【課題】 軌道軸の表面に対して潤滑剤を供給することができ、もって経時的使用においても軌道軸に対する移動部材の移動を円滑化することが可能な潤滑剤供給装置を提供する。
【解決手段】 転動体を介して軌道軸に組み付けられる移動部材に装着され、かかる移動部材と軌道軸の相対的運動に伴って該軌道軸に潤滑剤を供給する潤滑剤供給装置であって、前記潤滑剤が貯留される貯留空間を有する潤滑剤貯蔵器と、一部が前記貯留空間に露出すると共に前記潤滑剤貯蔵器に回転自在に保持される一方、前記軌道軸の表面を転動し、この転動に伴って前記貯留空間内の潤滑剤を軌道軸の表面に転写する回転体と、から構成され、前記回転体の外側面には、複数の凹陥部が形成され、前記潤滑剤貯蔵器には、前記貯留空間内の潤滑剤を前記回転体に向けて押圧する圧力付与機構が設けられている。 （もっと読む）

【課題】この直動案内ユニットは，ケーシングの袖部に形成した外側凹溝にリターン路を形成する外装パイプを配設し，外装パイプをエンドキャップのスペーサと一体構造に構成してスライダの組立を容易にし，全体的にスライダの構造をコンパクトでシンプルにして低コストに作製する。
【解決手段】スライダ２は，平板状の上部２１とそれから垂下した袖部２２とから構成されているケーシング３，その両端面３９にそれぞれ固着され且つ方向転換路１５が形成された一対のエンドキャップ４，ケーシング３の袖部２２の外側面２４に配設され且つエンドキャップ４に設けられた一対の外装パイプ７，及び外装パイプ７内に嵌挿され且つ内径孔がリターン路２０に形成された一対の内装パイプ８を備えている。 （もっと読む）

【課題】摺動抵抗値が小さい値を示すゴム材料製のシール部材を実現する。
【解決手段】運動案内装置１０は、長手方向に転動体転走面１１ａを有する軌道部材１１と、転動体転走面１１ａに対向する負荷転動体転走面１３ａと、当該負荷転動体転走面１３ａと平行な無負荷転動体転走路２３とを有する移動部材１３と、転動体転走面１１ａと負荷転動体転走面１３ａとで構成される負荷転動体転走路２２と、無負荷転動体転走路２３とをつなぐ方向転換路２５を有する蓋部１７と、負荷転動体転走路２２と無負荷転動体転走路２３と一対の方向転換路２５，２５とに転動自在に配設される複数の転動体１２と、を備える。蓋部１７あるいは移動部材１３には、軌道部材１１に対して隙間なく摺接するシール部材１５が設置されており、シール部材１５は、水素添加アクリロニトリルゴム組成物に対してハロゲン化処理を施したゴム材料を備える。 （もっと読む）

【課題】取付面の位置の変化を抑制することができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、設置面ＰＳに固定される静圧気体軸受スピンドルであって、端面に取付面１ａを有する回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間１０をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲むハウジング２と、ハウジング２の軸線ＡＸ方向に互いに離れて配置され、ハウジング２を設置面ＰＳに固定するための第１の固定台３および第２の固定台４とを備えている。取付面１ａに対して第１の固定台３より離れた位置に配置された第２の固定台４が軸線ＡＸ方向に直線的に案内可能な直線案内機構５を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】案内レールの両側面とスライダおよびねじ軸の上側がカバーで覆われている一軸アクチュエータのねじ軸と案内レールの両方に、長期に渡って潤滑剤を供給する。
【解決手段】スライダ３の移動時に、スライダ３の移動方向端部に設けたグリースニップル８３が案内レール１に設けたニップル挿入口５２ａに嵌まることで、スライダ３の上面に固定された給脂ブロック８の給脂路８１と、案内レール１の上面に固定されたエンドブロック５の給脂路５２ｂが連通するように構成する。連通された両給脂路８１，５２ｂを介して、グリースニップル５３に結合された給脂用配管からスライダ３の内部に潤滑剤が供給される。 （もっと読む）

【課題】クーラント等の水分や塵等の異物が浸入するのを防止するジャケットを移動体に容易に装着できる運動案内装置を提供する。
【解決手段】移動体２は、負荷転動体転走部２ａ及び転動体戻し路２ｂを有する移動体本体３と、移動体本体３の移動方向の両端面に取り付けられ、移動体本体３の負荷転動体転走部２ａと転動体戻し路２ｂを接続する方向転換路を有する一対の蓋部材４と、を備える。ジャケット８は、一対の蓋部材４を覆う一対の端部被覆部２１、及び一対の端部被覆部２１を連結する連結部２２を一体に成形してなる成型品である。ジャケット８は伸縮可能であり、引き伸ばされたジャケット８の弾性変形を利用することによって、ジャケット８を移動体２に装着する。 （もっと読む）

【課題】 方向転換路内における転動体の蛇行を可及的に防止しつつも、無限循環路の周方向に沿った転動体列の長さ変化を吸収可能であり、もって転動体の循環を円滑化し、案内軸に対する移動部材の運動の円滑化を達成可能な転がり案内装置を提供する。
【解決手段】 転動体の転走面を備えた案内軸と、前記転走面を転走する多数の転動体を介して前記案内軸に組み付けられると共に前記転動体の無限循環路を有し、前記案内軸に沿って移動自在な移動部材とを備えた転がり案内装置であって、前記無限循環路は、前記案内軸と移動部材との間で転動体が荷重を負荷しながら転動する負荷通路と、前記負荷通路と平行に設けられた転動体戻し通路と、前記負荷通路と転動体戻し通路の端部同士を連結する一対の方向転換路とを備え、前記移動部材は、前記方向転換路内を無負荷状態で転走する転動体を当該方向転換路の内周側又は外周側へ向けて付勢する隙間排除手段を有している。 （もっと読む）

【課題】運動案内装置の動作によって生じた摩擦熱を基台に伝搬させることなく、基台が熱によって変形を受けることのない運動案内装置を提供する。
【解決手段】基台に設置されると共に、長手方向に沿って延びる軌道部材と、前記軌道部材に沿って往復移動可能に取り付けられた移動部材と、前記軌道部材と前記移動部材との間に配列して介在される複数の転動体とを備える運動案内装置において、前記軌道部材は、放熱手段を備えると共に、前記基台と対向する取付面に伝熱抑制部を備える。 （もっと読む）

【課題】必要に応じて転動体転走溝や転動体に潤滑剤を供給するとともに、移動部材の往復運動に伴う摺動抵抗を低減し、潤滑剤を塗布する塗布体の摩耗を抑制することができる潤滑剤供給装置および、これを組み込んだ潤滑剤供給装置付運動案内装置を提供する。
【解決手段】長手方向に沿って延びる軸部材と、軸部材に沿って往復移動可能に取り付けられた移動部材と、を備える運動案内装置に取り付けられ、軸部材に潤滑剤を塗布する塗布体を有する潤滑剤供給装置において、潤滑剤供給装置は、枠体と、潤滑剤を貯留して枠体に収容されると共に塗布体を備える潤滑剤収容体と、潤滑剤収容体に隣接して配置される移動板とを備え、潤滑剤収容体と移動板はそれぞれ移動力伝達部材を備え、移動力伝達部材は、潤滑剤収容体を移動部材の進行方向に応じて軸部材に対して近接または離間するように移動させる。 （もっと読む）

【課題】転動体転走路と転動体との間で発生した微粒子が装置外に漏れ出る量を極力抑制できる、半導体製造装置や液晶表示パネル製造装置等のクリーン環境に好適な直動装置を提供する。
【解決手段】直動装置１において、１対のシール部材７の各々は、移動部材３に取り付けられた状態で、軌道部材２の軸方向に対して直交する方向に沿って切断した際に、軌道部材２に対して０．０２５〜０．１５ｍｍの範囲の隙間δを有する形状に形成され、転動体転走路５と転動体４との間には混和ちょう度２５０以下のグリースが塗布してある。 （もっと読む）

【課題】スライダ間の軸方向距離に対してストロークが長い場合であっても、転動体保持器がスライダから外れて荷重を受けることができなくなるおそれのない転動体非循環式の直動案内装置を提供する。
【解決手段】直動案内装置は、案内レール１と、軸方向に相対移動可能に案内レール１に取り付けられたスライダ２と、案内レール１の転動体軌道面１０上に軸方向に沿って並べられた複数の転動体３からなりその一部が転動体軌道面１０，１１間に配された転動体列と、案内レール１の転動体軌道面１０上に転動体列を転動自在に保持するとともにスライダ２の相対移動に伴ってスライダ２と同方向に移動する転動体保持器４と、転動体保持器４の移動量をスライダ２の移動量の１／２とし、転動体保持器４の移動量に誤差が生じることを防止する移動誤差防止手段と、を備えている。そして、転動体保持器４は案内レール１の転動体軌道面１０に摺接するようになっている。 （もっと読む）

【課題】長尺のスライダに対しても適用可能な直動案内装置の仮軸を提供する。
【解決手段】直動案内装置のスライダを仮に保持し、他の仮軸と軸方向に連結する連結手段を前記軸方向の少なくとも一方の端部に有する仮軸３０である。連結手段は、例えば、前記軸方向に対して直交する方向に延びる蟻溝４１又は該蟻溝４１に嵌合する形状をなす吸い付き桟４２である。 （もっと読む）

【課題】案内レールの両側面とスライダおよびねじ軸の上側がカバーで覆われている一軸アクチュエータのねじ軸と案内レールの両方に、長期に渡って潤滑剤を供給する。
【解決手段】スライダ３の移動時に、スライダ３の移動方向端部に設けたグリースニップル８３が案内レール１に設けたニップル挿入口５２ａに嵌まることで、スライダ３の上面に固定された給脂ブロック８の給脂路８１と、案内レール１の上面に固定されたエンドブロック５の給脂路５２ｂが連通するように構成する。連通された両給脂路８１，５２ｂを介して、グリースニップル５３に結合された給脂用配管からスライダ３の内部に潤滑剤が供給される。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉の発生が抑制され、清浄な状態で基板を搬送することができる転動装置及びそれを備えた近接スキャン露光装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを搬送する基板搬送機構１０は、複数の転動装置２０を平面状に分散して配設することで基板Ｗを支持する。転動装置２０は、内面に半球形状の軌道面４７が形成された半球状凹部４６を備える本体４１と、半球状凹部４６に回動自在に収容されて一部が開口から突出する大径の主ボール４３と、軌道面４７と主ボール４３との間に転動自在に介在する複数の転動ボール４４と、複数の転動ボール４４とともに軌道面４７と主ボール４３との間に介在し、転動ボール４４より小径の複数のスペーサボール４５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】部品点数を増やすことなくスライダの姿勢変化を低減した直動案内装置を提供する。
【解決手段】案内レール１０と、スライダと、転動体３０とを有し、スライダ本体２１の両袖部２１Ａ，２１Ａには、転動体軌道路４１に沿う複数のスリット５０が形成される。スリット５０は、各袖部２１Ａの内側面部２１ａ及び外側面部２１ｃ、並びに移動方向の端部２１ｂに開口して形成される。複数のスリット５０，５０間に形成された緩衝部６０は、スライダ本体２１の転動体軌道路４１への転動体３０の出入りの際に外側に生じる力を弾性変形により吸収する。 （もっと読む）

【課題】本体部とシールリップ部が合成樹脂により一体に形成されたリニアガイド装置用サイドシールとして、本体部とシールリップ部との結合強度が高いものを提供する。
【解決手段】ポリエステル樹脂からなる本体部５１と、ポリエステルエラストマーからなるシールリップ部５２を、二色射出成形法により一体に形成する。 （もっと読む）

【課題】 アウタレールに対するインナレールの保持機構の製造に関して別部材を設ける必要がなく、簡便且つ容易に成形することができ、もって低コストで生産することが可能なスライドレールユニットを提供する。
【解決手段】 ベース部及びボール転走面を備えた一対のフランジ部を有する第一レール部材と、第一レール部材と略同一の形状からなる第二レール部材と、第一レール部材と第二レール部材との間に配置されるボールと、第一レール部材に固定されると共にボール直径と略同一の直径に形成されるレール案内部材とを備え、第二レール部材にはフランジ部の先端縁に形成されて前記ボール転走面上に突出する突起部が形成され、前記レール案内部材には第二レール部材が前記突起部が係合する切欠部が形成され、第二レール部材は該第二レール部材のベース部が第一レール部材のそれに近接する方向に変位することができるように第一レール部材に組み付けられる。 （もっと読む）

【課題】左右両側の転動体転動路の間に高低差が生じるような傾斜姿勢をとっている場合でも、左右の転動体転動路に供給される潤滑剤量に差が生じにくいことに加えて、潤滑剤量の調節機構が単純で不調が生じにくく、潤滑油及びグリースのいずれも潤滑剤として使用可能である直動案内装置を提供する。
【解決手段】エンドキャップ２Ｂの裏面の左右方向略中央位置には、表側の給油ニップル２２から延びた給油口２３が開口しており、給油口２３から左右に分岐して延びる給油路２１が左右の湾曲路１６にそれぞれ通じている。給油路２１の途中位置には弁４０が設けられている。弁４０は弾性材料で構成されており、給油路２１のうち給油ニップル２２と弁４０との間の部分に導入された潤滑剤Ｌの圧力が所定値以上であると弾性変形して開状態となり、潤滑剤Ｌを下流側へ通過させるようになっているとともに、前記圧力が高いほど開口度合いが大きくなるようになっている。 （もっと読む）

【課題】軌道部材を所定の曲率半径で湾曲させた場合であっても、移動部材の長手方向の長さに制限を受けることなく、移動部材をコンパクトに設計することができ、製造コストの抑制を図ることができる運動案内装置を提供する。
【解決手段】長手方向に沿って転動体転走溝が形成されるとともに、所定の曲率半径で湾曲した軌道部材と、前記軌道部材に沿って往復運動する移動部材と、前記軌道部材と前記移動部材との間に介在される複数の転動体とを備え、前記移動部材は、前記転動体転走溝と対向する負荷転動体転走溝と、転動体戻し通路と、前記負荷転動体転走溝と前記転動体戻し通路とをつなぐ方向転換路を備える運動案内装置において、前記転動体戻し通路は、前記移動部材の往復方向に沿って湾曲して形成される。 （もっと読む）

【課題】設置対象物の設計を制限することなく、案内レールの変形を抑えて設置することが可能な直動案内装置の設置構造を提供することを課題とする。
【解決手段】直動案内装置の案内レール１０を構成するレール部材５０の連結部分５０ａを、側壁１２の外側面１２ｃ，１２ｃ側への変形を抑制するように押さえ手段６０が押さえた状態で、直動案内装置を設置対象物７０に設置している。これにより、連結部分５０ａの剛性を高めることができるため、スライダ２０が案内レール１０を相対移動する際の、連結部分５０ａの開き量を抑制することができる。したがって、案内レール１０の変形が起こりにくい。その結果、スライダ２０が連結部分５０ａを通過する際に位置ズレが生じにくいので、本実施形態の直動案内装置は高精度である。また、案内レール１０をはめ込む溝等を設ける必要がなく、設置対象物７０の設計を制限しない。 （もっと読む）