【課題】ＥＵＶリソグラフィシステムにＳＯＣＯＭＯシステムを組み込む場合に、より安価で、単純で堅牢なシステムを提供する。
【解決手段】ＬＰＰターゲットシステム４０は、Ｓｎペレット（液滴）源２０を備える。Ｓｎペレット（液滴）源２０は、上述のＳｎペレット（液滴）２２を吐出する。Ｓｎペレット（液滴）２２は、比較的低質量のペレットであって、レーザ光線１３が照射されると、略等方性のＥＵＶ３０を生成する。このため、ＬＰＰ２４と中間焦点ＩＦとの間に光学軸Ａ１に沿って多層シェル型ＧＩＣミラーＭＧを配置することができる。レンズ１７は、レーザ光線１３を焦点Ｆ１３に収束させる。 （もっと読む）

【課題】回転陽極型Ｘ線装置やこれを用いたＸ線ＣＴ装置において、ターゲットベアリング部からの振動や騒音を抑制する技術を提供する。
【解決手段】本発明の回転陽極型Ｘ線装置は、熱電子を放出する陰極および熱電子を受けてＸ線を発生させる回転型の陽極を内部に有するインサート部と、インサート部を内部に収めるハウジング部と、磁気支持部とを備え、インサート部の外壁の少なくとも一部は、磁力を受ける材料を有する磁気作用部として構成される。磁気支持部は、ハウジング部内に設けられ、磁気作用部に対し磁力をおよぼすことで、ハウジング部の内壁とインサート部の外壁とが互いに離れるようにインサート部をハウジング部内で浮上状態で支持する。即ち、ハウジング部とインサート部とが乖離されるため、ターゲットベアリング部からの振動がハウジング部や外部に伝播することはなく、騒音も抑制される。 （もっと読む）

【課題】試料を高分解能で検査することが可能なＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】固定ベース４０と、電子を放出する電子銃１１と、電子銃１１から放出された電子が衝突する陽極ターゲット１２と、陽極ターゲット１２を支持するヘッド部１５Ｂ及びボディ部１５Ａを有するとともに電子銃１１を収容する真空外囲器１５と、を有するＸ線管１０と、Ｘ線管１０から放出されたＸ線を検出するセンサ２０と、Ｘ線管１０とセンサ２０との間に位置するとともに試料を保持する試料ステージ３０と、ボディ部１５Ａを固定ベース４０に固定する第１固定部材５０Ａと、ヘッド部１５Ｂを固定ベース４０に固定する第２固定部材５０Ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 小型で取り扱いが簡単なＸ線放射装置とこれを組み込んだ非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】 携帯型非破壊検査装置１は、Ｘ線発生装置を収納する本体部２と電源部３からなり、これら本体部２と電源部３は分離可能とされ、本体部２と電源部３の分離結合はメカニカルキーによって行う。前記電源部３はトランス４と電池収納部５を一体化しており、トランス４からは端子６が突出し、電池収納部５には把持部７が取り付けられ、この把持部７にスイッチ８を設けている。 （もっと読む）

【課題】 重量の増加及び大型化を抑制でき、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置及びＸ線管装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置１０は、Ｘ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、高電圧絶縁部材４０と、高電圧供給端子４４と、電気絶縁性部材６０と、を備えている。高電圧絶縁部材４０は、熱伝達面４３と、端面４１と、を含み、真空外囲器３１の一部を構成し陽極ターゲット３５ａが取り付けられている。電気絶縁性部材６０は、端面４１より大きい面積を有した平坦な端面６１と、端面４１に接着された他端面６２と、貫通孔６３と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】改善された出力安定性を有するＸ線源アセンブリおよび動作方法を提供する。
【解決手段】アセンブリ２７００は、電子２１２０が上に当たるソーススポットを有するアノード２１２５、および出力構造に対するアノードソーススポットの位置を制御する制御システム２７１５，２７２０を含む。制御システムは、Ｘ線ソースアセンブリの１つまたは複数の動作条件にもかかわらず、出力構造２７１０に対するアノードソーススポットの位置を維持することができる。開示する一態様は、石油をベースとする燃料の硫黄の分析に最も適している。 （もっと読む）

【課題】蓄熱材を内包する蓄熱材容器とX線管を内包する管容器との伝熱効率を上げると共に蓄熱材を固化する手間を省く。
【解決手段】X線管2を内包する管容器3と潜熱蓄熱材16を内包する蓄熱材容器15との間の管容器外表面の全部又は一部に絶縁油10に蓄積された熱の伝導を促進させる伝熱促進材14を設ける。また、潜熱蓄熱材16として、融点がX線管実働時の管容器外周面温度に近い酢酸ナトリウム三水和物を主成分とする蓄熱材を用いる。これにより、管容器3と蓄熱材容器15との接触面に微小な空隙が生じていても、絶縁油10に蓄積された熱が管容器3の外表面から伝熱促進材14を介して潜熱蓄熱材16に伝導されるので、X線管装置1を効率良く冷却することができる。さらに、撮影と撮影との間に管容器3の温度が前記融点温度以下になって潜熱蓄熱材は固化するので、固化する作業が不要となる。 （もっと読む）

【課題】 水系冷却液による内部腐食を低減することができ、長期にわたって信頼性が高く、冷却性能に優れた熱移動システム、熱移動システムの立上げ方法及び熱移動システムの保守方法を提供する。
【解決手段】 熱移動システムは、水系冷却液Ｌを収容し、密閉された冷却流路３と、水系冷却液を収容し、気密性を保持可能である循環流路３０と、循環ポンプ１００と、水系冷却液と接触分離されることにより区域され不活性ガスが満たされた少なくとも１つのガス充満領域８２と、導入口８３と、排出口８４とを有した容器と、第１開閉部と、第２開閉部とを備えている第１開閉部は、ガス充満領域８２に不活性ガスを導入可能な開状態と、容器の気密性を保持可能な閉状態とに切替え可能である。第２開閉部は、ガス充満領域８２から外部にガスを排出可能な開状態と、容器の気密性を保持可能な閉状態とに切替え可能である。 （もっと読む）

【課題】回転ユニオン継手からの流体漏れを防ぐ。
【解決手段】Ｘ線ターゲット（５８）用の回転ユニオン継手（５０）は、筐体（８６）と、冷却材振り回し装置であって、内径及び外径、基部側端部（６１）及び末梢側端部（１０２）、並びに内部に中孔を有する回転シャフト（６０）と、回転シャフト（６０）の基部側端部（６１）に結合されている振り回し器（６６）とを含んでいる冷却材振り回し装置と、振り回し器（６６）に結合されている排出環（６４）であって、振り回し器（６６）は冷却材を排出環（６４）に向けるように構成されており、排出環（６４）は冷却材を一次冷却材出口（７８）に通すように構成されている、排出環（６４）と、第一の端部（６３）及び第二の端部（６５）を有する静止管（６２）であって、当該静止管（６２）の少なくとも一部が回転シャフト（６０）の中孔の内部に配設されている静止管（６２）とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 ハウジングの破損を防止することができる回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】 回転陽極型Ｘ線管装置は、陰極３６と、陽極ターゲット３５ａと、ガラスで形成された真空外囲器３１と、回転体２と、固定体１と、を有したＸ線管３０と、回転体を回転させるステータコイル９１０と、ハウジング２０と、防護体７０と、冷却液７とを備えている。防護体７０は、真空外囲器３１及びハウジング２０の少なくとも一方に固定され、真空外囲器３１及びハウジング２０間に位置し、真空外囲器３１及びハウジング２０に隙間を置いて設けられ、Ｘ線を透過させるＸ線透過窓７１を有している。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを低減できる回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】 回転陽極型Ｘ線管装置は、陰極３６と、陽極ターゲット３５ａと、真空外囲器３１と、回転体２と、固定体１と、を有したＸ線管３０と、回転体を回転させるステータコイル９１０と、ハウジング２０と、Ｘ線遮蔽体８０と、冷却液７とを備えている。Ｘ線遮蔽体８０は、真空外囲器３１及びハウジング２０の少なくとも一方に固定され、真空外囲器３１及びハウジング２０間に位置し、真空外囲器３１及びハウジング２０に隙間を置いて設けられ、Ｘ線を透過させるＸ線透過窓８１を有している。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの破損を防止することができる回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極型Ｘ線管装置は、陰極３６と、陽極ターゲット３５ａと、ガラスで形成された真空外囲器３１と、回転体２と、固定体１と、を有したＸ線管３０と、回転体を回転させるステータコイル９１０と、固体の樹脂材を主成分とする材料で形成されたハウジング２０と、防護体７０と、冷却液７とを備えている。防護体７０は、真空外囲器３１及びハウジング２０の少なくとも一方に固定され、真空外囲器３１及びハウジング２０間に位置し、真空外囲器３１及びハウジング２０に隙間を置いて設けられ、Ｘ線を透過させるＸ線透過窓７１を有している。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管装置は、アノード１１、フィラメント１７及びグリッド１８を有したカソード１０並びに真空外囲器１９を含んだＸ線管１と、筐体２０と、絶縁油９と、フィラメント端子３１及びグリッド端子３２を有したレセプタクル１６ａと、フィラメント回路３と、グリッド回路４とを備えている。絶縁油９を介したフィラメント回路３及びグリッド回路４間の放電開始電圧は、レセプタクル１６ａのフィラメント端子３１及びグリッド端子３２間の絶縁破壊電圧未満である。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを低減でき、製造歩留まりの高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置は、陽極３５、陽極に照射する電子を放出する陰極３６、並びに陽極及び陰極を収納した真空外囲器３１を有したＸ線管３０と、Ｘ線管を収納したハウジング２０と、Ｘ線管及びハウジング間を満たす冷却液７とを備えている。ハウジング７は、Ｘ線不透過材を含む固体の電気的絶縁材を主成分とする材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】 高密度化した検出器内部の冷却を効率良く行うことが可能なＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 ＤＡＳチップ２１は、基板１３の表裏にそれぞれ設けられる。基板１３の表側には、ＤＡＳチップ２１ａおよびＤＡＳチップ２１ｂが配置される。ＤＡＳチップ２１ａは、基板１３の正面から見た右上に配置されている。ＤＡＳチップ２１ｂは基板１３の正面から見た左下に配置されている。すなわち、ＤＡＳチップ２１ａと２１ｂとは、基板１３上において、左右方向および上下方向に互いにずれた位置に配置される。したがって、ＤＡＳチップ２１ａと２１ｂとが重なりあうことがなく互いに離れた位置に配置される。 （もっと読む）

本発明は、電界放出陰極と、陽極と、陰極および陽極間に高電圧を適用してＸ線ビームの放射を可能にするコネクタと、自身の内部に陽極および陰極が配置される真空チャンバであって、Ｘ線透過窓を有する真空チャンバとを具えるＸ線源に関しており、電界放出陰極が連続したセル構造を有する炭化固体化合物発泡体から成り、連続したセル構造は高電圧が適用されたときに陽極に電子放出する複数の放出部位を具えている。電界放出陰極は、スイチッング時間、電流、運動エネルギ、および出射方向の点で電界放出陰極で放出された電子をさらに高度に制御することが可能であるため、Ｘ線システムの性能を向上することが可能である。 （もっと読む）

【課題】振幅の減衰や波形の歪みを十分に抑制しながら、ピエゾ素子の振動を細孔板に伝達してターゲットのドロップレットを的確に生成するＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】ＥＵＶ光発生チャンバ２と、ターゲット物質供給部と、を具備するＥＵＶ光源装置であって、囲繞壁と、その囲繞壁の出口端に設けた微細孔を有する細孔板２３と、囲繞壁に繋がりピエゾ素子２５と対向する底面２２とを備えて、ターゲット物質を溶解した状態で収納し、ターゲット物質を微細孔から噴射してドロップレット２９にする細管２８において、ピエゾ素子２５が、底面２２に当接し底面を介して細管２８に振動を与えてドロップレット２９の形成を助勢する。 （もっと読む）

【課題】磁場発生器における温度の上昇を抑制することができるＸ線管装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱伝導率が互いに異なる複数の部品として、鉄からなる磁性部４Ａと銅からなる高熱伝導部４Ｂとを採用して、磁場発生器４を、磁性部４Ａおよび高熱伝導部４Ｂの積層構造に構成する。部品のうち高い方の熱伝導率である高熱伝導部４Ｂが放熱作用を有するように、冷却用のオイルなどに代表される冷媒あるいは磁場発生器４を固定する固定部を高熱伝導部４Ｂに接触させる。このように放熱作用を有することで、磁場発生器４で発生した熱は、部品のうち高い方の熱伝導率である高熱伝導部４に熱伝導して、放熱する。その結果、磁場発生器４における温度の上昇を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】イオン回収装置のイオン衝突面および／またはイオン衝突面に堆積した物質のスパッタリングによる再拡散を防止することができる極端紫外光光源装置を提供する。
【解決手段】ターゲットである溶融ＳｎのドロップレットＤにレーザ光を照射してプラズマを生成し該プラズマから極端紫外光を発生し、この極端紫外光の発生とともに生成されるイオンの流れ方向を磁場または電場によって制御する極端紫外光光源装置において、前記イオンを回収するイオン回収筒２０を設け、イオン回収筒２０のイオン衝突面Ｓａ，Ｓｂに、前記イオンによるスパッタ率が１原子／イオン未満となる金属であるＳｉを配置またはコートする。 （もっと読む）

自己クリーニングＸ線窓構成体は、中間の領域から周囲の圧力の領域を分離している第１のＸ線透過窓要素と、減圧の領域から中間の領域を分離している第２のＸ線透過窓要素とを有する。汚染物質は、減圧の領域に面している第２の要素の側面に沈着することが予測される。熱源は、汚染物質を蒸発するために第２の窓要素の一部分を加熱する。第２の要素は、汚染物質が存在する減圧の領域から第１の要素を防護する。圧力気密性の第１の窓要素は、周囲の圧力の領域と減圧の領域との間の大きな圧力差の大部分を支える。本発明の特徴は、汚染物質が中間の領域に侵入する比率を減少することに役立つ。減圧の領域に近い中間の領域の圧力を維持することによって、第２の窓要素の機械的応力は、有毒ガスへの照射と同様に制限され得る。
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