【課題】 接合対象物の接合面積が増加したときにも接合状態が不均一にならないようにした接合方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 減圧された真空チャンバ１内に配設されたステージ５上に保持された第１及び第２の各ウエハ（接合対象物）１１，１２に対し、接合ヘッド４により所定圧力で加圧を加え、面接触した接合面間に直流電圧を印加するのに併せてＸ軸超音波振動子２及び／又はＺ軸超音波振動子３から超音波振動を印加する。 （もっと読む）

【課題】被接合体の接合部に対して選択的に通電させることで、低温、短時間で、その品質および機能が全体で均一である大型の焼結体などの大型の接合体を製造することができる接合体の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの被接合体のそれぞれの接合面を互いに突き合わせた接合部における２つの被接合体の接合面の間にインサート材を介在させ、接合部に通電するための電極と接合部における各被接合体との間において接合部以外の部分に絶縁材または高抵抗材を介在させ、加圧・通電加熱処理により、２つの被接合体を、接合方向に対して水平または垂直な方向に加圧しつつ接合部に選択的に通電して加熱し、少なくとも２つの被接合体を接合して接合体を製造することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 プレス成型された複数枚の熱交換用プレートを整列させて重ね合せた状態で保持し、熱交換用プレート同士の接合部分として設定された箇所を適切に当接させ、後工程の拡散接合で確実に接合一体化可能とする熱交換器製造方法を提供する。
【解決手段】 プレス成型された複数の熱交換用プレート１０を整列させ重ね合せた状態でテーブル３０上に載置し、そのまま整列状態を維持しつつ重なり方向に押圧力を付与すると共にプレート周囲空間を拡散接合可能な圧力へ減圧可能な状況を生じさせ、そのまま拡散接合工程へ移行可能とすることから、重ね合せたプレート同士の多数の接合予定部分の位置がずれなく一致した状態を得られ、接合予定部分を確実に当接状態として後工程で適切に拡散接合で一体化させられ、プレス成型された熱交換用プレート１０を用いて、プレート同士の接合箇所を多数備えて耐圧強度の高い熱交換器を確実に製造できる。 （もっと読む）

【課題】 熱交換用プレートを重ね合せることで生じたプレート同士の接触箇所を拡散接合により接合して、隣合うプレートの一体化部分を大幅に増加させ、熱交換用プレートで構成される熱交換器の耐圧強度を大幅に高められる熱交換器製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の熱交換用プレート１０を重ね合せると共に必要最小限度の押圧力を付与した状態とし、プレート同士の本来接触すべき箇所における接触状態を確保した上で、プレートをなす金属の拡散接合が適切に進行する温度条件及び周囲雰囲気条件を与え、プレート同士の接触箇所を拡散接合で一体化させることから、プレス成形されたプレートを用いて、隣合うプレート同士の接合部分が周端縁部分以外にも多数存在して強固に一体化した熱交換器を製造できることとなり、熱交換用流体に対する耐圧強度を高められ、熱交換器の高性能化が図れる。 （もっと読む）

【課題】装置を長寿命化すること。
【解決手段】真空雰囲気を生成する接合チャンバ２と、ロードロックチャンバー３と接合チャンバ２との間を開閉するゲートバルブ５と、ゲートバルブ５を介して上側基板と下側基板とをロードロックチャンバー３から接合チャンバ２に搬送する搬送機構８と、上側基板の常温接合される表面と下側基板の常温接合される表面とに粒子を真空雰囲気で照射するイオンガン３２とを備えている。このとき、イオンガン３２は、接合チャンバ２の内側表面のうちのゲートバルブ５を除く領域に向いている。このような常温接合装置１は、ゲートバルブ５の汚染が防止されて、長寿命化する。 （もっと読む）

【課題】放電プラズマ焼結法による接合方法であっても、接合部材の接合部の剛性や形状、強度の変化を抑えることができ、安定した品質を確保することができる接合方法及びこの方法によって製造された接合部材を提供すること。
【解決手段】この接合方法は、上型１０の上型先端面１０Ａに設けられた上型溝１０ａと第一接合部２とを係合させ、かつ、上型先端面１０Ａに対向する下型１１の下型先端面１１Ａに設けられた下型溝１１ａと第二接合部５とを係合させる一方、第一接合部２及び第二接合部５とは接触しない上型先端面１０Ａ及び下型先端面１１Ａの領域を直接接触させる工程と、上型１０及び下型１１を軸線方向に加圧して第一接合部２及び第二接合部５を押圧しながら、上型１０と下型１１との間でパルス通電する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＣｕまたはＣｕ合金製ターゲットにバッキングプレートを接合してなるバッキングプレート付きターゲットの製造方法を提供する。

【解決手段】片面に窪みを形成したＣｕまたはＣｕ合金製ターゲット板状素材１とＣｕまたはＣｕ合金製バッキングプレート板状素材２を重ね合わせて形成された隙間にＡｌまたはＡｌ合金製インサート板状素材３を挿入して積層体を作製し、この積層体の周囲を真空中で電子ビーム溶接することにより全周電子ビーム溶接積層体１３を作製し、この全周電子ビーム溶接積層体１３を温度：４００〜５７０℃、圧力：１００〜３５０ＭＰａの条件にて熱間静水圧プレスすることにより拡散接合積層体１４を作製し、ついで、この拡散接合積層体１４の電子ビーム溶接部分を含む十分な強度を持った拡散接合とならない部分を切削除去する。 （もっと読む）

【課題】大型の試料であっても高品質で効率的に接触面の接合を行う。
【解決手段】本発明の陽極接合は、ハロゲンヒ−タによる加熱機構を持ち、試料交換チャンバに試料をセットし、サンプル温度が設定温度の±１０％以内に到達したことを測定器で確認し、自動でゲートを開け、搬送機構で接合チャンバに試料を保持部にセットし、荷重、温度、電圧を負荷し、接合し、搬送機構で試料交換チャンバにセットし、が窒素、不活性Ｇａｓの冷却ブロ−により、酸化が生じないレベルに試料を冷却し、大気開放する。これにより、試料の温度上昇、電圧印加、試料の冷却、チャンバの大気開放の時間に影響されず接合を実施することができるため、全体の接合時間が短く、生産性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】拡散接合時における加圧力が流体通路溝の溝底部にも充分に掛かるようにして高い接合性が得られる品質の高い積層型熱交換器を提供する。
【解決手段】流体通路溝２を所定間隔を置いて複数形成した平板金属プレート１の複数枚を、積層方向において前記流体通路溝２の向きが略直交するように交互に積層し拡散接合して形成されており、同一向きの流体通路溝２に流通する第１の冷媒と、それと直交する向きの流体通路溝２に流通する第２の冷媒とで熱交換される積層型熱交換器において、前記各流体通路溝２の溝底部５の略中央部５Ａを支持するように、同一向きに流通する前記各流体通路溝２間に形成された支え部４がそれぞれ対応して配置されている。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーの内部の作動液蒸気密度を低い状態にしつつ、真空チャンバーの内部で圧接、接合し、同時にヒートパイプ加工を行うことが可能な平面型ヒートパイプ及びその製造装置を提供する。
【解決手段】平面型ヒートパイプは、全周にわたり圧接用接合面を備え、作動液が収容される空間を少なくとも一方に有する上コンテナ材および下コンテナ材からなるコンテナと、コンテナ内に配置された作動液吸収材と、作動液吸収材の内部に吸収される作動液をを備える。また、製造装置は、上述した圧接式平面型ヒートパイプの接合面を圧接する上圧接治具及び下圧接治具と、上圧接治具に接合され、上下に可動なチャンバー上部と、下圧接治具に接合されるチャンバー下部と、チャンバー上部およびチャンバー下部と気密に接続される側部と、真空チャンバー内部の気体が排出される真空引き口とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄板接合装置及びこれを用いた薄板接合方法を提供する。
【解決手段】本発明に従う薄板接合装置は、工程チャンバ１０及び工程チャンバの一側に連結され、工程チャンバを真空状態にするポンプ５０を含む。工程チャンバ内には、第１及び第２の金属薄板１ｔ、２ｔをそれぞれ供給する第１及び第２の供給部２１，２２、供給された第１及び第２の金属薄板の間に接合物質を噴射する噴射部３０、及び第１及び第２の金属薄板を接合させる接合部２５が備わる。これにより、接合物質の接合力が向上し、多様な接合物質が使用できる。 （もっと読む）

金属ワイヤメッシュを金属基板に冶金により接合して、脆くて目の粗いメッシュおよび／または薄壁基板の使用を可能にするための方法を提供する。薄いニッケルベースの層は、チタンベースの基板とチタンベースのワイヤメッシュとの間に配置される。メッシュおよび基板は、たとえばワイヤの巻付けにより、その間にあるニッケル中間層に対して密着するよう軽く締付けられる。次いで、そのサンドイッチ状のものまたはアセンブリ（すなわち、基板、中間層、メッシュ）が、チタンおよびニッケルの融点よりも低いが共晶チタン・ニッケル合金（たとえば、Ｔｉ₂Ｎｉ）を形成するには十分な温度に加熱される。
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【課題】特に熱疲労に関して充分な機能性を示し、また安価に製造することが可能な、少なくとも部分的にタングステン又はタングステン合金と、銅又は銅合金とからなる、複合部材を提供する。
【解決手段】本発明は、タングステンから製造される一つの部材と、銅から製造される一つの部材とを含み、それらが接合加工方法により一体的に接合されている複合部材を製造するための加工方法に関し、ここで、そのタングステンから製造された部材は、接合加工の前に、より大きな表面積を得る目的で、その接合表面の領域が構造化されている。 （もっと読む）

【課題】 真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできるコンパクトな装置を提供する。
【解決手段】 真空チャンバ１２の内部には、回転ツール３０と、接合用部材４２ａ、４２ｂを固定する移動ステージ４０が配置される。回転駆動力導入器１４は、真空チャンバ１２の外部に配置される回転駆動力発生装置１００から回転ツール３０へ回転駆動力を伝達する。移動駆動力導入器１８は、真空チャンバ１２の外部に配置される移動駆動力発生装置１１２から移動ステージ４０へ移動駆動力を伝達する。回転駆動力導入器１４と移動駆動力導入器１８は駆動力を真空チャンバ１２の内部に導入する際に外気を侵入させない。従って真空チャンバは、その内部に回転ツールと接合用部材と移動ステージ４０を収納できればよい。小さい真空チャンバで真空中での摩擦攪拌接合を行うことができる。真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできる装置をコンパクトに実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 接合部材の非接合面の平滑度や並行度が不充分であったとしても、片圧を有効に抑止し、しかも接合時における熱膨張を有効に抑止し、精度の高い接合を行うことのできるパルス通電接合装置を提供する。
【解決手段】 カーボン製凹状部材１１と、前記凹状部材１１の凹状部１１１に順次収容されているカーボンシート積層物１２と、パルス通電時に接合温度よりも高くなって溶融する、接合部材と同一の素材からなる金属部材１３と、通電性耐熱断熱材１４と、からなるパルス通電接合装置用弾性吸収具１とで構成し、接合部材２（２Ａと２Ｂ）と電極３（３Ａと３Ｂ）との間に、カーボン盤４（４Ａと４Ｂ）を介して、前記パルス通電接合装置用弾性吸収具１（１Ａと１Ｂ）を上下に対称に、或いは上下のいずれか一方のみに設置したことを特徴とするパルス通電接合装置とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は異種材料、特に銅又は銅合金と非銅合金との改善された液相拡散接合に関する。
【解決手段】部品を形成する方法において、ろう付け材料を第１と第２の壁部の間に集めてサンドイッチを形成する。第１の壁部は本質的に銅又は銅基合金のみからなる。第２の壁部は少なくとも非銅基合金を含んでなる。サンドイッチは加熱される。加熱によりろう付け材料が溶融して、第１の壁部の少なくとも一部が第２の壁部に液相拡散接合される。 （もっと読む）

【課題】接合強度の大きな常温接合方法を提供すること。
【解決手段】二つの固体材料１３a、１３bを常温接合する方法であって、超短パルスレーザＬを低フルーエンスで偏光制御して前記二つの固体材料１３a、１３bの接合面に照射して該接合面に周期性微細構造を形成する微細構造形成ステップと、前記周期性微細構造が形成された前記二つの固体材料の接合面同士を突き合わせて加圧する加圧ステップと、を有することを特徴としている。
周期性微細構造により実効的な接合面積が増大し、化学結合力に周期性微細構造の噛み合わせによる物理結合力が加わり、接合強度を大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 電磁誘導加熱式容器の素材となる複合材に空隙部を簡単に形成できるようにする。
【解決手段】 非磁性金属板と磁性金属板の対向面の全面にそれぞれ予め接合用金属層を設けておき、ホットプレス装置の軸方向両側に対向配置される一対のプレス型の間にセットし、前記プレス型の少なくともいずれか一方に、対向する相手方のプレス型に向けて突出する段状突出部を設けておき、ホットプレス時に、前記段状突出部と相手方プレス型に挟まれる領域の金属板同士は前記接合用金属層が一体的に結合される接合部として形成する一方、前記突出段部に挟まれない領域の金属板同士は空隙部となる未接合部として形成し、部分的に空隙部を有する複合材としている。
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【課題】 従来、金属材料同士を金属結合させるためには、高温高圧によるプレスや、プラズマなど高エネルギーによる接合面の浄化のために特殊設備を装置する必要があるため、量産設備による加工が困難なものとなっていた。
【解決手段】 金属材料の接合面を、塩酸を主成分としてさらにリン酸を含む金属表面処理液で化学表面処理し、真空中或いは不活性ガス雰囲気下で、概１５０℃乃至概３５０℃の温度と概２メガパスカル乃至概１０メガパスカルの圧力でプレスして接合させることを特徴とする金属面接合方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 炭素材及び金属材の好ましい特性を発揮することができる複合材料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 丸棒状の金属材１が円板状の中間材２に固相接合されると共に、丸棒状の炭素材３が中間材２に固相接合されている。金属材１は、例えばアルミニウム材又は銅材である。また、中間材２は、例えばニッケル材である。 （もっと読む）