【課題】プラズマからの輻射によるチャンバの加熱を防止する極端紫外光光源装置を提供すること。
【解決手段】チャンバ１１と、チャンバ１１内に極端紫外光放射種を供給する原料供給ユニット１２５と、上記極端紫外光放射種を加熱して励起し、高密度高温プラズマ１００を発生させる放電部１２と、上記高密度高温プラズマ１００から放射される極端紫外光を集光するＥＵＶ集光鏡１２８と、上記集光された光を取り出す上記チャンバ１１に形成されたＥＵＶ光取り出し部１２９と、上記チャンバ１１内を排気するガス排気ユニット１２７とを備えた極端紫外光光源装置において、上記チャンバ１１の内側に熱吸収部材１０１−１〜１０１−５を設ける。熱吸収部材１０１−１〜１０１−５はチャンバ１１から離間して取り付けられ、冷却媒体が流れる配管が設けられる。 （もっと読む）

【課題】熱伝達の速度及び効率を高め、さらに高出力従ってさらに高発熱を伴う応用を可能にすると共に、大型で空間を占有する従来の遠隔の冷却系への依存を解消するＸ線管用一体型冷却系を提供する。
【解決手段】電子ビーム源３０４及び電子ビーム・ターゲット３０６を包囲するフレーム構造は、内部に冷却系を一体化させている。冷却系は、少なくとも一つの空気／フィン層３１２と、少なくとも一つの空気／フィン層３１２と熱的に接触している過冷却された作動流体とを含んでおり、過冷却された作動流体は、電子ビーム源３０４及び電子ビーム・ターゲット３０６の１又は複数によってフレーム構造に導入される熱に応答して、少なくとも一つの空気／フィン層３１２への熱の伝達を促す相転移を起こすように構成されている。 （もっと読む）

【課題】高速イオンや中性粒子を含むデブリを磁場の作用により排出する極端紫外光源装置において、プラズマから放出される中性粒子を効率良くイオン化する。
【解決手段】少なくとも極端紫外光を放射するプラズマをパルス動作により生成するターゲット供給装置１１、ターゲットノズル１２及びレーザ装置１５と、該プラズマから放射される極端紫外光を集光するＥＵＶ集光ミラー１７と、磁場が形成されている空間にパルス動作によりマイクロ波を照射して電子サイクロトロン共鳴を生じさせることにより、該プラズマから放出される中性粒子をイオン化するマイクロ波発生装置２０、マイクロ波導波管２１及びマイクロ波アンテナ２２と、上記磁場を発生させると共に、少なくともイオン化された粒子をトラップする磁場を形成する電磁石コイル１９ａ及び１９ｂとを含む。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線によって物品を検査するＸ線検査装置において、Ｘ線源から発生するＸ線の外部漏洩を防止しながら、装置内部を効率的に冷却することができる手段を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を発生するＸ線源（２）と、Ｘ線源（２）を取り囲んで密封する装置壁（４１）と、を備え、装置壁（４１）の内側に、内部熱伝導体（４３）が設けられており、装置壁（４１）の外側に、内部熱伝導体（４３）から装置壁（４１）を介して伝導される熱を放熱する外部熱伝導体（４４）が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一な強度のＸ線を出力することができる回転陽極Ｘ線管装置を提供すること。
【解決手段】回転陽極Ｘ線管装置は、Ｘ線が出力されるＸ線出力窓１３２を備えたＸ線管１０と、前記Ｘ線管１０を収容する、当該Ｘ線管１０を冷却する冷却液で満たされたハウジング２０と、前記ハウジング２０内に満たされた冷却液を循環させる循環ポンプ３０と、前記循環ポンプ３０により循環される冷却液をガイドして、前記Ｘ線出力窓１３２に対応する位置に、当該Ｘ線出力窓１３２に沿うような冷却液の流れを形成するサブ吐出配管３３とを具備していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広範囲な医療用途に対して適用することが可能な、高出力（高輝度）で平行性に優れたＸ線を発生させることが可能なＸ線発生方法及びＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】ターゲットの表面に所定のエネルギー線源からエネルギー線を照射し、被写体に対する照射面積とほぼ同一の大きさとなるように前記ターゲットからＸ線を発生させる。次いで、前記Ｘ線を分光器に入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅が選択されるとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成する。 （もっと読む）

【課題】排気装置やデブリトラップが大掛かりにならず、容易に放電部側とＥＵＶ集光鏡側に所望の圧力差を設定することが可能なＥＵＶ光源装置を提供すること。
【解決手段】チャンバ１は、放電空間とＥＵＶ集光鏡３ａが設けられた集光空間に仕切られ、その間に開口１５ａを有するアパーチャ部材１５が設けられ、アパーチャ部材１５は冷却される。第１、第２の放電電極２ａ，２ｂが回転し、ＳｎまたはＬｉにレーザ光が照射され、第１、第２の放電電極２ａ，２ｂ間にパルス電力が印加されると、放電が発生し両電極２ａ，２ｂ間には高密度高温プラズマが形成され波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光が放射される。ＥＵＶ光は、ＥＵＶ光集光部３に入射し、ＥＵＶ光集光部３で集光され露光装置の照射光学系へ導かれる。放電空間と集光空間を排気する第１、第２の排気装置５−１，５−２が設けられ、放電空間は数Ｐａ、集光空間は数１００Ｐａに維持される。 （もっと読む）

【課題】マイクロフォーカスＸ線管の許容負荷を増加させる。
【解決手段】
Ｘ線管の陰極の電子銃は熱電子を発生するカソード48と、その電子放射面49から放射された熱電子を細いビーム状の電子線18に集束する3個のグリッド電極（G1電極、G2電極、G3電極）52、54、56と、電子線18を静電偏向する2個の偏向電極（H1電極、H2電極）59、60とから成る。H1電極59とH2電極60の間に二等辺三角波の交流電圧が印加されることにより、電子線18は矢印64で示す方向に偏向され、それに伴いターゲット20上に形成される焦点32も同じ方向に移動する。その結果、ターゲット20上の焦点32の実質的な面積が増加するため、Ｘ線管の許容負荷を増加させることができる。 （もっと読む）

【課題】陽極ターゲットの冷却率の優れた回転陽極型Ｘ線管及びこの回転陽極型Ｘ線管を備えたＸ線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極型Ｘ線管１は、固定体と、固定体を囲み、固定体を軸に回動可能に設けられた回転体２０と、回転体の外面を囲むように設けられ、回転体と一体化された陽極ターゲット３０と、陽極ターゲットに対向配置された陰極４０と、固定体、回転体、陽極ターゲット及び陰極を収容し、固定体を固定する真空外囲器５０と、を備えている。 （もっと読む）

軟Ｘ線発生器は、カソードとアノードとの間の放電を開始するために高い信頼性と再現性でプラズマを提供する円錐形状の独特なパルストリガ組立体を有する。また、本発明の軟Ｘ線発生器は、外周縁を有する略円盤状の回転アノードを有する。このアノードは、アノードの異なる分部をプラズマ放電に晒すためにカソードに対して回転でき、これによりアノードの磨耗を低減すると共により長期の運転を可能にする。また、アノードの腐食は、使用中におけるアノードの液体冷却によって低減できる。発生器は、カソード・アノード放電のために比較的低いキャパシタンスを使用し、連続的で再現可能な結果を得るために比較的高い電圧とパルス繰り返し速度（周波数）を使用する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管が発生する熱を効率よくハウジング外へ放出できるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管４や受動素子等が収容され、かつ絶縁油５が充満されたハウジング２と、ハウジング２の開口部を密閉する蓋体３と、蓋体３の外側面に設置された放熱手段１７とを備えたＸ線発生装置のハウジング内に、Ｘ線管４を収容するＸ線管室２ｆと、受動素子等を収容する受動素子室２ｇとに区画する遮蔽手段６を設けると共に、Ｘ線管室２ｆ内の絶縁油５と接する蓋体３の外側面に放熱手段１７を設置したもので、Ｘ線管４より発生された熱は、絶縁油５から蓋体３に設置された放熱手段１７に直接伝熱された後、放熱手段１７によりハウジング２の外部へ放出されるため、Ｘ線管４より発生された熱を高効率でハウジング２外へ放出することができる。 （もっと読む）

【課題】管容器内の圧力を外部に開放したことを検知し、管容器内の冷却媒体が不足していることを把握できるＸ線管装置を提供する。
【解決手段】管容器内の異常圧力上昇時に動作する圧力弁20が管容器内の圧力を外部に開放したことを開放検知手段21で検知する。開放検知手段21では、圧力弁20に導電性を有するキャップ26を装着し、装着したキャップ26が一対の電極29，30に電気的に接続する。Ｘ線管装置が正常状態のときは、キャップ26を介して一対の電極29，30間に電流が流れる。管容器内の異常圧力上昇時に圧力弁20が動作したとき、圧力弁20で開放する圧力でキャップ26が圧力弁20から脱落し、一対の電極29，30間に流れる電流を遮断する。一対の電極29，30間に流れる電流を遮断したとき、圧力弁20が動作して管容器内の圧力を外部に放出したことを検知する。 （もっと読む）

【課題】環境温度変化による冷却液の膨張及び収縮を吸収できる冷却器、この冷却器を備えたＸ線管装置及び冷却器の操作方法を提供する。
【解決手段】冷却器２０は、循環部２２と、ベローズ６０とを備えている。循環部２２は、第１端部２７及び第２端部２８を有し、取込んだ冷却液を冷却して送り出す。ベローズ６０は、循環部２２に取付けられ、冷却液が出入りする開口部６４を含んだ容器６１並びにこの容器内を開口部と繋がった第１領域及び第２領域に区域する空盆６３を有している。ベローズ６０は、第１領域への冷却液の出入りを制約する第１状態と、第１領域への冷却液の出入りを許可する第２状態とに切替え可能である。 （もっと読む）

【課題】冷却液の循環効率に優れた冷却器及びこの冷却器を備えたＸ線管装置を提供する。
【解決手段】冷却器２０は、第１導管４０と、第２導管５０と、冷却液を吸い込むとともに吐き出すポンプと、ポンプから吐き出された冷却液を冷却して送り出す冷却機構２４と、バイパス７０と、バイパスバルブ８０とを備えている。バイパス７０は、第１導管４０及び第２導管５０にそれぞれ連結されている。バイパスバルブ８０は、バイパス７０に取付けられているとともにこのバイパスの開閉を切換え可能である。 （もっと読む）

【課題】冷却液の流路内への空気の混入を抑制できるＸ線管装置、Ｘ線管装置の連結器の連結方法及びＸ線管装置の連結器の離脱方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線管装置は、第１筐体と、第２筐体と、連結器と、ホースと、を備えている。連結器は、第１連結軸を含んだ第１器具と、第２連結軸を含んだ第２器具とを有し、これら第１器具及び第２器具が着脱可能に形成されている。ホースは、一平面上においてのみ曲がるように形成され、かつ、第２器具の他端に接続され、連結器とともに第１筐体及び第２筐体間に気密状態の流路を形成する。第１器具は、固定状態と、可動状態とに切替え可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】機械的強度を高め改善された出力を有する回転管球Ｘ線管を提供する。
【解決手段】Ｘ線に対しほぼ透過性のＸ線射出窓７を有するハウジング１を備え、ハウジング１が内側カバー２とこの内側カバーに固く結合された外側カバー４とを有し、内側カバー２と外側カバー４との間に冷却液を導通するための間隙３が形成されている回転管球Ｘ線管において、Ｘ線射出窓７がその内部に冷却液のための貫流可能な構造を有し、この構造を間隙３と結合し、機械的強度を改善する。 （もっと読む）

【課題】長時間安定的に大出力のＸ線を発生することが可能なＸ線発生方法及びＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】回転対陰極をその回転軸方向に回転させるとともに、前記回転軸の長さ方向に沿って反復的に移動させる。次いで、前記回転対陰極の表面における、前記回転に伴って生じる遠心力に抗して存在する部分にエネルギー線を照射し、前記回転対陰極の前記エネルギー線が照射された部分を前記回転対陰極の融点近傍又は融点以上にまで加熱して、少なくとも部分的に溶解させた状態で前記回転対陰極よりＸ線を発生させる。 （もっと読む）

【課題】
長時間連続して使用することができる小型のＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】
Ｘ線管球１と絶縁油２とを収納する封入容器４からなるＸ線発生装置において、Ｘ線管球１のアノード電極１０と封入容器４との間に、窒化アルミニウム製の伝熱器３を密着して設ける。 （もっと読む）

【課題】反跳電子捕獲量や焦点寸法などを任意に可変設定できるＸ線管装置１を提供する。
【解決手段】電源制御装置41により、陰極12と反跳電子捕獲構造体31との間の電位差と陽極ターゲット14と反跳電子捕獲構造体31との間の電位差との割合を可変する。電位差の割合の可変により、陽極ターゲット14で反跳した反跳電子を反跳電子捕獲構造体31で捕獲する反跳電子捕獲量や、陰極12から陽極ターゲット14に向かう熱電子ｅの焦点寸法を可変できる。
（もっと読む）

【課題】高い回転数においても信頼できる冷却を保証する冷却装置を備えた回転管球形放射器を提供する。
【解決手段】管球状の放射器容器１を有し軸線Ａの周りに回転可能に支承された管を含み、放射器容器の底部８に陽極が設けられている回転管球形放射器において、放射器容器１に冷却材の貫流する冷却装置を設け、その少なくとも底部８の範囲に、接線方向の流れ成分が冷却材中に生ずるのを妨げる流れ案内構造を設ける。 （もっと読む）