【課題】排出された高温ガスを所望の高温にまで短時間で昇温させることができ、しかも噴出する高温気体にコンタミネーションの混入が全くない極めてクリーンな高温気体を供給することができるのは勿論、昇温速度が速く且つ設定温度を安定して保つことができ、しかも大風量に対しても十分に耐えることができるクリーンヒータを開発することを技術課題とする。
【解決手段】
(a)発熱源(10a)がガラス製外囲器(16)にて覆われた発熱体(10)と、(b)前記発熱体(10)を内蔵し、被加熱流体供給口(11)と高温ガス排出口(12)を有するガラス製アウターバルブ(13)とで構成されていることを特徴とするものであり、これにより、被加熱流体(F1)にコンタミネーションが混入することがなく、そのままの純粋な状態で加熱されて高温ガス排出口(12)から排出されることになる。これらはクリーンルームのような清浄環境内での使用に好適である。 （もっと読む）

【課題】透明導電膜の樹脂基板の表面からの剥離や破断が生じにくく、表面の曇りや着雪を迅速に除去することが可能な発熱性樹脂基板を提供する。
【解決手段】透明又は半透明の樹脂基板１０と、樹脂基板１０の表面に形成された透明導電膜２３と、透明導電膜２３と接触する位置に配置された一対の電極２５と、電極２５を介して透明導電膜２３に電力を供給する電源３１と、を備えた発熱性樹脂基板１であって、樹脂基板１０と透明導電膜２３の間には、両者の熱伸縮差を吸収する緩衝層２１が設けられている。このため、透明導電膜２３を高い昇温レートで加熱しても、透明導電膜２３の樹脂基板１０表面からの剥離や破断が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】パネル状ヒータの用途を広げ、様々な環境で利用可能にする。
【解決手段】パネル状ヒータ１において、炭を含有して通電により発熱する炭シート１０を、繊維強化樹脂によって構成される保護ボード１２、１３によって挟みこむようにし、更にこの炭シート１０の端縁に沿って電極１４を配置するようにした。 （もっと読む）

【課題】電極パッドと接合部材との接合工程において高温でのロウ付け作業を行う場合でも、接合部分の表面に密着促進成分が析出することを抑制でき、接合部分と表面メッキ層との接合強度が低下しがたいセラミックヒータ製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックヒータ１００の製造方法においては、電極パッド１２１を形成する金属抵抗体インクがシリカを含んで構成されている。図４に示す外観図から判るように、比較例（金属抵抗体インクがシリカを含まない場合）では、接合工程において金属抵抗体インクに含まれるアルミナ（密着促進成分）が接合部分の表面に析出するのに対して、本実施形態では、アルミナが接合部分の表面に析出するのを抑制できる。これにより、接合部分に対するニッケルメッキ膜１２５の形成状態が不良になるのを防ぐことができ、また、接合部分とニッケルメッキ膜１２５との接合強度が低下するのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】グラファイト部品を含む物品を提供する。
【解決手段】本物品のグラファイト部品は、熱分解グラファイト（ｐＧ）で被覆されて、機械的強度が非被覆グラファイト部品よりも少なくとも２５％高くなるようになる。半導体処理組立体に用いるヒータのようなコネクタ用途では、ｐＧ被覆構成要素は、少なくとも電気絶縁材料の保護層でオーバコートされ、その場合、ｐＧ被覆グラファイト部品の一部は、組立体との電気接続部を形成するために露出される（保護層で被覆されていない）。 （もっと読む）

【課題】本発明では、炭素繊維発熱体と形状保持機能を有する発熱体とを組み合わせて発熱体を構成するため、炭素繊維自体の優れた特性を活かしつつ、炭素繊維のみからなる発熱体では、到底、奏することができない形状保持性と耐震強度を付与した状態で発熱させることができるヒータの提供を目的とする。
【解決手段】ガラス管１３の内部に収容した発熱体１２を、柔軟性を有する長尺状の炭素繊維発熱体１７と、該炭素繊維発熱体１７のガラス管１３内における変形を規制する長尺状の規制体１８とで構成し、上記規制体１８を、ガラス管１３に収容した形状のまま保持可能な形状保持性材料で形成し、ガラス管１３の軸方向の両端部側に、上記発熱体１２がガラス管１３の軸方向に配されるよう上記規制体１８の軸方向の両端部をそれぞれ固定支持する支持部１６を具備したヒータ１１。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸のある面状導電体と平面電極とが良好に接合され、電流を安定的に流すことができる面状発熱体を提供する。
【解決手段】表面に凹凸のある面状導電体と平面電極との間に介在した高粘度の導電性物質を加熱し、この導電性物質を硬化させて、前記の面状導電体と平面電極とを接合することを特徴とする面状発熱体の製造方法、および表面に凹凸のある面状導電体と、平面電極と、前記の表面に凹凸のある面状導電体と前記の平面電極との間に介在した導電性物質とからなることを特徴とする面状発熱体。 （もっと読む）

【課題】 加熱板一枚当りの実質的な重量軽減、使用電気容量の低減、分割・軽量による加熱板交換・組立の容易化、加熱板厚み低減による多段段数の確保を可能とした、熱板、複合熱板及びこれらを備えた加熱炉を、提供することを目的とする。
【解決手段】 中空部４を有する支持体５と、この支持体５の上面に積層される発熱体６と、この発熱体６の上に積層される伝熱体７とを備えた熱板１、さらに、中空部４が、上下２枚の支持層と、この支持層を保持する長手方向に走る梁３とに囲まれた熱板。 （もっと読む）

【課題】面状ヒータ、例えばシートに搭載した場合において、使用者が座っても突っ張り感により座り心地を損なわず、抵抗値が変化すること無く一定の暖かさが得られるものを目的とする。
【解決手段】あみ目７に対して斜めの方向に引っ張りなどの機械的ストレスＢが加えられた場合、糸６同士の交差位置はずれること無く、あみ目７だけが機械的ストレスＢの方向へと変形し、伸びる。よって、加えられた引っ張り力が無くなると、元のあみ目７の形状に戻る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、裏面加熱用のヒータを電極と確実に最適な位置で接続することが可能な半導体製造装置を提供する。
【解決手段】本発明の半導体製造装置は、ウェーハを裏面から加熱するためのヒータエレメント１１と、ヒータエレメント１１と一体化され、ヒータエレメント１１に電圧を印加するための第１の接続部１２ａ及び第２の接続部１２ｂと、第１の面で第1の接続部１２ａと接触、固定され、第１の接続部１２ａに電圧を印加するための第１の電極１４ａと、第1の面と面方向が９０度異なる第２の面で第２の接続部１２ｂと接触、固定され、第２の接続部１２ｂに電圧を印加するための第２の電極１４ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】炭素質膜セグメントに容易に電極形成でき、かつリード線の機械的接続強度の高いセラミック発熱体を提供する。
【解決手段】所定形状の陶板１１の一方面１１ａに形成した炭素質膜セグメント１に通電することにより発熱させるようにしたセラミック発熱体１０であって、炭素質膜セグメント１０の適所には、溝３ａと、その溝３ａの長手方向に沿って形成した一対の挿通孔３ｂ、３ｂとを有したリード線固着部３とを形成しており、絶縁被膜の一部を剥離して導体部を露出させたリード線４を、挿通孔３ｂの一方から他方に挿通させ、その導体露出部４ａを溝３ａに導電固着させた構造にしている。 （もっと読む）

少なくとも１つの電気的機能要素を有するガラス板が提供される。前記機能要素は、少なくとも１つの導電体（２）、及び、前記導電体（２）の端部に配置される少なくとも１つの端子領域（３）を備え、前記導電体（２）及び前記端子領域（３）は、前記ガラス板の表面（４）上に堆積する導電層から形成される。端子導線（５）は、平坦な接続領域（７）を有する金属ブロック（６）によってはんだ接続される、はんだ接続によって少なくとも１つの端子領域（３）に接続され、前記平坦な接続領域（７）は、対応する端子領域（３）にはんだ付けされる。また、この種の接続の製造方法も記載されている。
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【課題】耐候性、耐熱性、耐寒性が高く、任意の場所に適切かつ非常に強固に設置可能で、しかも利便性が高く、さらには耐久性の高いシート状ヒーターを提供する。
【解決手段】本発明に係るシート状ヒーターたる融雪マット１は、面状発熱体１３を上側外皮層１１及び下側外皮層１２のＥＰＤＭ層により両面から挟持して一体的に形成したヒーター部１０と、帯状のヒーター部１０の両端に配置され、各々融雪マット１を固定するための連結穴２３及び連結穴３３を有し、補強布２１及び補強布３１としてケブラー布が一体的に貼着されている端末部２０及び固定部３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 端子の取り付けが簡単で、しかも取り付けた端子はカーボン体に確実に固定されるようにすることを目的とする。
【解決手段】 カーボンコイル体２の一端を金属円筒３０の爪片３１に係止した後、カーボンコイル体２を回転しながら金属円筒３０へ挿入し、爪片３１がカーボンコイル体２の少なくとも１巻きを係止する。しかる後、爪片３１を金属円筒３０内側へ折り曲げるとともにカーボンコイル体２の内径にカーボンフェルト体３２を圧着挿入して端子３を構成する。 （もっと読む）

【課題】定着用のフィルムとの摺動性を向上させて良好な定着性を有するヒータを実現する。
【解決手段】耐熱・絶縁性材料で形成した長尺平板状の絶縁基板１１上の長手方向に平行して発熱抵抗体１２，１３を形成する。直列接続された状態の熱抵抗体１２，１３に電極１４，１５から電力を供給する。発熱抵抗体１２，１３上に絶縁ガラス製のオーバーコート層１９１，１９２を形成する。電極１４，１５およびオーバーコート層１９１，１９２以外にオーバーコート層１９１，１９２の表面粗さと異なる粗さのオーバーコート層２０を形成する。これによりヒータを構成する。ヒータの摺動面に加圧ローラによりフィルムを摺動させたとき、ガラス表面の粗さを変えているため、適度なフィルム摺動性が得られスリップやトルクアップ等を防止できる。 （もっと読む）

【課題】第１の主面ＳＦ_１と埋設電極２間のアルミナ基体１に発生するクラックの発生率を下げる。
【解決手段】アルミナ焼成体は、対向する第１の主面及び第２の主面を有するアルミナ基体１と、第１の主面ＳＦ_１から０．４ｍｍ以下の深さＨ_Ｄにおいてアルミナ基体１内に埋設された金属からなる膜状の埋設電極２と、埋設電極２よりも第２の主面ＳＦ_２側においてアルミナ基体１内に埋設された埋設端子３とを備える。埋設端子３は埋設電極２に接触し、埋設電極２の膜厚Ｈ_Ｅは２５μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】被焼成体を搬送するための搬送路を上下方向に複数有する多段構造の焼成炉において、前記搬送路間に設置した場合に、その上方及び下方の搬送路内を搬送される被焼成体を同時に加熱できるとともに、搬送路を仕切る薄型の隔壁としても機能し、組み立てが容易で、リード線の破断が生じにくいパネル状のヒータを提供する。
【解決手段】パネル状のヒータであって、当該ヒータの両方の面が各々その表面近傍に発熱線が埋設された発熱面４となっており、かつ、前記両方の面が各々独立して温度制御できるように構成された両面ヒータ１。 （もっと読む）

【課題】ヒータ寿命が長く、且つ、到達温度が高い結晶成長装置を実現する。
【解決手段】結晶基板支持部１０は、蓋部１２と、アルミナスリーブ１４と、石英管１６と、を備えている。蓋部１２の上には結晶基板１００が載置され、上方から原料ガスが導入される。アルミナスリーブ１４は、円筒状をなしており、その円筒の一方端には蓋部１２が配置される。さらにこの一方端の内部には第１の平面ヒータ１８ａと、第２の平面ヒータ１８ｂとが重畳して取り付けられている。第１の平面ヒータ１８ａと第２の平面ヒータ１８ｂとは電気的に直列に接続されており、同じ電力の場合、電流値を小さく電圧値を大きくすることができる。電流値が小さくなるので、電源コード等を細くすることができ、さらに水銀接点等の発熱を抑制できる。さらに、平面ヒータ１８を２枚で構成したので、発生する熱量をより多くすることができ、高温をより容易に実現可能である。 （もっと読む）

【課題】ガラスクロスにフッ素ゴムを含浸させたフッ素ゴムシート及びこのシートを用いたフッ素ゴム面状ヒーターにおいては、フッ素ゴムとガラスクロスの密着性が弱いため界面剥離の原因となっていた。また、そのため絶縁抵抗・絶縁耐圧の低下が起きていた。
【解決手段】本発明のフッ素ゴムシートは、ガラスクロスと、このガラスクロスに接着力強化剤を介して含浸せしめたフッ素ゴム層とより成ることを特徴とする。本発明のフッ素ゴム面状ヒーターは、ガラスクロスに接着力強化剤を塗布した後フッ素ゴムを含浸せしめてシートを得、このシートに対し加熱、加圧を複数回加え、得られたシートをヒーターエレメントに接着力強化剤を介して熱圧着せしめて製造する。 （もっと読む）

【課題】コストの増大を招くことなく、密度ムラに起因する不具合を抑制することの可能なセラミックヒータの製造方法を提供する。
【解決手段】素子成形体３１を成形する工程と、絶縁性セラミック材料粉末を用いて半割絶縁成形体４０を成形する工程と、外枠５２を具備する金型装置を用い、セットされた半割絶縁成形体４０上の所定位置に、素子成形体３１を設置し、さらに絶縁性セラミック粉末を充填し上からプレスすることで、素子成形体３１を絶縁成形体で保持した保持体を得る工程と、保持体を加圧焼成して焼成体を得る工程とを経ることでセラミックヒータが製造される。素子成形体３１は、１対の棒状のリード部及び略Ｕ字状の連結部を備え、当該連結部のうち先端側の所定区間は小断面積部３６となっている。保持体形成工程では、絶縁性セラミック材料粉末を小断面積部３６においてより厚く充填する。 （もっと読む）