プラズマ除害デバイスは、デバイスによって処理されるべきガスを受け入れるためのガス入口と、ガス出口と、を有するガスチャンバを含み、ガスチャンバの内面の少なくとも一部が、ハロゲン化合物および水蒸気を含有するガスの処理中腐食に抵抗する導電性材料で形成され、あるいはコーティングされる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、多様な形態のプラズマ反応装置及びこれを用いたプラズマ反応方法に関し、より詳しくは、回転アークプラズマを発生させ、発生した回転アークを用いて燃料の改質、難分解性ガスの化学処理、吸蔵触媒方式のNOx低減装置等に応用するための装置及びこれを用いた反応方法に関する。
【解決手段】
このために反応原料がスワール(swirl)構造の流入ホールに流入されるようにし、流入される原料が回転流を形成しながら進行するようになり、これによって上記原料が制限された体積のプラズマ反応空間でも充分に反応されると同時に、より速い高温プラズマ反応が可能となり、また、反応炉の上部の幅が拡張されて形成された広域チャンバを介してプラズマ反応ゾーンが排出前に拡張されるようにして、拡張段に電極と一定の間隔で離隔された先端部が形成されるようにして形成されたプラズマが膨脹及び停滞することによって、プラズマ反応ゾーンの不連続性を排除することができる多様なプラズマ反応装置及びこれを用いたプラズマ反応方法、難分解性ガスのプラズマ反応方法及び吸蔵触媒方式のＮＯｘ低減装置に関する。 （もっと読む）

【課題】吸着材からの排ガスの濃縮脱離において、非熱プラズマを印加する手段を備えることにより、追加的な装置を必要とせずに、常温常圧で処理することができ、ランニングコストの低廉化が可能である非熱プラズマによる排ガスの濃縮脱離装置を提供する。
【解決手段】本発明は、排ガスの出入り口を設けた容器と、前記容器内に充填された排ガスを吸着する吸着材と、１Ｈｚ〜１０００ＨｚのＡＣ電源、パルス電源、矩形波電源又は三角波電流を持つ電源と、前記いずれかの電源からの放電により、前記吸着材に対して、常温常圧下において、電離気体を発生させる非熱プラズマ印加手段を備え、前記電離気体により、吸着材に吸着され濃縮された排ガスの脱離とともに吸着材の再生を行う。 （もっと読む）

【課題】 排ガス中の水分による回路の短絡を防止することができる、プラズマ放電を利用した排ガス浄化装置を提供する。
【解決手段】 絶縁性ハニカム構造体、前記ハニカム構造体の外周部に配置され外周電極として機能する、前記ハニカム構造体を収納するケース、及び前記ケースの中心軸上に保持されている棒状の放電電極を有する排ガス浄化装置において、前記ケースを絶縁性ハニカム構造体部を下にして水平面に対して３０〜９０°の角度をなすように配置し、前記放電電極を上部からケース内に前記絶縁性ハニカム構造体と接触しないように挿入する。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ放電をより効率よく発生させる方法の提供。
【解決手段】誘電体１０の両面に電極１１，１２を取り付け、該電極の内面又は誘電体の外面に、ガスを通過させるためのギャップ１４を一定間隔に多数設け、一方の側のギャップの存在しない位置に、他方の側のギャップが存在して位置するようにしてなるプラズマ放電反応部を備えたプラズマ放電反応器の両電極間に、正および負のパルス電圧波形を有するパルス電圧を印加し、プラズマ放電を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 排ガス温度が低温であって、かつ硫黄酸化物を含有する排ガス中の窒素酸化物を、硫黄酸化物の影響を受けずに、効率的に除去処理できるようにする脱硝法を提供する。
【解決手段】 一酸化窒素及び二酸化硫黄を含む排ガス中の窒素酸化物を還元的に除去する脱硝方法であって、前記排ガス中の一酸化窒素の一部を酸化して二酸化窒素を生成する第１工程、窒素化合物及び炭化水素化合物を高温領域に添加してアミンラジカルを生成する第２工程、該アミンラジカルと前記第１工程から排出した一酸化窒素及び二酸化窒素を含む排ガスを混合する第３工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フロンガスを無害化する分解方法及び分解装置の提供。
【解決手段】フロンガスが供給される反応容器と、前記反応容器内に配設された複数の炭素繊維片と、前記炭素繊維片間にマイクロ波放電を生じさせるようマイクロ波を照射するマイクロ波照射手段とを備え、マイクロ波の照射により前記炭素繊維片間に生ずるマイクロ波放電によって、フロンガスを分解させるたことを特徴とする。
更には、分解ガス無害化手段により、フロンガスの分解によって発生した分解ガスを無害化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な構造で多くの有害ガスを処理可能で、さらに電極が汚損した場合には簡単な操作でクリーニングを行うことが可能で、かつ洗浄剤や洗浄水を必要としない有害ガス処理装置を提供しようとするものである。
【解決手段】本発明は以上のような課題を解決するため、金属を集成マイカで絶縁した電極４の間に有害ガスを吸着する吸着体５を設け、高圧電源７によって電極４間にプラズマを発生させることによって有害ガスを分解させるようにしたもので、さらにプラズマを発生させながら酸素原子を含み常温で気体あるいは液体である有機物の蒸気を流す電極のクリーニング動作を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理法において、できる限りリアクタ管の腐食及びリアクタ管内の温度を低下させることが可能かつ高効率に処理が可能な、半導体製造装置からの排ガス処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】半導体製造工程における排ガスを、プラズマを発生する高周波放電管に導入し、該高周波放電管用電極に高周波電力を印加することにより前記容器内にプラズマを発生させて半導体プ口セス用排ガスを分解処理する半導体プ口セス用排ガス処理方法において、上記高周波電力をパルス発生器によってパルス変調することを特徴とする半導体プ口セス用排ガス処理方法及び処理装置を提供する。 （もっと読む）

マイクロ波プラズマ反応装置（１０）であって、反応チャンバと、反応チャンバの内部に配置されたマイクロ波共鳴キャビティ（１４）と、マイクロ波放射を共鳴キャビティに導くための導波管（１６）であって、収束性のテーパ部分を有してなる導波管と、共鳴キャビティの内部にプラズマを開始及び持続させるために、マイクロ波放射から、共鳴キャビティの内部に電磁定在波を形成するための手段と、ガス入口及びガス出口を有してなる共鳴キャビティと、ガス入口からガス出口へ流れるガスと共に、共鳴キャビティから運ばれたプラズマを収容すべくガス出口から延びてなる導管手段と、を備えていることを特徴とする反応装置。 （もっと読む）

多結晶シリコンのエッチング処理からの排気ガスを処理する方法が開示され、ガスを処理するために、プラズマ減少装置を使用する。装置は、ガスを受けるガス入口と、ガス出口とを有してなる、ステンレス鋼のガスチャンバを備えている。ガスは、含ハロゲン化合物及び水蒸気を含有するので、チャンバは、チャンバの内部の表面に水が吸着されるのを阻止する温度に加熱され、それにより、ガスチャンバの腐食を阻止する。次に、ガスは、処理のためにガスチャンバに運ばれて、ガスの処理中には、チャンバの温度は、前記温度よりも高温に維持される。 （もっと読む）

【課題】 排気中のオゾン濃度を低減するとともに、脱臭能力を高めることができる生ごみ処理機用脱臭装置を提供することである。
【解決手段】 生ごみ処理機用脱臭装置１０は、生ごみ処理機内の臭気を矢印Ａの方向へ吸い込む吹込口１１と脱臭後の空気を矢印Ｂの方向へ吹き出す吹出口１２とを有する筒状の流路１３と、流路１３の吸込口１１付近の壁面に設けられた放電部を有する第１脱臭部１４と、第１脱臭部１４の下流側であって流路１３の吹出口１２付近に設けられた触媒を有する第２脱臭部１５と、第２脱臭部１５の上流側の流路１３内に設けられたヒータ１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 放電が不安定になり易いガスでも安定に放電が持続され、放電の印加電圧を下げ、且つ電極間の静電容量を下げることにより電源の小型化を達成できる排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る排ガス処理装置は、誘電体を有する第１の平板電極１３と、第１の平板電極１３に対向して配設され複数の貫通する空隙（例えば、長穴１６）を設けた第２の平板電極１１と、第１の平板電極１３と第２の平板電極１１との間に排ガス１５を流す排ガス供給手段と、第１の平板電極１３と第２の平板電極１１との間に交流電圧を印加して放電させて排ガス１５を処理する電源装置１４と、を有する。 （もっと読む）

化学的、微生物学的汚染物質の除染のための中空陰極源汚染物質除去装置が開示される。この装置は、汚染化学物質および微生物を単純な副生成物に分解するためのプラズマを発生するための中空陰極源（ＨＣＳ）を有する。副生成物はＨＣＳの内表面に捕獲される。この装置は、空気あるいはガス流だけでなく物体の表面から汚染化学物質および微生物を除去することを可能とする。この装置の運転方法も開示される。
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【課題】排ガス処理において十分な活性ガスを発生させるためには大型装置が必要であるが、本発明は、装置をコンパクトにし、且つ運転コストも低価にできる高効率のオゾンを１例とする活性ガス生成方法、生成装置及び排ガス処理システム装置を提供する。
【解決手段】排ガス処理、表面処理、脱臭などに利用可能な活性ガスの生成方法において、原料のガスを、電極間にて放電を行うプラズマ反応器に導入して前記活性ガスを発生させ、該活性ガスの一部を、前記プラズマ反応器に導入し、循環して高濃度化する活性ガス生成方法及び生成装置並びにこれを用いた排ガス処理システム装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ分解反応に不可欠な酸素と水素との供給が簡便に行え、しかもプラズマ分解反応が安定して十分に進行し、ＰＦＣを効率よく分解、除去できるようにする。
【解決手段】ＰＦＣを含んだ排ガスを前処理スクラバー１に導入し散水ノズル４から散水して排ガスに水分を添加し、この排ガスをプラズマ処理部７の反応室９においてプラズマ分解反応する。水分の添加量をプラズマ分解反応に必要な量とするため、散水の温度を調節して、十分な量の水分が添加できるようにする。散水用の水として、水冷ジャケット９２からの冷却水を利用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 天然ガス等の燃料の使用による温室効果ガスの実質的な排出量を低減する。
【解決手段】 天然ガス等の燃料の製造時に副次的に生成されるガスであって、任意の範囲で空気と混合しても常温常圧において可燃範囲に入らない低濃度のメタンを含む混合ガスＧ１を、空気と混合及び加湿させた後、放電プラズマ雰囲気中を通過させて、混合ガスＧ２中の低濃度メタンを分解する。放電プラズマは、パルス電源を備えたプラズマ処理装置１が発生するパルス放電プラズマを用いる。 （もっと読む）

本発明は実質的に大気圧でガス流出物をプラズマ処理する方法に関し、処理される流出物をプラズマトーチに注入し、プラズマの上流または下流で水蒸気を注入することを含む。 （もっと読む）

【課題】トンネル等の換気ガスに含まれるＮＯ_Xは極めて低濃度ではあるが人体や環境に悪影響を及ぼすことがあるため、当該物を処理する。
【解決手段】大気の一部分として捕集されたガス中の被処理成分を吸着剤１３に吸着後、流路を切り替え、酸素濃度10vol％以下で純度90vol％以上の窒素ガスを吸着剤の存在する流路に流し、放電を発生させ窒素ガスの非熱プラズマを吸着剤１３'に印加し、被処理成分の脱着処理及び吸着剤の再生及び下流のプラズマリアクタ１４'で窒素プラズマによる被処理成分除去を行う。 （もっと読む）

【課題】 自動車、工場等から排出される排ガスに含まれる窒素酸化物を適切に浄化する排ガス浄化装置および排ガス浄化方法を提供する。
【解決手段】 排気通路７０に設けられ、排ガスに放電する反応器２０と、反応器２０の下流側の排気通路７０における排ガス中の窒素酸化物の濃度を検出する検出手段４０ｍと、検出手段４０ｍによって検出された窒素酸化物の濃度と所定の基準値との比較結果に基づいて、反応器２０の出力を制御する制御手段５０と、を備えることを特徴とする。そして、反応器２０の下流側の排気通路７０における排ガス中の窒素酸化物の濃度を検出し、検出された窒素酸化物の濃度と所定の基準値とを比較し、その比較の結果に基づいて、反応器２０の出力を制御することとしている。 （もっと読む）