【課題】 パーフルオロコンパウンドなどの有害成分含有ガスを高い分解率で処理するとともに、窒素酸化物などの副生成物の発生を抑制することができる有害成分含有ガスの処理方法を提供する。
【解決手段】 有害成分含有ガスを、反応性ガスの共存下、プラズマ１００により分解する有害成分含有ガスの処理方法において、前記反応性ガスとして水素と酸素との混合物を用いるとともに、前記酸素に対する前記水素の添加割合が２．０以上に設定する。 （もっと読む）

【課題】 パーフルオロコンパウンドなどの有害成分含有ガスの処理装置の保守整備時期を正確かつ簡便に判定することができる保守整備時期判定方法を提供する。
【解決手段】 プラズマ容器３０と、このプラズマ容器内にプラズマ１００を発生させるプラズマ発生機構２０とを備える有害成分含有ガスの処理装置の保守整備時期判定方法において、前記プラズマ発生機構２０から前記プラズマ容器３０に入射するマイクロ波の入射電力と、前記プラズマ容器３０から前記プラズマ発生機構２０に反射するマイクロ波の反射電力との差である実効電力を計測する。 （もっと読む）

【課題】 パーフルオロメタンなどのプラズマ分解が困難な有害成分含有ガスに対して良好な処理効率を示す有害成分含有ガスの処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】 有害成分含有ガスを、反応性ガスの共存下、プラズマ１００により分解する有害成分含有ガスの処理方法であって、前記有害成分含有ガス中におけるパーフルオロメタンの有無により、前記プラズマ１００を発生させるマイクロ波の電力を調節することを特徴とする有害成分含有ガスの処理方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】補助加熱装置の煤塵の滞留を防止するとともに、被処理ガス用ノズルやその冷却設備を不要とすることができる製鋼用電気炉を用いた被処理ガスの無害化処理方法を提供すること。
【解決手段】被処理ガスを製鋼用電気炉１に導入し、製鋼を行う際にアーク１２により形成される高温雰囲気中で被処理ガスを分解する製鋼用電気炉を用いた被処理ガスの無害化処理方法において、製鋼用電気炉１に配設した補助加熱装置２に酸素ガスと被処理ガスを選択的に導入し、電気炉内が所定温度以下の場合に酸素ガスを供給して補助加熱を行い、電気炉内が所定温度を越える場合に酸素ガスの供給を停止して被処理ガスを供給するようにする。 （もっと読む）

【課題】 放電リアクタにおけるＮＯからＮＯ₂への転化を効率的に達成し、それによって下流の排ガス浄化触媒におけるＮＯ_xの浄化を促進する排ガス浄化装置を提供する。
【解決手段】 放電リアクタ、放電リアクタの下流に配置されたＮＯ_x吸蔵還元触媒又はＮＯ_x選択還元触媒のような排ガス浄化触媒、及び随意に排ガス中のＮＯ_x濃度に基づいて、放電リアクタに流入する排ガス中のＨＣ／ＮＯ_x比を制御し、例えばＨＣ／ＮＯ_x比を５以上にする制御装置を有する、排ガス浄化装置とする。 （もっと読む）

【課題】還元剤の使用量を低減して、安価なランニングコストで塩素ガスを除害する。
【解決手段】塩素ガスを含むドライエッチング装置１０ａの第１の排ガスと、アルカリ剤及び還元剤が添加された洗浄液とを排ガス処理装置２０で接触させることにより、第１の排ガスを除害処理する排ガスの処理方法であって、排ガス処理装置２０内の洗浄液に対し、二酸化硫黄ガスを含むドライエッチング装置１０ｂの第２の排ガスを接触させる。 （もっと読む）

【課題】外部から水分を加える必要のない排ガス浄化システムを提供する。
【解決手段】排ガス浄化システム１は、内燃機関の排ガスＧ中の窒素酸化物を除去して排ガスＧを浄化するためのシステムである。排ガス浄化システム１は、排ガスＧ中の一酸化窒素を酸化させる酸化手段としての、酸化手段によって酸化された窒素酸化物を吸着してイオン化すると共に、排ガスＧ中の水分を吸着する、吸水性物質を担体に担持してなる吸着剤１５を有する吸着部１４と、窒素酸化物及び水分を吸着した吸着部１４に直流電圧を印加して、窒素酸化物を電気分解により還元する電圧印加手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 一酸化炭素を効果的かつ低消費電力で除去できる空気浄化装置を提供する。
【解決手段】 ＣＯ吸着手段（12）で吸着した空気中の一酸化炭素を放電装置（10）のストリーマ放電によって酸化分解するようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明はプラズマを使って有害ガスを分解処理する場合に副生成物などの不純物が電極に付着しても、容易にその不純物をクリーニング可能な有害ガス処理装置を提供しようとするものである。
【解決手段】本発明は以上のような課題を解決するため、プラズマを発生させながら酸素原子を含み常温で気体あるいは液体である有機物（クリーニング剤）の蒸気を流すクリーニング・モードを設けたもので、これによってクリーニング剤がプラズマによって分解される際に不純物も同時に分解し、電極をきれいにする。 （もっと読む）

【課題】 排気流路に、並列に配置された複数のフィルターを有する排気浄化装置であって、各フィルターの再生処理において捕集されたＰＭの燃焼除去を促進する排気浄化装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 排気流路の一部に複数の分岐流路１１及び１２が設けられ、各分岐流路内にパティキュレート捕集用のフィルター１３及び１４が内蔵され、再生時には再生するフィルター１４を排気流路から切り離し、再生ガスを供給して再生を行う排気浄化装置であって、排気を放電によって活性化して再生ガスとして供給する放電リアクターを有する、排気浄化装置とする。 （もっと読む）

【課題】 高電圧の作用により排ガスを浄化する排ガス浄化装置において、装置の耐久性・信頼性を長期間維持できるような構造を提供する。
【解決手段】 各放電管４ａが一対の支持ブロック１５，１６の間に設置されており、且つ放電管４ａの長手方向の端面が、通孔１５ａ，１６ａの口縁に形成された環状の取付用段部２５，２６と接合している。放電管４ａと支持ブロック１５，１６との間のシール性を向上でき、これによって装置の耐久性・信頼性を長期間維持できる。 （もっと読む）

【課題】 外周電極の内側に内部電極を配置してなる排ガス浄化装置において、装置の小型化を促進する。
【解決手段】 外周電極２２ｂと、当該外周電極２２ｂに囲まれた領域に配置されて排ガスの流れ方向に延びる内部電極２３と、を備え、両電極２２ｂ，２３間に高電圧を印加して排ガスを浄化する排ガス浄化装置１において、絶縁材からなり複数の排ガス流路を有するバリア層２１を更に備え、外周電極２２ｂを、バリア層２１において複数の排ガス流路を画成する隔壁２１ａの厚さ内に配置する。 （もっと読む）

【課題】 高電圧の作用により排ガスを浄化する排ガス浄化装置において、放電管の固定構造を簡素化して組立て工程を簡略化する。
【解決手段】 外周電極４ｂの外周面にセパレータ９を気密に固定し、該セパレータ９の外周面を中間ケース３内に配置されたアルミナマット３２の内周面に圧接させることで組立てを行う。容器内の気密性を付与しつつ組立て工程を簡略化することができる。外周電極４ｂは内部電極５の長手方向の端部から所定長さａ以上離間され、異常放電が抑制される。 （もっと読む）

プロセスツールからの排気流体流を処理するための低コストの装置を開示する。一実施形態では、装置は、緩和装置(12)と、緩和装置(12)を少なくとも部分的に排気する液体リングポンプ(14)とを有している。使用中、緩和装置(12)は、排気流体流の１つ以上の成分、例えばＦ₄又はＰＦＣを、環境に対する有害性の低い１つ以上の液体溶解性成分、例えばＨＦに変換する。液体リングポンプ(14)は、排気流体流及び液体を受入れ、液体と排気ガス流の液体溶解性成分とからなる溶液を排出する。かくして、液体リングポンプ(14)は、ウェットスクラバ及び大気圧真空圧送段の両方の作用を行う。
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【課題】 高電圧の作用により排ガスを浄化する排ガス浄化装置において、複数の放電管を互いに並行するように保持するにあたり、組立て工程を容易化しうる手段を提供する。
【解決手段】 支持ブロック１５を、複数の放電管４ａが中を通る外側環状体１５ａと、複数の放電管４ａを相互に位置決めする位置決めコマ１５ｂとから構成する。外側環状体１５ａの中に複数の放電管４ａを通し、その後に複数の放電管４ａの間に位置決めコマ１５ｂを挿入することによって、複数の放電管４ａを相互に位置決めできる。放電管４ａの断面形状に対応する多数の通孔に放電管４ａを１本ずつ通すような正確な作業が不要となり、組立て工程を容易化できる。 （もっと読む）

【課題】被処理ガスの圧損の増加を抑制しつつ、放電空間を確保するとともに放電の電力密度を向上させることにより、より大流量の被処理ガスを処理可能な小型の放電型ガス処理装置である。
【解決手段】放電型ガス処理装置１０は、被処理ガスＸの流路上に被処理ガスＸの進行方向を横切る複数の棒状の電極１５ａを有する導体電極１５と、導体電極１５に対向し、棒状の電極１５ａの曲率よりも大きい曲率の表面を有する対向電極１６と、対向電極１６の導体電極１５側を覆う誘電体１７と、導体電極１５と対向電極１６との間に所要の電圧を印加して被処理ガスＸに浄化処理を施すための放電プラズマを生成させる放電電源１３とを備える。 （もっと読む）

本発明は、ガスまたはガス混合物、特にフッ素化ガス排出物の変換のための方法に関する。本発明によれば、ガスまたはガス混合物の少なくとも１つの分子の２つの原子間の少なくとも１つの結合を、ガスまたはガス混合物がさらされる電場および／または磁場の影響下で破断する。ガスまたはガス混合物の流れを、電場および／または磁場を通して非線形に注入し、ガス分子が場を通して移動する距離を増加させ、こうしてガスまたはガス混合物分子の変換の効果を増加させる。 （もっと読む）

【課題】より低い電圧で放電を開始させることが可能であり、放電継続のために入力すべき電圧の制御が容易な放電型ガス処理装置である。
【解決手段】放電型ガス処理装置１０は、突起１５ａを有する導体電極１５と、導体電極１５に対向する対向電極１６と、対向電極１６の導体電極１５側を覆う誘電体１７と、導体電極１５と対向電極１６との間に所要の電圧を印加して被処理ガスに浄化処理を施すための放電プラズマを生成させる放電電源１３とを備える。突起１５ａの近傍から放電が開始されるように突起１５ａと誘電体１７との間の距離が所要の距離以下あるいは未満となるようにした。 （もっと読む）

本発明は、液体粒子を含む及び／又は凝縮する湿気を含んだガスに対する排気ガス浄化装置におけるイオン化装置に関する。このイオン化装置は、同心の断面領域に規則的にこの断面領域に亘って一様に分配された円形状ノズルの装置を有するフローチャネルの断面に亘って取り付けられた基準電位にある導電性のノズルプレートを有する。フロー方向において高電圧電極グリッドが続いており、電極グリッドは断面に亘って同心にフローチャネルに存在し、チャネル壁に電気的に絶縁されて固定されている。各電極ピンはその自由端部においてスター形に構成されており、ガスフローに対向配置されている。ノズルプレート及び高電圧電極グリッド、それぞれ所属の電極尖端部を有する電極ピンから成るモジュールはプロセス周囲環境に対して不活性な導電性材料から成る。ガスフローがイオン化装置において地球の引力とは逆方向に経過する。
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【課題】 絶縁破壊を起こすための電界強度を抑えるとともにガス流通空間の容積を広く維持する。
【解決手段】 ガス流通空間１０に非平衡プラズマを発生させて処理対象物質を含有する被処理ガスａを処理するガス処理方法であって、対向して互いに平行に配設されてガス流通空間１０をなす２枚の平板状接地電極１１ａ．１１ｂの対向間に、平板状接地電極１１ａ，１１ｂの対向面に対して垂直方向に間隔をあけて配設された２本のワイヤー状高電圧印加電極１２ａ，１２ｂによって非平衡プラズマを発生する。 （もっと読む）