【課題】高い回転数においても信頼できる冷却を保証する冷却装置を備えた回転管球形放射器を提供する。
【解決手段】管球状の放射器容器１を有し軸線Ａの周りに回転可能に支承された管を含み、放射器容器の底部８に陽極が設けられている回転管球形放射器において、放射器容器１に冷却材の貫流する冷却装置を設け、その少なくとも底部８の範囲に、接線方向の流れ成分が冷却材中に生ずるのを妨げる流れ案内構造を設ける。 （もっと読む）

【課題】 制御回路基板を効率よく冷却することができるＸ線源を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１は、Ｘ線管９を収容するＸ線管収容部１１と、Ｘ線管９に電圧を供給する高圧供給回路１３ｂが絶縁ブロック１３ｆ中にモールドされた構造の高圧電源部１３と、を有するＸ線発生部５と、Ｘ線発生部５を制御する制御回路基板１９と、それらを収容する筐体３と、を備えている。Ｘ線管収容部１１とで電源部１３を挟む位置には、空気を流動させる通風領域としての基板配置スペースＡが形成されている。そして、制御回路基板１９は、この基板配置スペースＡ内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、冷却を小型化し、その冷却が必要なＸ線管の部分の冷却効率を向上させることが可能なＸ線管装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明のＸ線管装置は、Ｘ線管を管容器に収容したＸ線管装置において、前記管容器をフランジ８により複数の室に分割し、その分割された室毎に異なる冷却法にて、それぞれ冷却する。 （もっと読む）

【課題】 漏洩Ｘ線の遮へい及びＸ線発生装置の冷却を行うことができる小型でかつ軽量なＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管球３及び絶縁油４を収納する封入容器２と、前記封入容器２の上面に設けられた伝熱器６と放熱器７から構成されるＸ線発生装置１において、伝熱器６と放熱器７との間にＸ線の遮へい材８を配置する。 （もっと読む）

【課題】放射線への電気エネルギーの変換効率を改善する。
【解決手段】アノードおよびカソードを備え、該アノードおよびカソードが、該アノードとカソードとの間の空間内の物質内で放電を行い、電磁放射線を生成するためにプラズマを形成するように構成され、配置されている放射線源の変換効率を改善するために、上記放射線源ユニットは、インダクタンスが低くなるように、また最小のプラズマで動作するように構成される。 熱の消散を改善するために、流体循環システムが、その気相および液相の両方で流体を使用することにより上記放射線源空間およびウィック内に形成される。 汚染物がリソグラフィ投影装置に入り込むのを防止するために、放射線源ユニットは、汚染物の生成を最低限度に抑えるように構成され、放出される放射線と干渉を起こさないで、汚染物を捕捉するためにトラップが使用される。 （もっと読む）

【課題】極紫外線を発生するための装置および方法を提供する。
【解決手段】極紫外線を発生するための装置および方法の目的は、様々なエミッタを使用するために電極の耐用年数を増加させた放射線源を作製することであり、放電チャンバ内の堆積物は金属エミッタを用いる時にかなり低減される。出発原料は、指向注入によって連続的に導入されてパルスエネルギービームにより予備イオン化される連続した一連の単一体積として供給される。少なくとも比較的大きい熱負荷がかかる電極が回転電極として作製される。 （もっと読む）

【課題】
容器の内部で発生する発熱を効率良く外部へ放出できる内部構造を有する一体形Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】
容器12内に、主な発熱部であるＸ線管14の陽極30と一部の絶縁油40を内包する遮蔽ケース22が配設されている。遮蔽ケース22は放熱用開口36と断熱壁面35を備え、その放熱用開口36が容器12の放熱機構（放熱フィン26と冷却ファンの組合せ）を設けた冷却壁面24に対向する。Ｘ線管14の陽極30で発生した熱は周囲の絶縁油40に伝達され、絶縁油40の対流により放熱用開口36に至り、冷却壁面24及び放熱機構を経由して外気中に放熱される。このとき、遮蔽ケース22内の絶縁油40の量が少ないため、絶縁油40及び冷却壁面24の温度が従来品に比べ高くなり、外気との温度差も大きくなり、放熱効率が向上する。
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【課題】デブリトラップのプレートにデブリが堆積することを防ぐ。
【解決手段】容器１と、容器１内に錫および／または錫化合物、またはリチウムおよび／またはリチウム化合物を含む原料を供給する原料供給手段１０と、容器１内に供給された原料を放電により加熱・励起して極端紫外光を放射するプラズマを発生させる加熱・励起手段７と、プラズマから放射された極端紫外光を集光するように容器１内に配置された集光光学手段１３と、集光された極端紫外光を取り出す光出射部１４と、加熱・励起手段７と集光光学手段１３との間に設けられるデブリトラップ１５とを備える極端紫外光光源装置において、デブリトラップ１５は、冷却媒体により冷却されるリング状の支持体と、上記支持体の内側に、この支持体に支持され、放射状に配置された複数のプレートとから構成され、上記支持体と上記プレートとの間に断熱手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】原料物質から作成され、集光され、かつ焦点に向けられるプラズマからのＥＵＶ光を供給するＥＵＶ光発生器を提供する。
【解決手段】多層集光ミラーのような表面を有する少なくとも１つの光学要素と、レーザビームを発生するレーザ源と、レーザビームによって照射されてプラズマを形成してＥＵＶ光を放出する原料物質とを含むことができるＥＵＶ光源。１つの態様では、原料物質は、本質的に錫化合物から成ることができ、かつ光学要素上に堆積する錫デブリをプラズマ形成によって発生する場合があり、更に、錫化合物は、光学要素表面から堆積錫をエッチングするのに有効な元素を含むことができる。錫化合物は、ＳｎＢｒ₄、ＳｎＢｒ２、及びＳｎＨ₄を含むことができる。別の態様では、ＥＵＶ光源は、レーザビームによって照射されてプラズマを形成し、ＥＵＶ光を放出する溶融原料物質を含むことができ、原料物質は、錫と少なくとも１つの他の金属、例えば、錫とガリウム及び／又はインジウムを含む。 （もっと読む）

【課題】 消費電力の低減、検査のスループットの向上、撮影室の空調機の消費電力、騒音の低減が可能なＸ線管装置及びそれを用いたＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 陽極９ｃと、該陽極と対向して配置される陰極９ｂとを真空外囲器内に収納して成るＸ線管９ａと、冷却用絶縁油９ｅに満たされた前記Ｘ線管を収納する管容器と、前記陽極と陰極間に高電圧を印加するケーブルのブッシングを挿入する陽極用及び陰極用ケーブルレセプタクル９ｉ，９ｊとを備えたＸ線管装置９の前記陽極の発生する熱が伝導する所定の部分に前記熱を電力に変換する熱電変換装置９ｌを設ける。この熱電変換装置で発電した電力を低圧回路端子板９ｑを介して電力電送線９ｎ，９ｏにより焦点移動補正装置１１及びＸ線管冷却装置１４に給電する。 （もっと読む）

本発明は、極紫外（ＥＵＶ）放射線及び／又は軟Ｘ線を発生させる放射線源を短絡から保護する方法に関する。当該方法は、電気的に作用される放電によって前記ＥＵＶ放射線及び／又は軟Ｘ線を発生させる放射線源にも適用される。電気的に作用される放電は、放電空間中の少なくとも２の電極（１，２）間に存在する蒸気中で生じる。前記蒸気は金属溶融物によって生成される。金属溶融物は、前記放電空間内の表面に塗布され、少なくとも一部はエネルギービーム（９）によって蒸発する。そのような放射線源は、前記電極（１，２）間、及び／又は該電極（１，２）と電気的に接続する部品（４，５）間に１以上の小さなギャップ（１７）を有する。これらのギャップ（１７）は、蒸発した金属がそこに凝集するときに、短絡を引き起こす恐れがある。当該方法では、放射線源の動作中、前記ギャップ（１７）と接する少なくとも１の表面、及び／又は、前記ギャップ（１７）を覆う、若しくは前記ギャップ（１７）内部に備えられている、１以上の保護素子（１６，１８）は、ある温度にまで加熱される。その温度にまで加熱されることで、前記金属の蒸気圧は、前記表面又は保護素子上に凝集する金属材料を蒸発させるのに十分な程度に高くなる。本方法によって、放射線源の寿命は延びる。

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【課題】本発明は、特に、流体を真空室に噴射するための、ノズル装置（１）に関する。
【解決手段】ノズル流路の内輪郭は、少なくとも部分的に凹面状に形成されている。
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【課題】 液化モノスタナン容器からプラズマ生成部へのＳｎＨ₄ ガスの供給流量を一定にし、ＥＵＶ出力を安定化すること。
【解決手段】 配管４に流量計１４を設けて、該流量計１４でプラズマ生成部３へのＳｎＨ₄ ガスの供給流量を計測する。流量計１４の出力信号を制御部１５に入力し、制御部１５によりバルブ１０の開度を調整し、液化モノスタナン容器１に巻かれたガスパイプ９に流すガス８の流量を調整する。液化モノスタナン容器１内で液化ＳｎＨ₄ ２が蒸発するときに気化熱を奪うが、上記構成とすることにより、液化ＳｎＨ₄ ２の温度が調整され、ＳｎＨ₄ ガスのプラズマ生成部３への供給量を一定に制御することができる。また、流量計１４を設ける代わりに、液化モノスタナン容器１のガス圧を検出するガス圧計を設けて、液化モノスタナン容器１内のガス圧を制御して、ＳｎＨ₄ ガスのプラズマ生成部３への供給量を一定にするようにしてもよい。 （もっと読む）

本発明は、アノードとして作用するターゲット（２）と、作動中にターゲット（２）と相互作用し且つ電子発生源として機能するカソード（３）とを含んでいるマイクロＸ線発生源（１）であり、ターゲット（２）は、電子発生源（３）からの電子が到達するスポットを有する金属箔によって実施化され、前記金属箔は、前記スポット（４）において局部的により薄くされていることを特徴とするマイクロＸ線発生源である。 （もっと読む）

この単色Ｘ線源は、ある元素を有する放出原子を含む材料からなるターゲットを特に含み、前記原子は、電子線照射によって必須的に前記原子のＫ層に位置する電子が励起される。前記材料は、通常固体状態であり、前記放出原子に束縛される、１つまたは複数の元素を表す構造化原子を用いて結合され、前記構造化原子は、前記放出原子によって放出される前記Ｘ線において２．３μｍ^−１以下の吸収係数を有する。前記構造化原子の原子番号は、前記放出原子の原子番号より小さい。
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【課題】 Ｓｎイオンから極端紫外光を得る極端紫外発光装置において、安全性に問題がなく、かつ、分解の問題がなくＳｎＨ₄ を用いることができるようにすること。
【解決手段】 極端紫外光発光装置１は、モノスタナン合成装置２を備える。モノスタナン合成装置２は、モノスタナン合成器４で、原料容器３の原料からＳｎＨ₄ を合成し、ＳｎＨ₄ ガスを液化スタナン容器５に供給する。このＳｎＨ₄ ガスは液化スタナン容器５で液化され貯蔵される。液化スタナン容器５に貯蔵されたＳｎＨ₄ は、プラズマ生成部６に供給され、レーザあるいは放電によりプラズマ化され、Ｓｎイオンから１３．５ｎｍの極端紫外光を得る。また、液化モノスタナン容器を複数設け、複数の液化スタナン容器において、供給と液化貯蔵を時間的に交互に繰り返すことにより、長時間連続でＳｎのイオンから極端紫外の発光が得られるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】ＣＴイメージング・システム等において、ガントリ負荷の増大、ピーク動作電力及び平均動作電力の増大、並びに全体的な軸受け性能の向上を可能にするために、回転式アノード軸受けの動作温度を低下させてアノード軸受けを潤滑する改善された方法を提供する。
【解決手段】回転式アノード軸受け外被が、真空室（１０８）を有するＸ線管フレーム（１０６）を含んでいる。アノード（１１０）が真空室（１０８）の内部に位置しており、軸受け（１１７）を介してシャフト（１１４）上で回転する。軸受け（１１７）は、Ｘ線管フレーム（１０６）の内面（１２６）に取り付けられている。軸受け（１１７）は熱エネルギをシャフト（１１４）からＸ線管フレーム（１０６）へ伝達する。 （もっと読む）

【課題】 高速でＳｎターゲットをプラズマ生成部に供給でき、かつ、デブリの発生を極力抑制することができ、さらには、１３．５ｎｍ近傍の発光スペクトルが鋭くできるＬＰＰ方式極端紫外光光源を提供すること。
【解決手段】 液体ＳｎＨ₄ 供給部２は、液体ＳｎＨ₄ を加圧する加圧・冷却室２ａと、液体ＳｎＨ₄ を液滴あるいは液体ジェットとしてチャンバ１内に供給するためのノズル部２ｂを有する。液体ＳｎＨ₄ は、加圧・冷却室２ａで加圧され、ノズル部２ｂから液体ジェットまたは液滴としてチャンバ１内に噴出される。噴出したＳｎＨ₄ の液体ジェットあるいは液滴はチャンバ１内の真空中を進み、レーザビーム照射部Ｂに到達する。ここで、レーザ装置５から出射され集光されたプラズマ生成用レーザビームが照射され、プラズマが生成される。これにより、１３．５ｎｍのＥＵＶ光が得られる。 （もっと読む）

【課題】冷却式放射線放出デバイスを提供する。
【解決手段】冷却式放射線放出デバイスはその内部でＸ線を発生させる筐体を有している。この筐体内には、陰極と、この陰極と対面すると共にシャフト（７）上で回転するように配置させた陽極と、固定の陽極シャフト支持体（１１）と、が存在している。この支持体は、陽極のシャフトをその内部に保持している保持用チェンバ（１２）を含んでいる。この管球の冷却では、陽極シャフトを通過するガリウム−インジウム−すず液体合金の流れを利用する。この合金は熱及び電気に対する伝導体である。これによって、ベアリングの潤滑及び陽極の電力供給と同時に陽極の冷却が提供される。 （もっと読む）

【課題】 高輝度化及び小型化できるＸ線発生器を提供する。
【解決手段】 電子を発生する電子発生手段（カーボンナノチューブ２０、引き出し電極２４）及び支持部材１４に支持されたＸ線ターゲット１２を真空管１８内に備え、前記電子発生手段から前記Ｘ線ターゲット１２へ電子を照射することにより生じるＸ線を所定位置へ導く管状のＸ線ガイド手段（Ｘ線ガイドチューブ）３０を真空管１８外に備えるＸ線発生器において、真空管１８に設けた凹部２８にＸ線ガイド手段３０を挿入した構成とする。 （もっと読む）