【課題】 臭気成分を含む空気の廃棄物焼却炉内への閉じ込めを確実にする。
【解決手段】 廃棄物貯留部内圧力保持システムは、誘引送風機１４と、第１流量計１５と、第２流量計１６と、比較部１８と、制御部１９とを含む。比較部１８は、定格運転時にごみピット３内から焼却炉本体２に供給されるべき燃焼用空気の定格押込流量Ｑ０と、第１流量計１５によって測定された燃焼用空気の測定流量Ｑ１との差ΔＱ１を求める。制御部１９は、第２流量計１６によって測定される、誘引送風機１４によって誘引される空気の流量Ｑ２が比較部１８で求めた流量差ΔＱ１となるように、誘引送風機１４の動作を制御する。これによって、ごみピット３から排出される空気の流量が、燃焼用空気の流量の変動にかかわらず一定になり、これによってごみピット３内の圧力を一定に保持することができ、臭気成分を含む空気の焼却炉１内への閉じ込めが確実となる。 （もっと読む）

【課題】電極間距離を任意に設定することができ且つ製造容易な放電リアクターの内部電極製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】高電圧電極１に接続される中心電極２と、該中心電極２に取り付けられる内部電極３と、該内部電極３を取り囲むようにしてその周囲に設けられた誘電体４と、該誘電体４の外周囲に設けられた外部電極５とからなる放電リアクターの内部電極製造方法であって、前記内部電極３は、外周部分に複数の突起１０を波状に形成した鋸歯状電極板１１を、スペーサ１２を介して前記中心電極２の軸方向に沿って所定間隔で複数配列して形成される。 （もっと読む）

【課題】ガス処理部内における状態の変動に応じて、スイッチング素子のゲート幅を制御することができる。
【解決手段】本発明の放電式ガス処理装置３１においては、温度測定部３２は、放電部１３の内部に設置され、放電部１３の内部の温度を常時測定し、測定された温度を示す温度測定信号を生成し、生成された温度測定信号を放電電源１４内の制御部３３に信号線３４を介して供給する。制御部３３は、温度測定部３２から信号線３４を介して供給された温度測定信号に基づいて、放電電源１４内において高電圧パルスを切り出すスイッチ２５のタイミング（ゲート幅）を制御する。すなわち、充電回路の共振周期終了時点で、スイッチ２５を開くように制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマトーチを用いた廃ガス処理装置に関するものである。
【解決手段】本発明によれば、ボディー内部に空き空間として設けられた主燃焼室に向けて処理対象の廃ガスが流入されるための廃ガス流入口が形成され、廃ガス流入口を介して流入された廃ガスに火炎伝播が行われるようにプラズマトーチが形成された廃ガス処理装置において、プラズマトーチのノズルを介して放射される火炎に向けて高温の水蒸気が噴霧できるように備えられたスチーム噴射口と、主燃焼室の下側にチューブ状に長く延長されて形成され、プラズマトーチのノズル圧力により誘導された廃ガスと反応促進化合物との化学反応が起こる反応チューブとを含めてなされることを特徴とするプラズマトーチを用いた廃ガス処理装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】希薄なＰＦＣを効率良く、ガス流路の切り替えなしに濃縮し、効率よくＰＦＣを分解する。
【解決手段】ＰＦＣと、Ｎ₂ 等を含有する希薄ＰＦＣガスの濃縮方法であって、多孔体層の両側に圧力差を発生させ、高圧側に希薄ＰＦＣ含有ガスを導入し、低圧側からＰＦＣより分子の小さいガスを排出する。多孔質をフッ素化することにより、分離効率を向上させる。上記のＰＦＣガスの濃縮工程と、ＰＦＣの分解工程と、後処理工程を有するＰＦＣ分解システムを提供可能である。 （もっと読む）

【課題】自動車等の排気ガス中に含まれるＮＯ_Xをプラズマリアクタにより効率よく吸着しかつNOxをN2に還元する排気ガスの処理方法及び処理装置を提供する。
【解決手段】吸着塔内部に吸着剤を備え、排気ガス中のNOxを含む被処理成分を前記塔内に流入し、該吸着剤に吸着させる工程、酸素濃度10vol％以下で純度90vol%以上の窒素ガスを前記塔内部の前記吸着剤に供給する工程、前記工程中において、前記排ガスの有する熱を前記吸着剤に伝熱する工程、前記伝熱により、前記被処理成分の脱着処理及び吸着剤再生を行う工程、前記工程において脱着された被処理成分を、下流に接続又は一体化して配置されたプラズマリアクタ内に導く工程、脱着された被処理成分に前記窒素ガスのプラズマを印加する工程、を備えて、NOxをＮ２に還元することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プラズマリアクターによるプラズマガス処理装置において、処理対象物質の処理能力を保ちながら消費電力の低減を図ることができる様にする。
【解決手段】プラズマガス処理装置は、装置内に被処理ガスを吸い込み、排出するための送風手段１０５と、被処理ガス中の対象物質を分解処理するためのプラズマリアクター１０１と、プラズマリアクターに電力を供給するための電力供給手段と、プラズマリアクターにより処理された後のガス中の物質の濃度を検出するためのガス濃度検出手段を有する。ガス濃度検出手段は、ガス中の異なる複数種類の物質のガス濃度を検出するガス濃度センサー１０２、１０３を有する。電力供給手段は、異なるガス濃度センサーの夫々の出力を用いて、プラズマリアクター１０１に供給する電力を制御する。 （もっと読む）

本発明は、反応器から流出する流出物を破壊する方法であって、第１の化学種を生成し、次いで、第１の化学種は、第２の気体、液体或いは固体化学種に、これら第２の化学種の乾式或いは湿式精製手段との相互作用以前に、変換されることを目的として、前記流出物は、フッ素とＰＦＣ若しくはＨＦＣタイプの分子の他の元素との間の少なくとも１部の結合を破壊することのできる、プラズマ手段へ向けて、少なくとも１つのポンプにより、移送されるものに関する。本発明によれば、生成される第１の化学種と反応することを目的として、少なくとも１つの還元剤が、プラズマの上流及び/又は下流であるが精製手段の上流で投入される。
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【課題】少ない消費電力で効率的に、排気ガス中の微量物質を除去する。
【解決手段】陽極１３と陰極１４との間にプラズマ放電を発生させるためのプラズマ放電装置において、プラス側にのみパルス状の電圧波形を有する非対称の波形であって、放電基底電圧をマイナス電圧に設定した放電波形を生成する波形生成手段１６と、波形生成手段１６で生成された放電波形の電圧を出力する出力手段１６と、出力手段１６の出力を所定の増幅率で増幅し、陽極１３と陰極１４との間に印可する増幅手段１５とを備えた。 （もっと読む）

本方法は、ガス流を処理するための減少装置の効率制御のために記述される、その中でガス流の一部は、ガス流からのペルフルオロ種の除去のためのプラズマ減少装置から分流され、及び真空ポンプのためのパージガスとして減少装置から上流のガス流に戻される。これにより減少装置のエネルギー要求及びパージガスを補うためにガス流に加えられる不活性ガスの量、の両方とも減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等のガス使用設備から排出される排ガス中のハロゲン含有化合物などの被除去化合物をプラズマ処理などの処理によって除去する際に、排ガス中に含まれる被除去化合物の種類、濃度などが変動しても、排ガス中に含まれるハロゲン含有化合物などの被除去化合物を完全に除去できるようにする。
【解決手段】ガス使用設備１にガス供給装置２から供給されるガスの種類、流量および供給時間が入力され、これらパラメータに基づいて、排ガスに添加する添加ガスの種類、流量および添加時間とプラズマ処理における印加電力とを算出する演算処理部３５と、この演算処理部３５からの指示信号に基づいて前記添加ガスの種類、流量および添加時間を制御して添加する添加ガス供給部３３と、前記演算処理部３５からの指示信号に基づいて印加電力を制御して印加する電源部３４３を備えた排ガスの処理装置。 （もっと読む）

【課題】連続使用が可能で、かつ効率的なガス処理方法及びその装置を提供する。
【解決手段】本発明のガス処理方法は、有機化合物を含む被処理ガスを反応器内に通じて、被処理ガスを反応器内に設けられた導電性吸着剤に接触させて、被処理ガスに含まれる有機化合物を導電性吸着剤に吸着させ、導電性吸着剤を第１電極として使用し、かつ第１電極と間隔をあけて接地電極となる第２電極を設け、第１電極に電圧を印加することにより第１及び第２電極間に放電を連続的又は間欠的に発生させて、導電性吸着剤に吸着させた有機化合物並びに反応器内で導電性吸着剤に吸着せずに存在している有機化合物を分解処理することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤蒸気の捕集を確実にし周囲の作業環境の悪化を未然に防止するとともに、処理装置をコンパクトで安価に製作できるシステムを提供することを目的としている。
【解決手段】有機溶剤１０４を貯留し上方が開放である洗浄槽１０１の上端縁１１３周囲に配設され、有機溶剤蒸気を吸引するための吸引口２として上方向開口部４と横方向開口部６を有し、上方向開口部４の外周に隔壁７を立設した吸引ダクト１と、有機溶剤蒸気を回収または分解するために吸引ダクト１に接続された処理装置１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】有害成分等の分解を放電と触媒の複合体によって行い、放電によって生成されるラディカル種を利用するとともに、触媒を活性状態に維持するための操作の低コスト化を図ったガス浄化装置を提供する。
【解決手段】処理対象のガスを先ず放電部１１１に導入し、このガスに対し放電処理を行い、そのガス成分の一部を分解すると共に一部を不安定な励起状態にする。この放電部１１１により放電処理されたガスを触媒部１０２に導入し、触媒によりガス成分を分解する。また、温度測定装置１０４により、触媒部１０２における温度を測定し、この測定結果に基いてコントローラ１０５で触媒を加熱する熱源１０３を制御して触媒を所定の活性温度に維持する。 （もっと読む）

【課題】 安定性及び耐久性を向上したプラズマ反応器およびプラズマ反応器を採用した車両の排気ガス低減装置を提供する。
【解決手段】 本発明のプラズマ反応器は、互いに積層される複数の電極ユニットと、複数の電極ユニットの間に各々備えられる少なくとも２つのスペーサと、複数の電極ユニットのうちの奇数番目の電極ユニットを互いに電気的に連結する第１連結ユニットと、複数の電極ユニットのうちの偶数番目の電極ユニットを互いに電気的に連結する第２連結ユニットとを含み、複数の電極ユニットは第１電極ユニットを含み、第１電極ユニットは、第１誘電体と、第１誘電体の第１面に印刷される第１メイン電極と、第２誘電体と、第２誘電体の第１面に印刷される第２メイン電極とを含み、第１メイン電極及び前記第２メイン電極は互いに面接触されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エンジン直下の高温場においても誘電体バリア放電を維持することができ、しかもその誘電体バリアが高温と高電界で破損することのない信頼性が向上された放電プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】放電電極９と誘電体１０とが交互に積層された積層体の中に処理ガスが通流する流路を有する放電プラズマ処理装置において、上記放電電極は、その表面及び裏面が凹凸に形成されてなり、上記誘電体は、積層方向に隣接する放電電極の間に保持され、かつ一つの誘電体における隣接する一方の放電電極の、該誘電体の側から見て凸部８が当接している部分の反対側の面は、隣接する他方の放電電極の、該誘電体の側から見て凹部７に位置するように積層したものである。 （もっと読む）

【課題】非平衡プラズマを発生させ、ガスの処理を行うプラズマ放電用電極装置において、ガスの処理効率を一層改善することである。
【解決手段】非平衡プラズマを発生させ、ガスの処理を行うプラズマ放電用電極装置６を提供する。プラズマ放電用電極装置６は、誘電体からなる基体１１、基体１１中に埋設された電極４、基体１１に担持され、ガスの反応を促進する触媒７、および基体１１に担持された二次電子放出剤８を備えている。 （もっと読む）

【課題】空気中に含まれる疎水性成分を効率的に親水性化でき、健康を害する物質の生成を抑制でき、かつ低コストで稼動できる空気清浄機を提供する
【解決手段】空気の流路の上手側から順に、第一気液接触部、親水性化手段、第二気液接触部を配置する。第一気液接触部で空気中の親水性ガス状成分が除去され、除去されなかった疎水性ガス状成分は親水性化手段によって親水性化される。その後、親水性化された成分は第二気液接触部で除去される。第一気液接触部で親水性ガス状成分を除去した後に親水性化処理をするため、処理効率が高い。 （もっと読む）

プラズマ除害デバイスは、デバイスによって処理されるべきガスを受け入れるためのガス入口と、ガス出口と、を有するガスチャンバを含み、ガスチャンバの内面の少なくとも一部が、ハロゲン化合物および水蒸気を含有するガスの処理中腐食に抵抗する導電性材料で形成され、あるいはコーティングされる。 （もっと読む）

プロセス室から排出されるガスの処理方法であって、排気ガスは、真空ポンプ（２０）に運ばれ、窒素パージガスは、排気ガスとともに排気するために排出ガスに加えられる。ポンプからのガス排気は、排気ガスを除害するための除害装置（２８）に運ばれる。排気ガスに加えられるパージガスの量は、排気ガスの除害を最適にするように、排気ガスの組成、またはプロセス室に供給されたガスの組成の変化に応答して調整される。
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