【課題】オペレーターの広範な要求に合わせて簡便、整然、および効率的に構成できるより柔軟なヒーター制御システムのヒーター制御方法を提供する。
【解決手段】ヒーターへのＡＣ電力をオン・オフできる上限スイッチをＡＣ電力回路内に配置する段階、およびＤＣ電力電源からの低電圧ＤＣ電力から電力供給を受け、ヒーターに隣接配置された温度センサーの感知温度が事前設定上限温度を超えた時には、上限スイッチはヒーターへのＡＣ電力をオフにし、上限制御回路への低電圧ＤＣ電力が停止されている時には、上限スイッチはヒーターへのＡＣ電力をオンにし、次にもし前記感知温度が事前設定限界温度を超えていなければ再始するようにプログラムされている上限制御回路によって、上記上限スイッチを制御する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】ランプヒータの断線を確実に検知するといった機能を損なうことなく、断線の誤検知を防止できる生産性のよい基板加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱室１１ａ内にランプヒータ２１からなるヒータユニット２Ｒ，２Ｌのうち複数本のランプヒータ毎に分けてヒータグループとし、ヒータグループを並列接続して夫々電力供給するように構成する。ヒータユニットを加熱制御するときの電流値の変化に基づき複数の変曲点を通る検知基準特性を予め取得し、ヒータユニットに基板Ｗを対向させて制御手段７により処理基板を加熱制御するときの電流値が、検知基準特性を基に設定した許容範囲を超えると、ヒータの断線を検知する断線検知手段を備える。電流値の単位時間当たりの変化量を測定し、電流値が許容範囲を超えて変化したときの前記変化量が所定値以下であると、断線検知手段による検知をキャンセルするキャンセル手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】ヒータの加熱制御において、高調波電流の抑制効果を向上させつつ、加熱温度制御の所定の精度を維持できる技術を提供すること。
【解決手段】加熱装置は、交流電源から加熱体への通電のオン、オフを切り替えることによって、所定の通電比率で加熱体に交流電源を通電する通電切替部と、温度検出部による検出温度が目標範囲内に収まるように、通電切替部の通電比率（ＤＵＴＹ比）を制御する通電制御部とを備える。通電制御部は、通電切替部の所定制御期間（１．５秒）毎において、第１期間の間、通電比率をほぼ１００％に固定するオンロック通電制御（ＯＮロック）と、第２期間の間、通電比率をほぼ０％に固定するオフロック通電制御（ＯＦＦロック）とを少なくとも一対で実行する。 （もっと読む）

【課題】 厚紙にトナー像を定着させる場合の生産性の低下を抑制しつつ、加熱体が異常昇温した場合にはこの加熱体への電力供給を遮断させることができる画像形成装置を提供する。
【解決手段】 ヒータ３０５の温度を検知するサーミスタ６０６と、ヒータ３０５への電力供給を制御するＣＰＵ６０５と、ヒータ３０５によって６０［℃］以上に加熱された状態が５００［ｍｓｅｃ］続く場合に、このヒータ３０５への電力供給をオフするサーモスイッチ６０７と、ヒータ３０５によって５０［℃］以上に加熱された状態が２［ｓｅｃ］続く場合に、このヒータ３０５への電力供給をオフし、その後４９［℃］以下となると、このヒータ３０５への電力供給をオンするサーモスイッチ６０２とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体試料の温度制御の応答性及び精度を向上させる。
【解決手段】液体試料を貯留する気化タンク２１と、気化タンク２１内に設けられ、液体試料に接触して加熱する加熱部２２ｈを有する１又は複数のヒータ２２と、ヒータ２２の加熱部２２ｈを含む外表面に接触して設けられ、当該外表面の温度を検出する温度検出部と、温度検出部からの温度検出信号を受け付けて、前記ヒータ２２に供給する電力を制御する制御部２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】着座者が違和感を受けずに正確な温度制御が可能なシートヒータ及びシートを提供すること。
【解決手段】基材５と、該基材５上に配設されたヒータ素子３と、上記基材５から離れた位置に設置された温度検知素子７とを有するシートヒータ１。表皮カバー１９とパット１７とを有し、上記表皮カバー１９と上記パット１７との間に上記シートヒータ１が配置されたシート１１において、上記温度検知素子７が、上記パット１７におけるシート着座面に位置する箇所に埋め込まれていることを特徴とするシート１１。上記温度検知素子７と上記ヒータ素子３との距離が、上記基材５の厚さより大きく、且つ、上記表皮カバー１９の厚さと上記基材５の厚さを加えた厚さよりも小さいことを特徴とするシート１１。上記温度検知素子７が、温度過昇防止用のサーモスタットであることを特徴とするシート１１。 （もっと読む）

【課題】ウエハの温度の変化を高速化し温度の調節の精度を向上して処理の効率を向上できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】真空容器内部の処理室内に配置された試料台上にウエハを載置して前記処理室内に形成したプラズマを用いて前記ウエハを処理するプラズマ処理装置であって、前記試料台の内部に配置された金属製の基材と、この基材上面に配置され溶射により形成された誘電体製の膜と、前記誘電体製の膜内部に配置され溶射で形成された膜状のヒータと、前記誘電体膜上に配置された接着層と、前記接着層によって前記誘電体膜に貼り付けられた厚さ０.２〜０.４mmのセラミック製の焼結板と、前記基材内部に配置され温度を検知するセンサと、このセンサからの出力を受けて前記ヒータの発熱を調節する制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】要求される使用環境下において長寿命である発熱体ユニット、及びその発熱体ユニットを用いた加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】発熱体２と、前記発熱体２の両端に電気的に接続される金属箔６と、金属箔６の他端に電気的に接続される外部リード線７とを有する発熱構成体８と、前記発熱体２を管体１に内包し前記それぞれの金属箔６部分を封止する封止部と前記封止部の外方に空孔部１２を設けた管体１と、前記空孔部１２に装着され前記外部リード線７を保持する保持部材９とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】回路規模が小さく、且つ負荷の消費電力を高い精度で一定に制御できる定電力制御回路を提供する。
【解決手段】定電力制御回路１０は、ヒータＨに電流を供給する電流源１１と、ヒータＨの両端電圧の大きさに相当する検出信号を生成するＡ／Ｄ変換器１２と、Ａ／Ｄ変換器１２に第１の基準電圧を与える離散制御型ＢＧＲ１６と、電流源１１の出力電流の大きさを制御するための離散的な制御信号を生成する制御回路１３と、離散的な制御信号を連続的な制御信号に変換するＤ／Ａ変換器１４と、Ｄ／Ａ変換器１４に第２の基準電圧を与える連続制御型ＢＧＲ１５とを備える。制御回路１３は、連続制御型ＢＧＲ１５からＡ／Ｄ変換器１２を介して第２の基準電圧の大きさに関するモニタ信号を入力し、モニタ信号が示す第２の基準電圧の変動量に基づいて離散的な制御信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】温度変化の大きい使用条件や温度に対する抵抗値の変化の大きい抵抗発熱体の場合、抵抗値や電流地だけで、発熱体の断線を正確に検知することは困難であった。
【解決手段】本件発明では、対象物を加熱する抵抗発熱部と、抵抗発熱体の温度を測定する温度センサ部と、調節計などからの操作信号を取得する操作信号受信部と、操作信号受信部が取得した操作信号に基づき、抵抗発熱部を制御する発熱体制御部と、温度センサ部から温度情報を取得する温度情報取得部と、抵抗発熱部から抵抗値を取得する抵抗値取得部と、所定温度における前記抵抗発熱部の抵抗値を記憶する抵抗値記憶部と、断線しているか否かを判断する断線判断部と、断線判断部の判断結果を報知する報知部と、からなる断線警報システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】動作温度等の検査が確実にできる、温度制御および温度過昇防止機能の信頼性が高いサーモスタットを提供する。
【解決手段】温度制御用バイメタル板６の反転動作により可動接点９と固定接点１０の開閉動作を行う温度制御回路３と、温度制御用バイメタル板６より動作温度を高く設定した過昇防止用バイメタル板１１の反転動作により可動接点１４と固定接点１５の開閉動作を行う過昇防止回路４を有し、温度制御回路３および温度過昇防止回路４の一端にそれぞれ接続用の端子７と端子１２を設け、反対側は導電板５により温度制御回路３と過昇防止用回路４を直列に接続し、温度制御用回路３と過昇防止用回路４の間に動作温度や導通等を検査する為の検査用端子１６を設けた構成とした。これにより、サーモスタット１の動作温度や導通等の検査が確実にでき、温度制御および温度過昇防止の信頼性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】像加熱装置を大型化することなく、保持部材が撓んでしまうことで過熱保護体のヒータへの圧接力が小さくなってしまうことを抑制する。
【解決手段】弾性変形可能な弾性部１５ｃを有する補強バネ１５がサーモスタットホルダ１４に設けられ、補強バネ１５は、サーモスタットバネ９及びサーモスタット７から曲げモーメントを受けることでサーモスタットホルダ１４に撓み力が作用すると、サーモスタットホルダ１４の撓み方向と逆方向の曲げモーメントをサーモスタットホルダ１４に付与する。 （もっと読む）

【課題】保温性を確保しつつ、温度検知部材の応答性を向上させる。
【解決手段】定着装置１００は、用紙Ｐに転写された現像剤像を熱定着する装置であり、筒状の定着フィルム１１０と、定着フィルム１１０の内側に配置されたハロゲンランプ１２０と、定着フィルム１１０の内面に摺接するように配置されたニップ板１３０と、ハロゲンランプ１２０からの輻射熱をニップ板１３０に向けて反射する反射板１４０と、ニップ板１３０との間で定着フィルム１１０を挟むことで定着フィルム１１０との間にニップ部Ｎを形成する加圧ローラ１５０と、反射板１４０の外面形状に沿った形状を有して反射板１４０を覆うように配置され、ニップ板１３０を支持するステイ１６０と、定着フィルム１１０の内側に配置された温度検知部材（サーミスタ１７０）とを備えている。ステイ１６０は、温度検知部材を配置するための切欠１６１を有している。 （もっと読む）

【課題】 抵抗加熱ヒータの劣化に起因する抵抗値の変化を高い分解能で検出することにより、抵抗加熱ヒータの交換時期を正確に予測できる電力供給システムを提供する。
【解決手段】 電力供給システム１００は、抵抗加熱ヒータ１０６、供給電力調節器１１０、温度調整用調節計１３０、抵抗検出装置１４０、及び熱電対１３１、１４１を備えている。供給電力調節器１１０は、入力側フィルタ回路１１１、ＩＧＢＴ変換器１１２、カレントトランス１１３、電圧測定ライン１２３、電源変動検出手段フィードフォワード回路１１４、周波数変換回路１１５、出力側フィルタ回路１１６、カレントトランス１１７、電圧測定ライン１１８、及び負荷変動検出手段フィードバック回路１１９を備えている。抵抗検出装置１４０は、演算器（ＣＰＵ）１４４、ヒータ製作時基準テーブル１４５、及びヒータ温度係数テーブル１４６を備えている。 （もっと読む）

【課題】ホットプレスに供する鋼板を所望の温度まで高精度に通電加熱することができる鋼板の加熱制御方法を提供する。
【解決手段】接触式の温度センサにより鋼板の温度を測定しながら通電加熱を行って所望の昇温パターンを得るのに必要な電気エネルギの出力パターンを事前に決定しておく。この出力パターンとこの時の実績電圧、実績電流とを出力パターン記憶装置に保存する。この保存した出力パターンとなるように電気エネルギの出力を制御して鋼板の通電加熱を行うとともに、電圧値、電流値を測定して、これらが前記出力パターン記憶装置に保存した実績電圧、実績電流と異なる場合は加熱エラーと判定して鋼板をライン外へリジェクトする。 （もっと読む）

【課題】ウォームアップ時間の短縮や、省エネルギーの要請に応えることができ、また、加熱用回転体の温度制御をきめ細かく行い得る定着装置を提供する。
【解決手段】筒状体１１ｊと、筒状体の外周面及び内周面のうち少なくとも一方に設けられた通電発熱可能の金属パターン１２ｊ１〜１２ｊ３と、筒状体の外周面及び内周面のうち少なくとも一方に設けられた温度検出用抵抗パターンとを含む筒状発熱体１Ｊ。未定着トナー像を担持した記録媒体を加熱用回転体と該加熱用回転体に向け押圧される加圧用回転体とで形成されるニップに通過させて該トナー像を加熱加圧下に該記録媒体に定着させる定着装置であって、加熱用回転体が筒状発熱体を含んでいる定着装置。 （もっと読む）

【課題】整流直流電源Ａ_２により直接抵抗加熱する場合において、簡単な構成でもって供給電力Ｐに基づく原料温度Ｔの計測を行う。
【解決手段】 両電極２、２の間に実効電圧値計測器１２と平均電圧値計測器１３とを介設する。この両電極間の平均電圧値Ｖ_Ｌａ、直流電源装置内の平均電流値Ｉｏａ及び両電極間の実効電圧値Ｖ_Ｌｒを演算器１４に送り込む。この演算器において、平均電圧値Ｖ_Ｌａを平均電流値Ｉｏａで割って（Ｖ_Ｌａ／Ｉｏａ）、原料ａ層の抵抗値Ｒ_Ｌを計算し、その抵抗値と実効電圧値Ｖ_Ｌｒでもって電力Ｐ（＝（Ｖ_Ｌｒ）^２／Ｒ_Ｌ）及び電力量Ｗｔを算出し、その電力量Ｗｔに基づき上昇温度Ｔａを、熱量Ｑ／（ｍ×Ｃ）＝Ｗｔ×８６０×４．１８６×１０^−３）／（ｍ×Ｃ）から計算して原料温度Ｔを計測する。この計測温度Ｔに基づき、整流器８によるサイリスタ位相制御によって、その出力電流Ｉ_２を無段階にリニア制御し、供給電力Ｐを可変して所要の原料ａの温度とする。 （もっと読む）

【課題】定着部のヒータへ流れる電流を検出する電流検出回路の電流検出の精度を向上すること。
【解決手段】定着部の温度に応じて設定される供給電力比の少なくとも一つの電力比の波形が、一半波全てをオフする半波の直後に、半波の少なくとも一部をオンする負の半波と、半波の少なくとも一部をオンする正の半波、がこの順に並ぶ第１グループと、一半波全てをオフする半波の直後に、半波の少なくとも一部をオンする正の半波、がこの順に並ぶ第２グループと、を有する波形である。 （もっと読む）

【課題】交流電源の状態に関わらず、ヒータに対してスルーアップ制御（スルーダウン制御）を実行する。
【解決手段】ヒータ２４に印加する交流電源電圧の導通角を漸増するスルーアップ制御と該導通角を漸減するスルーダウン制御とを実行するヒータ制御装置１０において、交流電源電圧が略ゼロのときに第１信号値になり、それ以外は第２信号値となるゼロクロス信号を生成するゼロクロス信号生成手段８２と、ゼロクロス信号生成手段８２が生成したゼロクロス信号の第１信号値と第２信号値との間のエッジを検出し、第１信号値の継続時間と第２信号値の継続時間とを計測する計測手段５６と、計測手段５６が計測した第１信号値継続時間と第２信号値継続時間とに基づいて、スルーアップ制御またはスルーダウン制御を実行するヒータ制御手段６２とを有する。 （もっと読む）

【課題】分割された黒鉛ルツボの構造に起因するルツボの低速回転領域で特に顕著に現れる周期的なヒーター温度の検出値の変動によって引き起こされるヒーター出力の変動を低減することによって、原料融液の温度制御が安定化し、よって単結晶の直径制御を安定化させられるヒーター出力制御方法を提供する。
【解決手段】少なくとも分割された黒鉛ルツボが装備された単結晶製造装置を用いて、チョクラルスキー法によって、前記黒鉛ルツボに支持された石英ルツボ中の原料を加熱するためのヒーターによって溶融された原料融液から単結晶を引き上げる際に、前記ヒーターの出力を制御するための制御方法であって、前記ヒーターの出力を、前記ヒーターの温度を放射温度計で測定した検出値に加えて、前記黒鉛ルツボの回転に伴って発生する前記放射温度計の周期的な温度変動を打ち消す補正信号を加算した制御信号によって制御することを特徴とするヒーター出力制御方法。 （もっと読む）