【課題】省スペース化が可能で、被検体の無効被爆を防止できる高電圧発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管に供給する管電圧を生成する回路と、管電圧を降下させた際に回路内の電荷を放電する波尾遮断回路と、管電圧生成回路および放電回路を収容する筺体と、前記容器内に満たされた電気絶縁油とを有する。筺体の一面には、内部空間が筺体内の空間と連通した伸縮性容器が連結され、伸縮性容器には放熱ユニットが搭載されている。これにより、筺体の一面のみで、電気絶縁油の膨張を吸収できるとともに、電気絶縁油を冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】透過基板の温度上昇を抑制して放射線発生の長時間駆動を可能とし、信頼性の高い透過型放射線管および放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線発生装置は、冷却媒体が充填された収納容器１２内に透過型放射線管１１が収納され、透過型放射線管は、開口部１４ａを有する外囲器１４と、外囲器内に開口部１４ａに臨んで配設された電子放出源１５と、放射線を透過する透過基板１９と、透過基板１９の電子放出源側面に設置され、電子放出源１５から放出された電子の照射により放射線を発生するターゲット１８と、ターゲットから放出された放射線を遮る遮蔽体２０と、を備え、遮蔽体は外囲器１４の外側に突設されると共に、外囲器１４の開口部１４ａに連通する通路２０ａを有し、通路２０ａに設けられる透過基板１９の少なくとも一部は、外囲器１４の外壁面よりも外側に突出して配設され、冷却媒体は遮蔽体２０の少なくとも一部に接している。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で不要な放射線の遮蔽とターゲットの冷却、小型軽量化を可能とし、かつより信頼性の高い放射線発生装置、およびそれを備える放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】冷却媒体が充填された収納容器の内部に、透過型放射線管が収納され、透過型放射線管は、開口部を有する外囲器と、外囲器の内部に、外囲器の開口部に臨んで配設された電子放出源と、放射線を透過する透過基板と、透過基板の電子放出源側の面に設置され、電子放出源から放出された電子の照射により放射線を発生するターゲットと、ターゲットから放出された放射線を遮る遮蔽体と、透過基板と冷却媒体との間に設置された断熱部材と、を備え、遮蔽体は外囲器の開口部に連通する通路を有し、遮蔽体の通路に透過基板が設けられ、冷却媒体は遮蔽体の少なくとも一部に接していることを特徴とする放射線発生装置。 （もっと読む）

【課題】 振動を長期に亘って軽減させることができる取付器具、回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を提供する。
【解決手段】 取付器具１ａは、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａを有し、剛性を示す支持部材２と、支持部材２より剛性の低い緩衝部材３とを備えている。支持部材２は、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａ間に加わる外力を支持し、緩衝部材３に加わる外力を軽減させ、緩衝部材３は、外部から加わる振動を減衰又は吸収し、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａ間に伝わる振動を軽減させる。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内において構成部品の位置又は傾きを調整するための姿勢制御機構を最適化する。
【解決手段】極端紫外光を生成するチャンバ装置は、壁部に第１の貫通孔が設けられ、内部でＥＵＶ光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内に配置されるＥＵＶ集光ミラーと、チャンバ外に配置され、ＥＵＶ集光ミラーの姿勢を制御する姿勢制御機構と、第１の貫通孔を介してＥＵＶ集光ミラーと姿勢制御機構とを接続する支持部と、第１の貫通孔を覆うように設けられ、少なくとも１つの第２の貫通孔を有するフランジと、少なくとも１つの第２の貫通孔の周囲に固定された一端と、支持部に固定された他端とを有し、支持部の側面の少なくとも一部を囲んでチャンバ内の密閉を維持する伸縮管と、を備えても良い。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光を生成する部品の位置合わせ精度を向上する。
【解決手段】フレームと、極端紫外光の生成が内部で行われるチャンバと、チャンバの内部にターゲット物質を供給するためのターゲット供給部と、フレームとチャンバとをフレキシブルに接続するための第１の接続部材と、ターゲット供給部をフレームに固定するための機構と、ターゲット供給部をチャンバにフレキシブルに接続するための第２の接続部材と、を備えてもよい。チャンバには貫通孔が形成されてもよく、第２の接続部材は、チャンバの貫通孔の周囲と、ターゲット供給部とをフレキシブルに接続し、チャンバを密閉するためのフレキシブル管であってもよい。 （もっと読む）

【課題】 回転軸方向に複数のX線発生点が配置されたX線管装置の冷却効率を向上させ、X線管内の過熱を防止できる構造のX線管装置を提供すること、及びそのX線管装置を搭載するX線CT装置を提供することである。
【解決手段】 電子線を発生する陰極と、前記電子線が照射された点であるX線発生点からX線を放射する陽極と、前記陰極と前記陽極を真空雰囲気内に保持する外囲器と、を備えたX線管装置であって、前記陰極と前記陽極からなる対を2つ有し、2つの陽極はX線発生点を有する面の裏側が対向するように配置されており、2つの陽極の間に冷却媒体を流すための冷媒流路をさらに備えたことを特徴とするX線管装置である。 （もっと読む）

【課題】 大気に曝されるＸ線透過窓の腐食を、Ｘ線透過性を損なわず、かつ低コストで低減することができるＸ線発生装置及びＸ線発生装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置は、真空外囲器１８０と、真空外囲器１８０内に設けられたＸ線発生手段と、真空外囲器１８０に接続され、真空外囲器１８０を密閉し、ベリリウムで形成され、Ｘ線発生手段が発生したＸ線を透過して大気側に放射させるＸ線透過窓１８２と、保護膜Ｆと、を備えている。保護膜Ｆは、Ｘ線透過窓１８２の大気に露出する側の表面の少なくとも一部を覆い、Ｘ線透過窓１８２と、ベンゾトリアゾール又はその誘導体と、の反応被膜である。 （もっと読む）

【課題】シールドボックス内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、シールドボックス２００と、シールドボックス２００の内部に配置されたＸ線源３００およびＸ線源３００を制御する制御部８００と、を備えたＸ線検査装置である。このＸ線検査装置には、シールドボックス３００の天面部２３０の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ウィンドウのレーザ光による熱負荷による特性の悪化を改善させる。
【解決手段】ウィンドウユニットは、レーザ光を透過するウィンドウと、前記ウィンドウの外縁を保持し、内部に前記ウィンドウの外側または内側の周辺に液体を流す流路が設けられたホルダとが設けられたウィンドウホルダと、を備えていてもよい。流路には、たとえば冷却装置から供給された冷却媒体が流れてもよい。 （もっと読む）

【課題】 管容器内に溜まった空気を冷却液注入口から外部に排出することのできるＸ線管装置及びＸ線管装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置は、陰極と、陽極ターゲットと、真空外囲器とを有したＸ線管と、管容器と、管容器内に充填された冷却液と、蓋部３０とを備えている。管容器は、Ｘ線管を収容し、内壁の一部を形成する平坦面２ｓと、平坦面の一部を開口して設けられた冷却液注入口２ｈと、冷却液注入口に繋がって平坦面に形成され平坦面の周縁まで延出した溝部２１、２２と、を有している。蓋部３０は、冷却液注入口２ｈを閉塞している。 （もっと読む）

【課題】紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置において、Ｘ線の発生の安定化を図る。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置５１から放出される紫外線レーザを電子線放出素子２０の紫外線レーザ受光面２１に照射し、電子線放出素子２０において紫外線レーザ受光面２１と異なる電子線放出面２３から放出される電子線を金属片２５へ照射し、該金属片２５からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザを制御して紫外線レーザ受光面２１の物質の変性を防止する。 （もっと読む）

【課題】陽極接地（ターゲット接地）方式の電子放出装置において陽極電流の制御を実際に実現できる電流制御装置を提供する。
【解決手段】陽極３の端子と引出し電極４の端子との間に接続された電流コントロールアレイ８を有しており、この電流コントロールアレイ８は、入力端子１４からの入力信号に応じて電流を制御する互いに直列に接続された複数のトランジスタＴｒ（０）〜Ｔｒ（ｎ）と、陽極３と引出し電極４との間の電圧Ｖｇｔを複数のトランジスタＴｒ（０）〜Ｔｒ（ｎ）のそれぞれに分圧して加える電圧分圧素子（Ｒ０〜Ｒｎ）とを有する電子放出装置１の電流制御装置である。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな構造でありながら高出力での使用が可能なＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管２４と、トランス２５と、固定陽極３０に高電圧を供給する高圧用ケーブル２６と、陰極２１にフィラメント電流を供給するフィラメントケーブル２７と、トランス２５への給電線２８とが、絶縁油が充填されたハウジング３１内に収納されている。固定陽極３０は、図示しない支持部材により支持されており、内部には有底円筒形の空洞が形成されている。そして、固定陽極３０のターゲット２２とは逆側の端面側には、ターゲット２２の熱を絶縁油に放出するために、固定陽極３０の空洞内に絶縁油を循環させるためのロータ８１が近接配置されている。 （もっと読む）

【課題】 水系冷却液による内部腐食を低減することができ、長期にわたって信頼性が高く、冷却性能に優れた熱移動システム、熱移動システムの立上げ方法及び熱移動システムの保全方法を提供する。
【解決手段】 熱移動システムは、ベンゾトリアゾール又はその誘導体の含有濃度が１０ｐｐｍ未満である水系冷却液Ｌを収容する循環流路３０と、保護膜Ｆと、を備えている。保護膜Ｆは、水系冷却液Ｌに接触する循環流路３０の少なくとも一部の表面とベンゾトリアゾール又はその誘導体との反応被膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管のブッシングにおいて、レセプタクルとプラグの間での部分放電を防止するとともに、陰極および絶縁体の過熱を防止する。
【解決手段】ブッシングを有する陰極と、陽極とを備えるＸ線管であって、ブッシングは、フィラメント２０６が先端部に接続されたプラグ２０２と、プラグ２０２が挿入されるレセプタクル２０１と、絶縁性流体を注入する流体流入口２１８と、絶縁性流体を排出する流体排出口２１９と、絶縁性流体を流体流入口２１８からプラグ２０２の先端部まで到達させる流体流入流路２１６と、絶縁性流体をプラグ２０２の先端部から流体排出口２１９まで到達させる流体排出流路２１７を備える。流体流入流路２１６と流体排出流路２１７は、プラグ２０２とレセプタクル２０１との間に形成され、プラグ２０２の先端部で接続されている。さらに、ブッシングに絶縁性流体を循環させる絶縁性流体循環装置２２０を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の実施形態は、アパーチャの付近におけるビーム位置合わせのリアルタイム測定を提供することを目的とする。
【解決手段】 プラズマの形態であるＥＵＶ放射源は、ＥＵＶリソグラフィ装置内の放射源コレクタモジュールの出口アパーチャを通過するように仮想放射源点に合焦される。プラズマ位置は、モニタリング信号を用いて３つの方向、Ｘ、Ｙ、Ｚにおいて制御される。光音響効果を利用することによって、モニタリングは、出口アパーチャを囲むコーンの材料に結合された音響センサを用いて非侵入形式で達成される。放射ビームの様々な角度位置を、相対的な到着時間または位相に基づいて様々なセンサからの信号同士を区別することによって、および／または、信号の振幅／強度を比較することによって推定することができる。シーケンサ機能を用いてビーム位置に意図的なオフセットのシーケンスを導入することができる。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光発生装置における高効率でしかもコンパクト、低価格なデブリ回収装置を提供する。
【解決手段】極端紫外光発生装置において、バルク高温超伝導体とパルス磁場発生用のコイルを極低温に冷却できるようにした構造体による磁場発生装置とその磁場発生装置の磁力線の通る中心軸を中空とし、駆動用レーザ光とマイクロ波の導波管となるようにする。ＥＵＶ光を発生するプラズマ近傍が、マイクロ波の開放共鳴領域内になるように、マイクロ波の反射鏡をプラズマ発生点に対して磁場発生装置と反対側に適切に配置し、磁場とマイクロ波によるＥＣＲ共鳴により、中性デブリをほぼ完全にイオン化し、デブリのプラズマ閉じ込め、そして、磁場発生装置の中空部へのデブリの移動による高効率でしかもコンパクト、低価格なデブリ回収装置を実現する。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光光源装置において、集光鏡アッセンブリの熱変形による集光性能の悪化を防止すること。
【解決手段】極端紫外光光源装置に用いられる集光鏡アッセンブリは、径の異なる回転楕円面または回転双曲面形状の複数の反射シェル２１から構成され、この反射シェル２１が入れ子状に配置され、その端部が保持構造体２２で保持されている。反射シェル２１には冷媒を流す冷却チャネルが、反射面の裏面側の面上であって反射シェルの軸方向に取り付けられている。この冷却チャネルが補強材の働きをし、反射シェル２１の熱変形を抑制することができる。なお、反射シェル２１の材質としてモリブデンを用いことによりさらに熱変形を抑制することができ、保持構造体２２に冷却チャンネルを設けることにより、さらに効果的に集光鏡アッセンブリを冷却し、その熱変形を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 X線高電圧装置から発生するノイズによる周辺機器への誤動作の低減、及び、発熱低減による冷却構造の簡易化をすることが可能なX線高電圧装置と、このX線高電圧装置を用いてX線を発生させるX線装置を提供する。また、このX線装置を用いて撮影画像へのノイズ混入等の影響を低減可能なX線診断装置を提供する。
【解決手段】 X線を発生させるX線管装置に電力を供給する、半導体スイチング素子を備えた複数の半導体電力変換回路と、この半導体電力変換回路を制御する制御回路と、を備えたX線高電圧装置であって、このX線管装置からX線を発生させる際に、そのX線発生条件に応じて、これら複数の半導体電力変換回路のうち、一つの半導体電力変換回路内の半導体スイチング素子の動作を停止させる。 （もっと読む）