本発明は、基板をコーティングするための方法、その方法を実行するためのコーティング装置、およびコーティング装置のための取扱いモジュールに関する。取扱いモジュールは、コーティングすべき基板のための可動サポート（１３）であって、少なくとも２つの位置の間を移動させることができる可動サポート（１３）を備えている。さらに、マスクを基板に取り付けるため、およびマスクを基板から取り外すための少なくともいずれかのためのマスク配置デバイス（４１５）、およびマスクを基板に対して整列させるためのマスク整列デバイスが提供され、マスク整列デバイスは、サポートと共に移動できるように可動サポート（１３）に取り付けられる。別法としては、取扱いモジュールは、真空チャンバと、コーティングすべき基板のための可動サポート（１３）であって、真空チャンバ内に配置され、かつ、少なくとも２つの位置の間で回転できる可動サポート（１３）とを備えており、マスクを基板に取り付けるため、およびマスクを基板から取り外すための少なくともいずれかのためのマスク配置デバイス（４１５）が、取扱いモジュールの真空チャンバ内に配置されている。
（もっと読む）

発光ダイオード又は光起電力電池のアレイなどのオプトエレクトロニクスデバイスを、一実施形態ではロールツーロール法を使用して形成する装置及び方法。このロールツーロール法では、盛り上がった螺旋状コーティング表面を有する固有の構成を備えたローラを、基板上にある角度で配置された複数の第１の電極と整列させて、オプトエレクトロニクス材料の斜めの離隔した複数のコーテッドストリップを、基板の横断ウェブ方向に沿ってコーティングする。 （もっと読む）

【課題】単独膜が生成されることが無く、濃度ムラも無く共蒸着を行うことができるインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】搬送方向Ｔに垂直な基板４の幅方向に長く、搬送方向Ｔの上流側及び下流側に互いに平行に配置された開口部２ａ、３ａを備え、異なる成膜材料Ａ、Ｂを収容する２つの蒸着源２、３と、搬送方向Ｔの上流側及び下流側に互いに平行に配置され、共蒸着室１と隣接する他の蒸着室とを仕切る２つの防着板５_A、５_Bと、防着板５_A、５_Bにより制限された開口部２ａ、３ａからの蒸気の基板４における蒸着範囲と一致するように、開口部２ａ、３ａからの蒸気の蒸着範囲を制限する衝立６とを有し、基板４において、単独膜の成膜を防止して、混合膜のみを成膜するようにした。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子製造工程における中間製品の酸素・水分からの保護、生産工程の不活性ガス・乾燥ガス供給能力の削減による製造ラインの安定化と低コスト化、量産時の有機エレクトロルミネッセンス素子の性能（駆動寿命）の向上と品質安定化が得られる有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法、これに用いる保護フィルムを提供することにある。
【解決手段】可撓性の支持体上に、ガスバリア層、電極層及び塗布により形成される有機材料層を少なくとも１層有する、ロールツーロールによる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記有機材料層を形成した後、乾燥剤含有層を有する保護フィルムを前記有機材料層に重ね合わせて巻き取ることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ表示装置の蒸着工程における蒸着マスクの洗浄蒸着装置とインラインで行い、蒸着マスクの使用回数を増大させる。
【解決手段】蒸着を終わったマスク２１０はクリーニング準備室２０１に移動し、その後、大気圧であるクリーニング室２０２に移動する。クリーニング室２０２において、マスクにレーザを照射し、これによって生じた衝撃波によってマスク２１０に付着した堆積物を剥離する。剥離した堆積物はクリーナ２０８によって除去される。その後、マスク２１０はフラッシング室２０３に移動し、クリーニング室２０２で除去しきれなかった剥離物をマスク２１０から除去する。その後マスク２１０はマスク排出室２０４に移動し、次の蒸着を行う。 （もっと読む）

【課題】ＲＧＢの色を確実に識別でき、さらに製造ライン上で複数の画素領域を検査できるエレクトロルミネッセンス素子の欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 エレクトロルミネッセンス素子の欠陥検査装置は、インプリントで形成された基板の隔壁と隔壁との間の画素領域に発光性液滴を塗布する液滴塗布部（２０Ｒｅ）と、発光性液滴による発光層に５００ｎｍ以下の波長の光を照射する照射部（ＵＶ）と、画素領域より細分化された検出範囲を観察でき、可視光を通過させる光学フィルターを介して発光層からの蛍光光を観察する観察手段（ＣＣＤ）と、観察ステップの結果に基づいて発光層の欠陥箇所を特定する欠陥箇所特定部（９６）と、を備える。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、モジュールおよび当該モジュールの製造方法に関する。当該モジュールでは、平面状の電子部品が可撓性基板の上に形成され、互いに導電接続されており、複数の電子部品は直列接続されていなければならない。本発明は、モジュールを提供することを目的とする。このようなモジュールは、高いコスト効率で製造し得ると共に、各電子部品で発生する、または、電子部品同士の間の導電接続で発生する欠陥が、容易に補償され得る。本発明に係るモジュールは、平面状の電子部品が複数形成されており、各電子部品は、可撓性を有する変形可能な基板の上に形成されたベース電極と、その上に形成された光学活性層と、その上を被覆するように形成されたカバー電極とを有する。カバー電極は、電子部品の片側において光学活性層を越えて突出しており、ベース電極は、電子部品の反対側において光学活性層を超えて突出している。電子部品は、基板上で互いから離間されているので、電子部品間には自由基板表面が設けられており、自由基板表面の領域において基板が折り曲げられると、互いに隣接する電子部品のベース電極およびカバー電極が互いに平面状に接触して、導電接続が得られる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも有機コーティング材料（ＯＬＥＤ材料）がその上に堆積されたパターニングデバイスの洗浄方法である。
【解決手段】この方法は、パターニングデバイスからコーティング材料をプラズマエッチング処理により除去するための洗浄プラズマを供給する工程を含む。コーティング材料をパターニングデバイスから除去する工程中、パターニングデバイスの温度はパターニングデバイスに損傷を生じさせる臨界温度を超えず、プラズマエッチング速度は少なくとも０．２μｍ／分、特には０．５μｍ／分、特には１μｍ／分、特には２．５μｍ／分、特には５μｍ／分で維持される。パルス洗浄プラズマを発生させるために、パルスエネルギーを供給する。本方法は直接プラズマエッチング法又は遠隔プラズマエッチング法によって実行することが可能である。異なるエッチング法を組み合わせても、連続的に実行してもよい。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルフィルムを連続的に搬送しながら行う複数の処理を短いＴＡＴをもって行うことが可能な処理装置を提供すること。
【解決手段】連続的に搬送されるフレキシブルフィルム１に複数の処理を順次行う処理装置であって、フレキシブルフィルム１を連続的に搬送する搬送機構１３と、フレキシブルフィルム１に第１の処理を施す第１の処理ユニット１１と、フレキシブルフィルム１に第２の処理を施す第２の処理ユニット１２と、第１の処理ユニット１１と第２の処理ユニット１２の間に生ずるフレキシブルフィルム１の搬送速度差に応じてフレキシブルフィルム１のバッファリングを行うバッファ機構１４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基材上に電極、有機層を積層したロール状の部材同士を貼合してエレクトロルミネッセンス素子を製造する方法において、有機層形成後、塵の混入を防ぐため、部材にラミネートを行い、貼合の際にラミネートを剥離させ貼合する、品質故障のない貼合面を得ることができるエレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】少なくとも第１の基材上に、第１の電極、第２基板と貼合後に第２の電極上に形成された層と貼合されＥＬ素子を構成する層及びラミネートフィルムが積層された第１基板と、少なくとも第２の基材上に、第２の電極、第１基板と貼合後にＥＬ素子を構成する層が積層された第２基板とを貼合してＥＬ素子を形成する製造方法において、少なくとも第１基板を枚葉に形成後、前記ラミネートフィルムを剥離し、第１基板と第２基板をそれぞれ電極を対向させ貼合することを特徴とするＥＬ素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電場を加えることで発生するルミネッセンスが得られる発光体及びそれを用いた発光装置の作製方法に関する。特に、本発明は、発光体に有機化合物を用いた発光装置の作製方法に関する。
【解決手段】本発明は、ある一定圧力下において、第１の温度と第１の温度よりも高い第２の温度の間で蒸発する有機化合物、第１の温度以下で蒸発する第１の材料、及び第２の温度以上で蒸発する第２の材料が装填された第１の蒸発源を、第２の温度よりも低い温度で加熱して、有機化合物と第１の材料を蒸発させて第２の蒸発源に吸着させ、成膜室において、第２の蒸発源を第１の温度よりも低い温度で加熱して、第１の材料を蒸発させ、成膜室において、第２の蒸発源を加熱して、有機化合物を蒸発させて有機化合物の層を陽極と陰極の間に形成するものである。 （もっと読む）

【課題】基板上に層系、好ましくは少なくとも１層の有機発光半導体材料（ＯＬＥＤ）を含む層系を形成するための処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置１は、基板をその内部で処理するための１つ以上の処理ステーションＡ、２から成る集合体と、基板上に堆積された層系上に封止要素を施すための第１封止ツール６ａを備える第１封止モジュール５ａを備える。更に、処理装置１は第２の封止ツール６ｂを備えた少なくとも第２の封止モジュール５ｂを備え、２つの封止モジュール５ａ、５ｂを設けることで、処理装置１を連続的に稼動させている間に、そのうちの１つ、例えば第２モジュール５ｂを洗浄し、その間に第１封止モジュール５ａによりコーティング済み基板上に封止を形成する。ＯＬＥＤコーティングとＯＬＥＤコーティング上への封止要素の堆積をコーティング装置により連続的に行う。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに起因する不良製品が発生した場合、発生原因となった搬送アームを容易に特定することを可能にする。
【解決手段】搬送室１１〜１３には、複数の処理室が連結されている。処理室としては有機ＥＬ層を成膜するＢＥＬ蒸着室２５、ＲＥＬ蒸着室２６、ＧＥＬ蒸着室２７等がある。各搬送室１１〜１３には、基板を保持する保持部３２ａ〜３２ｃを備えた搬送アーム３１が設けられ、保持部３２ａ〜３２ｃはそれぞれ異なる形状に形成されている。製品に搬送アーム３１が原因の不良品が発生した場合、不良品の不良箇所の形状を各搬送アーム３１の保持部３２ａ〜３２ｃの形状と比較することにより、不良原因の搬送アーム３１を容易に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】複数の機能領域を有する有機化合物膜を作製する成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜室内に複数の蒸発源を備え、それぞれの有機化合物からなる機能領域を連続的に形成し、さらに機能領域間の界面には混合領域を形成することができる。さらに、成膜室の内壁の表面は電解研磨されている。成膜部内を連続的に移動できる基板搬送手段を有し、基板搬送手段は、成膜部の上方に設けられ、成膜部と同一空間を有しており、成膜室内にある基板を平面方向に搬送する手段を有している。成膜部は、基板搬送手段による基板の搬送空間を含んで設けられ、基板搬送手段に基板が保持された状態で蒸着が行われる。 （もっと読む）

【課題】被処理基板に対して複数の蒸着エリアで順次、蒸着を行うインライン式蒸着装置、および成膜方法において、特定の蒸着エリアで成膜される薄膜の膜厚のみを容易かつ確実に調整することのできる構成を提供すること。
【解決手段】インライン式蒸着装置１００において成膜を行なった際、各蒸着エリア５１〜５３で被処理基板２０に形成される薄膜の膜厚バランスがずれている場合、被処理基板２０の搬送速度、および坩堝４５での蒸着材料の加熱温度は変更せずに、蒸気流供給量制御用シャッタ１１、１２、１３のスリット状開口部１４の幅寸法を調整する。 （もっと読む）

【課題】蒸着マスクを用いて有機ＥＬ発光層を塗り分ける操作をすることなく、複数に分割した発光セグメントを直列接続させた有機ＥＬ発光装置を効率よく製造すること。
【解決手段】隣接する発光セグメントａ，ｂ，ｃの境界部における第１電極２ｂ，２ｃ上に、導体部５がそれぞれ形成され、各第１電極２ａ〜２ｃ上に有機ＥＬ発光層３ａ〜３ｃと第２電極４ａ〜４ｃとがそれぞれ積層される。前記導体部５は、隣接する発光セグメントにおける前記第１電極と前記第２電極とを電気的に接続する機能を果たし、この結果、各発光セグメントが直列に接続された構成にされる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら、低温・低ダメージ成膜が可能であり、且つ複数枚の基板を連続的に成膜処理する際にも生産性の高いスパッタ方法及びスパッタ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係るスパッタ方法及びスパッタ装置は、第１成膜領域Ｆ１の第１成膜部Ｐ１において低温・低ダメージ成膜を行い基板Ｂに所定の厚さの初期層を成膜した後、前記基板Ｂを第２成膜領域Ｆ２の第２成膜部Ｐ２に移動させ、その後、成膜速度の速い成膜を行って第２層を成膜して薄膜形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも真空雰囲気下で行う工程を減らし、大型基板にも対応可能な表示装置の製造装置および表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】下部電極と上部電極との間に少なくとも発光層を有する有機層を挟持してなる有機電界発光素子が基板上に配列形成された表示装置の製造装置１０であって、大気圧雰囲気下および不活性ガス雰囲気下で、下部電極の表面が露出された状態の被処理基板Ｓに、少なくともプラズマ洗浄を含む前処理を行う前処理部２０と、真空雰囲気下で、前処理後の下部電極上に有機層と上部電極とを成膜する成膜部３０とを備えており、成膜部３０は、被処理基板Ｓを水平状態に対して略垂直に保持する保持手段を備えていることを特徴とする表示装置の製造装置およびこれを用いた表示装置の製造方法である。 （もっと読む）

有機ＥＬ素子のための色変換層をパターニングする方法を、該パターニング方法を用いて多色発光有機ＥＬディスプレイを製造する方法とともに提供する。該パターニング方法は、有機層を有する支持体上に色変換層を形成する工程、および熱サイクルナノインプリント法を実施することにより色変換層をパターニングする工程を含む。
（もっと読む）

【課題】ガラス基板の間のシーリング材の溶融時の物質の流動及びバブルの発生を防止できるガラス基板の密封システムを提供する。
【解決手段】前記ガラス基板の間に配置された複数のディスプレイパッケージに沿って配置されたシーリング材を加熱溶融して気密密封部を形成するためのレーザー加工組立体と、前記レーザー加工組立体の下方に配置された作業テーブルに前記ガラス基板を供給するための移送組立体と、前記作業テーブルに前記移送組立体を通じて連続的にガラス基板が供給されるように前記ガラス基板を保有するバッファー組立体とを含み、前記作業テーブルは、前記移送組立体が前記ガラス基板を配置する際に前記ガラス基板を１次整列する仮位置整列手段と、前記ガラス基板と２次整列するための精密整列手段と、前記レーザー加工組立体から照射されるビーム照射方向に対向する方向に空気を噴射する複数の噴射口とを含む。 （もっと読む）