【課題】本発明は、Ｘ線の焦点の変位を低減したＸ線源を提供する。
【解決手段】本発明に係るＸ線源１の支持部材６０は、Ｘ線管保持部６の一端側においてＸ線出射窓２７ｈを露出させた状態でＸ線管保持部６に固定されてＸ線管保持部６の荷重を支持すると共に、Ｘ線管保持部６の他端側でＸ線管保持部６から離間させられている。このような構成により、Ｘ線管保持部６が熱膨張した場合に、このＸ線管保持部６は、支持部材６０の固定側を基準にして、Ｘ線管保持部６の一端側から他端側に伸び、この伸び分を、支持部材６０とＸ線管保持部６との間の隙間Ｓに逃がすことができる。従って、Ｘ線の焦点の変位量を可能な限り小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】熱の放出特性を向上させることができ、しかも、長期にわたって信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管装置は、陽極ターゲット３５ａ、陰極３６、並びに真空外囲器３１を有したＸ線管３０と、ハウジング２０と、冷却液７と、冷却液に直接若しくは間接的に接した筒部４６、並びに筒部の一端側を閉塞しハウジングの外側に露出した底部４７を有し、真空外囲器の一部を形成する高電圧絶縁部材４０と、底部に設けられ陽極ターゲットに高電圧を供給する高電圧供給端子４４と、筒部の内面に接合された接合部３５ｃを含み、真空外囲器の内部に位置し陽極ターゲットを支持する支持体３５ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ベローズを用いないＸ線発生装置、及び、このＸ線発生装置を備えたＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線発生装置１は、略直方体をなし、上部に開口部１０ａを有した金属製の容器１０と、Ｘ線管１２と、容器１０内の底に設けられ、Ｘ線管１２を支持している支持部材１１と、容器１０内に充填され、Ｘ線管１２を浸漬して冷却する絶縁油１３と、開口部１０ａにおける容器１０内部側の外縁に接合され、容器１０の内外を連通させている筒状部材１４と、開口部１０ａを密閉する蓋部材１５と、容器１０、絶縁油１３及び蓋部材１５に囲まれ、不活性ガスが充填されている空間１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】絶縁油の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を得る。
【解決手段】開口部１０ａを有しており、Ｘ線管１２を内包し支持する容器１０と、容器１０内に充填され、Ｘ線管１２を浸漬して、絶縁する第１の絶縁油１３と、第１の絶縁油１３の膨張、収縮を緩衝するために開口部１０ａを閉塞するように取り付けられたベローズ１５とを含むＸ線発生装置１であって、開口部１０ａ及びベローズ１５の外部とともに形成した密閉空間（第１の外部容器１７、管１８、及び第２の外部容器１９の内部空間）を内部に有し、前記密閉空間に気体及び第２の絶縁油２０が貯留されている貯留器１６を備えているものである。 （もっと読む）

【課題】絶縁油の膨張、収縮を緩衝する弾性部材が破断したことを検知できるとともに、運転の続行可否を判断できるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を得る。
【解決手段】開口部を有しており、Ｘ線管を内包し支持する容器と、該容器内に充填され、Ｘ線管を浸漬して、絶縁する第１の絶縁油と、前記開口部を閉塞するように取り付けられたベローズとを含むＸ線発生装置であって、前記開口部及び前記ベローズの外部と第１の外部容器、管１８、第２の外部容器１９とによって形成された空間を内部に有し、前記空間に気体及び第２の絶縁油２０が貯留されている貯留器を備えている。第２の外部容器１９は、第２の絶縁油２０液面を外部から目視できる透明部１９ａと、透明部１９ａの側部に設けられ、第２の絶縁油２０液面位置を読み取る目盛り１９ｂ_１、１９ｂ_２、１９ｃ_１、１９ｃ_２、１９ｄ_１、１９ｄ_２とを有している。 （もっと読む）

放射システムは、放射ビームを生成するように構成される。この放射システムは、放射およびデブリを放出するプラズマを生成するように構成された放射源（５０）と、集光された放射を放射ビーム放出開口（６０）に誘導する放射コレクタ（７０）とを含む。磁場ジェネレータ（２００）は、磁場強度の勾配を有する磁場を発生させてプラズマを放射コレクタ（７０）から離して誘導するように構成される。 （もっと読む）

【課題】真空排気装置を備えることなく、しかもパッケージの気密構造を従来と同程度として、小電力で、一定レベル以上の強度のＸ線を安定して発生させることができる小型軽量のＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】内部に高真空又は低圧ガス雰囲気を維持する容器１と、容器内に配置された少なくとも１つの異極像結晶４と、異極像結晶の温度を昇降させる温度昇降手段３、５〜７と、容器内に配置され、電子の放出を外部から制御可能とされた電界放出型電子源９と、容器内における、温度昇降手段によって熱励起された異極像結晶から生じる電界の到達範囲内に配置され、異極像結晶又は電界放出型電子源又はそれらの両方からの電子線の照射を受けるＸ線発生用金属ターゲット８とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ励起プラズマ方式の極端紫外光源装置において、プラズマから放出されるイオン等の荷電粒子を速やかにチャンバ外に排出する。
【解決手段】この極端紫外線光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置にターゲット物質を供給するターゲット供給手段と、ターゲット供給手段によって供給されるターゲット物質に対してレーザビームを照射することによりプラズマを生成するドライバレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射する集光ミラーと、１つのコイルを用いてプラズマの発生位置に非対称磁場を形成する磁場形成手段と、コイルによって発生される磁力線が向かうチャンバの２つの面の内の少なくとも一方に配置されている荷電粒子回収機構とを具備する。 （もっと読む）

【課題】放電発生時、高温プラズマの熱輻射による加熱によって高温プラズマ原料が気化することがないようにし、安定した強度のＥＵＶ光を得ること。
【解決手段】放電電極２ｂの外周に、高温プラズマ原料を保持する原料保持容器２０を設ける。この原料保持容器２０は、円盤状の放電電極２ａの周囲を一周する円環状で、支持部材２１により放電電極２ａ，２ｂ間の放電領域外であって、レーザビームが照射されたとき、気化した原料が両電極２ａ，２ｂ間に到達できる位置に支持される。原料保持容器２０に、原料供給ユニット８から液体状または固体状の高温プラズマ原料（スズまたはリチウム）８ａが供給される。原料は、原料保持容器２０が回転することによってレーザ照射位置まで運ばれ、レーザ照射によって気化され、放電電極２ａ，２ｂ間の放電領域に移動し、放電により加熱励起されて高温プラズマとなり、ＥＵＶ光を発生する。 （もっと読む）

【課題】高輝度の電子線が照射された場合においても、ターゲット上に形成された電子線照射部の温度上昇を抑制し、熱応力によるターゲットの荒れを抑制するとともに、ターゲットの飛散を抑制して、高輝度のＸ線を安定して発生させる。
【解決手段】所定の電子線を発生させるための電子線源と、前記電子線の照射を受けて電子線照射部を形成し、この電子線照射部から所定のＸ線を生成するターゲットとを具え、前記ターゲットは、前記電子線照射部を中心として一定の半径ｒの曲率を有する半球状又は半円柱状の凸部を含むようにしてＸ線発生装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】撮影が長時間に及ぶ場合であっても、所望のタイミングで放射線画像を取得でき、且つ、最適な画質が得られるようにする。
【解決手段】被写体３００に対してＸ線（放射線）を発生させるＸ線発生装置１０１と、被写体３００を透過したＸ線に基づくＸ線画像（放射線画像）の撮像を行う二次元Ｘ線センサ１０２とを含むＸ線画像撮影装置１００において、当該Ｘ線画像撮影装置１００の内部の温度に係る内部情報を内部情報検知部１０６、１０７で検知し、当該温度に係る内部情報に基づいて、二次元Ｘ線センサ１０２で撮像するＸ線画像のフレームレートを撮影時駆動条件決定部１１５で変更するようにする。 （もっと読む）

本発明は、真空チャンバ（５０）と、光波（５６ｉ）を入射させるための手段（５６ｈ）と、電界を受けたときに電界放出現象によって真空内で電子（５２ｉ）を放出することができる冷電子源（５２）と、高電圧を供給する電源（５５）と、電子衝撃の効果によりＸ線（５３ｉ）を放出できる材料（５３ｊ）を含む陽極（５３）と、Ｘ線が出る際に通過する少なくとも１つの窓（５４）と、前記光波を供給する少なくとも１つの光源（５６）と、を備える放射線源であって、冷電子源はまた、少なくとも１つの導電表面（５５）を有する少なくとも１つの基板（５７）を備え、少なくとも１つの導電表面（５５）と陽極（５３）との間に高電圧が印加されることによって生じる電界を受け、前記冷電子源は、電流が照明によって略線形に制御される少なくとも１つの光導電素子（５８）と、少なくとも１つの電子放出素子（５９）とをさらに備え、前記光導電素子（５８）は、少なくとも１つの放出素子（５９）と導電表面（５５）との間に直列に電気接続されて、光導電装置の中で光発生された電流が、それが関連付けられるエミッタまたはエミッタの集合によって放出される電流と等しくなり、放出されたＸ線の流れが、照明に略線形に依存することを特徴とする放射線源に関する。 （もっと読む）

【課題】固定陽極型Ｘ線管の陽極に取り付けられる冷却フィンが高い耐電圧性能を有する一体型Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】一体型Ｘ線発生装置は、主要部の固定陽極型Ｘ線管１１および高電圧発生器１２を絶縁油１３で充填された一つのハウジング１４内に収納した構造になっている。固定陽極型Ｘ線管１１から放射するＸ線２７は放射窓１５から取り出される。固定陽極型Ｘ線管１１は、例えばガラス製の真空外囲器１６内において、陰極側に陰極フィラメント１７と集束電極１８、陽極側に陽極ターゲット１９が配置されている。そして、外部に延出した陽極２０の端部に熱伝導特性および耐電圧特性が優れたセラミックス材料により形成された冷却フィン２１が取り付けられている。 （もっと読む）

本発明は、特にＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線放射を生成するためのガス放電光源であって、少なくとも、２つの電極体１１０、１２０であって、そのうちの第１の電極体１１０が回転可能に装着された電極ディスク１００を有する、２つの電極体を有するガス放電光源に関する。該光源は更に、該電極ディスクのための回転ドライブ１３０と、電極ディスク１００の径方向外側の表面に目標物質１４０の液体膜を塗布するための装置と、該目標物質を蒸発させるために、放電領域２４０において、電極ディスク１００の径方向外側の表面に、フォーカスされたレーザと、を有する。該光源は、該電極体の間に中間の空間２６０が形成され、該中間の空間は、放電領域２４０の外において、該放電領域における中間の空間よりも小さな、５ｍｍ未満の低減された幅を持つことを特徴とする。該光源は、生成される放射が、電極により遮断されることなく、大きな立体角に亘って、単純な態様で発せられることを可能とする。
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【課題】放射源を改善する。
【解決手段】放射源は、放射を生成するように構成される。放射源は、プラズマ燃料から放射放出プラズマを生成するための使用に際して、放電を生成するように構成された第１電極（１１；６１）および第２電極（１２；６２）を含む。放射源は、また、前記第１電極（１１；６１）および前記第２電極と関連付けられた燃料リリース領域へプラズマ燃料を供給するように構成された燃料供給源と、前記燃料供給源により供給された燃料の前記燃料リリース領域からのリリースを誘発させるように構成された燃料リリース装置と、を含む。前記燃料リリース領域は前記第１電極（１１；６１）および前記第２電極から離隔される。 （もっと読む）

【課題】放熱特性を向上させることで、長期にわたって高電圧コネクタの絶縁性を確保できるＸ線管装置を提供すること。
【解決手段】アノード電極３５及びカソード電極３６とを真空外囲器内に収納するＸ線管３０と、Ｘ線管３０を収納するとともに、内部に冷却液が充填されたハウジング２０と、ハウジング２０に設けられ、一端側にハウジング３０の外部に露出する外部端面４１，５１、他端側に真空外囲器３１の内部に位置する内部端面４２，５２、及び、冷却液に接する側面４３，５３を有する柱体状の高電圧絶縁部材４０，５０と、高電圧絶縁部材４０，５０内部に設けられ、アノード電極３５及びカソード電極３６に接続され、外部端面４１，５１へ導出する高電圧金属端子４４，５４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】より大きい線量の放射線を放射すること。
【解決手段】荷電粒子を加速する加速装置と、その荷電粒子が照射されることにより放射線を放射するターゲット５２とを備えている。このとき、ターゲット５２は、平坦でなく曲面であり、かつ、縁７３が平面７２上に配置される部分を含んでいる。このようなターゲット５２は、平坦であるターゲットに比較して、その荷電粒子が照射される部分の面積が大きく、その部分の単位面積当たりの発熱を低減することができる。このとき、装置は、ターゲット５２に照射する荷電粒子の線量を増加させることができ、放射する放射線の線量を増加させることができる。 （もっと読む）

【課題】実用上十分な強度のＸ線を発生し得る、異極像結晶を用いたＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】内部に高真空または低圧ガス雰囲気を維持する容器１と、容器内に配置された異極像結晶４と、異極像結晶の温度を昇降させる温度昇降手段３、５〜７と、容器内における温度昇降手段によって熱励起された異極像結晶から生じる電界の到達範囲内に配置され、異極像結晶からの電子線の照射を受けるＸ線発生用金属ターゲット８を備える。金属ターゲットは、異極像結晶から間隔をあけてこれに対向して配置されるとともに、異極像結晶に向かってのびる先の尖った突起を少なくとも１つ有し、突起の先端部において異極像結晶から生じる電界の強度が増大する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｘ線管ユニット、冷却ユニットを継手の部分で分離しても絶縁破壊等の支障が生じないようにする。また、組み立て時、保守時の作業性が良好なＸ線管ユニットを提供する。
【解決手段】被検体に対してＸ線を曝射するＸ線管をハウジング内のインサート部に収容し、前記Ｘ線管に対する高電圧供給部をインサート部外に配置した構造のＸ線管ユニットと、このＸ線管ユニットのハウジングに配管系を介して冷却媒体を供給して冷却する冷却ユニットと、前記配管系のＸ線管ユニット側、冷却ユニット側を接離する継手とを有する。また、Ｘ線管ユニットは、被検体に対してＸ線を曝射するＸ線管を収容したハウジングに、取手治具用の取り付け部を設けた。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線撮像において、最も適したエネルギーの特性Ｘ線を従来のＸ線に付加できるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】従来と同様のターゲット（１次ターゲット層）の内側にＸ線撮像に最も適したエネルギーの特性Ｘ線を発生する原子を含む２次ターゲット層を配置する。従来の装置では、１次ターゲット層で発生する１次Ｘ線のうち、被検体と逆方向に放射されるものは無駄になっていたが、そのＸ線が２次ターゲット層で光電効果を起こし、最もＸ線撮像に適したエネルギーの特性Ｘ線を発生する。この特性Ｘ線は、１次ターゲット層を透過して被検体方向に射出される。 （もっと読む）