【課題】スラスト軸受を冷却可能とした回転電機を提供する。
【解決手段】主軸と、主軸のラジアル方向を軸支持するジャーナル軸受と、主軸のスラスト方向を軸支持するスラスト軸受と、主軸をジャーナル軸受およびスラスト軸受を介して支持するフレームと、を備え、スラスト軸受は、スラスト軸受を冷却するための冷却液を流す冷却液路が形成されている。また、主軸は、スラストフランジ部に対する負荷側を縮径させた縮径部が形成されており、縮径部側に配置された第２のスラスト軸受部に、主軸の縮径分に相当する拡幅部分を形成し、拡幅部分に冷却液路を形成するための冷却液路形成領域を形成している。 （もっと読む）

【課題】軸受の交換を容易にできるようにする。
【解決手段】ハウジング２と、ハウジング２に収納され、スラストディスク３ａを備えた主軸３と、主軸３のラジアル方向の支持を非接触で行うラジアル軸受部３０Ａ、及び、スラストディスク３ａのスラスト方向の支持を非接触で行うスラスト軸受部３０Ｂを一体的に備えたラジアル・スラスト軸受３０と、スラスト軸受部３０Ｂを主軸３の軸方向に貫通し、ラジアル・スラスト軸受３０とハウジング２とを固定する固定ボルト５０と、主軸３に設けられた回転子４ａ、及び、ハウジング２の内周側に回転子４ａと対向して設けられた固定子４ｂを有するモータ４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第１表面を有する固定体と、第１表面に対向する第２表面を有する可動体とを備える。可動体は、第１表面および第２表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第１表面に沿って第１方向に移動可能である。第１表面および第２表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第１表面および第２表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 （もっと読む）

【課題】回転モータの停止時にハンチング現象が生じないロータリエンコーダ制御式エアスピンドルを提供する。
【解決手段】回転軸３に固定されたディスク１３にパッド１８、１９が当接するため、回転モータ９の停止時における回転軸３の回転方向での振動が防止され、ハンチング現象が生じない。パッド１８はディスク１３の外縁部１３ｂに小さいな力で当接し且つ外縁部１３ｂが回転軸３の軸方向で変形可能なため、ディスク１３とパッド１８との当接が回転軸の本来の回転に影響を与えることはない。 （もっと読む）

【課題】流体軸受の負荷容量を増大し、且つ軸受の作動に必要となる流体の流量を低減する。
【解決手段】軸５０が挿通される軸受孔７と、流体軸受２の外周面に開口し、外部から流体が流入する流体流入孔９，１０と、流体軸受２内で軸受孔７を外囲し、流体流入孔９，１０に連通する流体流路１１と、流体流路１１を軸受孔７に連通させる流体絞り１４，１５と、を有し、流体流入孔９，１０が複数設けられ、流体流路１１が流体流入孔９，１０に対応して複数の分割流体流路１２，１３に仕切られ、分割流体流路１２，１３にはそれぞれ少なくとも１つの流体絞り１４，１５が連通している。 （もっと読む）

【課題】面精度の悪い接合面を有するハウジングを互いに組み付けても、使用給気圧力に対して自励振動発生圧力を十分高く保つことができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２０とを備えている。固定部２０はハウジング２およびシート４１，４２を含んでいる。ハウジング２は、複数の部材２１、２２、２３から構成されており、かつ複数の部材２１、２２、２３間の少なくとも１つの接合部にハウジング２より変形しやすい特性を有するシート４１，４２を介して複数の部材２１、２２、２３が結合されている。 （もっと読む）

【課題】ベアリング剛性を高める方を優先するかエア消費流量を優先させるかに応じて、エア供給様式が変更されるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング（４８）には少なくとも２個のエア供給路（６５）が配設されており、ベアリングシャフト（５０）に配設される複数個のベアリング領域（５８）の幾つかはエア供給路（６５）の一方に接続され、複数個のベアリング領域（５８）の他の幾つかはエア供給路（６５）の他方に接続されている。エア供給路（６５）の各々は夫々別個の連通制御弁手段（５５）を介して圧縮エア供給源（５６）に接続されている （もっと読む）

【課題】 高精度の動圧発生楔部を簡易に形成できる流体軸受装置の軸受部材の製法等を提供する。
【解決手段】 基材１０Ａの内周面１０ａに溝を複数形成して静圧発生溝部１１を周方向に複数形成すると共に、静圧発生溝部で囲まれた動圧発生部１２に楔状の軸受隙間１６を形成するために、静圧発生溝部に対応する基材の外周面１０ｂに溝を複数形成して軸受隙間形成用溝部１４を形成する。そして、静圧発生溝部と軸受隙間形成用溝部との間の最薄肉部分１５ａが塑性変形する圧力を基材の内周面に加えて軸受隙間を形成する。これにより、動圧発生部の変位量を測定管理しながら基材内周面への加圧力を調整管理して楔状の軸受隙間を形成することができるため、従来の内径研削加工による場合と比較して高精度の楔状の軸受隙間を簡易に形成でき、製造効率を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】平行運動学などの駆動装置の運動学が従来技術と異なり、正確な位置決めが可能になる真空適用のためのテーブル装置を提供する。
【解決手段】真空適用のためのテーブル装置は空気静力学的軸受ユニットによりガイドされた移動テーブルとベースプレートを有する。軸受ユニット（１０）が、軸受ユニットの作動に必要なガスを供給及び排出する供給ライン及び吸い込みラインに連結し、各場合に少なくとも１つの段を有する、吸い込みチャネルと真空に対してシールするシーリングギャップとを有するシーリング装置を具備する。テーブル装置の特徴として、軸受ユニットが少なくとも部分的に回り継手として構成され、移動テーブルを横にガイドするドライブ（５）によって作動されるプッシュロッド（４）が、それぞれの回り継手の回転部品（２１）に連結し、プッシュロッドが中空であり、作動ガスを排出するための吸い込みラインの構成部品を構成する。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

軸受機能およびシール機能を有し、動力損失を低減することができる静圧アキシャルすべり軸受を使用する装置および方法を提供する。該装置の静圧アキシャルすべり軸受は、アキシャルすべり軸受表面によって形成され、流体膜によって分けられ、該装置が稼動している間に相対回転を可能に構成されている。該装置は、第１および第２の構成要素を有し、それらは第１および第２のアキシャルすべり軸受表面(28,30,36,38,40,42)を形成している。これらを組み合わせて、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面は、静圧アキシャルすべり軸受に対して軸受表面およびシール表面として機能する。該装置は、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面が、第１の運動方向において相対回転することを可能に構成されており、少なくとも第２のアキシャルすべり軸受表面は、第１の運動方向において振動波形を備える表面形状(44)を有する。
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【課題】安定性の低下を抑制し、不測の挙動を抑制できる流体軸受を提供する。
【解決手段】流体軸受は、第１部材の第１面に形成された第１凹部と、第１凹部の内側に形成された第２凹部と、第２凹部の内側に配置された流体吹出口とを備える。 （もっと読む）

【課題】 静圧流体軸受を容易に製造できると同時に高精度に構成可能な新規構造を実現する。
【解決手段】本発明の静圧流体軸受の軸受体２００は、第１凹凸端部２１１を一体に有する第１軸受部材２１０と、第１凹凸端部に対して軸線方向に嵌合可能に構成された第２凹凸端部２２１を一体に有する第２軸受部材２２０とを具備し、第１軸受部材と第２軸受部材が軸線方向に第１凹凸端部と第２凹凸端部とが組み合わされる態様で軸線方向に嵌合し、第１軸受側部分２１１ｔと第２軸受側部分２２１ｔの少なくとも一方には半径方向に伸び軸受隙間Ｇに連通する複数の凹溝２２１ｇが放射状に形成され、第１軸受側部分と第２軸受側部分とが突き合わされることで凹溝により絞りＰが軸線周りに複数分散して構成される。 （もっと読む）

隙間を維持しながら、相互に噛み合う関係に噛み合わされる内部負荷軸受部材と外部負荷軸受部材とを有する、小型非接触機械連結、減衰及び／または負荷軸受装置に関する。制限されるわけではないが、静力学手段、流体力学手段、電子流動学的流体、磁気流動学的流体、電気流体及び／または磁気流体を含む、隙間を内外負荷軸受部材間に維持する手段を有してもよい。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することにより、構成を簡素化するとともに、被回転物を保持する保持部におけるラジアル剛性の低下を回避可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル１は、円筒状の形状を有する軸部１２と、軸部１２の一方の端部に接続され、被回転物を保持するためのテーブル１１とを含む回転軸１０と、軸部１２の外周面を、回転軸１０を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間５１を隔てて取り囲む固定部４０とを備えている。そして、軸受用気体は、テーブル１１と固定部４０との間に形成された隙間であるシール隙間９３から排出される。 （もっと読む）

エアベアリングアセンブリは、その中を通る複数の空気供給・真空ラインを有する上部、下部、および上部と下部との間に配置され、それらを間隔の置かれた関係に維持する複数のスペーサを備え、空気供給・真空孔の密度が、基板のためのエアベアリングを提供するのに十分に高いが、下部に対して上部の実質的に均一な平面度を維持するように、（ｉ）十分な数のスペーサが用いられる、および（ｉｉ）スペーサが十分に近接するように近くに配置される、ことのうちの少なくとも１つが成立するように十分に低い。
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【課題】可動リング式静圧軸受の静圧軸芯を軸受軸芯に一致させる軸合わせ方法と、前記軸合わせ方法を用いた可動リング式静圧軸受を提供する。
【解決手段】外軸受筒１に内蔵された可動リング４に対する外ポケット11と、静圧軸３に対する内ポケット21とを設け、外ポケット11に流体を供給して発生するリング支持圧により可動リング４を支持し、可動リング４と内軸受筒２との隙間であるリング形成経路47を通じて内ポケット21に流体を供給して発生する静圧軸支持圧により静圧軸３を支持する可動リング式静圧軸受において、可動リング４を半径方向に位置調整することにより静圧軸芯を軸受軸芯に一致させる可動リング式静圧軸受の軸合わせ方法と、これを用いた可動リング式静圧軸受である。 （もっと読む）

【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。
【解決手段】第１の部材１０と、第１の部材１０を介して対向する部分を有し第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材２０と、第２の部材２０の第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ第１の部材１０との間に空気による静圧を作用させて第１の部材１０を非接触で支持する空気静圧軸受３０Ａ〜３０Ｄとを備える。空気静圧軸受３０Ａは、第２の部材２０に固定的に配置される固定部３２Ａと、固定部３２Ａに対して第１の部材１０に向かう方向に進退自在に設けられ第１の部材１０に対して空気による静圧を供給する空気静圧部３３Ａを備える。さらに、空気静圧部３０Ａは、固定部３２Ａと空気静圧部３３Ａとの間にバネ部材３４Ａと、振動を減衰させる振動減衰部材３５Ａとを備える。 （もっと読む）