本発明は、ガス放電光源のための電極素子１、２及び電極素子１、２の一方又は双方を持つガス放電光源に関する。電極素子１、２は、回転軸２２のまわりに回転方向に回転可能な電極ホイール７であって、２つの側面２５の間に外周面２４を持つ電極ホイール７を有する。電極ホイール７の外周面２４及び側面２５の一部をカバーする電極ホイールカバー８が備えられる。カバー８は、カバー８と、外周面２４及び側面２５の径方向外側部分との間に、円周方向に冷却チャネル１２を形成するように構成され、更に、カバー８と前記円周方向に冷却チャネル１２を延長した位置における外周面２４との間にギャップ２３を形成するように構成される。ギャップ２３は、冷却チャネル１２よりも小さな流れ断面を持ち、電極ホイール７の回転の間に、外周面２４に形成される液体物質の膜の厚さを制限する。ギャップ２３の代わりに、カバー８は、冷却チャネル１２を通って流れる該液体物質からの斯かる膜の形成を抑制するように構成されても良い。冷却チャネル１２は同時に、冷却チャネル１２を通って循環する該液体物質により、電極ホイール７の冷却を可能とする。カバー８の提案される設計により、電極ホイール７の効率的な冷却が実現され、斯かる電極素子を持つガス放電光源を動作させるための高い電力を可能とする。
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閉ループ流路を形成する封入構造体と、流路と流体連通することができるプラズマ部位でプラズマを発生させるシステム、例えば、レーザ生成プラズマシステムとを含むことができる装置及び対応する使用方法を本明細書で説明する。この装置に対して、ガスは、イオン阻止緩衝ガス及び／又はエッチャントを含むことができる封入構造体に配置することができる。ポンプを設けて、閉ループ流路を通してガスを押し進めることができる。流路を流れるガスから熱を除去する１つ又はそれよりも多くの熱交換器を設けることができる。一部の構成では、フィルタを使用して、流路を流れるガスからターゲット種の少なくとも一部分を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】放熱特性を向上させることができる冷却器及びこの冷却器を備えたＸ線管装置を提供する。
【解決手段】冷却器２は、冷却液７を循環させてＸ線管を冷却する。冷却器２は、冷却液７を循環させるポンプ２ｊと、冷却液の熱を外部へ放出させる熱交換器２ｆと、Ｘ線管の稼動中に冷却液の循環流量を制御する流量制御機構２ｍと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管に対する放熱性及び耐圧性をともに向上することが可能なＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管１０と、Ｘ線管１０を収容するとともに出力開口部３２が設けられた金属筐体３０と、金属筐体３０内でＸ線管３０を封止する封止部材３５とによってＸ線発生装置１Ａを構成する。また、出力窓１１及びターゲット１２を保持する金属材料の窓枠部１６を、筐体前面部３１に熱的に接続された状態で固定するとともに、封止部材３５を、絶縁材料の基体部１８から突出したリード端子２３、２４を封止するように、第１封止材料によって形成された第１封止部３６と、第１封止部３６を封止するように、第１封止材料よりも放熱性が低くかつ絶縁性が高い第２封止材料によって形成された第２封止部３７とによって構成する。 （もっと読む）

【課題】陽極が発生する熱の放出特性を向上させることができ、しかも、長期にわたって信頼性の高い回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極型Ｘ線管装置は、Ｘ線透過板１１ｂと一体化された真空外囲器１１と、真空外囲器内のＸ線透過板上に形成され、真空外囲器と一体的に回転可能な透過型の陽極ターゲット１５と、真空外囲器を収納し、回転可能に保持し、陽極ターゲットと対向したＸ線放射窓３ａを有したハウジング３と、陰極１３と、陰極保持体１３ａと、軸受機構５５と、真空シール機構５３と、回転駆動装置と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】外囲器を回転させるモータの容量を抑えることができ、簡易な構造で、かつ流体の流路を確保して流体を効率的に移送させることができるＸ線管装置を提供することを目的とする。
【解決手段】外囲器２外部である両側面部の回転軸７、８の同軸上にそれぞれ保持された２つの円板１７を備え、冷却用流体である絶縁油１６の粘性により円板１７が回転軸７、８に対して相対的に回転するように構成する。絶縁油１６の粘性により円板１７が回転するので、外囲器２とハウジング２０との間に介在する円板１７が介在することにより相対速度を分割させて、外囲器２を回転させるモータの容量を抑えることができる。また、回転軸７、８を除けば回転する部分は側面部の円板１７のみであるので、簡易な構造で、絶縁油１６の流路を確保して絶縁油１６を効率的に移送させることができる。 （もっと読む）

【課題】
より高い冷却効率を達成し、冷却剤への過度の熱的応力を防止したＸ線冷却システムを提供する。
【解決手段】 Ｘ線管冷却システムは、カソードシリンダー及びＸ線管ハウジングの間に接続され且つ電子源及びターゲットアノードの間に配置されたシールド構造を利用する。シールドはＸ線管の寿命を延長するべくＸ線管及びシールドの全体的な冷却を改善するため複数の冷却フィンを有し、該フィンは、冷却剤リザーバー内に浸漬されたとき、シールドから冷却剤への熱転移を改善することを容易にし、その冷却効果は、シールド内に形成された複数の通路により提供された対流冷却システムにより更に強化される。冷却ユニットは、リザーバーから流体を取り、流体を冷却し、冷却流体を冷却通路を通して循環させる。冷却剤は、通路から出力され、冷却フィンに亘って方向付けられる。通路は、シールドのある区分で、他の区分よりも大きい熱転移率を提供するように配位される。 （もっと読む）

【課題】 回転電極型のＤＰＰ光源において、電極の冷却を効率よく行う手段を提供する。
【解決手段】 ＥＵＶ光源は、電極部と、電極駆動部と、電極冷却部とを備える。電極部は、一対の電極間の放電によりターゲット材料をプラズマ化し、生成されたプラズマからＥＵＶ光を放射させる。電極駆動部は電極部を回転させる。電極冷却部は電極部を非接触で冷却する。 （もっと読む）

【課題】絶縁破壊が生じない高圧ケーブルとの安定した電気接続を可能にするＸ線管用高電圧コネクタを提供する。
【解決手段】ハウジング１１内では、高圧ケーブル１２端子が絶縁充填材１３で封入され、Ｘ線管の真空外囲器および陽極端部が、開口１４に設けた真空外囲器受入空間１５および高電圧端子１６の陽極用空間１７に装着できるようになっている。そして、ハウジング１１と高電圧端子１６を熱的に結合する高熱伝導絶縁部材１８が設けてある。この高電圧端子１６、高熱伝導絶縁部材１８は絶縁充填材１３でハウジング１１に封入されている。また、Ｘ線管をＸ線管用高電圧コネクタに締結するネジ穴１９がフランジ部１１ａに設けてある。上記構成において、Ｘ線管での発熱は高熱伝導絶縁部材１８を通してハウジング１１に容易に放熱される。 （もっと読む）

【課題】プラズマから放出される高速イオンが、真空チャンバ内の構造物に衝突しても、ＥＵＶ光に対する透過率の低い粒子の付着により、ＥＵＶコレクタミラーの反射率が低下し難い極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、真空チャンバと、真空チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、レーザビームをターゲットに照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーと、コレクタミラーを支持固定するコレクタミラーホルダと、プラズマから発生するイオンに対してコレクタミラーホルダ等の構造物を遮蔽し、ＥＵＶ光の透過率が高い材料で形成された遮蔽材とを有する。 （もっと読む）

電磁放射を発生させるための放射源（５０）は、アノード（１）、カソード（２）、及び放電空間（４）を含む。アノード（１）とカソード（２）は、プラズマ（１６）を形成して電磁放射を発生させるべく放電空間（４）内の物質（Ｐ）中に放電（１６）を生成するように構成される。放射源（５０）は、物質（Ｐ）の少なくとも１つの成分を放電空間（４）に近接する位置に供給するように構成された燃料供給源（１４）も含む。この燃料供給源（１４）は、アノード（１）及びカソード（２）から離れて配置される。放射源（５０）は、アノード（１）及び／又はカソード（２）上又は近辺に冷却及び／又は保護層を形成及び／又は維持するように構成された更なる供給源（１０）も含む。
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【課題】ガス放電に基づき極紫外放射線を発生するための装置及び方法において、層厚の調整を改善する、特には、電極が効果的な冷却のために例えば液体を通流される場合、放射線を発生するために与えられるパルス駆動の休止時に回転電極（１、１２）に塗布される金属層の非制御な増加を避ける。この時、数キロヘルツの繰り返し周波数の場合に、放電領域には常に新しくコーティングされる電極表面あるように、回転電極の回転速度を速めることが出来るべきである。
【解決手段】少なくとも１つの電極のコーティングされるべきエッジ領域は、電極上の電極エッジに沿って閉じた周で延び又融解金属のために濡れて形成される少なくとも１つの受容領域（３）を有する。上記受容領域へは、融解金属を再生的に塗布するためのコーティングノズル（４、１４）が指向し、上記コーティングノズルはバルブ調整装置（１０）と接続したシャットオフバルブ（１１）を有する。 （もっと読む）

【課題】コレクタミラーの冷却機構と回転機構とを両立させることにより、コレクタミラーの寿命を伸長させる。
【解決手段】極端紫外光を反射する反射面が形成されており、プラズマから放射された極端紫外光を反射して所定の方向に導くコレクタミラー１０と、該コレクタミラーの背面側に配置された冷却媒体用流路２３と、該冷却媒体用流路に冷却媒体を導入する配管２１と、冷却媒体用流路から冷却媒体を導出する配管２２とを含む冷却装置２０と、コレクタミラーを円周方向に回転させる回転装置３０と、コレクタミラーの反射面における損耗量に関連付けられた値に基づいて、回転装置によってコレクタミラーを回転させるタイミングと回転角度とを決定する制御装置１００とを有する。 （もっと読む）

【課題】回転陽極型Ｘ線管を、冷却媒体を使用して冷却することにより、出力されるＸ線の特性を、長期に亘って安定に維持可能とする。
【解決手段】この発明の回転陽極型Ｘ線管装置は、陽極ターゲット（１５）と一体化された真空外囲器（１１）と、真空外囲器を収納し、回転可能に保持するハウジング（５）と、真空外囲器の陽極ターゲットに近接して冷却媒体が循環する循環路（５ｂ，５ｃ，７ｃ）と、陽極ターゲットに対向して静止するように真空外囲器内に収納配置された陰極（１３）と、陰極を支持する陰極支持体（１３ａ）と、真空外囲器とハウジングに固定された固定体との間に設けられた軸受機構（５５）と、陰極支持体またはハウジングに固定された固定体と真空外囲器との間に設けられた真空シール機構（５３）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】低エネルギーの相対論的電子ビームを用い、大強度の単色Ｘ線を発生することができ、発生する単色Ｘ線の波長を変化させることができる単色Ｘ線発生装置及びその方法を提供すること。
【解決手段】単色Ｘ線発生装置は、電子ビーム（７）が入射されてＸ線を発生するラジエータ（Ｒ１）と、ラジエータ（Ｒ１）から発生するＸ線を回折させる結晶体（Ｃ１）とを備え、ラジエータ（Ｒ１）が結晶体（Ｃ１）とは異なり、所定波長のＸ線の発生効率が高い物質で形成されており、ラジエータ（Ｒ１）と結晶体（Ｃ１）とが相互に近接して配置されており、Ｘ線は結晶体（Ｃ１）によって２方向（Ｘr、Ｘt）に出力されて第１及び第２ポート（５、６）から取り出され、結晶体（Ｃ２、Ｃ３）によって反射されて単色Ｘ線（Ｘr’、Ｘt’）として出力される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線装置を大型化することなく、かつ、低コストで、気密状態を維持した冷却媒体の交換を可能とし、古い冷却媒体や気泡に起因する放電等の不具合を防止する冷却媒体交換システムを提供する。
【解決手段】 冷却媒体交換システム２は、熱交換装置３０及び交換治具４０等を備えている。交換治具４０は、Ｘ線管容器２２と排出管２６及び供給管２７との接続が解除された脱状態において、排出管２６及び供給管２７に接続可能である。また、交換治具４０は供給管２７に接続可能であり、交換用の絶縁油２５を収容する供給部４２を有している。さらに交換治具４０は、排出管２６に接続可能であり、かつ、使用済みの冷却媒体を収容する排出部４１を有している。この交換治具４０によって、排出管２６、供給管２７、及び熱交換装置３０の内部の絶縁油２５が交換される。 （もっと読む）

【課題】 設置後においても冷却媒体から脱気を行うことが可能であり、設置作業等を単純化することができるＸ線装置及び熱交換装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線装置１は、Ｘ線管２４及び該Ｘ線管２４を冷却するための流路２２ａを有するＸ線管容器２２と、前記流路２２ａに接続され、前記流路２２ａ内を流通する絶縁油２５の熱交換を行う熱交換装置３０とを備えている。Ｘ線管容器２２の内部と熱交換装置３０との間で循環する絶縁油２５の循環経路に、混入した気体を絶縁油から取り除く真空チャンバ３３及び真空ポンプ３４が、設けられている。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、電気的に動作する放電によって、ＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線を発生させるプラズマ放電ランプに関する。本発明のランプは、放電空間内にギャップを形成するように互いに間隔を隔てて配置された、少なくとも２つの電極を備え、前記電極の間のガス媒体中に、プラズマ（１４）のイグニションを生じさせる。金属適用装置は、前記電極の表面に金属を適用する。電極は、コンベアベルト（１５）から形成され、金属を前記ギャップに搬送するように駆動され、それぞれの電極のために整形要素（１３）が設けられ、ギャップにおける電極の適切な形状及び距離を確保する。エネルギービーム装置（４）は、ギャップにおける少なくとも１つの前記表面へエネルギービームを導くように適合し、少なくとも部分的に前記適用された金属を蒸発させ、それにより、前記ガス媒体を生成する。本発明のプラズマ放電ランプによれば、小型のランプの設計で、高い入力電力が達成される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管の特性に着目して、冷却用流体の温度変化によらずに、必要最小限の冷却を早期に行う。
【解決手段】Ｘ線管に入力する管電圧、管電流および撮影時間に基づいてＸ線照射に伴って発生する熱量を発生熱量算出手段１８で算出し、ファン９の回転数と運転時間とに基づいてＸ線管に対する冷却熱量を冷却熱量算出手段２１で算出し、発生熱量算出手段１８で算出される発生熱量と冷却熱量算出手段２１で算出される冷却熱量とに基づいて、Ｘ線管に蓄積される熱量を蓄積熱量算出手段２２で算出する。蓄積熱量算出手段２２で算出される蓄積熱量に基づき、算出蓄積熱量が設定値以上のときには、ファン９の回転数を最大にし、一方、算出蓄積熱量が設定値未満のときには、ファン９の回転数を段階的に減少させる。 （もっと読む）

【課題】主としてＸ線発生装置技術を改善し、特には、装置の冷却の改善、装置のアノードおよびカソード要素の間の望ましくないアーク放電の容易な検出、および装置に電力を供給する電気的接続部にＸ線管を接続することの改善を実現するＸ線発生装置を提供すること。
【解決手段】ハウジングと、内部にアノードを備えた第一端部、および内部にカソードを備えた第二端部を含み、Ｘ線発生装置の動作中にＸ線を出射するように適応させたＸ線管と、ハウジング内に配置したソケット部材を有し、前記ソケット部材は第一部品と第二部品を含み、前記第一部品、第二部品または両方は内部に開口部を規定し、Ｘ線発生装置の動作中にＸ線を放射する際、Ｘ線管はソケット部材内に配置され、これらのＸ線は規定された開口部を通過する。 （もっと読む）