【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理するシステムを小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システム１００は、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。この排ガス処理システム１００は、半導体製造装置から排出された混合ガスを排気するポンプ部２と、ポンプ部２により排気された混合ガスを圧縮して後段へ送る圧縮機１１と、圧縮された混合ガスを集めて収容するガス収容部３と、ガス収容部３から供給された混合ガスの流量を制御する流量制御部４と、水素を選択的に透過させ、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部６と、を備える。これにより、半導体製造装置１から排出された混合ガスの圧力変動を緩和し、安定して排ガス処理システムを運転することができる。 （もっと読む）

【課題】電解質溶液や電気浸透脱水の脱水濾液を汚泥等の含水物に添加して汚泥の電気伝導率を高め、脱水物の含水率を低下させるようにした電気浸透脱水方法及び装置において、脱水物の含水率を効率よく更に低下させることができる電気浸透脱水方法及び装置を提供する。
【解決手段】濾布よりなるコンベヤベルト１がローラ２，３間にエンドレスに架け渡されており、無端回動可能とされている。コンベヤベルト１の搬送方向に陽極ユニット２１〜２５が配列されており、途中の陽極ユニット２３，２４間にスプレーノズル１２が設けられている。電解質溶液や、脱水工程前半側のトレー６で集められた濾液がスプレーノズル１２から脱水途中の汚泥に添加される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理する装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。排ガス処理システムは、水素を選択的に透過させる半透膜を有し、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部４と、膜分離部４によって分離された水素の回収率に関する情報を取得し、水素の回収率を算出する水素回収率取得手段と、水素回収率の変化に応じて膜分離部の透過側圧力を制御する圧力制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】装置の通水経路全体に対して熱水殺菌を効率的に行う機能を備えることによって、より安定した運転ができる無菌充填設備のリンサー排水回収装置を提供する。
【解決手段】水処理ユニット３０と熱水供給ユニット４０とを備え、水処理ユニット３０は、過酸化物分解塔３１などの複数の水処理機器と、水処理ユニット３０の水処理機器を含む通水経路を分割して熱水殺菌するための熱水殺菌経路とを有し、熱水供給ユニット４０は、熱水殺菌用水を加熱するための水加熱装置４１と、水加熱装置４１へ熱水殺菌用水を供給するための熱水殺菌用水供給配管４２と、水加熱装置４１から複数の熱水殺菌経路へ熱水を供給するための熱水供給配管４３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】逆浸透膜の目詰まりが低減されることにより、低運転コストでかつ安定して淡水を得られる海水淡水化装置を提供する。
【解決手段】逆浸透膜３を用いた海水淡水化装置において、逆浸透膜３より前段に配置されて、逆浸透膜３に供給される海水１０を前処理する前処理装置１と、前処理装置１の処理水１１の水質項目を計測する計測手段５と、計測手段５による計測値の濃度値ＦＦＰｃとあらかじめ与えた目標値ＦＦＰｔに基づいて、前処理装置１を制御する制御手段７と、を備え、計測手段５は、有機物量を示す水質項目を計測し、該有機物量を示す水質項目の計測手段５の前段に、有機物を除去する分離手段８を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】副反応物の生成が抑制できる浸透気化膜およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に基づく浸透気化膜は、有機溶剤と水とを分離するために使用される、炭素膜からなる浸透気化膜であって、炭素膜に含有される特定の不純物元素のそれぞれの含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。また、本発明に基づく浸透気化膜の製造方法は、上記炭素膜からなる浸透気化膜を製造するための方法であって、炭素前駆体を膜化する工程と、膜化された炭素前駆体を加熱することで不融化処理して熱安定化させる工程と、熱安定化された炭素前駆体を不活性雰囲気中において加熱することで炭化処理して炭素膜を形成する工程と、炭素膜を酸を用いて洗浄する工程と、酸を用いて洗浄された炭素膜を水洗処理してその後乾燥させる工程とを備える。 （もっと読む）

最適な融通性及び重量を有するモジュラー形水浄化装置であり、ポンプを受け入れて動かすことの出来る、選択可能な原動機モジュールに、標準化された器具を介してポンプ部品を装着自在に設ける。ポンプは、逆浸透段用の重い高圧ポンプでもよく、内燃機関又は電気モータモジュールに交換自在に装着される。ポンプは、端部プレート、細長いバー材のハンドル及び標準化されたベースが設けられたフレームにより保護され、ベースは、スライドするフランジ及びクランプ構造と係合して、固定され、ポンプを、原動機に接続された相補的な器具と、ポンプ軸の回転器具が係合する正確な位置に位置決めする。

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【課題】液体因子VII組成物からウイルスを除去またはウイルスを不活性化する方法の提供、特に活性因子VIIポリペプチド(因子VIIaポリペプチド)を含む組成物のウイルス安全性を向上させる新しい方法を提供する。
【解決手段】液体因子VII組成物からウイルスを除去するため、最大80 nmの細孔サイズを有するナノフィルターを使用するナノ濾過を行う。得られた組成物は一以上の因子VIIポリペプチドを含み、実質的に血清を含まず、少なくとも5%の前記一以上の因子VIIポリペプチドが活性化された形態である。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの入手や大きな資本投下が困難なインフラ未整備地域においても、容易に導入することができる安価な膜蒸留式造水システムを提供する。
【解決手段】原水タンク２から原水搬送パイプ３を介して複数の熱交換パイプ４を並列に配置して構成された加熱装置に搬送された原水は、太陽光により、所定の温度に加温され温原水となる。その後、温原水は、温原水搬送パイプ６を介して、原水タンク２に配置された自重式膜蒸留装置７に搬送されて、中空糸膜束２２を構成する各中空糸膜の中心部の空間に供給され、中空糸膜の内部を自重により自然流下する。自然流下の間に発生した温原水の水蒸気は、中空糸膜を通過した後、冷却壁２３に至り、冷却されて水滴２９を生成する。 （もっと読む）

【課題】シリコン廃水を２次的に処理することによって回収率を一定以上に上昇できるシリコン廃水を活用した水素エネルギー生産システム及びシリコン廃水を活用した水素エネルギー生産方法を提供する。
【解決手段】シリコン廃水をＵＦ膜でろ過処理し、ＵＦ処理水とシリコン濃縮廃液に分離するＵＦ処理槽と、前記ＵＦ処理槽と連通され、前記分離されたシリコン濃縮廃液と外部から移送されたアルカリ性物質を互いに混合するラインミキサーと、前記ラインミキサーと連通され、前記混合されたシリコン濃縮廃液とアルカリ性物質を互いに反応させて水素ガスを生産する水素生産水槽とを含んでシリコン廃水を活用した水素エネルギー生産システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、容器に充填された処理膜の処理性能を安定化して向上させることができる水処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の水処理装置１０によれば、配管４２をベッセル２４の外周面２４Ａに設けるとともに、ベッセル２４の内周面２４Ｂに対して接線方向に設けた。これにより、配管４２の吐出口４６から噴射された海水は、ベッセル２４内で旋回流となるので、ＲＯ膜２８の入口端面２８Ａに対する海水の垂直方向成分が一度消滅する。その後、海水は、ベッセル２４の内周面２４Ｂに沿って旋回しながらベッセル２４の軸方向に向かう。この間、軸方向に向かう海水流の流速軸方向成分は、ＲＯ膜２８の入口端面２８Ａ全域において略均一になる。これにより、海水がＲＯ膜２８の全面に十分に暴露されるので、ＲＯ膜２８の表面全体が効率よく海水に暴露される。よって、ＲＯ膜２８の処理性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】低分子窒素化合物を含むＴＯＣ成分をより一層高度に除去することにより、高純度な超純水を製造する。
【解決手段】有機物を含有する原水を、溶存酸素の存在下に、水素を吸着させた金属を含む有機物除去触媒カラム４に通水して有機物を除去するにあたり、原水をＨ_２Ｏ_２分解触媒カラム１に通水して過酸化水素を除去した後、ガス溶解膜モジュール２でＤＯ濃度を調整し、その後、低圧ＵＶ酸化器３で有機物を分解した後、有機物除去触媒カラム４に通水する。更にイオン交換樹脂カラム５に通水してイオン交換処理する。 （もっと読む）

水処理装置（１００）は、膜脱塩ユニット（１０２）と、給水（１０６）の第１の流れを膜脱塩ユニットに移送する第１の導管（１０４）と、膜脱塩ユニットからの給水の第１の流れより塩度が低い生産水（１１０）の第１の流れを移送する第２の導管（１０８）と、電気的分離ユニット（１１２）と、給水の第１の流れより塩度が高い排水（１１６）の第１の流れを膜脱塩ユニットから電気的分離ユニットへ移送する第３の導管（１１４）と、電気的分離ユニットからの排水の第１の流れより塩度が低い生産水（１２０）の第２の流れを移送する第４の導管（１１８）と、沈殿ユニット（１２２）と、排水の第１の流れより塩度が高い排水（１２６）の第２の流れを電気的分離ユニットから沈殿ユニットへ移送する第５の導管（１２４）と、排水の第２の流れより塩度が低い給水（１３０）の第２の流れを沈殿ユニットから電気的分離装置へ移送する第６の導管（１２８）と、水（１３４）の吐出流れを放出する第７の導管（１３２）と、電気的分離装置及び沈殿ユニットのうち少なくとも１つと連通する薬液注入ユニット（１３６）とを備える。関連する方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、容器に充填された処理膜の処理性能を安定化して向上させることができる水処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の水処理装置１０によれば、配管４２の吐出口４６から噴射された海水が、整流部材５０によってベッセル２４の径方向に放射状に流れるので、ＲＯ膜２８の入口端面２８Ａに対する海水の垂直方向成分が一度消滅する。その後、海水は、ベッセル２４の軸方向に向かう。この間、軸方向に向かう海水流の流速軸方向成分は、ＲＯ膜２８の入口端面２８Ａ全域において略均一になる。これにより、海水がＲＯ膜２８の全面に十分に暴露されるので、ＲＯ膜２８の表面全体が効率よく海水に暴露される。よって、ＲＯ膜２８の処理性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、容器に充填された処理膜の処理性能を安定化して向上させることができる水処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の水処理装置１０によれば、配管４２をベッセル２４の外周面２４Ａに設けた。配管４２の吐出口４６から噴射された海水は、誘導板４８によって旋回流に変更されることから、ＲＯ膜２８の入口端面２８Ａに対する海水の垂直方向成分は一度消滅する。その後、海水は、ベッセル２４の内周面２４Ｂに沿って旋回しながらベッセル２４の軸方向に向かう。この間、軸方向に向かう海水流の流速軸方向成分は、ＲＯ膜２８の入口端面２８Ａ全域において略均一になる。これにより、海水がＲＯ膜２８の全面に十分に暴露されるので、ＲＯ膜２８の表面全体が効率よく海水に暴露される。よって、ＲＯ膜２８の処理性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】 逆浸透膜フィルター内の濃縮水を確実かつ効果的に排出する浄水器のフィルター洗浄システムを提供する。
【解決手段】浄水器１には、逆浸透膜フィルター２１の濃縮水を廃棄水として排出するために排水口２８が設けられ、これに繋がる送水経路上に、流量を絞る定流量弁３６と排水用電磁弁３８とが並列に備えられる。水道水の導入部２から導入された水の圧力を測定する低圧センサー４から、所定の圧力値を超えたことを示す検知信号６を受けたコントローラー８は、制御信号１１により排水用電磁弁３８を開放させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】マイクロバブルのマイナス帯電にて陽イオン金属や陽イオン化合物９吸着、分離しスケールが発生するのを抑制し、設備コスト、ランニングコストを低減する。
【解決手段】陽イオン金属または陽イオン化合物９を含む水処理水系１での処理対象水２をｐＨ４以上に調整するｐＨ調整工程３、処理対象水２にマイクロバブル７を供給するバブル供給５と、処理対象水２中の陽イオン金属または陽イオン化合物９を前記ｐＨ調整によりマイナスに帯電したマイクロバブル７の表面に付着させるとともに、この陽イオン金属または陽イオン化合物９を吸着しているマイクロバブル７を前記処理対象水２から比重の違いおよび／または粒径の違いにより分離する分離工程８と、を備えて、上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ミネラル飲料水および海底深層水について、塩分を除去した場合には、その除去作用によって有用なミネラル原となる物質の含有量を低減させ、有効成分の減少により種々の機能が低減する課題がある。
【解決手段】米国ハワイ州沖海洋深層塩水を原液とし、この原液または真水で希釈した希釈液を原料とし、原液を３０倍以上５０倍以下で希釈した塩分含有深層海水飲料とする。 （もっと読む）

【課題】純水を蒸発させて水蒸気を発生させる設備と循環冷却水を用いた冷却設備とを有し、該冷却設備において循環冷却水の一部がブローダウンされる工業プロセスにおいて、工業用水としての市水の使用量を効率よく減少させること。
【解決手段】純水を蒸発させて水蒸気を発生させる設備と循環冷却水を用いた冷却設備とを有し、該冷却設備において循環冷却水の一部がブローダウンされる工業プロセスにおいて、該ブローダウン水の少なくとも一部が、アルカリおよび凝集剤が添加された後、ＭＦまたはＵＦ膜装置により処理され、得られた膜透過水がさらにＲＯ膜装置で処理され、該ＲＯ膜装置からの膜透過水の少なくとも一部が該純水として用いられることを特徴とする水回収システム。 （もっと読む）

切替可能な添加物を用いて、初期イオン強度と増大イオン強度との間で水を可逆的に転換するための方法および系が記載される。開示される方法および系は、例えば、溶媒、溶質または溶液からの水の蒸留を伴わない除去に用いられ得る。それを水に溶解することにより媒質から溶質を抽出後、溶質は、次に、水を増大イオン強度を有する溶液に転換することにより、水溶液から単離されるかまたは「塩析」され得る。次いで、溶質は、別個の相として増大イオン強度溶液から分離する。例えば一旦溶質がデカントされると、増大イオン強度の水溶液は、その元のイオン強度を有する水に転換し戻されて、再利用される。低イオン強度から高意オン強度への切替は、低エネルギー法を用いて、例えばＣＯ_２、ＣＳ_２またはＣＯＳを通気させることにより、容易に達成される。高イオン強度から低イオン強度への切替は、低エネルギー法を用いて、例えば空気を通気させて、加熱して、撹拌して、真空または部分真空を導入して、あるいはその任意の組合せにより、容易に達成される。 （もっと読む）