本発明は、半導体生産ラインでの自動交替式副産物捕集装置及びその制御方法に関し、特に、公知の副産物捕集装置を構成するにおいて、垂直軸の周囲に一定角度をおいて固定設置された状態でサーボモータの駆動方向に応じて上プレート及び下プレート間で左右に回動し、いずれか一個が副産物を捕集して残りは反復的に清掃を行う数個のトラップユニットと、中央部は前記トラップユニットが固定された垂直軸が貫通する形態で軸支されて、前記上蓋体及び下蓋体と一定間隔を維持する形態で設置され前記ケースの上部及び下部からトラップユニット等の上開口部及び下開口部に接触され各々のトラップユニットに副産物流入口及び副産物排出口と洗浄水供給口及び洗浄水排出口、乾燥気体供給口及び乾燥気体排気口を選択的に連結させる上プレート及び下プレートと、平常時には伸長により前記上プレート及び下プレートとユニット等との間で気密を維持させて、トラップユニット等の交替のために一定方向に回動させる際には、垂直になりトラップユニット等を円滑に回動させるトラップとプレート連結及び分離手段と、前記垂直軸の低端部に軸が連結された状態で下プレートの底面に固定設置され制御部の出力信号に応じて正、逆方向に回動し前記トラップユニット等を一定角度範囲内で回転させるサーボモータと、制御プログラムを通じて前記サーボモータとトラップとプレートの連結及び分離手段及び各種バルブの駆動を制御する制御部とから構成される。
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【課題】海水から安価で、且つ安全な淡水を得ることの出来る淡水化装置及び淡水化方法の提供。
【解決手段】海水を貯留する海水受水槽（１）と、貯留した海水中にマイクロバルブを発生させる超微細気泡生成手段（２）と、マイクロバブルを含んだ海水を落下させる落下装置（４）と、落下する超微細気泡を含んだ海水が衝突する複数の衝突部材（５１、５２）を設けた蒸発室（５）と、蒸気室（５）で発生した水蒸気が流過する水蒸気流路（６）と、水蒸気流路（６）を通過した水蒸気を凝縮させる凝縮室（７）と、凝縮室（７）で生じた淡水（純水）を回収する淡水回収槽（３）、とを備える。 （もっと読む）

【課題】ドラムドライヤのドラムの端面近傍に形成され易い未乾燥固形物の除去を容易かつ確実に行い、ドラムの回転動力増大や製品への混入を抑制し、運転面、製品品質面において、安定したドラムドライヤの洗浄装置を提供すること。
【解決手段】被処理液Ｍをドラム表面１３に供給し、前記ドラム１２を回転させながら前記被処理液Ｍの液体成分を前記ドラム表面１３で蒸発させるとともに、前記ドラム表面１３に前記被処理液Ｍに含まれる固形物を固着させ、前記固形物を掻き取る掻取るドラムドライヤ１０の洗浄装置５０であって、前記ドラム表面１３にスチームＳを吹き込むことにより該ドラム表面１３を洗浄するスチーム吹込管５２を備え、前記スチーム吹込管５２は、前記ドラム１２の端面１３Ｂに開口していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 水溶性の無機物とグリコールとを含むグリコール水溶液中からグリコールを高収率で回収し、回収したグリコールを樹脂原料として再利用できるグリコールの分離方法を提供する。
【解決手段】 水溶性の無機物とグリコールとを含むグリコール水溶液中に、非水溶性の無機物を供給し（工程１、２）、グリコール水溶液を動かしながら加熱して、水を蒸発させた濃縮溶液とし（工程３）、得られた濃縮溶液中に、非水溶性の無機物が不溶性である溶剤を供給した後（工程４）、グリコールが溶解した溶剤と無機物とを沈澱又は濾過して（工程５）、グリコールと水溶性の無機物とを分離することを特徴とする。 （もっと読む）

水凝縮器は、上流冷媒蒸発器を介し、空気対空気熱交換器を介し、一実施形態において蒸発器からの凝縮液として回収された冷水を使用する空気対水熱交換器をさらに介して、主空気流を吸気するファンを備える。蒸発器への空気流は、蒸発器に入る前に空気対空気熱交換器と空気対水熱交換器を通過することにより一次冷却され、空気流は蒸発器でさらに露点を下回るよう冷却されて蒸発器上に湿気が凝縮し、重力で回収される。蒸発器は、閉冷却回路により冷却される。閉冷却回路用の冷媒凝縮器は、蒸発器からの空気流を吸気するファンまたは別のファンを採用し、いずれも蒸発器を介してマニホルドを介した空気流とは別の補助空気流を吸気する。これにより、補助空気流と空気流の両方が蒸発器を通るか、または補助空気流だけが凝縮器および対応するファンを通って導かれる。 （もっと読む）

【課題】本願発明は、火災や爆発等の災害を生じるおそれがなく、洗浄液を繰り返して使用でき、かつ、ポンプ等の動力を使用せず、被洗浄物から除去した汚れ成分の廃棄に際しても洗浄液の混入を極力押えた電気部品、機械部品等の洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本願発明に係る洗浄方法は、アセトンが９２質量％ないし８８質量％を占めるアセトンと水との混合液を第１の槽で加熱して沸騰させ、部品を納置した第２の槽にこの沸騰液を噴射させてフラッシュ洗浄し、フラッシュ洗浄後の混合液を冷却後にアセトンが４０質量％ないし２０質量％を占めるアセトンと水との混合液と混合して蒸留し、この蒸留液を再度洗浄液として使用する一方、汚れ成分を含んだ残留液を廃棄することとした。 （もっと読む）

【課題】 噴霧される液滴への浮遊粒子の付着の抑制が図られた噴霧盤、噴霧装置及び噴霧乾燥機を提供する。
【解決手段】 本発明に係る噴霧盤３４においては、上部取付円板５２に形成された貫通孔５２ａを介して上下取付円板５０に原液が供給されると、原液は上下取付円板５０の周縁方向に流れ、噴霧用コロ６２の周面６２ａに沿って上昇して膜状となる。膜状となった後、原液は、液滴状となって噴霧用コロ６２の周面６２ａから離脱し、上下取付円板５０から外方に噴霧される。なお、上部取付円板５２の上面５２ｂにはピン５５が立設されているため、このピン５５によって貫通孔５２ａへ向かう空気の流れが遮られる。それにより、上下取付円板５０内に流入する空気の量が抑制される。そのため、浮遊粒子の上下取付円板５０内への吸い込みが抑制され、噴霧盤３４から噴霧される液滴に浮遊粒子が付着する事態が抑制される。 （もっと読む）

本発明はエステル交換反応方法に関し、この場合、この方法は、Ａ）有機酸ａ）とエステルｂ）とを混合し、かつ、Ｂ）エステルｂ）のアルコール基を酸ａ）に変換して、酸ａ）のエステルおよびエステルｂ）の酸を得る工程を含み、その際、工程Ｂ）は蒸留装置中で実施する。 （もっと読む）

【課題】 シール部材に重合物が固着することを防止することができ、長期にわたって安定した動作を確保することのできる、薄膜蒸発装置を提供すること。
【解決手段】 薄膜蒸発装置１の胴体２内において、ワイパ２３を備えるロータ４が設けられる駆動軸３のシール部材５を被覆するように、チャンバ７を設けて、薄膜蒸発装置１の運転時には、そのチャンバ７内を窒素ガスで封入する。これによって、シール部材５は、運転時において、常時、窒素ガスが封入されているチャンバ７によって、胴体２の内部空間から画成されているので、シール部材５にタール成分に起因する固着物が固着することを防止することができる。そのため、長期にわたって安定した運転動作を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液が溶解したリンス液を蒸留して再生する際に、洗浄液及びリンス液を廃棄する必要のない蒸留装置を提供する。
【解決手段】 蒸留装置２０の蒸留槽２１内に、熱源２２が設置されている。また、蒸留槽２１の上方には、冷却コイル２３を有したリンス液回収槽２４が設置されている。また、蒸留槽２１内には、熱源２２によりリンス液を気化して当該リンス液に溶解する洗浄液を回収する洗浄液回収槽２５が設置されている。洗浄液回収槽２５は、リンス液の液面の上限を検出する第１のセンサ２６Ａ及び当該下限を検出する第２のセンサ２６Ｂを有している。また、熱源２２の熱により気化されたリンス液を冷却コイル２３へ導くための開口部２５Ｍを有している。また、蒸留槽２１及び洗浄液回収槽２５には、リンス液もしくは回収された洗浄液を通す第１の導入管３１、第１の排出管４１、第２の導入管、第２の排出管４２が接続されている。 （もっと読む）

粒子を製造するために、（ａ）乾燥ガス中に、噴霧された溶媒とバルク材料からなる液滴を形成するために、溶媒およびバルク材料（例えば医薬物質）を含むエマルジョン、溶液、または懸濁液を、アトマイザー（１４）を通じて乾燥ガス流が通過する一次乾燥チャンバー内に噴霧する工程；（ｂ）液滴を固化し乾燥ガス中に分散された粒子を形成するために、一次乾燥チャンバー内で、少なくとも溶媒の一部を乾燥ガス中に蒸発させる工程；および（ｃ）粒子を脱凝集または粉砕するために、粒子と少なくとも乾燥ガスの一部をジェットミル（２４）に通じる様に流す工程、から成る方法および装置が提供される。噴霧乾燥を「インライン」ジェット粉砕と組み合わせることによって、２つの別々の単位操作から単一工程プロセスを作り出し、さらなる収集工程を有利に排除する。この１工程のインラインプロセスは、さらに、処理時間およびコストにおいて利点を有する。
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【課題】切削油等の含油廃水を、低コストで効率良く迅速に処理し得ると共に、大気汚染や悪臭の発生を招来することもなく処理する。
【解決手段】界面活性剤によりエマルジョン化されている含油廃水の処理方法であって、前記含油廃水を気化させ、前記気体を、その気体中に含まれる前記界面活性剤は分解又は変性されるが、前記含油廃水中の油分は分解又は変性しない温度で加熱処理し、その加熱処理後の気体を凝縮して液体に戻して回収する。 （もっと読む）

【課題】融点が２５℃よりも高く、昇華状態では温度降下時に融点で結晶化しにくい昇華物質を回収するのに際して、装置の内壁や配管に広範囲にわたって昇華物質が付着堆積するのを防止する。
【解決手段】結晶化部３において昇華物質Ａと冷却ガスＢとを衝突させ、混合することによって、昇華物質Ａの結晶化を促進する。結晶化部３からの混合ガスＥを、フィルター９とガス吸引手段１０とを備えている回収部２に通過させ、昇華物質を回収する。 （もっと読む）

液濃縮部近傍の上方部に設けた場合において、飛散液の乾燥粉末化を防止し、連続運転を可能ならしめる液跳ね飛散防止部材を設けてあるドラムドライヤーを提供することを課題とする。ダブルドラム式のドラムドライヤーにおいて、ドラム間の液濃縮部近傍の上方部に、冷却機能を有する液跳ね飛散防止部材を水平面に設けてあるドラムドライヤー。
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【課題】 高沸点物を含むクルード液を蒸留する蒸留系において、蒸留前のクルード液が侵入してクルード液中の高沸点物が付着することによる機器の動作不良を経済的に防止する。
【解決手段】 付着が生じる部分に対して、蒸留塔１１で高沸点物が除去された液体、例えば塔頂循環液又は製品の精製四塩化チタン液を供給する。付着が生じる部分は、製造されたクルード四塩化チタン液を一時的に貯蔵する貯蔵タンク５に装備される差圧式の液面計５、或いはクルード四塩化チタン液を移送する移送ポンプ８，１２の軸シール部である。クルード四塩化チタン液に代えて、高沸点物が除去された四塩化チタン液を供給することにより、高沸点物の付着による動作不良が防止される。 （もっと読む）

【課題】 トレイ型の省エネルギーに優れた蒸留装置を提供すること。
【解決手段】 固定多孔板または固定充填物と外力によって移動し得る可動多孔板または可動充填物とから構成されるトレイまたは充填物が配置された蒸留塔を用いて多成分を含む原料を蒸留する方法であって、（１）該可動多孔板または可動充填物を操作して蒸留中に中間成分を溜める工程、および（２）該中間成分を液として抜き出す工程を含む蒸留方法が提供される。 （もっと読む）