【課題】大きな荷重を接合面に均一に負荷すること。
【解決手段】第１基板を第１駆動装置と、第２試料台４６を第２方向に駆動する第２駆動装置と、第２基板４３とその第１基板とが圧接されるときに、その第１方向に第２試料台４６を支持するキャリッジ支持台４５と、その第２基板４３を固定するカートリッジ５５を第２試料台４６に機械的に固定するメカニカルロック機構５７、５８、５９とを備えている。このような常温接合装置は、第１基板と第２基板４３とを圧接するときに、第２駆動装置に加わる荷重を低減することができ、第２駆動装置の耐荷重を越えたより大きな荷重を第１基板と第２基板４３とに加えることができ、さらに、第２基板４３に電磁力を印加することなしに、第２基板４３を着脱可能に第２試料台４６に支持することができる。このため、常温接合装置は、電磁力を印加することができない基板にその大きな荷重を負荷することができる。 （もっと読む）

【課題】その大きな荷重を接合面に均一に負荷すること。
【解決手段】第１基板を保持する第１試料台１３の向きを変更可能に、第１ステージ１１に第１試料台１３を支持する角度調整機構１２と、第１ステージ１１を第１方向に駆動する第１駆動装置１４と、第２基板を保持する第２試料台４６を第２方向に駆動する第２駆動装置と、その第２基板とその第１基板とが圧接されるときに、その第１方向にその第２試料台を支持するキャリッジ支持台とを備えている。角度調整機構１２は、電気信号により伸縮する複数の素子から形成されている。このとき、常温接合装置１は、第２駆動装置の耐荷重を越えた大きな荷重を第１基板と第２基板とに加えることができる。常温接合装置１は、さらに、第１基板と第２基板とが平行に接触するように、角度調整機構１２を用いて第１基板の向きを変更することができ、その大きな荷重を接合面に均一に負荷することができる。 （もっと読む）

【課題】その大きな荷重を接合面に均一に負荷すること。
【解決手段】第１基板を保持する第１試料台１３の向きを変更可能に、第１ステージ１１にその第１試料台１３を支持する角度調整機構１２と、その第１ステージ１１を第１方向に駆動する第１駆動装置１４と、第２基板を保持する第２試料台４６を第２方向に駆動する第２駆動装置と、その第２基板とその第１基板とが圧接されるときに、その第１方向にその第２試料台を支持するキャリッジ支持台とを備えている。このとき、常温接合装置１は、第２駆動装置の耐荷重を越えた大きな荷重を第１基板と第２基板とに加えることができる。常温接合装置１は、さらに、第１基板と第２基板とが平行に接触するように、角度調整機構１２を用いて第１基板の向きを変更することができ、その大きな荷重を接合面に均一に負荷することができる。 （もっと読む）

【課題】その大きな荷重を接合面に均一に負荷すること。
【解決手段】第１基板を保持する第１試料台１３の向きを変更可能に、第１ステージ１１に第１試料台１３を支持する角度調整機構１２と、第１ステージ１１を第１方向に駆動する第１駆動装置１４と、第２基板を保持する第２試料台４６を第２方向に駆動する第２駆動装置と、その第２基板とその第１基板とが圧接されるときに、その第１方向にその第２試料台を支持するキャリッジ支持台とを備えている。角度調整機構２１は、複数のシムから形成されている。このとき、常温接合装置１は、第２駆動装置の耐荷重を越えた大きな荷重を第１基板と第２基板とに加えることができる。常温接合装置１は、さらに、第１基板と第２基板とが平行に接触するように、角度調整機構１２を用いて第１基板の向きを変更することができ、その大きな荷重を接合面に均一に負荷することができる。 （もっと読む）

【課題】剥離材を薄くすることができ、接合性に優れた拡散接合を用いた金属ハニカムの製造方法を提供する。
【解決手段】平板状の母材11を積層にすると共に、それら母材11，11間に所定間隔でアルミニウム箔３を配置し、窒素ガス雰囲気中で、積層にした母材11，11を加圧状態で加熱することにより、アルミニウム箔３，３間で母材11，11を拡散接合した後、前記積層方向に引張力を加えて展張することにより、母材11をセル壁とし、該セル壁にて区画形成された中空柱状の多数のセル21を有するハニカムコアを形成する。窒素ガス雰囲気中の窒素ガスとアルミニウム箔３中のアルミニウムとにより、母材11の表面にアルミニウム窒化物が形成され、この窒化物は脆いため、アルミニウム箔３を上下に挟んだ位置で母材11と母材11とを分離することができる。 （もっと読む）

【課題】２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができるとともに、使用後にはこれら基材同士を効率よく剥離することができる接合体の形成方法、および、２つの基材同士が高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体の形成方法は、第１の基板（基材）２１および第２の基板（基材）２２上に、それぞれ、化学的気相成膜法を用いて、銅と有機成分とで構成され、前記銅の含有率が９０ａｔ．％以上でかつ９９ａｔ．％未満である接合膜３１、３２を形成する工程と、接合膜３１、３２同士が対向するようにして、第１の基板２１および第２の基板２２同士を接触させた状態で、第１の基板２１および第２の基板２２間に圧縮力を付与して、接合膜３１、３２同士を結着させることにより接合体を得る工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】補修した後であっても、高い耐久性を持つように補修すること。
【解決手段】ガスタービン動翼補修方法は、ガスタ−ビン動翼に生じた亀裂Ｃを検査する検査工程８２と、ガスタービン動翼のうち亀裂Ｃを含む破損部１０ａ，１０ｂを除去することによって、ガスタービン動翼に当該破損部１０ａ，１０ｂに対応する穴部２０を形成する除去工程８３と、前記破損部１０ａ，１０ｂの形状に対応する形状を持つ接合材１５，１６を準備する準備工程８６と、を備えている。除去工程８３および準備工程８６の後には、前記接合材１５，１６をガスタービン動翼の前記穴部２０に装填する装填工程８７が設けられている。当該装填工程８７の後には、ガスタービン動翼の前記穴部２０に装填された接合材１５，１６を、ガスタービン動翼に接合する接合工程８８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】容器の薄肉化を図り、その作成を容易とする。
【解決手段】壁部２１及び壁部２１の周縁に設けられている複数の接合部２２を有する複数の板２０の互いの接合部２２を、壁部２１によって多面体を形作るように、押さえつける押さえ治具６３を備え、押さえ治具６３によって互いに押さえつけられた接合部２２同士を一括して圧着する。 （もっと読む）

【課題】安定化層を除去しかつ再度安定化層（酸化層）が形成される前に圧着することができ、素材を高温にして活性化して接合することができ、帯板の表面のゴミを除去・洗浄しかつ再付着を防止して接合することができ、各帯板の接合時の張力を正確に保持することができ、圧着時の各帯板のそれぞれの圧延伸率がほぼ等しくなるよう制御することができる帯板多層圧着設備を提供する。
【解決手段】真空容器内に、複数の巻出しリール装置１４ａ、１４ｂと、複数の巻出し張力制御設備１６ａ、１６ｂと、表面活性化装置１８と、圧着装置２０と、巻取りリール装置２２と、を備える。圧着装置２０は、複数の帯板を圧着させる１対の圧着ロール２１ａ、２１ｂを備え、１対の圧着ロールは、各帯板の出側の伸び歪みが同じになるように、異なる直径を有し、及び／又は、異なる周速で回転駆動される。 （もっと読む）

【課題】 ベース基板と蓋体との封止に表面活性化接合を用いた圧電デバイスにおいて、圧電振動片に形成された励振電極がイオンビーム等の照射によりスパッタエッチングされ生じる圧電振動片の周波数のシフトを防止する。
【解決手段】 圧電振動片１２が搭載されたベース基板１１に蓋体１３が接合され、ベース基板１１および蓋体１３とにより形成された内部空間に圧電振動子１２を収納した圧電デバイス１０において、ベース基板１１と蓋体１３とは表面活性化接合により接合されており、前記内部空間内のベース基板１１上には、圧電振動片１２を覆い保護するための内蓋１４を配置する。 （もっと読む）

【課題】単一の真空チャンバで様々な接合技術を選択して使用することが出来ると共に、それらの併用を可能とする。
【解決手段】基板接合装置は、接合すべき一対の基板６、７を互いに対向するよう保持する基板ホルダ２、３と、この基板６、７の接合すべき面に向けて配置したイオン・ラジカル源１１、１１と、前記の少なくとも一方の基板ホルダ２、３を移動させて基板２、３の接合すべき表面を互いに接触、加圧する移動機構とを有する。そして、前記イオン・ラジカル源１１、１１は、プラズマ中でガスをイオン化及び／またはラジカル化するプラズマ室１２、１２と、このプラズマ室１２、１２で発生したイオンを前記基板６、７の接合すべき面に向けて発射するイオン引出電極１４、１４と、イオンをトラップし、前記プラズマ室１２、１２で発生したラジカルのみを前記基板６、７の接合すべき面に向けて発射するイオントラップ電極１５、１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハなどの接合面を清浄化および活性化して接合するに際し、清浄化時に除去した汚染物が清浄化された接合面に再付着するのを防止し、接合品質を向上させる。
【解決手段】真空チャンバ２、搬出入口３、扉４、排気口５、プッシュロッド６、保持部材７、８、ビーム照射装置９、１０および集塵器１１、１２を含む接合装置１において、保持部材７、８に保持されたウエハ１３、１４にビーム照射装置９、１０から原子ビーム１５、１６をライン状に照射するに際し、原子ビーム１５、１６の照射位置をウエハ１３、１４接合面の原子ビーム１５、１６の照射領域から未照射領域に移動させ、かつ、原子ビーム１５、１６と、その照射位置移動方向のウエハ１３、１４接合面とのなす角の角度を９０°より大きく１８０°より小さくする清浄化工程と、清浄化されたウエハ１３、１４接合面を接触させて接合する接合工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】放射性物質等で汚染された配管の閉止及び撤去に関わる作業を、汚染されている配管内面を極力外気に接触させることなく、迅速で効率良い作業環境をおこなえる配管閉止装置を提供する。
【解決手段】まず撤去する配管１２の内部にアルゴンや窒素など、配管１２内面への酸化皮膜の生成を防止する不活性ガスを流し続ける。そして高周波電源４０及び加熱コイル２４Ａ、２４Ｂにより配管１２の閉止すべき部位を９００〜１１００℃前後に保つように加熱する。続いて油圧シリンダ２０及び押し金型１８により配管１２に徐々に押し圧を掛け、配管１２内面が密着するまでスムーズに押し潰す。さらに２０MPa以上の加圧力で５分以上保持することで配管１２内面の固相拡散接合による密着閉止を得る。 （もっと読む）

【解決課題】従来以上の配向性を有し、かつ、高い強度を有するエピタキシャル薄膜形成用の配向基板、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、金属層と、前記金属層の少なくとも一方の面に接合された銅層とからなるエピタキシャル薄膜形成用のクラッド配向金属基板であって、前記銅層は、結晶軸のずれ角ΔφがΔφ≦６°である｛１００｝〈００１〉立方体集合組織を有するエピタキシャル薄膜形成用のクラッド配向金属基板である。この配向金属基板は、銅層の表面上に、形成されるエピタキシャル薄膜に対する中間層を備え、前記中間層は、ニッケル、酸化ニッケル、酸化ジルコニウム、希土類酸化物、酸化マグネシウム、チタン酸ストロンチウム（ＳＴＯ）、チタン酸ストロンチウム・バリウム（ＳＢＴＯ）、窒化チタン、銀、パラジウム、金、イリジウム、ルテニウム、ロジウム、白金からなる層を少なくとも１層備えるものとすることがより好ましい。 （もっと読む）

【課題】接合特性の安定性および接合歩留まりの向上を図れる接合方法を提供する。
【解決手段】接合対象物を導入した接合室内を真空排気する真空排気工程（Ｓ３）と、真空排気工程（Ｓ３）の後に接合対象物の接合部位の表面にイオンビームもしくは原子ビームもしくはプラズマを照射して接合部位の表面を活性化する表面活性化工程（Ｓ５）と、表面活性化工程（Ｓ５）の後に接合対象物の接合部位同士を接合する接合工程（Ｓ６）とを備える。真空排気工程（Ｓ３）と表面活性化工程（Ｓ５）との間に、接合対象物の接合部位を加熱する加熱工程（Ｓ４）を設け、表面活性化工程（Ｓ５）と接合工程（Ｓ６）とは、接合対象物の接合部位へのガス成分の吸着を防止するために接合対象物の接合部位を加熱した状態で行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、圧着、接着、溶接やロウ付けのような接合部での強度低下や接合欠陥が生じる方法ではなく、接合部で強度低下や接合欠陥が発生せず、たわみ等の変形がない２ｍ以上の長尺の超硬合金製塗布工具用先端部材とそれを具備する塗布装置用塗布工具を得ることである。
【解決手段】1回以上の焼結処理（ＨＩＰを含む）を施した２個以上の超硬合金焼結体部材を、拡散接合して塗布工具用先端部材を製造する。長尺の超硬合金製塗布工具用先端部材を得るため、２個以上の超硬合金焼結体部材を拡散接合して一体となるように形成しているので、２個以上の超硬合金焼結体部材を圧着、接着、溶接やロウ付けで一体としたものと比較すると、接合部での強度低下や接合欠陥が発生せず、たわみ等の変形がない長尺の超硬合金製塗布工具用先端部材とそれを具備する塗布装置用塗布工具を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】常温接合において、基板面に中間材を均一に形成し、接合時の加熱が不要で常温にて接合しても十分な接合強度が得られる方法、及び装置を提供する。
【解決手段】複数の基板４を中間材を介して常温で接合する方法において、複数のターゲット７を物理スパッタリングすることによって、前記基板の被接合面上に前記中間材を形成する工程と、被接合面をイオンビームにて活性化する工程と、を含む常温接合方法である。この場合、複数の種類の材料で構成されるターゲットを物理スパッタリングすることが好ましい。基板の被接合面から見て、種々の方向に配置された複数のターゲットから中間材の材料がスパッタリングされるので、前記被接合面へ中間材を均一に形成できる。更に、複数の種類の材料で中間材を形成しているので、単一種類の材料で中間材を形成しても接合し難い基板同士の常温接合が、接合時の加熱や過度な圧接無しに可能となる。 （もっと読む）

【課題】 複数の接合部材を同時に高加圧状態で拡散接合することを可能とする。
【解決手段】 高加圧拡散接合装置は、パルス電流または交流電流を発生させる電源７と、エアーまたは油圧で駆動できるシリンダー１４等によって、接合部材１０、１１を加圧する機構を有する真空炉または雰囲気炉を備えた装置を用い、接合部材の外周に発熱体を設置しその輻射熱と伝熱を利用して、直接接合部材に電流を流すことなく接合部材１０、１１を加圧しながら拡散接合を行う。
（もっと読む）

【課題】セラミックス層にクラック等の欠陥が発生せず、接合強度が良好で耐久性および信頼性に優れたセラミックス−金属接合部品およびその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス体２ａと金属体３ａとの間に熱膨張差による残留応力の発生を抑制するための軟質材料から成る中間層４ａを介してセラミックス体２ａと金属体３ａとを一体に接合したセラミックス−金属接合部品１ａであり、上記セラミックス体２ａと金属体３ａとの接合領域のうち、接合外周縁から内側に３ｍｍ以内の領域を少なくとも含む接合領域において、上記中間層４ａの厚さが、上記接合領域の中央部から接合外周縁に向かって厚く形成されていることを特徴とするセラミックス−金属接合部品１ａである。 （もっと読む）

【課題】８０気圧以上で超臨界となるＣＯ_２又は４０気圧以上で超臨界状態となるフロン系冷媒に対しても耐圧性を有し、高い熱通過率を実現するとともに、摩擦損失を増大することなく、熱交換器としての起動時間も短い超臨界冷媒用のマイクロスケールの微細流路から成る熱交換器を実現する。
【解決手段】表面に微細流路３、５を形成した多数の金属板６を、拡散接合を用いて互いに接合し、微細流路を多数積層した一体構造を有する熱交換器とすることによって、高い圧力にも耐えることができる高耐圧構造としており、これによって超臨界ＣＯ_２冷媒を高流速で流すことが可能となり、結果として従来型熱交換器を越える移動熱量及びコンパクトな構成とする。 （もっと読む）