【課題】工場などから排出される液体及び気体に含まれる難分解性化合物を、容易かつ効率よく除去することが可能な処理技術を提供する。
【解決手段】本発明に係る処理装置は、液体を処理する液体処理部２０と、第１の気体、及び上記液体を処理することによって発生した第２の気体を処理する気体処理手段とを備えており、液体処理部２０は、活性炭２６を内部に有し、上記液体が導入される液体分解装置１９と、液体分解装置１９内にナノバブル含有水を吐出するナノバブル含有水吐出部５４とを備えており、上記気体処理手段は、第１の気体及び第２の気体を混合するＰＦＣガス混合装置３２と、ＰＦＣガス混合装置３２によって混合された混合気体を分解処理するＰＦＣガス分解装置３３とを備えているので、工場などから排出される液体及び気体に含まれる難分解性化合物を、容易かつ効率よく除去することができる。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって安定、かつ、容易に運転管理し得るＮＯｘ浄化装置を提供する。
【解決手段】ＮＯｘ浄化装置１は、換気ガスＸ中に含まれるＮＯｘ（窒素酸化物）を物理吸着する吸着剤１５を収納した吸着装置１０と、換気ガスＸ中に含まれるＮＯを酸化させてＮＯ２を生成するための空気ガス供給装置４０と、吸着剤１５が予め設定された量のＮＯｘを吸着した場合、還元ガスを供給して、吸着装置１０内を還元ガス雰囲気に置換する置換ガス供給装置５０と、吸着装置１０が還元ガス雰囲気に置換された場合、吸着装置１０を減圧して、吸着剤１５に吸着されているＮＯｘを脱離させる吸気装置３０と、還元ガス雰囲気で放電処理することにより、脱離されたＮＯｘを消滅させる放電装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】運転開始時のアイドリング運転時間を短縮してエネルギーコストの削減を図ることができる排ガス処理装置及びその運転方法を提供する。
【解決手段】排ガスを加湿する散水手段１１と、加湿された排ガス中の不純物を反応室１３内でプラズマにより分解するプラズマ処理手段１４と、反応室１３を冷却するための冷却ジャケット２３と、冷却ジャケット２３に冷却水を導入する冷却水導入経路２５と、冷却ジャケット２３で温度上昇した温水を散水手段に１１供給する温水経路２８とを備え、排ガスの導入を開始する前に、冷却水導入経路から冷却ジャケットへの冷却水の導入を停止した状態で装置のアイドリング運転を行い、第１温度検出手段３０で検出した冷却ジャケット内の水温が設定温度に上昇したときに冷却ジャケットから散水手段への温水の供給を開始する。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン含有ガスの処理装置において、高効率な処理とユーザニーズに沿った装置構造の実現を可能とするハロゲン含有ガスの処理装置を提供するものである。
【解決手段】ハロゲン系ガスを含有するハロゲン含有ガスを供給するハロゲン含有ガス供給手段から供給されるガス流に対して順次直列に接続された、ハロゲン含有ガスを分解したときに生成される副生成物を除去するための洗浄手段３１、ハロゲン含有ガスからハロゲン系ガス以外のガスを分離し、上記ハロゲン系ガスを濃縮するためのガス分離設備３２１、上記ハロゲン系ガスが濃縮されたガスを分解するガス分解器３６、およびガス分解器３６で処理され、排出された処理ガスを洗浄手段３１に戻す排気ガス循環手段３５２を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】プラズマの放電状態を容易に制御することができる誘電性構造体を提供する。
【解決手段】誘電体基板２と、誘電体基板２の第１表面Ｓ１に設けられた第１電極４ａと、誘電体基板２の内部若しくは誘電体基板２の第１表Ｓ１面に対向する第２表面Ｓ２に設けられた第２電極４ｂとを備える。この誘電性構造体１は、第１電極４ａと第２電極４ｂとの間に電圧が生じると、第１電極４ａの周囲にプラズマを発生可能である。そして、第１電極４ａは、外周に沿って、第１表面に平行な方向に突出した複数の突出部Ｐを有する。 （もっと読む）

【課題】高電圧プラズマ発生装置において、プラズマの生成領域を拡大して、供給されたガスを効率よく処理する。
【解決手段】高電圧プラズマ発生装置は、高周波信号の給電により共振を発生させ、この共振により高電圧を発生させる長尺状の電極であって、交流信号の給電点が長尺状の中間部分に設けられる第１の電極と、第１の電極の周りを覆い、第1の電極の少なくとも一方の端から、第1の電極の延長上の離間した位置に、ガス流の供給口が設けられた金属製の筐体と、第１の電極の一方の端の近傍に、一方の端から離間して設けられ、筐体と接続された、アースされた第２の電極と、第１の電極が電磁波を放射する際の共振周波数と同じ周波数の信号を給電する電力供給装置と、を有する。第１の電極と第２の電極間の領域で、ガスを用いたプラズマを生成する。 （もっと読む）

【課題】直流によるストリーマ放電の有害物質除去装置は使用電力が少なく、これかの期待される装置ではあるが直流によるストリーマ放電は放電の安定度が悪く電流の投入増加が得られず又放電プラズマに接触せずに通過し有害物質の除去率に難点があった。
【解決手段】直流ストリーマ放電素子は放電ピンの密度を高くしても電流の増加は望めない。放電ピン配置と間隔が重要な要素になっている。最適な間隔を選定すると同時に密度を変えずに放電素子のピン配列をＶ字型にすることで放電投入電流と放電領域を拡大出来、より安定した放電が得られる。又有害物質を効率よく除去しようとするにはストリーマ放電によって出来るプラズマの中を集中して放電領域を複数段通過させる事も重要な要素である。強制的にプラズマの中を通過させる構造により高効率な有害物質除去率を達成することが出来た。 （もっと読む）

【課題】様々な供給流路の切り替え中の流体の圧力の変化に特に関連した移行レジームの影響を制限するプラズマ処理システムの提供。
【解決手段】被処理流体の少なくとも１つの流体ソース１、流体分子の化学結合の少なくとも一部を破断させることにより被処理流体からのプラズマの発生を可能にするプラズマ処理手段８、流体ソース１とプラズマ処理手段との間に位置した少なくとも１つの多流路弁４、各多流路弁４を流体ソース１とプラズマ処理手段８との直接的な相互作用のための第１位置又は流体ソース１をプラズマ処理手段８の出口９へと直接接続することを可能にする第２位置に合わせることを可能にする多流路弁４を制御する手段及び多流路弁の第１出口７とプラズマ処理手段の入口及び／又は出口との間か又は多流路弁の第２出口１２とプラズマ処理手段の出口９との間の何れかに位置した、流体の流量を制限する少なくとも１つのデバイス１４とを具備している。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で効果的に電極を冷却し、電極の寿命を大幅に伸ばすことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】電極１間にプラズマを発生させ、被処理物を処理するプラズマ処理装置において、電極１に液体を浸潤するように供給する液体供給機構６を設ける。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、その中で大気圧プラズマを生成させる絶縁管を冷却するシステムを提供する。
【解決手段】 半導体プロセス機器の排出口から再生ラインに使用済みプロセス流体を通流させ、前記半導体プロセス機器の排出口から前記使用済みプロセス流体を再生し、 前記再生ラインに接続された流体センサで前記使用済みプロセス流体の状態を測定し、前記流体センサから制御器へ前記プロセス流体の状態を表わす信号を送るとともに、該信号が所定範囲内にあることを設定し、前記信号が前記所定範囲内に入る場合は前記半導体プロセス機器に前記使用済みプロセス流体を回収し、また前記信号が前記所定範囲から外れる場合は前記使用済みプロセス流体の少なくとも一部をシステムドレインに流す。 （もっと読む）

【課題】水銀の分離・除去に関するランニングコストを従来よりも低減すると共に、集塵能力を低下させることなく気体中の水銀を分離・除去する。
【解決手段】ガス状水銀（Ｈｇ^Ｐ）を含む排ガスが通過する空間を形成する筐体１と、該筐体１内に設けられた集塵電極１ｇと、該各集塵電極１ｇに高電圧を印加する高圧直流電源３と、集塵電極１ｇを加熱する加熱装置４とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明のプラズマスクラバーは、電力消耗を減らしながら、反応炉内に高い温度雰囲気を形成して、難分解性気体を効果的に分解除去する。
【解決手段】本発明のプラズマスクラバーは、難分解性気体が供給される第１反応炉１０、前記第１反応炉１０内に設置され、前記難分解性気体の流れ方向に突出形成され、前記第１反応炉１０との放電によって前記第１反応炉１０との間に供給される前記難分解性気体にプラズマを発生させる電極４０、前記第１反応炉１０に連結装着され、前記プラズマが前記電極４０に付着して（anchoring）連続的なアークジェットを形成する第２反応炉２０、及び前記第２反応炉２０に連結装着され、前記第２反応炉２０で電子及び反応性の高い化学種を含む高温の反応部を形成して、滞留時間増加及び反応性を高め、前記難分解性気体を分解する第３反応炉３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】 消費エネルギーやコストの上昇を抑制しつつ、排気ガスを良好に浄化することのできるプラズマ反応器を提供すること。
【解決手段】 誘電体１２と、この誘電体１２を挟んで対向する１対の電極１３（高電圧極４３および接地極３３）とを備えるプラズマ反応器３において、相対的に比誘電率が高い高誘電板１６と相対的に比誘電率が低い低誘電板１７とを、誘電体１２の電極１３との対向方向に沿って配置することにより、全体として誘電体１２を形成する。そして、高誘電板１６の配置される側が、排気ガスの流れ方向上流側になるように、プラズマ反応器３を設置する。 （もっと読む）

【課題】 触媒と放電を併用したＶＯＣｓを処理する空気処理装置において、触媒の性能を低下させず、放電を停止させることなく、連続的に運転できる高い処理効率を有する空気処理装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 高圧電極２と、この高圧電極２に対向して所定の距離を隔てて配置され、接地された多孔質触媒体３と、この多孔質触媒体（接地電極）３の側面部外周に取り付けられた加熱用の発熱体４と、高圧電極２と多孔質触媒体（接地電極）３間に高電圧を印加するために接続された高圧電源５と、さらに、多孔質触媒体（接地電極）３の後方に設けられた吸気用ファン６と、高圧電極２の前方に設けられた除塵フィルタ７とを備えた空気処理装置。触媒と放電の併用により、効率よくＶＯＣｓを処理することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを安定して発生させることのできるプラズマ発生装置を備えた燃料改質装置を提供する。
【解決手段】燃料供給手段とプラズマ発生装置とを備え、該プラズマ発生装置が高電圧電極と接地電極を含む３つ以上の電極を具備し、これらの電極が同一平面上で対向して配置されたことを特徴とする、燃料改質装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】安価かつコンパクトな排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】ターボチャージャ７のタービン７ｂ側では、タービンハウジング１０の内部に、タービンホイール１１が収容されている。タービンホイール１１は、回転軸１５の一端に固定されており、回転軸１５の他端には、図示しないコンプレッサーホイールが固定されている。タービンハウジング１０には、回転軸１５と同軸上に、排気管６が接続されている。タービンホイール１１の表面が誘電体で被膜され、タービンホイール１１が高周波電源１６と電気的に接続され、排気管６が接地されることにより、排ガス処理装置２０が構成されている。 （もっと読む）

水素、亜酸化窒素若しくは炭化水素ガスなどの燃料ガスのみ又は燃料ガスと酸化ガスの両方を含むガス流を処理する方法が記載されている。前記ガス流は、複数のポンプ段階を有する真空ポンプ配列を介して運ばれる。最後のポンプ段階の直前又は直後に、ガス状の酸化剤を前記ガス流に加えて前記燃料ガスを酸化させる工程が行われる。このようにして前記ガス流を処理することにより、前記燃料ガスの制御不能な燃焼のリスクを最小限にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 稼動時の熱に起因する熱応力が印加されてクラックが発生しにくいプラズマ発生体を提供することにある。また、このようなプラズマ発生体をもちいたプラズマ発生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマ発生体は、第１電極１及び第１電極１を支持する第１絶縁部３と、第１電極１上に対向して配置される第２電極２及び第２電極２を支持する第２絶縁部４と、第１絶縁部３と第２絶縁部４のそれぞれの一方端が接合される第１側部５とを備え、第１絶縁部３と第１側部５とにより構成される内部空間Ｓの角を第１絶縁部３と第１側部５との接合部に沿って結んだ第１の線分が、非直線部を有している。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ場のばらつきを抑制し、流体を良好に分解することができるプラズマ発生体および及びプラズマ発生体を用いた各種装置を提供することにある
【解決手段】 本発明のプラズマ発生体は、内部空間Ｓを挟んで対向する一対の第１電極４を備える管状の外囲体１と、一対の第１電極４間に、間に空隙を介して配置される第２電極５とを備え、２電極５は、一方の端部３ａが外囲体１に固定され、且つ他方の端部３ｂが自由端であり、一対の第１電極３のそれぞれと第２電極４との間にプラズマを発生させるものである。 （もっと読む）

【課題】放電を用いて窒素ガス中でＮＯxの還元処理を行うに際して、窒素ガス所要量を低減してランニングコストを低減する。
【解決手段】ガス入口からNOｘを含んだガスを放電容器６に導入し、内部で放電処理を行って還元処理を行い、これを循環させてＮＯｘの還元処理操作を行うに際して、接地電極用金属円筒１２内の中心にワイヤ電極を樹脂製バネにより支持して設け、端部側の樹脂製円板１５から炭素棒７〜１０を挿入する。放電容器６に高電圧を投入し、放電を誘起することによりＮＯxの還元処理を行うとき、発生する酸素は放電容器６中に挿入している炭素棒との反応によりＣＯやＣＯ_２に変換し、ＮＯｘ還元処理を阻害する酸素を減少させ、窒素ガスを長寿命化する。 （もっと読む）