【課題】中央部の放電空間における温度上昇を抑制することができるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体３と、該各誘電体３の内部に配設された導電体５とを有し、導電体５間に電圧を印加することにより誘電体３間の放電空間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体３が４つ以上であり、誘電体の配列方向の中央部における誘電体の内部に配設された第１導電体の電気抵抗値は、端部における誘電体の内部に配設された第２導電体の電気抵抗値よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】中央部の放電空間における温度上昇を抑制することができるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体３と、該各誘電体３の内部に配設された導電体５とを有し、導電体５間に電圧を印加することにより誘電体３間の放電空間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体３が４つ以上であり、誘電体３の配列方向における中央部の放電空間を挟んで対向する導電体５間の対向面積は、誘電体３の配列方向における端部の放電空間を挟んで対向する導電体５間の対向面積よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】パルス方式の電子ビームによる非平衡プラズマにより高密度ラジカルが生成でき、プラズマ反応におけるエネルギー損失が小さく、かつ、小型、高効率なプラズマ反応装置を提供する。
【解決手段】高電圧パルス形成部に接続されたパルス電子ビーム発生部１２と、内部が常温・常圧状態に保持された照射容器１３とを備えたプラズマ反応器において、該パルス電子ビーム発生部と該照射容器との間に電子ビーム透過膜１８を設け、パルス電子ビーム発生部から照射容器内にパルス電子ビーム２１を打込むことによりガス分子の電子衝突解離エネルギー閾値以上の高エネルギー電子を大量に有する大気圧非平衡プラズマを生成する。 （もっと読む）

【課題】 吸着材に吸着された水分の影響による放電の不均一性を防ぎ、分解性能を低下させることのない放電電極と、これを用いた空気浄化装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 放電電極１は、管状の接地電極２の管内に管状の高圧電極３が所定の間隙をおいて同心状に配置され、さらに、高圧電極３側には管状の誘電体４が高圧電極３を覆うように設置されており、接地電極２および高圧電極３の両端面は絶縁板５で遮蔽され、また、接地電極２と高圧電極３および絶縁板５で形成される空隙に吸着材６が充填され、接地電極２の側面には被処理ガスの導入口７が設けられ、ガス分散器８が取り付けられており、導入口７の反対面には被処理ガスの排出口９が設けられている。これにより、安定した放電を実現し、効率よく揮発性有機化合物を処理することができる。 （もっと読む）

排出物の流れに対して除害処理を施すよう構成された熱除害リアクタとこの熱除害リアクタからの排出物の流れを受け取るよう構成された排出装置等を含む、電子デバイス製造装置の排出物の除害システムが提供される。幾つかの他の実施形態が提供されている。
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【課題】プラズマを利用してガスの処理を行うガス処理装置において、汎用性が高く、特に芳香族化合物など処理が困難な成分を含有する大量のガスを速やかに処理することができるガス処理装置を提供する。
【解決手段】ガスの流路上に直列配置された複数のガス処理ユニット２０Ａ，２０Ｂからなるプラズマ装置列と、プラズマ装置列の各プラズマ装置２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する制御部１０とを備える。各プラズマ装置２０Ａ，２０Ｂは、ガスの流路に連通する導電体からなるキャビティ２２Ａ，２２Ｂと、このキャビティ２２Ａ，２２Ｂ内にプラズマを発生させるプラズマ発生器２３Ａ，２３Ｂと、このプラズマ始動部２３Ａ，２３Ｂの発生するプラズマにマイクロ波を照射するマイクロ波照射器２４Ａ，２４Ｂとを有する。制御手段１０は、稼働するプラズマ装置２０Ａ，２０Ｂの数を、導入されるガスの成分に応じて選択する。 （もっと読む）

【課題】レシプロエンジン、ロータリーエンジン、ジェットエンジンやガスタービンなどの熱機関等からの酸素を含む排気ガス中の粒子状物質を、高効率、かつ、低コストで、また、アンモニアや尿素を使用しない乾式により、触媒を使用しない場合であっても低温で処理を行うことができ、装置構成が小型化された排ガスの物質浄化装置を提供する。また、排ガス中のＮＯｘ及び煤や炭化水素の同時除去も可能とする。
【解決手段】排気通路から排ガスが導入されるキャビティ７と、マイクロ波吸収体材料４を添加した耐熱性材料で形成されキャビティ７内に収納された微粒子捕集用フィルタ２と、ＧＨｚ帯域の周波数の電磁波を出力するパルス電磁放射供給源９と、パルス電磁放射供給源９からの電磁波を供給されキャビティ７内にマイクロ波を放射するマイクロ波アンテナ８とを備え、キャビティ７は、マイクロ波アンテナ８から放射されるマイクロ波を共振させ閉じこめる。 （もっと読む）

【課題】電流増加と放電の安定性が得られ、排ガスを長時間プラズマに通過させる筒型回転ストリーマ発生装置の提供。
【解決手段】外筒２の中央に金属細線からなるストリーマ発生素子１を取り付けた回転内筒を配置する。ストリーマ発生素子１にプラス電圧を印可電圧投入口５より印可し、金属プレート１８を巻いた外筒２にマイナス電圧を印可するとストリーマ放電１５が発生する。回転内筒はモータ１３で駆動し、排ガスはファン１４によって吸引する。 （もっと読む）

【課題】水素オフガスを安全かつ迅速に処理することができ、処理コストが低廉で、車両搭載用として好適に用いることができる水素オフガス処理装置、燃料電池システム及び水素オフガスの処理方法を提供する。
【解決手段】電極１２、１３間に、二重壁構造によってガス流路１１ａが形成された反応管１１が設けられており、電極１２、１３は電圧を付与する高圧電源２０に接続されている。ガス流路１１ａ内に水素オフガス及び酸素ガスを含有する混合ガスを供給するガス供給手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 稼動時の熱に起因する熱応力によって破損したとしても、使用することが可能な構造体を提供することにある。また、構造体の使用方法、ならびに構造体を搭載したプラズマ発生体、オゾン発生器、排ガス処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
第１絶縁部３及び第２絶縁部４のそれぞれの一方端が、第１側部５に対して固定され、且つ第１絶縁部３及び第２絶縁部４のそれぞれの他方端が、第２側部６に対して固定されているとともに、第１絶縁部３には、溝７或いは空洞８もしくはポーラス状部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】装置由来の不純物を生じさせることなく汚染粒子を処理できるコンパクトな汚染粒子処理装置を提供する。
【解決手段】外部の気体を遮断し、内部に気体を流通させる気体流通路１１１と、気体流通路１１１の外部に配置され、気体流通路１１１内に高周波を印加してプラズマを発生させる高周波印加部１３０と、汚染粒子を含む汚染気体を気体流通路１１１に導入する汚染気体導入路１１８と、を備え、導入気体をプラズマ化する。このプラズマにより汚染粒子を分解して処理するため、直接に電極と汚染物質が接触することがなく、装置由来の不純物を生じさせない。また、プラズマジェットトーチ等を必要とせず、装置をコンパクトにし、かつ低コストなものにすることができる。その結果、排ガス処理装置として自動車に搭載したり、ＶＯＣやナノ粒子を排出する工場や事業所に設置したりすることができる。 （もっと読む）

【課題】地球温暖化の原因である工場等から排出される二酸化炭素を炭素とオゾンに還元して、低コストで二酸化炭素を固定化できるとともに、固定化により付加価値の高い生成物を得ることができる二酸化炭素の分解システムを提供する。
【解決手段】工場等から排出される二酸化炭素を、オゾン発生装置を利用して炭素と酸素に変え、さらに生じた酸素をオゾンに分解する。オゾン発生装置は、紫外線法や放電法、高圧オゾン発生装置、大気プラズマ装置による。プラズマジェットの熱源の温度は約１，０００度であり、熱源は、工場の余剰熱源、その他、太陽光や風力、水力発電等、二酸化炭素の排出量が少ない方法による。 （もっと読む）

【課題】誘電体を挟んで配置された電極間に高周波電圧を印加した場合に、一定方向に気流が発生する現象を利用することで、処理対象のガスを浄化処理手段に送風する。高周波電圧の放電により、オゾンの発生を促すと共に、オゾン分解触媒によるオゾン分解時に不純物を効果的に分解する。
【解決手段】第１の放電電極と、これに誘電体を介して対向して設けられた第２の放電電極と、これら第１及び第２の放電電極に対して高周波電圧を印加する放電用電源とを備える。前記第１の電極、誘電体及び第２の電極を、前記第１の電極と第２の電極に対して高周波電圧を印加した場合にこれらの電極間に発生する誘電体バリア放電により一定方向に気流が流れるように配置することで、放電気流誘起部を形成する。放電気流誘起部における気流の流れ方向の後段に浄化処理部を設置する。浄化処理部は、浄化処理部に供給されたガス中の不純物を浄化する浄化処理手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】より広いガス条件でプラズマ放電できるプラズマ生成装置を提供すると共に、ＰＦＣなどの有害成分の除去効率を向上させるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】ガス導入口１ａとガス導出口１ｂを有する円筒状反応容器１に螺旋コイル２を巻回し、この螺旋コイルの２箇所に形成した電極５、６に高周波電源３からの高周波電力を印加して筒状反応容器内でプラズマを発生させ、ガス導入口から導入したガス中の有害成分を分解するプラズマ生成装置であって、螺旋コイルの全巻数が、螺旋コイルの２箇所の電極間の巻数よりも多くされる。ガス導入口側の電極の外側に存在するコイルの巻数をＬとし、２つの電極間のコイルの巻数をＭとしたとき、Ｌ／Ｍが０．３以上である。ガス導出口側の電極の外側に存在するコイルの巻数をＮとし、２つの電極間のコイルの巻数をＭとしたとき、Ｎ／Ｍが０．５以上である。 （もっと読む）

【課題】地球温暖化の原因である工場等から排出される二酸化炭素を炭素とオゾンに還元して、低コストで二酸化炭素を固定化できるとともに、固定化により付加価値の高い生成物を得ることができる二酸化炭素の分解システムを提供する。
【解決手段】工場等から排出される二酸化炭素を、オゾン発生装置を利用して炭素と酸素に変え、さらに生じた酸素をオゾンに分解する。オゾン発生装置は、紫外線法や放電法、高圧オゾン発生装置、大気プラズマ装置による。であり、プラズマジェットの熱源の温度は約１，０００℃であり、熱源は、工場の余剰熱源、その他、太陽光や風力、水力発電等、二酸化炭素の排出が少ない方法による。 （もっと読む）

【課題】周囲の雰囲気や稼動時の熱に起因する熱応力によって配線構造体が破損する可能性を低減することができる配線構造体、装置および流体処理装置、ならびに車両を提供する。
【解決手段】配線構造体は、間に空間ｓを介して対向する一対の板状部材１と、一対の板状部材１のそれぞれの両端を保持する支持部２とを備え、一対の板状部材１のうち少なくとも一方の板状部材１には、上下方向に貫通する貫通孔５を設け、電極３を絶縁体４の内部に形成する。 （もっと読む）

【課題】 高圧電極の金属導体を被覆する誘電体を熱応力から保護し、損傷を防止することにより、異常放電を発生させずに、安定的に空気浄化できる空気浄化装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 管状誘電体２ｂの管内に空隙２ｇを設けて金属導体２ａが挿入され、空隙２ｇの一部に、金属導体２ａと管状誘電体２ｂとを電気的に接続させる導電体２ｅが設けられた高圧電極２と、化学物質を吸着する吸着材３ｈに導電体３ｔが接続された接地電極３と、を備えた放電電極とそれを用いた空気浄化装置。金属導体２ａと管状誘電体２ｂに空隙２ｇがあるので放電時の熱応力による管状誘電体２ｂの損傷を防止でき、また、金属導体２ａと管状誘電体２ｂとが導電体２ｅにより繋がっているので、放電が安定し異常放電が発生し難い。 （もっと読む）

【課題】放電リアクターを大型化することなくプラズマ放電の出力アップ並びに浄化性能の向上を実現することのできる放電リアクターを提供する。
【解決手段】高電圧電極１に接続される中心電極２と、この中心電極２に接続されると共に外周部１１に溝部１２が形成された内部電極３Ａ〜３Ｅと、これら内部電極３Ａ〜３Ｅを取り囲むようにしてその周囲に設けられた誘電体４と、誘電体４の外周囲に設けられた外部電極５と、を備える。また、複数ある内部電極３のうち一つの内部電極３Ｅの外周部１１を誘電体４の内面４ａに接触させる。 （もっと読む）

【課題】電磁波でエネルギーを供給してプラズマを発生させ、プラズマに気体または液体状態の水素または炭化水素燃料を供給して高温のプラズマ火炎を発生させ、これを用いてフッ化ガスを除去するフッ化ガス除去装置および除去方法を提供する。
【解決手段】電磁波を発振するマグネトロン１０と、マグネトロン１０に反射される反射波を吸収する循環器３０と、電磁波の強さを入射波と反射波でモニタリングする方向性結合器４０と、インピーダンスを整合させるスタブチューナー５０と、スタブチューナーから伝送される電磁波が入力される導波管６０と、導波管を通して入力される電磁波及び外部から注入される渦流ガスによってプラズマを生成する放電管７０と、放電管に渦流ガスを供給する渦流ガス供給部８０と、放電管内にプラズマ発生のための初期電子を供給する点火部９０と、放電管内のプラズマに燃料及び廃ガスを供給する燃料・廃ガス供給部１００とを含む。 （もっと読む）

【課題】 周囲の雰囲気や稼動時の熱に起因する熱応力によっても、破損する可能性が低減できる構造体及びこれを用いた装置を提供すること。
【解決手段】 本発明のプラズマ発生体１は、平板状の第１電極２と、主面が、第１電極２の主面に対向して配置される平板状の第２電極３と、平面視でこれら電極２，３同士の対向領域の両端に設けられ、第１電極２及び第２電極３を一定の距離だけ離間させて支持する一対の側部６と、一対の側部６に設けられたヒータ８とを備えている。 （もっと読む）