電磁軸受を利用するターボ機械内にて軸及び関係したシールを位置決めする方法である。該方法は、電磁軸受の巻線に電力を印加して、軸の中心が第一の位置にあり、軸は、関係したシールと接触している。電磁軸受に対する電力を調節することにより、ターボ機械の通常の作動中に、軸がその中心合わせした位置にて回転するとき、シールが軸と非接触状態となる位置まで減少する振幅の一連の動きにて軸を動かすことにより、シールは、軸により操作することができる。軸の軸線が電磁軸受の軸線と実質的に同軸状となるとき、通常の作動中に、軸はその中心決めした位置にある。減少する振幅の一連の動きは、１つの以上の軸線の回りにて減少する振幅の揺動を含むことができ、又は軸を当初の位置すら最終位置まで動きさせる減少する振幅の半径を有するスパイラル状の回転を含むことができる。軸の動きは、電磁軸受の巻線に対する電力を調節することにより、実現される。 （もっと読む）

【課題】攪拌機の軸受として磁気軸受を適用することにより、軸受の無摺動化を図り、その結果として、軸受部における異物の発生を防止した、無摺動攪拌槽を提供する。
【解決手段】タンク１の上面壁を貫通して下方に延びる攪拌軸２ｂの上端に接続された受動軸２ａはタンク１の上壁に軸受部を介して回転自在に支持される。軸受部は、環状、円筒状の永久磁石３１，３２，４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂにより一体的に構成された、ラジアル磁気軸受３０およびスラスト磁気軸受４１を含む。これらの永久磁石は、回転翼に働く水平反力に抗して、相互に非接触を維持するように、その磁気特性、着磁状態、配置構成が定められている。 （もっと読む）

【課題】耐焼きつき性及び耐磨耗性の向上が可能なタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】ロータ翼と一体に回転するロータ軸を、非接触状態で回転自在に支持するアキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受を有する磁気浮上式ターボ分子ポンプに備えられ、アキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受が制御不能となった時には、ロータ軸と内輪７１の内径面７１ａ及び端面７１ｂが接触することにより機能するタッチダウン軸受（アンギュラ玉軸受７）であって、内輪７１の内径面７１ａ及び端面７１ｂは、球状または略球状の金属粒子を衝突させることにより形成され、表面硬さがビッカース硬さでＨｖ７００以上、表面粗さが０．３〜１．２Ｒａμｍの範囲内、厚さが１０μｍ〜１００μｍの範囲内となっている硬化層Ｓを有し、硬化層Ｓの表面に、固体潤滑剤によって形成された潤滑被膜Ｆを形成する。 （もっと読む）

【課題】アキシャル方向に小型化するとともに、主軸の回転と主軸のアキシャル位置をそれぞれ容易に個別制御できる電動モータを提供する。
【解決手段】本発明にかかる電動モータは、主軸１５と、主軸１５に固定されるとともに磁性体で形成されたアキシャル磁気ディスク１７と、磁力を発生させるとともに当該磁力により前記アキシャル磁気ディスク１７をアキシャル方向に吸引することにより、主軸１５をアキシャル方向に非接触支承するアキシャル磁気軸受６と、前記主軸の位置を制御する主軸位置制御部と、前記主軸に固定されるとともに前記主軸を回転させるロータ１６と、駆動力によりロータを回転させるステータと、駆動力を制御することにより、主軸の回転を制御する回転制御部６０とを備え、アキシャル磁気ディスク１７がロータ１６を兼用する。 （もっと読む）

【課題】大幅なコストアップを招かずに、主軸のアキシャル方向の伸びを正確に測定することができ、主軸のアキシャル方向の位置を正確に補正できるよう改良された磁気軸受装置を供給する。
【解決手段】アキシャル変位センサ１４によって測定されたアキシャル位置ターゲットの変位のデータは第１の主軸伸び演算部６４に送信され、一対のアキシャル位置ターゲット間の主軸の伸びが演算される。演算結果は第２の主軸伸び演算部６５に送信され、一対のアキシャル位置ターゲットのうち工具側の一対のアキシャル位置ターゲットと工具側と間の主軸の伸びが演算される。演算結果はアキシャル位置制御部６６に送信される。アキシャル位置制御部６６はアキシャル磁気軸受部６に供給する電力を変化させることにより、工具のアキシャル方向の位置が一定となるように主軸のアキシャル位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】アキシアル方向における主軸の長さを短くすることができる磁気軸受装置およびこれを備えた工作機械を提供する。
【解決手段】磁気軸受装置１は、ラジアル方向Ｒへ延設されたフランジ部１６を備える主軸１０と、アキシアル方向Ａにおいてフランジ部１６と対向して配設され、電磁石３２によって主軸１０をアキシアル方向Ａに支持するアキシアル磁気軸受３０と、アキシアル方向Ａにおける主軸１０の位置を検出するアキシアル変位センサ４０とを備える。アキシアル変位センサ４０は、ラジアル方向Ｒにおいてフランジ部１６と対向して配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容器への振動の伝達をより小さくし、この場合、簡単且つコスト的に有利でしかも従来の欠点を回避する、磁気軸受を備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも１つの能動型（制御型）磁気軸受を有する真空ポンプを備えた装置に関するものである。真空ポンプから容器へ伝達される振動を低減させるために、前記装置に切換手段を設けることが提案される。一方法においては、磁気バイアスが、この切換手段の関数として、磁気バイアス電流の変化により低下されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスなどの腐食環境に適合可能な、ＮＡＣＥ規格準拠の真空ステータアセンブリおよびその製作工程を提供する。
【解決手段】前記真空ステータアセンブリは、一実施形態において、磁性材料製のステータスリーブ１５４、前記ステータスリーブ１５４と同軸かつ前記ステータスリーブ１５４端部の各々に接合部において固定されその後、前記接合部が熱処理された、非磁性材料製のスリーブ拡張部１５２、および前記スリーブ拡張部１５２に固定され、ステータを真空状態で内包し真空ステータアセンブリを構成するよう設けられた非磁性材料製の壁を有する。 （もっと読む）

【課題】回転軸の軸振れを小さくすることのできる軸受構造及びそれを用いたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】回転自在な軸５２のラジアル方向への変位を規制する非接触式のラジアル磁気軸受５４を備えた軸受構造であって、軸５２の長手方向にラジアル磁気軸受５４と間隔をあけ、ラジアル方向とスラスト方向の両方の変位を規制可能な軸受５５を設けた。 （もっと読む）

【課題】回転子が半径方向に移動しても、回転子を支持する磁気支持力が変化し難い磁気軸受部を備えた電動機を提供する。
【解決手段】固定子１８と回転子１と空隙に形成され磁気支持力を発生させる磁気回路に、固定子歯８と永久磁石Ｍｇ間の空隙の磁気抵抗Ｒｇより磁気抵抗が大きくなる部位を設けた。 （もっと読む）

【課題】振動適合性を向上させ且つここでロータに作用する力を考慮した軸受装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ロータと固定結合された軸受ロータ（２）とおよび軸受ステータ（３）とを有するロータ（１）の回転可能支持用軸受装置がハウジング部分（４ａ、４ｂ）を備え、この場合、軸受ステータが結合要素（５）と結合され且つ結合要素がハウジング部分に可動支持されている前記軸受装置に関するものである。振動特性を改善するために、ハウジング部分および結合要素がそれぞれ少なくとも１つの平面を有し、およびこれらの平面が相互に平行に且つ向かい合って配置されていることが開示される。 （もっと読む）

【課題】製品コストを抑制しつつ軸受負荷を好適に求めることができる磁気軸受装置及び磁気軸受スピンドル装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、一対のアキシャル電磁石及び一対のラジアル電磁石２４ａへ供給される励磁電流値（励磁電圧値）の差を求めるとともに、これら求められた差を係数倍してアキシャル方向及びラジアル方向における軸受負荷として出力する差動増幅回路４３を備えてなる。励磁電流は、アキシャル電磁石及びラジアル電磁石２４ａに供給される定常電流と主軸の変位により変化する制御電流とからなる。アキシャル電磁石及びラジアル電磁石２４ａに対して定常電流を供給することにより非線形性をもつアキシャル電磁石及びラジアル電磁石２４ａの磁気吸引力が線形近似される。このため、一対の電磁石へ供給される励磁電流（励磁電圧）の値の差を求めて係数倍することにより、軸受負荷に対応する値が得られる。 （もっと読む）

【課題】対向する電磁石のいずれか一方の制御電流を常に０とする完全なゼロパワー制御が達成でき、かつ演算周期毎に判定するパラメータ数を低減し、演算ロジックを簡易し、ＣＰＵの制御量を減少させ、高性能かつ高価なＣＰＵの必要性を低減することができる電磁吸引式磁気軸受とその制御方法を提供する。
【解決手段】互いに対向して配置された少なくとも１対の電磁石１，２と、電磁石の間に配置されその中間位置に保持される浮遊体３と、浮遊体の平衡位置からの変位及び／又は速度を検出するセンサ４と、電磁石を制御する制御装置５とを備える。制御装置５は、浮遊体の変位と速度から、制御方向の加速度に正比例する変数Ｚを求め、変数の正負に応じて、一方の電磁石の制御電流をゼロとし、他方の電磁石の制御電流のみを制御する。 （もっと読む）

【課題】 コアにおける渦電流損の小さいアキシアル磁気軸受用電磁石、およびアキシアル磁気軸受用電磁石のコアにおける渦電流損の小さい磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 アキシアル磁気軸受用電磁石13は、環状のコア20の一端面に形成されたコイル用環状みぞ23内に、環状のコイル21が収容されているものである。コア20の少なくとも一部に、電磁鋼板27が軸方向と直交する方向に積層された電磁鋼板積層部25が設けられている。 （もっと読む）

【課題】回転部分に冷却した超電導体を配置し、回転損失に対する冷却能力を向上させた信頼性の高い高温超電導バルク体を利用した磁気浮上用途の回転体用真空断熱容器を提供する。
【解決手段】高温超電導バルク体を利用した磁気浮上用途の回転体用真空断熱容器において、寒剤を蓄積する真空断熱容器Ａを備え、回転軸の一部として前記真空断熱容器Ａそのものが回転する軸を構成する構造部材とした。 （もっと読む）

【課題】 ワークの周面に形成されたみぞの軸方向の位置にずれがあっても砥石負けが発生しにくい研削装置を提供する。
【解決手段】 制御型アキシアル磁気軸受6および制御型ラジアル磁気軸受7,8によりケーシング4に対し非接触支持されて電動機10により回転させられる砥石軸5に、外周面に中高研削面Sが形成された研削砥石Gが取り付けられている。被加工物に対してケーシング4を相対的に移動させることにより、被加工物の円筒面状周面に形成されたみぞを研削する。ケーシング4を軸方向に位置決めした後、ケーシング4を径方向に移動させて、みぞの研削を行う。ケーシング4が径方向に移動して砥石Gが被加工物に接触する前は、アキシアル磁気軸受6の剛性値を通常値より低くしておき、砥石Gの研削面Sが被加工物のみぞ全体に接触してみぞ全体の研削を開始したことを検知し、みぞ全体の研削開始検知後に、アキシアル磁気軸受6の剛性値を通常値に戻すようになされている。 （もっと読む）

【課題】寿命が長くて、回転速度が高い軸であっても、軸を所定回数確実に支持することができるタッチダウン軸受装置およびタッチダウン軸受装置の寿命が長いターボ分子ポンプを提供することにある。
【解決手段】
タッチダウン軸受装置１０を、回転軸３に外嵌されて固定された第１内輪３１と、第１内輪３１に径方向に対向する第１外輪３２と、第１内輪３１と第１外輪３２との間に配置された第１の玉３３と、第１外輪３２に径方向に対向する第２内輪５１と、ハウジング２の内周面に内嵌されて固定された第２外輪５２と、第２内輪５１と第２外輪５２との間に配置された第２の玉５３とで構成する。磁気軸受が正常に動作しているときには、第１外輪３２と第２内輪５１とが非接触な状態である一方、磁気軸受が正常に動作していないときには、第１外輪３２を第２内輪５１で支持することによって、回転軸３をハウジング２に対して支持するようになっている。 （もっと読む）

【課題】寿命が長く、かつ、回転速度が高い回転軸であっても回転軸を所定回数確実に支持することができるタッチダウン軸受およびタッチダウン軸受の寿命が長いターボ分子ポンプを提供することにある。
【解決手段】タッチダウン軸受１０を、ハウジング２に固定された外輪３１と、外輪３１の径方向の断面において、厚肉部７０と薄肉部７１とを有する内輪３２と、外輪３１と中間輪３２との間に配置された玉３３とで構成する。磁気軸受が正常に動作していないときに、回転軸３を、内輪３２の内周面に接触させることによって、回転軸３をハウジング２に対して支持する。 （もっと読む）

【課題】寿命が長くて、回転速度が高い軸であっても、軸を所定回数確実に支持することができるタッチダウン軸受装置およびタッチダウン軸受装置の寿命が長いターボ分子ポンプを提供することにある。
【解決手段】タッチダウン軸受装置１０を、ハウジング２に固定された外輪３１と、外輪３１に径方向に対向する内輪３３と、径方向において外輪３１と内輪３３との間に配置された中間輪３２と、外輪３１と中間輪３２との間に配置された第１の玉３４と、中間輪３２と内輪３３との間に配置された第２の玉３５とで構成する。タッチダウン軸受装置１０は、磁気軸受が正常に動作しているときには、回転軸３と内輪３３とが非接触な状態である一方、磁気軸受が正常に動作していないときには、回転軸３を、内輪３３で支持することによって、回転軸３をハウジング２に対して支持するようになっている。 （もっと読む）

【課題】積層鋼板を使用することなく、簡単な加工によって、回転軸表面における渦電流を大幅に低減できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】
回転軸３と、該回転軸３を磁力で支持する軸受構造５とを有する磁気軸受装置であって、軸受構造５は、回転軸３の外周面に対向し回転軸３を囲む磁極部７を有し、磁極部７と回転軸３との間で発生する磁力により回転軸３を非接触で支持するようになっており、回転軸表面には窪み９が形成されており、窪み９の形状、位置および数の少なくともいずれかが、回転軸３の回転と磁極部７に起因する磁界とにより回転軸表面に発生する渦電流を抑制するように設定されている。 （もっと読む）