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【課題】 耐擦傷性および反射防止層との密着性の高いレンズの製造方法およびポットライフの長い塗布液を提供する。
【解決手段】 レンズ基材の上にハードコート層を塗布した後に、有機系の反射防止膜を湿式で成膜したレンズを製造する際に、ハードコート層を塗布するために用いられる塗布液を金属酸化物微粒子およびシラン化合物を含む第1の成分に、シラン化合物の加水分解基数の1.5から4.5倍の分子数の水を含む第2の成分を加えて調合する。この範囲の水を過剰に加えて調合された塗布液によるハードコート層に、湿式法により有機系の反射防止膜を重ねて成膜することができ、十分な耐擦傷性を備えたレンズを製造できる。 (もっと読む)


【課題】 基板の表面へ配線となる微細なパターンが形成できるパターン形成方法、配線形成方法、半導体装置、TFTデバイス、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】 液滴吐出装置40を用いて形成するTFT1のゲート配線3およびゲート電極5は、Mnからなるゲート中間層10と、Agからなるゲート導電層11と、Niからなるゲート被覆層12とを有する。配線の形成工程は、TFT基板2との密着性を有し、且つゲート導電層11を形成する液滴32に対して親液性を有する中間層を設けるために、ゲート配線領域3aおよびゲート電極領域5aに対して中間層形成機能液の液滴31を吐出する工程と、ゲート中間層10に重ねてゲート導電層11を形成するために、ゲート配線領域3aに対して液滴32を吐出する工程と、液滴32をゲート中間層10との親液性によってゲート電極領域5aへ自己流動させる工程とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 供給流路を効率的に洗浄することが可能な供給システム、および効率的な供給流路の洗浄方法、並びに効率的な供給流路内の液体の置換方法を提供すること。
【解決手段】 気密容器71に洗浄液を収容し、気密容器71内にコンプレッサ72から圧縮空気を送って、内部空間77内を加圧する。加圧された内部空間77の空気および洗浄液86は、共通管78、接続部79を介して、結合部38、供給管18aなどの供給流路に供給される。送気バルブ84、送液バルブ85の開閉制御と吸引ポンプ23の駆動とを連動して行うことにより、供給流路内に充填されているインクないし洗浄液の排出と、供給流路内への洗浄液の充填が効率よく行われる。 (もっと読む)


【課題】液体吐出方式の記録ヘッドから吐出される液滴の速度を高精度で測定する。
【解決手段】記録ヘッド13から吐出される液滴1に、ストロボ光源17からパルス光を照射してCCDカメラ15で撮像すると同時に、2つのレーザダイオード(LD1 26、LD2 27)からレーザ光束2a、2bを照射し、液滴1による反射光3をフォトセンサ14に入射させ、液滴1が各レーザ光束2a、2bを通過するタイミングの差と、レーザ光束2a、2b間の離間距離Lによって液滴1の速度を計測する。また、上流側のレーザ光束2aを液滴1が通過したタイミングに合わせて、下流側のLD2 27のパルス発光タイミングを制御することで、液滴1の速度変化に対応する。 (もっと読む)


【課題】 各種液体を所定の方向に(即ち、方向性良く)噴霧することができる噴霧器及び噴霧方法を提供すること。
【解決手段】 ここで開示される「1種又は2種以上の液を2つ以上の噴出口からミスト状にして噴出す噴霧器1」は、少なくとも2つの相互に独立して設けられたミスト流路4、5と、該ミスト流路の上流部に前記液を供給する液供給手段7と、該ミスト流路の上流部にガスを供給するガス供給手段9とを備えている。ここで、それぞれの前記ミスト流路は、その先端に噴出口36、38が形成されているとともに、該噴出口に連なり、相互に略平行に形成された先端流路部を有することを特徴とする。好ましくは、前記液供給手段は、前記ミスト流路ごとに異なる液を供給可能に構成されている。 (もっと読む)


【課題】塗布ローラが基板にパターンを転写した後の膨潤した部分から溶剤を飛ばす時間を確保しつつ、溶剤を飛ばす時間を待つことなく塗布液の供給が行えるようにし、膨潤が進んだブランケットによるパターンの形成を防止して良好なパターンを得るとともに、複合パターンの形成に係る時間を短くする。
【解決手段】塗布ローラ20の一パターン形成における動作サイクルを、塗布液供給手段3からローラ周面の一部に塗布液の供給を受ける塗布液供給工程と、塗布液供給工程の後に、塗布液のパターン構成色によるパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版4BM、4R、4G、4Bに押圧して、ローラ周面からネガパターンにして塗布液を転写除去する転写除去工程と、転写除去工程の後に、基板50に押圧してローラ周面の塗布液によるパターンを転写する転写工程とからなるものとし、塗布液供給手段3からの塗布液を受ける塗布ローラ20における前動作サイクルでの塗布液受け領域と次動作サイクルでの塗布液受け領域とを互いに重ならない非オーバーラップ状態にした。 (もっと読む)


【課題】 基板の表面上に滴下したSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができるようにしたスピンコータ及びSOG液の塗布方法を提供する。
【解決手段】 ウエーハ1の表面上にSOG液を滴下すると共に、当該ウエーハ1を回転させ該SOG液を遠心力で拡散させることによって、当該ウエーハ1の表面上に該SOG液を塗布するスピンコータ100であって、ウエーハ1の裏面を回転可能に支持する回転ステージ10と、回転ステージの上方に吐出口を有し、回転ステージによって支持されたウエーハ1の表面上にその吐出口からSOG液を滴下するコータノズル30と、回転ステージ10をその側方から囲むコータカップ20と、少なくともコータノズル30の吐出口からコータカップ20の内側にかけての空間に有機ガスを供給する有機ガス導入管42及びガス処理室40等を備えたものである。 (もっと読む)


【課題】パターン構成色が異なる複数のパターンを塗布ローラに形成するための除去版を小型のものとし、その除去版を用いて塗布ローラそれぞれに形成されたパターンを、基材での基準に対する位置合わせ容易に転写して、良好な複合パターンを得る。
【解決手段】基板50に、パターン構成色が異なる塗布液からなる複数のパターンを塗布ローラ2R、2G、2Bを介して転写して、パターン形状が同一のパターンの組み合わせ部分を有する複合パターンを基板50に形成するに際し、パターン形状を同一にするパターン構成色の塗布液が塗布された複数の塗布ローラ2R、2G、2Bを順次押圧する第一の塗布液除去版41と、前記組み合わせ部分以外のパターンのパターン構成色の塗布液が塗布された塗布ローラ2BMを押圧する第二の塗布液除去版42とを一つの胴体の周面に配し、前記塗布液除去版41、42による塗布ローラ2BM、2R、2G、2Bの塗布液に対する転写除去で、各塗布ローラにパターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、レジストラインの幅を管理しやすく、パターンのファイン化に対応でき、また、サテライト(mist)の発生を防止でき、かつ、両面画像形成を可能にするインクジェット方式によるレジストパターンの形成装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明に係るレジストパターン形成装置の代表的な構成は、基板1を搬送する基板搬送手段10と、前記基板1にレジストパターンを転写する転写手段11と、前記転写手段11にレジストインクを吐出するインク吐出ヘッド12とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板表面における膜形成において、生産性を低下させることなく、パーティクルの発生を防止できる成膜方法および成膜装置、かかる成膜方法により形成された膜を提供すること。
【解決手段】成膜装置1は、液状の膜形成材料が塗布されるウエハWを回転支持するウエハ支持部2と、膜形成材料をウエハWに塗布法により供給して膜を形成する膜形成材料供給部4と、ウエハWの一方の面の縁部および他方の面の縁部に撥液材料を供給して撥液膜を形成する撥液膜形成部5とを備え、ウエハWの一方の面に液状の膜形成材料を膜形成材料供給部4から供給するのに先立って、ウエハWの一方の面の縁部および他方の面の縁部に、撥液材料を撥液膜形成部5から供給して撥液膜を形成することにより、ウエハWの他方の面側に前記膜形成材料が浸入するのを防止するものである。 (もっと読む)


【課題】 塗布均一性に優れ、熱的に安定な酸化物被膜を形成することができる酸化物被膜形成用塗布液、均一で熱的に安定な酸化物被膜の製造法及び均一で熱的に安定な酸化物被膜を有する半導体装置の製造法を提供する。
【解決手段】 (A)一般式(I)
【化1】


(式中Rは、炭素数1〜4のアルキル基、R′は炭素数1〜3のアルキル基、mは0、1または2を意味する)で表されるアルコキシシラン化合物を溶媒の存在下に加水分解及び縮重合させ、加水分解によって生成する1価アルコールを除去してなる酸化物被膜形成用塗布液、この塗布液を、基体表面上に塗布後、50〜200℃で乾燥し、ついで300〜1000℃で焼成することを特徴とする酸化物被膜の製造法及びこの塗布液を、半導体素子表面上に塗布後、50〜200℃で乾燥し、ついで300〜1000℃で焼成して酸化物被膜を形成することを特徴とする半導体装置の製造法。 (もっと読む)


本発明は、高能率に製造できるアルミニウム材と合成樹脂成形体の複合品の製造法と耐剥離性や機械的強度の大きい安定堅牢な複合品を提供する。本発明の上記複合品の製造法は、アルミニウム素材1を燐酸又は水酸化ナトリウムの電解浴で陽極酸化処理することにより、表面に開口する孔径が25nm以上である無数の孔3を具備する陽極酸化皮膜2を形成し、射出成形などで合成樹脂成形体6の一部6aを該陽極酸化皮膜2の無数の孔3内に食い込み結着せしめた状態に接合したことを特徴とし、これにより簡単に上記の特性を有する複合品Pが得られる。
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【課題】スリットノズルの状態を最適化して、塗布ムラを抑制する。
【解決手段】スリットノズル41において、第1リップ410の第1リップ面410aを第2リップ411の第2リップ面411aより段差Dだけ低い位置に配置する。本塗布処理におけるスリットノズル41の走査方向((+X)方向)とは逆方向((−X)方向)にスリットノズル41を走査させつつ、予備塗布部材であるローラ71にレジスト液を塗布して予備塗布処理を行う。予備塗布処理により正常化されたスリットノズル41を(+X)方向に走査しつつ、基板90にレジスト液を塗布して本塗布処理を行う。 (もっと読む)


【課題】 ダイヘッド或いはコーティング面を傷付けることなく、ダイヘッドとコーティング面のギャップを測定する。
【解決手段】 ダイヘッド100の両端には測定ブロック110が設けられ、測定ブロック110のエア孔111からエアを吐出する。エアを吐出する時に発生するエアの圧力抵抗値を差圧計120で測定し、圧力抵抗値からギャップ寸法を演算する。差圧計で測定された信号は、制御装置170に送信され、制御装置170は予め設定されたプリセット値と測定値との差が無くなるようにダイヘッド移動機構180を操作する。 (もっと読む)


【課題】 基板との密着力が大きく、かつ、厳しい使用環境においても剥離せず、優れた触媒活性を維持する触媒及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 微粉末をキャリアガスと共に微小孔ノズル4の先端から、金属製の基板2上に吹き付け、該基板2上にアンダーコート層を成膜し、該アンダーコート層上に、ウォッシュコート法で触媒活性成分を含む触媒膜を成膜し、しかる後、焼成処理を施すこととした。 (もっと読む)


【課題】 燃料電池を構成する各層のうち、所望の層において成分の分布を良好に変化させることができる燃料電池用膜電極接合体の製造方法を提供する。
【解決手段】 燃料電池用膜電極接合体の製造方法は、カソード下地層およびアノード下地層の少なくとも一方の層を形成するための領域を複数のゾーンに区分けする区分け工程と、区分けした各々のゾーンに塗布する塗装材料を、カソード下地層およびアノード下地層の少なくとも一方の層の成分の分布に合わせて選定する選定工程と、選定した塗装材料の特性に基づいて、隣接したゾーンに塗布した塗布材料が混合することを防ぐように、各々のゾーンに塗布材料を塗布する順番を決める順番決定工程と、決定した塗布順番にしたがって、各々のゾーンに塗布材料を塗布する塗布工程とからなる。 (もっと読む)


【課題】水性断熱性塗料、及び水性上塗り塗料を順に塗装する塗膜形成方法において、その耐汚染性、膨れ防止性等を改善する。
【解決手段】水性断熱性塗料を塗付した後、水性上塗り塗料を塗付する断熱性塗膜の形成方法において、該水性断熱性塗料として、合成樹脂エマルション(I)、中空粒子(II)、及び平均粒子径が0.1〜100μmであり、ガラス転移温度−60〜60℃の重合体からなる有機質粉体(a)、及び/または平均粒子径が0.1〜100μmであり、ガラス転移温度30℃未満の重合体からなるコア部とガラス転移温度30℃以上の重合体からなるシェル部を有する有機質粉体(b)からなる有機質粉体(III)を必須成分とし、(I)成分の固形分100重量部に対し(II)成分を0.5〜200重量部、(III)成分を3〜400重量部含むものを使用する。 (もっと読む)


【課題】塗布ローラの数を減らし、その塗布ローラそれぞれに形成されたパターンを基板に転写して良好な複合パターンをする小型の形成装置を得る。
【解決手段】基少なくとも一つの塗布ローラ20を少なくとも二色のパターン構成色に対応させて、塗布ローラ20のローラ数をパターン構成色の数より少なくし、塗布液供給部3からパターン構成色の塗布液を塗布ローラ20に供給し、塗布ローラ20を、供給された塗布液のパターン構成色によるパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版4BM、4R、4G、4Bに押圧して、塗布ローラ20からネガパターンにして塗布液を転写除去し、転写除去された塗布ローラ20を基板50に押圧して、塗布ローラ20の塗布液によるパターンを基板50に転写する。 (もっと読む)


【課題】チクソトロピーの大きな塗料を塗布する場合において、安定した塗料カーテンを形成することができ、効率の良い塗装が可能となる塗料供給装置を提供する。
【解決手段】上下に2つの塗料供給用ヘッドが設けられ、下方ヘッドBは、底部に塗料流下用のスリット2を有するとともに、上部に塗料回収口3を有するものであり、上方ヘッドAは、底部に塗料流下用のスリット1を少なくとも1つ以上有するものであり、上方ヘッドAのスリット1は、下方ヘッドBのスリット2よりもスリット幅が狭く設定されている。 (もっと読む)


【課題】中空球状ポリマーが高温に曝される用途に用いられる場合、向上された白色度、不透明度等を提供する中空球状ポリマーの使用法を提供する。
【解決手段】耐熱性中空球状ポリマーの使用方法であって、(a)中空球状ポリマー(中空球状ポリマーは任意に架橋され、かつ固定または永久塩基により膨潤されたコア段を有する)の分散液を含む組成物を提供する工程であって、;(b)(i)前記中空球状ポリマーを含有する前記組成物をコーティング組成物と混合する工程、(ii)前記中空球状ポリマーを含有する前記組成物を熱可塑性物質と混合する工程、または、(iii)前記中空球状ポリマーを含有する前記組成物を基体と接触させる工程、のうちの少なくとも一つを実施する工程;および(c)前記中空球状ポリマーを含有する前記組成物を100℃〜350℃の温度に曝す工程を含む方法が開示される。 (もっと読む)


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