおよび酸化アルミニウムの含有量はそれぞれ0.3質量％以上1.5質量％以下，14.2質量％以上48.8質量％以下であり、残部が希土類元素の酸化物であるとともに、窒化珪素の平均結晶粒径が20μｍ以下（但し、０μｍを除く。）である非接触型シールリング１である。 （もっと読む）

【課題】流体の漏れを抑制しつつ、ロータの不安定振動を防止して、高速・高圧条件下でも高効率で安定した運転が可能な遠心圧縮機を提供する。
【解決手段】本発明に関わる遠心圧縮機は、ケーシング１と、該ケーシング１に回転可能に設置された回転軸および該回転軸に装着され回転によって流体を圧縮する羽根車３ｇを有するロータ４と、ケーシング１内の静止部とロータ４との間を流体が高圧側から低圧側に漏れることを防止するシール１４と、該シール１４内に設けられ、漏れ流体のロータ４円周方向の流速を低減するための高圧流体の噴出口２４と、シール１４の外径側に形成され、噴出口２４に連通して高圧流体を導入する高圧導入部２５と、シール１４の内径側に設けられ、シール１４の変形に抗するリング２６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】残材を発生させることがなく、かつ、ツバ部を形成する塑性加工後に残留圧縮応力が発生せず合わせ目に隙間の少ないリング体を提供する。
【解決手段】金属製の、一端に中心向きツバ部１ｄを備えた円筒状のリング体１Ｌであって、矩形平板状の素材１Ｓから塑性加工によって円周の合わせ目を接合しない円筒体１Ｋを形成した後、この円筒体１Ｋの外周を拘束し、前記ツバ部１ｄを中心に向かうほど生じる余肉を前記円筒体１Ｋの軸方向の上下へ逃がすような周方向への凹部１ｆと凸部１ｅを形成するように塑性加工することで、リング体１Ｌの周部１ｃとツバ部１ｄの合わせ目１ａに隙間ができにくいようにした。 （もっと読む）

【課題】基本的には静圧型シール装置としながらも、故障による不測のガス遮断時や停止に向けての減速回転時にシール面どうしが接触する不都合が回避され、半導体洗浄装置等のパーティクルを嫌う機器にも好適に使用できる非接触型シール装置を提供する。
【解決手段】基本的に静圧型である複合型非接触シール装置において、回転によって静止密封環５をコイルバネ９による付勢力に抗して押戻す動圧を発生するように回転密封環３のシール面３ａに形成される動圧溝１０と、シールガス圧で静止密封環５を軸心Ｘ方向で回転密封環３に押付けるシリンダ機構ｃとを設け、ガス供給により、コイルバネ９の付勢力とシリンダ機構ｃの付勢力との和に抗してシール面３ａに静圧を生じさせてシールする静圧非接触シール状態を基本としながら、停止に向かう減速時には回転密封環３の回転による動圧により弾性機構ｄの付勢力に抗してシール面３ａをシールする動圧非接触シール状態に自然に切換るように構成する。 （もっと読む）

【課題】高濃度スラリー等の流体に良好なシール特性を有するシール装置を提供する。
【解決手段】機内側を非接触シール、機外側を接触シールとし、機内側シールのさらに機内側に第１及び第２の仕切り壁５１０、５３０を設けて第１のガス室４１０及び第２のガス室４２０を設置する。第１及び第２の仕切り壁５１０、５３０の内周部にはフローティングリング５２０、５４０を設け、流体が機内側シール方向からも機内側からも第２のガス室４２０に流れるようにし、第２のガス室４２０に流れた流体は第２のガス室４２０の排気口４２１から排出する。バッファガスの流れと非接触シールによりスラリーを適切にシールするとともに接触シールにより機外に流体が漏れるのを確実に防止する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でコストを抑えつつスラスト軸受に作用するスラスト荷重を低減させることが可能なスラストバランス調整装置及び回転機械を提供する。
【解決手段】スラストバランス調整装置１０は、回転体４に設けられたバランスピストン１１と、バランスピストン１１を回転可能に収容し、流体が流通可能に連通する略環状のバランス室１２と、バランス室１２内の外周側に設けられて流体の軸方向Ａへの流通を制限し、相対的にバランスピストン１１の軸方向Ａ一方側を高圧室１５に、他方側を低圧室１６に設定する第一のシール手段１３と、高圧室１５または低圧室１６の少なくとも一方に設けられてバランス室１２とバランス室１２の外側との流体の流通を制限する第二のシール手段１４と、スラスト磁気軸受を駆動させて、バランスピストン１１の軸方向Ａの位置を調整して、高圧室１５と低圧室１６との圧力差を制御する圧力制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】寿命が近づいていることをより正確に知ることのできる、磁性流体を利用した密封装置を提供する。
【解決手段】軸方向両端に磁極を有する永久磁石１３と、永久磁石１３の軸方向の両端に設けられる一対の磁極部材１１，１２と、一対の磁極部材１１，１２と回転軸２０との間にそれぞれ複数設けられる磁性流体保持部と、複数の磁性流体保持部にそれぞれ磁力によって保持される磁性流体１４と、を備え、各磁性流体保持部による磁性流体１４の保持能力の総和によって密封装置１０全体の耐圧能力が定められ、複数の磁性流体保持部のうち全てではない幾つかの磁性流体保持部に保持されていた磁性流体が消失するまでは、予め設定された耐圧能力が維持されるように設計された密封装置１０において、永久磁石１３の内周面側の空間領域の圧力を測定するセンサ５１を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転トルクを安定して軽くするとともに、ブッシュと同程度の油量制御が可能な、ニードル軸受を提供する。
【解決手段】ニードル軸受１０の外輪１２の内径面には軸受における軸方向の潤滑油の流れの方向にニードル１６とシールリング２０が並列配置され、外輪１２のシールリング２０が配置される側には鍔１４が形成されている。シールリング２０は有端リングで、弾性により内径の寸法を変化させられる内径可変構造となっており、シールリング２０は軸方向に移動可能な状態で軸体３０の外径側に組込まれる構成とされている。そして、潤滑油の流れにより油圧が発生した状態では、シールリング２０の側面２２が外輪１２の鍔１４に接触状態となる構成とされており、かつ、シールリング２０の内径が軸体３０の外径に接触状態となる構成とされている。 （もっと読む）

【課題】各プロセス室内の室内条件が維持された状態で、基板の搬入及び搬出が可能な複数のプロセス室を備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、第１、第２及び第３の室内条件をそれぞれ有する第１、第２及び第３のプロセス室Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃと、第１、第２及び第３のプロセス室Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃを基板が通過するように基板を所定の方向に搬送可能な基板搬送機構としての浮上チャック４０と、第１、第２及び第３のプロセス室Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃの周囲にそれぞれ配置され、搬送される基板Ｗ、及び該基板Ｗと対向する各シール面２１ａ，２１ｂ，２１ｃとの間の隙間を密封する第１及び第２の差動排気シール２０ａ，２０ｂ，２０ｃと、を備え、浮上チャック４０は、基板Ｗと各シール面２１ａ，２１ｂ，２１ｃとの間の隙間が所定の微小隙間Δとなるように、搬送される基板Ｗの歪みを除去する歪み除去手段としても機能する。 （もっと読む）

【課題】回転部と非回転部とが軸方向に向って移動し、相対変位差が生じた場合、非回転部を回転部に並動せしめ、非回転部と回転部との隙間を常に適正値にして非接触状態を維持せしめるシール装置および回転機械を提供する。
【解決手段】本発明に係るシール装置および回転機械は、カラー１９を備えた回転軸１８とケーシング１７との間に設けられた非回転側移動体２３と、前記回転軸１８の軸方向への移動とともに、前記非回転側移動体２３を並動せしめる一方、前記カラー１９と前記非回転側移動体２３とを非接触状態に維持せしめる非回転側移動体移動機構２６とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】
シールフィン位置制御装置を必要とせず、シールフィンが回転体側或いは静止体側と接触した場合に生じる過大な力を減少させ、信頼性及び性能を向上させた回転流体機械のシール装置を提供する。
【解決手段】
ロータとステータの間隙部にシールフィンが配設される回転流体機械のシール装置において、シールフィンは、その少なくとも１箇所に関節部ｂを有し、シールフィンとロータｆとの接触により、関節部ｂを中心にシールフィン先端部ｃを回転流体機械の作動流体の上流側に傾斜させた位置から、作動流体の上流側にシールフィン先端部ｃが可動するように構成する。 （もっと読む）

【課題】回転部と非回転部とを、常に、非接触状態に維持させて運転を行うシール装置およびそのシール装置を備えた回転機械を提供する。
【解決手段】本発明に係るシール装置およびそのシール装置を備えた回転機械は、回転軸１８に設けたカラー１９、２０に組み込まれ、ケーシング１７から半径方向の内径側に向って延長された摺動支持部２１に摺動支持させて収容する非回転側移動体２２を備え、前記回転軸１８が軸方向に向って移動するとき、前記非回転側移動体２２も作動流体の圧力によって並行に移動させ、前記非回転側移動体２２と前記カラー１９，２０とを非接触状態に維持する構成にした。 （もっと読む）