【課題】ガス空間内のガスをデシカント方式で除湿しつつ、系外へガスを排出させることの無い除湿装置を提供することを課題とする。
【解決手段】循環経路を循環する特定のガスを除湿するガス除湿装置１であって、循環経路を流れるガスを除湿する主デシカント除湿機１０と、主デシカント除湿機１０から加熱再生に伴って排気される再生排ガスを除湿する一のデシカント除湿機１０Ａ、または、上位のデシカント除湿機１０の再生排ガスを除湿するデシカント除湿機１０Ａ，１０Ｂを直列に複数繋いだデシカント除湿機群によって形成される、主デシカント除湿機の再生排ガスを除湿する補助除湿部１０ｘと、一のデシカント除湿機１０Ａの再生排ガス、または、デシカント除湿機群のうち最下位のデシカント除湿機１０Ｂの再生排ガス中の湿分を凝縮させて、該再生排ガスを除湿するコンデンス除湿機１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 より低い絶対湿度（低い露点温度）まで水分を除去することが可能な水分除去フィルタを提供する。
【解決手段】 隣り合うボックス部４２〜４６のうち下側のボックス部から上側のボックス部（膨張室）に空気を流させる際に、先細末広ノズル部４３Ｂ〜４６Ｂにて超音速まで加速して断熱膨張させることにより、膨張室４３Ａ〜４６Ａにて空気の温度を急速低下させて水分を凝縮除去する。これにより、シリカゲル等の吸着剤又はヒートポンプ（蒸気圧縮冷凍機）を用いた除湿装置等に比べて、低い絶対湿度（低い露点温度）まで水分を除去することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】複数の精製筒のうちの任意の精製筒の還元再生処理を実行することができる循環精製装置を提供する。
【解決手段】循環精製装置１１は、複数の循環回路Ｃ１〜Ｃ４それぞれに、ボックスＧから排出された不活性ガスを受け入れて、不活性ガスに含まれる不純物を除去し、その不活性ガスを精製する精製筒３１を備える。また、循環精製装置１１は、複数の循環回路Ｃ１〜Ｃ４の循環に係る制御を実行するコントローラ２３を備え、このコントローラ２３は、精製筒３１を還元再生させる還元再生処理を、複数の精製筒３１のうち任意の精製筒３１から実行可能にする。 （もっと読む）

真空炉や他の用途等のプロセスから出る不活性ガス、特に希ガスの回収及びリサイクル方法。不活性ガスと被酸化性不純物とを含有する第１ガス流を、金属酸化物を有する酸化塔に供給する。塔内では、金属酸化物の存在下、第１ガス流の不純物が酸化され、二酸化炭素と水とを含む第２ガス流が形成される。第２ガス流を再生可能な二酸化炭素除去塔に供給する。塔内で、第２ガス流から二酸化炭素が除去され、第３ガス流が形成される。吸収塔内で第３ガス流から水分が除去される。排出された精製後の不活性ガスは、不活性ガスを利用するプロセスに送り込むために、吸収塔から回収される。回収されたガス流は、純度が約６Ｎ（純度99.9999％）、即ち、汚染物の合計が約１ppmである。 （もっと読む）

【課題】高い再生能力また信頼性を持ち、効率的に作動する吸着乾燥装置および吸着乾燥方法を提案する。
【解決手段】吸着乾燥装置は、吸着物質１２３を含む多数の吸着チャネルを有する吸着チャンバ１１を具備し、吸着チャンバは、供給管１０６，１０８および排出管１０７，１０９に対し回転可能であり、乾燥区域１０２および再生区域１０３が定められており、乾燥区域の中で気体が乾燥され、再生区域の中で、吸着物質が再生される。第１の供給管１０６から、乾燥される気体流が、再生区域に供給され、第２の排出管１０７には、コンデンサ４が接続されており、さらにこの接続管には、第２の供給管１０８へ流れる気体の圧力を上昇させるために圧力上昇手段１８が設けられている。吸着チャンバの第1の端部１１１または第２の端部１１２では、吸着チャンバを冷却区域１１９で冷却するために冷却流が分岐可能である。 （もっと読む）

【課題】符号２０ユニオンへ注入される不安定で条件範囲の狭い悪条件のガスを符号２１ユニオンで排出するまでに、安定した湿度に調整し流量を一定に調整して、また希釈や混合ガス作成など条件範囲を拡大し、安定したものに変換させ、あらゆる試験条件に対応可能なガスを供給する。
【解決手段】符号５，６コントローラにてガスの圧力値を一定に保ち、符号１，２水槽筒又は、符号７，８乾燥筒にガスを流し、湿度調節し、符号１５，１６の切換バルブでガスを混合させ希釈ガスを作成し、作成符号１９流量計にて調整、排出する。 （もっと読む）

【課題】 クリプトンやキセノン、ネオンを使用する半導体製造装置からの排ガスから不純物を効果的に除去してクリプトン等を循環再利用できるガス分離方法及び装置を提供する。
【解決手段】 クリプトン、キセノン、ネオンの少なくとも１種を含む混合ガス中の不純物成分を分離除去するにあたり、不純物成分のアンモニアと窒素酸化物とを脱硝触媒により窒素及び水蒸気に転化させてアンモニア及び窒素酸化物の少なくともいずれか一方を除去する触媒反応工程と、窒素酸化物を窒素と水蒸気とに転化する脱硝工程と、アンモニア及び水蒸気を吸着分離する第１吸着分離工程と、クリプトン、キセノン及びネオンを吸着する第２吸着剤に対して難吸着性の不純物成分を排出する第２吸着分離工程と、第２吸着分離工程で第２吸着剤に吸着したガス成分を回収する脱着回収工程と、第３吸着剤に接触させて易吸着性のガス成分を吸着分離する第３吸着分離工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】水素化物ガスから水を除去する方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも１つのアルカリ金属酸化物と、少なくとも１つのアルカリ土類金属酸化物とから成る金属酸化物の混合物を乾燥剤として利用することを含んで成る、水素化物ガスから水を除去するプロセスの改良された方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】大量の窒素ガス、希ガス中の水素、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素および水を除去、精製する際に、精製装置のコンパクト化が可能であり、高価なジルコニウムゲッターやニッケル触媒などの触媒の使用量を低減でき、精製コストを削減できるようにする。
【解決手段】窒素ガスまたは希ガスを水分吸着剤に接触させて水を除去するとともにガスの流れを整流する。ついで、水素還元したニッケル触媒に接触させて水素、一酸化炭素および酸素を除去する。さらにアルミナに接触させて二酸化炭素を除去し、かつガスの流れをダウンフローとし、その流速を空塔速度で３１〜１００ｃｍ／秒とする。 （もっと読む）

【課題】乾燥ホッパ内における粉粒体材料への悪影響等を低減し得るとともに、省エネルギー化が図れる粉粒体材料の乾燥方法、及び粉粒体材料の乾燥装置を提供する。
【解決手段】粉粒体材料を貯留する乾燥ホッパ２１と、該乾燥ホッパに加熱したガスを供給するための送風器１５及び加熱器２６とを有した粉粒体材料の乾燥装置１において、前記乾燥ホッパ内における粉粒体材料の乾燥処理状態を示す温度を検出する第１温度検出センサ４４と、前記加熱器を通過したガスの温度を検出する第２温度検出センサ４５と、前記第１温度検出センサの検出温度が予め設定された第１閾値を上回ったときには、前記加熱器を停止させ、さらに、その停止状態における前記第２温度検出センサの検出温度が予め設定された第２閾値を下回ったときには、前記送風器を停止させ、次いで、前記加熱器の停止から所定の第１の時間が経過したときには、前記加熱器及び送風器を起動させる制御手段４１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ハニカム状のロータ素子に大きな力が作用せず、ロータ素子中の有効処理領域を大きく採れ、且つ重量を抑制したロータ素子構造体を提供すること。
【解決手段】両端面に軸方向の中心側に向けて非貫通溝１２ａ、１２ｂを、径方向の中心に中心孔１３をそれぞれ設けたハニカム状のロータ素子１と、ロータ素子１の外周を覆う外周リング３２ａ、３２ｂと、中心孔１３に嵌合する円筒状のボス部４ａ、４ｂと、外周リング３２ａ、３２ｂとボス部４ａ、４ｂを連結すると共に、ハニカム状ロータ素子１の非貫通孔に嵌合する板状リブ３１ａからなる第１フレーム２ａ、２ｂと、第１フレーム２ａと第２フレーム２ｂとを連結する外周パネル２ｃとを備え、第１フレームの２ａボス部４ａの内側の先端部と第２フレーム２ｂのボス部４ｂの内側の先端部とが嵌合するロータ素子構造体１０９。 （もっと読む）

【課題】ロータ素子の端面の大小の凹凸の存在にかかわらず、簡易な構造で、ゾーン間シールと外シールを確実に行なうことができる回転式ガス処理装置のシール構造体及びシール方法を提供する。
【解決手段】回転式ガス処理装置において、ハニカム状のロータ素子１の外周部に、ロータ素子１と一体となるように金属フレーム２を取り付け、金属フレーム２のフランジ状の端面２１に段差をつけて外輪面２１ａと内輪面２１ｂが表れるようにすると共に、ロータ素子１の端面と金属フレーム３の内輪面を同一面とし、ロータ素子１の端面を少なくとも吸着ゾーンと再生ゾーンに画成する固定プレート３に、外輪面２１ａと摺動接触する環状の第１シール部材３１と、内輪面２１ｂ及びロータ素子の端面１１と摺動接触すると共に、ロータ素子の端面１１をゾーン毎に画成する第２シール部材３２を付設した。 （もっと読む）

【課題】水分濃度が減少したガスを室温に戻すのにヒーター等を設置する必要がなく、全体のレイアウトをコンパクトに構成することができ、省エネルギー設計が実現できるドライガス発生装置を提供する。
【解決手段】ドライガス発生装置は、ガス通路（ガス通路導入部３２、往路ガス熱交換通路部４６、復路ガス熱交換通路部４７、ガス通路出口部３７）に供給されたガス中の水分濃度を冷凍機４５により減少させるものである。冷凍機４５は、ガスの温度を所定の露点温度以下に下げるための吸熱部となる低温部２２と、室温より温度が高い放熱部となる高温部２１とを有する。ガス通路は、高温部２１と低温部２２に至る範囲内に配設されることで冷凍機４５と熱交換する。好適には、ガス通路の高温部２１と低温部２２に至る範囲が真空断熱されている。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス装置内の乾燥雰囲気を維持するための、吸湿性を有し、かつ吸湿後においてもクラックを生じずに透明性を維持することが可能な透明乾燥剤を提供する。
【解決手段】第２族、第３族または第４族金属のアルコキシドと、この金属アルコキシドと反応せずに相溶する透明な有機ポリマーとの混合物からなる透明乾燥剤であり、前記乾燥剤を有機エレクトロルミネッセンス装置の封止空間内部表面に塗布することにより、乾燥雰囲気を維持する。 （もっと読む）

【課題】重合体製造プラントから排出された不活性ガスから、重合溶媒、重合モノマーなどの不純物を除去して、不活性ガスを重合体製造プラントで再使用する方法を提供する。
【解決手段】重合体製造プラントから排出される不活性ガスを、炭化水素によるプレコート操作をしていない吸着剤から形成される吸着剤層を通過させることによって、不活性ガスに含有される重合溶媒、重合モノマーを吸着除去する吸着除去工程を備え、吸着除去工程において、重合溶媒、重合モノマーが吸着除去され、所定の純度に到達した不活性ガスを、重合体製造プラントで再使用する。 （もっと読む）

【課題】水分量が１ＰＰＢ以下というこれまで実現しえなかった環境下での脱水を行うことができ、これにより、脱水時間を顕著に短縮し、残留水分を低減化する顕著な効果が得られ、また、極めて水の少ない環境下で半導体装置の製造を行い、半導体装置に不純物として残留する水を極限まで低減させることが可能となる処理システムを提供する。
【解決手段】酸素分子排出時に電圧印加をＯＮにし、酸素分子排出装置の電極間に電圧を印加して中空を通過するガス中の酸素分圧を制御する酸素分圧制御装置と、を備えるガス中の水分量を１ＰＰＢ以下に生成する極低水分ガス生成装置と、その極低水分ガス生成装置で生成された前記ガス中の水分量が１ＰＰＢ以下の極低水分ガスが導入され、該装置内部の水分が除去されてなる処理装置と、を備える処理システムとした。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置において、真空容器内壁および試料からの脱水を加熱なしに行ない、また極めて水の少ないガスの水分を安価な方法でモニターする極低水分ガス生成装置を提供する。
【解決手段】極低水分ガス生成装置で生成されたガスは、酸素分圧が１０のマイナス２９乗気圧以下１０のマイナス３５乗気圧以上、水分量が１ｐｐｂ以下０．８３ｐｐｔ以上となり、その極低水分ガスが処理装置内に導入され、内部の水分が除去され、そのガス中の酸素分圧を酸素センサで測定することにより、計算で水分量が求められるように、低水分ガス生成装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】窒素濃度を高く、かつ製造量を向上できる高純度窒素ガスの製造方法を提供する。
【解決手段】吸着工程と、精製工程と、除湿工程と、再生工程とを備えている。吸着工程は、空気中の酸素を吸着剤により吸着させる。精製工程は、吸着工程後の第１ガス中に含有されている残存酸素を、水素と反応させて水分に変えることにより、酸素を除去する。除湿工程は、精製工程後の第２ガス中から、水分が除去された高純度窒素ガスと除去された水分を含有するパージガスとを分離する。再生工程は、除湿工程後のパージガスを用いて、吸着剤を再生する再生工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】体格を小型化することができる精製筒及び該精製筒を備えた空気又は不活性ガスの循環精製装置を提供する。
【解決手段】循環精製装置は、精製筒３１を備えている。精製筒３１は、筒本体３２における不活性ガスの流通方向上流側に触媒層３６を有するとともに、触媒層３６よりも流通方向下流側に吸着剤層３８を有している。さらに、精製筒３１は、触媒層３６及び吸着剤層３８を加熱するためのヒータ４３を筒本体３２内に備えている。また、精製筒３１は、ヒータ４３による触媒層３６の加熱温度を吸着剤層３８の加熱温度よりも低くなるように調整する温度調整手段を備えている。そして、精製筒３１において、触媒層３６と、吸着剤層３８と、ヒータ４３とは１つの筒本体３２内に収容配置されている。 （もっと読む）