【課題】アパーチャを通り抜ける調節された放射ビームの均一性を維持するための新しい技術を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射源装置からＥＵＶ放射ビームを受け、かつビームを調節してレチクルなどのパターニングデバイスのターゲット領域を照明するためのイルミネータを含む。レチクルは、パターン付き放射ビームを形成する。投影システムは、ＥＵＶリソグラフィによってパターンをパターニングデバイスから基板に転写する。センサは、ビームが特に非スキャン方向でレチクルに近づくにつれて調整されたビームにおける残留非対称性を検出するために設けられている。フィードバック制御信号は、検出された非対称性に応じて放射源のパラメータを調整するように生成される。フィードバックは、照明スリットの両端における２つのセンサによって測定された強度比率に基づいており、ＥＵＶ放出プラズマを生成するレーザパルスのタイミングを調整する。 （もっと読む）

【課題】内視鏡に組み込んで生体内へ挿入可能な、紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置を用いた治療器を提供する。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置５１から放出される紫外線レーザを電子線放出素子２０の紫外線レーザ受光面２１に照射し、電子線放出素子において紫外線レーザ受光面と異なる電子線放出面２３から放出される電子線を金属片２５へ照射し、該金属片からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザとして、単位パルス強度を１０００μジュール以下とし、単位パルスの幅を１００ｎｓ以下のものを使用し紫外線レーザ受光面の物質の変性を防止し、かかるＸ線発生装置とともにＸ線照射部位から放出される各種の光を検出する検出器を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管のブッシングにおいて、レセプタクルとプラグの間での部分放電を防止するとともに、陰極および絶縁体の過熱を防止する。
【解決手段】ブッシングを有する陰極と、陽極とを備えるＸ線管であって、ブッシングは、フィラメント２０６が先端部に接続されたプラグ２０２と、プラグ２０２が挿入されるレセプタクル２０１と、絶縁性流体を注入する流体流入口２１８と、絶縁性流体を排出する流体排出口２１９と、絶縁性流体を流体流入口２１８からプラグ２０２の先端部まで到達させる流体流入流路２１６と、絶縁性流体をプラグ２０２の先端部から流体排出口２１９まで到達させる流体排出流路２１７を備える。流体流入流路２１６と流体排出流路２１７は、プラグ２０２とレセプタクル２０１との間に形成され、プラグ２０２の先端部で接続されている。さらに、ブッシングに絶縁性流体を循環させる絶縁性流体循環装置２２０を備える。 （もっと読む）

【課題】経年変化の影響を受けても、良否判定を正常に実行することができるようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器と、Ｘ線検出器と、Ｘ線透過画像形成部と、良否判定部とを備えるＸ線検査装置において、良否判定部は、模擬劣化画質レベル設定手段を有し、模擬劣化画質レベル設定手段は、Ｘ線検査装置を模擬劣化状態にするために、判定基準に基づいて良品と判定されるようなＸ線透過画像である良品画像の画質を劣化させる目標レベルである模擬劣化画質レベルを設定し、設定された模擬劣化画質レベルに対応させて、Ｘ線発生器， Ｘ線検出器，Ｘ線透過画像形成部の少なくとも一つを制御して、Ｘ線検査装置を模擬劣化状態にし、模擬劣化状態にあるＸ線検査装置において良否判定が正常であることを確認する動作確認部を備える。 （もっと読む）

【課題】試料３の幅方向位置の測定精度を向上させ、試料測定範囲（厚さの範囲や材質など）の広範囲化を図った放射線測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物（試料）を搬送させながら放射線を用いて前記試料の物理量の測定を行う放射線測定装置において、前記試料の搬送方向に略直角に配置されたラインセンサと、前記試料の上方に配置され前記試料を介して前記放射線を前記ラインセンサに照射する複数の放射線源からなり、前記複数の放射線源からの放射線は前記試料の搬送方向に略直角方向に扇状に出射されると共に前記ラインセンサの同一線上を照射するように構成した。 （もっと読む）

【課題】改善された出力安定性を有するＸ線源アセンブリおよび動作方法を提供する。
【解決手段】アセンブリ２７００は、電子２１２０が上に当たるソーススポットを有するアノード２１２５、および出力構造に対するアノードソーススポットの位置を制御する制御システム２７１５，２７２０を含む。制御システムは、Ｘ線ソースアセンブリの１つまたは複数の動作条件にもかかわらず、出力構造２７１０に対するアノードソーススポットの位置を維持することができる。開示する一態様は、石油をベースとする燃料の硫黄の分析に最も適している。 （もっと読む）

【課題】電気電子製品製造工程でのＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】ケース内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブでＸ線を照射し前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは、下部に連結棒が構成され、この連結棒の下段に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターは固定フレームによって前記ステージに固定されるように構成し、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成することで解決した。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管装置は、アノード１１、フィラメント１７及びグリッド１８を有したカソード１０並びに真空外囲器１９を含んだＸ線管１と、筐体２０と、絶縁油９と、フィラメント端子３１及びグリッド端子３２を有したレセプタクル１６ａと、フィラメント回路３と、グリッド回路４とを備えている。絶縁油９を介したフィラメント回路３及びグリッド回路４間の放電開始電圧は、レセプタクル１６ａのフィラメント端子３１及びグリッド端子３２間の絶縁破壊電圧未満である。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射装置において、制御機構等に不具合を生じた場合にも、安全機構の各部品や回路の自己診断動作が阻害されない、信頼性の高いＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管球１５に電力を供給するＸ線管球電源１６、Ｘ線の照射対象を格納する試料室１１を有するＸ線照射機構１と、Ｘ線照射機構１の動作を制御する制御機構２と、試料室１１蓋１２の開閉を検知する蓋センサ３４、蓋センサ３４からの出力信号に基づき、Ｘ線管球電源１６への通電を禁止又は許可とするインターロック機構３７を有する安全機構３とを備える。安全機構３は、制御機構２からの通信を受けることなく、制御機構２から独立して安全機構３の状態を自己診断する診断機構３８を更に有する。 （もっと読む）

【課題】使用するＸ線管が変わっても撮影条件を簡易に設定することができるＸ線高電圧装置を提供することを目的とする。
【解決手段】線量−管電圧テーブル５１と管電圧−線量比テーブル５２とをある標準のＸ線管についてのみ用意し、これらのテーブル５１，５２を参照して管電圧算出部は管電圧を算出するとともに、使用するＸ線管の定格情報に基づいて管電流・撮影時間算出部は管電流および撮影時間をそれぞれ算出する。これらの算出された管電流、撮影時間および管電圧を体厚での撮影条件としているので、標準と異なったＸ線管を使用する場合でも、使用する定格情報がわかれば、標準のＸ線管に関するテーブルを用意しておき、その定格情報に応じた最適な撮影条件を設定することができ、使用するＸ線管が変わっても撮影条件を簡易に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管の第１グリッド電圧の制御代を正規化し、ＶＩ特性の器差を抑えると共に、寿命予測を標準化することを可能としたＸ線式厚さ測定装置を実現する。
【解決手段】 第１グリッド及び第２グリッドを有し、前記第１グリッド電圧により管電流が制御されるＸ線管から放出されるＸ線をシート部材に照射し、その透過減衰量に基づき前記シート部材の厚さを測定するＸ線式厚さ測定装置において、
前記第２グリッドに接続される可変電圧源を備える。 （もっと読む）

【課題】複数のエージング条件の内から、不使用時間に応じて、自動的に最適なエージング条件を選択して、Ｘ線管球のエージング実行することが可能なＸ線測定システムを提供する。
【解決手段】Ｘ線管球２６への電源オフの時刻と電源オンの時刻からＸ線管球２６の不使用時間を計算する不使用時間計算手段２２を有する測定ユニット４ａと、複数のエージング条件の内からＸ線管球２６の最適なエージング条件を自動的に選択するエージング条件選択手段１２を有するコントローラ３ａとを備え、最適なエージング条件によりＸ線管球２６のエージングを行う。 （もっと読む）

【課題】撮影が長時間に及ぶ場合であっても、所望のタイミングで放射線画像を取得でき、且つ、最適な画質が得られるようにする。
【解決手段】被写体３００に対してＸ線（放射線）を発生させるＸ線発生装置１０１と、被写体３００を透過したＸ線に基づくＸ線画像（放射線画像）の撮像を行う二次元Ｘ線センサ１０２とを含むＸ線画像撮影装置１００において、当該Ｘ線画像撮影装置１００の内部の温度に係る内部情報を内部情報検知部１０６、１０７で検知し、当該温度に係る内部情報に基づいて、二次元Ｘ線センサ１０２で撮像するＸ線画像のフレームレートを撮影時駆動条件決定部１１５で変更するようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｘ線管ユニット、冷却ユニットを継手の部分で分離しても絶縁破壊等の支障が生じないようにする。また、組み立て時、保守時の作業性が良好なＸ線管ユニットを提供する。
【解決手段】被検体に対してＸ線を曝射するＸ線管をハウジング内のインサート部に収容し、前記Ｘ線管に対する高電圧供給部をインサート部外に配置した構造のＸ線管ユニットと、このＸ線管ユニットのハウジングに配管系を介して冷却媒体を供給して冷却する冷却ユニットと、前記配管系のＸ線管ユニット側、冷却ユニット側を接離する継手とを有する。また、Ｘ線管ユニットは、被検体に対してＸ線を曝射するＸ線管を収容したハウジングに、取手治具用の取り付け部を設けた。 （もっと読む）

【課題】集束手段への印加電圧を最適化して制御し、ひいてはＸ線を最適に制御することができるＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ターゲット１３への印加電圧（ターゲット電圧）、電子ビーム量に関する電流（管電流）およびフォーカス電極１２による電子ビームＢの径を最適化するフォーカス電圧の相関関係を記憶した最適値テーブル２８と、最適値テーブル２８によって記憶された相関関係、管電流およびターゲット電圧に基づいてフォーカス電圧を最適値に変更するように制御するフォーカス電圧制御部２９とを備える。管電流およびターゲット電圧に基づいてフォーカス電圧をフォーカス電圧制御部２９は最適値に変更することができる。その結果、フォーカス電圧（集束手段への印加電圧）を最適化して制御し、ひいてはＸ線を最適に制御することができる。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光発生チャンバのウインドウの劣化等を容易に検出することが可能なＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ドライバーレーザ１と、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、レーザ光をＥＵＶ光発生チャンバ２内に透過させるウインドウ６と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、レーザ光をターゲット物質の軌道上に集光させるレーザ光集光光学系４と、ウインドウ６の温度を検出する温度センサ８２と、極端紫外光の発生が行われるときに、温度センサ８２によって検出されたウインドウ６の温度に基づいて、ウインドウ６の劣化を判定するレーザ光光学系劣化チェック処理部８０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、絶縁物に生じる帯電電位の分布状況や帯電電位の時間的経緯を検出して、この帯電電位の発生に起因した放電現象と絶縁破壊を未然に防止し得るＸ線管球を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線管球は、Ｘ線管球の内部に備えられた絶縁部に生じる帯電電位を計測する計測プローブをこの絶縁部の外側に配置し、この計測プローブを絶縁部の外面に沿って移動させる移動装置を設け、計測プローブにより絶縁部に生じる帯電電位を計測して計測された帯電電位に基づいて絶縁部に収容した高圧の電極に印加する電圧を調節可能とするように構成した。 （もっと読む）

【課題】制御性の優れたマルチＸ線ビームの形成を小型の装置により可能とする。
【解決手段】マルチ電子ビーム発生部１２のマルチ電子放出素子１５から発生した電子ビームｅは、レンズ電極１９によるレンズ作用を受け、アノード電極２０の透過型ターゲット１３の部分で最終電位の高さに加速される。ターゲット１３で発生したマルチＸ線ビームｘは真空内Ｘ線遮蔽板２３、Ｘ線取出部２４を通り、更に壁部２５のＸ線取出窓２７から大気中に取り出される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射における患者への被爆量を必要最小限に抑え、かつ良好なＸ線撮影画像を得ることのできるＸ線撮影装置を提供すること。
【解決手段】
Ｘ線検出素子４２から出力される出力信号を取得し、Ｘ線検出素子４２に照射されるＸ線の累積照射量を積算する積算器１５と、累積照射量と所定の設定照射量とを比較する照射量判定器１６とを備え、Ｘ線検出素子４２から出力される出力信号が、積算器１５および照射量判定器１６を含む第一の経路と、撮像制御器１２を含む第二の経路とに分岐され、第一の経路へ出力された当該出力信号に基づいて、照射量判定器１６がＸ線照射の開始および停止を決定する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線を正確に制御することができるＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 Ｘ線発生装置は、テーブルを備えている。このテーブルは、点灯条件に関連した物理量である点灯時間、および電子ビーム量（エミッション電流）の相関関係を予め記憶している。このエミッション電流のうち最適エミッション電流は、電子ビーム特性を最適にする値であって、例えば仮想光源径が最小となる条件である。点灯時間が長くなるのにしたがって最適エミッション電流Ｉは低くなる。上述した相関関係をテーブルから読み出すことで現時点での点灯時間に応じた電子ビーム量を設定する。その結果、点灯条件の状況に関わらず電子ビーム量を常に正確に最適に設定することができ、Ｘ線を正確に制御することができる。 （もっと読む）