【課題】レーザ光のパワーを最適化してスクライブ加工を行なえるようにする。
【解決手段】ソーラパネルにおいては、ガラス基板から析出するナトリウムにより金属膜が錆びてしまい、ソーラパネルの劣化を加速させるという問題があるので、ガラス基板と透明電極層との間に薄い二酸化珪素（ＳｉＯ₂ ）膜がコーティングしてある。このようなガラス基板にレーザ光を用いて透明電極層のスクライブ加工を行なうと、この二酸化珪素膜が削り取られ、ガラス基板からナトリウムが析出することがある。そこで、エネルギー分散型Ｘ線分析手段を用いてワークの加工箇所に電子線を照射し、発生する特性Ｘ線を検出してナトリウム成分値を測定する。このナトリウム成分値が所定値よりも大きい場合には、レーザ光のパワーが大きいことを意味するので、ナトリウム成分値が検出されないようにレーザ光のパワーを適宜調整する。 （もっと読む）

【課題】加工ヘッドの応答性を維持しつつ光学系の設計が簡略化でき、高い加工効率を有するレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置は、複数の加工ヘッドを同期して２次元的に移動させて、複数箇所を同時に加工するものであり、レーザ光を発生するレーザ発振器１と、レーザ発振器１からのレーザ光を伝送するための光ファイバ２と、光ファイバ２によって伝送されたレーザ光を平行光にするための光学素子３と、光学素子３からの平行光を分割し、各加工ヘッド１３，１４へそれぞれ供給するための光分岐素子４と、複数の加工ヘッド１３，１４をＸ方向に沿って変位可能なように支持するためのヘッド支持部材２０と、ヘッド支持部材２０をＹ方向に沿って変位させるための変位機構３０などを備え、光学素子３および光分岐素子４はヘッド支持部材２０に設置される。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光路長を短く略一定として加工品質の悪化を防止するレーザ加工機を提供する。
【解決手段】第１開口部４ａに沿うように第１ベルト部材Ｂ１が配置され、第２導光部に第１移動ユニット５０を設け、第１ベルト部材Ｂ１は、第２導光部が近接する部分以外Ｘ_２では第１開口部４ａを閉塞するように配置され、第２導光部が近接する部分Ｘ_１では、第１導光部から離間した位置に配置されて第２導光部５へのレーザ光Ｌ４の導入を許容し、反射手段４１が、第１移動ユニット５０に支持されて、第１導光部４の内部に突出する形で設けられており、第１移動ユニット５０には、反射ミラー５０４を、第１導光部４から離間した位置に配置された状態の第１ベルト部材Ｂ１の第１開口部側に、反射手段４１から反射されたレーザ光を第２の方向Ｙに反射し得るように設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】分岐された複数のレーザ光毎にＤＯＥを設けることなく、全てのレーザ光をトップハットビームに変換して基板に照射できるようにする。
【解決手段】レーザ加工装置は、レーザ光を複数のレーザ光に分岐し、分岐された複数のレーザ光をワークに対して相対的に移動させながら照射することによってワークに所定の加工を施す。このとき、レーザ光の分岐前の光路中に位相型回折光学素子手段を配置してレーザ光をトップハット強度分布に変換する。変換後のレーザ光は、分岐手段によってそれぞれ複数のレーザ光に分岐される。分岐手段は、変換後の複数のレーザ光がワークに照射されるまでのそれぞれの光路長が互いに等しくなるようにレーザ光をワークまで導いて照射する。 （もっと読む）

【課題】金属材料などからなる被加工物の表面に、数μｍオーダーの微小な寸法を有する凹凸パターンを形成するために有効なレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】マスク部４０を分割し、分割したマスクを光路長に差を設けてそれぞれ配置し、各マスクの開口を通過したレーザ光１１を同一の結像光学系５０により被加工物６０に照射させる構成にし、照射位置を変えながらレーザ光１１の重ね照射を可能にする。これにより、被加工物６０の所定の位置における表面および内部に複数のレーザ光１１を集光させることができるため、被加工物６０表面に集光させたレーザ光１１により表層部を加工して凹部を形成した後に、被加工物６０内部の位置に集光させたレーザ光１１により凹部６１の底部を高精度・高速かつ容易に加工することができる。 （もっと読む）

【課題】長尺方向の長さが１ｍを越える、照射強度が均一な線上ビームを照射することができ、効率的なパターニング加工を行なうことができる、レーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源を含み、複数のレーザ光を出力するレーザ出力手段１０１と、複数のレーザ光をそれぞれ、長尺かつ長尺側発散光である長尺ビームに整形する光学系１０３，１０４と、長尺ビームをマスキングして所定の形状で透過させる複数のマスクスリット１０９と、レーザ光が照射される被照射物１１１の上面と平行な２次元方向に、マスクスリット１０９を移動させるマスクスリット移動手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 大掛かりな設備を設けることなく、動的且つ正確に熱レンズ効果を補正することができる透過型光学素子、レーザー発振器、及びレーザー加工機を提供する。
【解決手段】 透過型光学素子は、正の熱ひずみ係数を有する物質からなりウェッジ面と平面とを有する第１光学部材と、負の熱ひずみ係数を有する物質からなりウェッジ面と平面とを有する第２光学部材とを備え、第１光学部材のウェッジ面と第２光学部材のウェッジ面とを向かい合わせに配置して、第１光学部材と第２光学部材とが相対的に平面に平行に移動し、レーザービームに生じる熱レンズ効果を補正する。 （もっと読む）

【課題】取付用相手部材の挿入孔への挿入深さを正確に設定できるレーザ用コネクタを提供する。
【解決手段】先端縮径状の先端テーパ部５を有し、かつ、ストレート状調芯部９を有していると共に、相手部材Ｚの挿入孔４への挿入深さを微調整するための調整リング10を、外周面に外鍔状に有している。 （もっと読む）

【課題】 均一な焼入れ加工を行うことができるレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】 複数の半導体レーザ１１と、半導体レーザ１１から出射された各レーザビームを一端から入射し、高出力レーザビームとして他端から出射する光ファイバ１２と、光ファイバ１２から出射された高出力レーザビームを平行ビームにして出射するコリメートレンズ１３と、平行ビームの光強度分布を変換した回折光を形成する計算機ホログラム１４と、光強度分布が変換された回折光を集光して被加工物に照射する集光レンズ１５とからなり、計算機ホログラム１４および集光レンズ１５により被加工物Ｗに形成されるレーザビームの強度分布形状が、長軸方向を有し、さらにこの長軸方向に沿ってビーム中心からビーム両端に向けて一次関数的に増加するＭ字形状にすることで均一な加熱を行う。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振器、出射窓部材の光学的配置を適正化して、装置の幅方向において小型化することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】出射口２２から出射されたレーザ光は第１反射ミラー２４ａに入射される。第１反射ミラー２４ａは、入射したレーザ光を、Ｚ方向に出射させるとともに、同Ｚ方向から見て、出射口２２から出射するレーザ光の光軸Ｌａ線上からＸ方向に離間する方向に反射させる。第２反射ミラー２４ｂは、第１反射ミラー２４ａからの反射されたレーザ光を入射し、その入射したレーザ光を反Ｙ方向に折り返し反射させ、反Ｙ方向側に配置された第１ガルバノミラー２５ａに出射する。第１ガルバノミラー２５ａは、第１ガルバノミラー２５ａからのレーザ光を、反Ｘ方向に配置された第２ガルバノミラーに出射する。 （もっと読む）

【課題】安価で作製可能な、曲面状の鏡面を有する反射鏡、または、曲率や形状が可変な反射鏡を備えるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ発振器から被加工物へのレーザビームの光路上には、反射鏡１が配置されている。反射鏡１は、鏡面を形成する板状部材からなり、板状部材に一方向の曲げモーメントを生じさせるように力を加えて該板状部材を湾曲させる荷重負荷機構１５によって鏡面が湾曲させられている。 （もっと読む）

【課題】ノズルから噴出される液体ビームに沿って照射されるレーザー光線が屈折することを防止したレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、チャックテーブル加工送りする加工送り手段とを具備し、レーザー光線照射手段がレーザー光線発振手段とレーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線を集光する加工ヘッドを具備しているレーザー加工装置であって、加工ヘッドは集光レンズによって集光された該レーザー光線の光軸に沿って液体を噴出する噴射ノズルを備えた液柱形成手段と、噴射ノズルから噴射される液柱を囲繞する筒状のガスカーテンを形成するガスカーテン形成手段とを具備している。 （もっと読む）

レーザと光学機器を使用することにより曲線軌跡に沿って板ガラスに切り込み線を入れて板ガラスを分離するためのシステムと方法が開示される。本システムは、レーザビームを生成するレーザ、集束レンズ、および円錐レンズまたは反射円錐ミラーなどの円錐形光学部品を含む。レーザは、板ガラスをそれに沿って分離することができる曲線状の切り込み線を生成するように、板ガラス上に投射される曲線状の切り込み線を生成するために、集束レンズと円錐レンズを通過するようにレーザビームを方向づける。場合により、レーザは、レーザビームを集束レンズを通過するようにして円錐ミラーに向けて方向づけて、レーザビームは曲線状の切り込み線を生成するように円錐ミラーから板ガラス方向に反射される。
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【課題】レーザパワーの波形制御におけるデータ効率、繰り返し速度および精度を改善してレーザ加工能力の向上をはかる。
【解決手段】このレーザ加工装置は、ファイバレーザ発振器１０、レーザ電源１２、レーザ入射部１４、ファイバ伝送系１５、レーザ出射部１６、制御部１８、タッチパネル２０等を有している。制御部１８は、ハードウェア的には、ＣＰＵ（マイクロコンピュータ）、ＦＰＧＡ（フィールドプログラマブル・ゲートアレイ）、ディジタル−アナログ（Ｄ／Ａ）変換器，アナログ−ディジタル（Ａ／Ｄ）変換器等を有している。 （もっと読む）

【課題】液体の噴流中に導光させたレーザ光を被加工物に照射して加工を行うレーザ加工機において、そのレーザ光出力を直接計測する。
【解決手段】噴流４を遮蔽しかつレーザ光５を透過し得る遮蔽材１を設けてその後背に計測手段２を配し、レーザ光５を遮蔽材１越しに計測手段２に入射させて計測するようにした。これにより、例えば射出ノズル３３の劣化に伴うレーザビーム６の透過率の変動等の、レーザ光出力の問題点を事前に察知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで低コストの構成を有し、かつ加工用のレーザビームを殆ど減衰させずに通す一方で被加工物からの反射戻り光を効率よく確実に除去できるレーザ加工用の光アイソレータを提供すること。
【解決手段】この光アイソレータ１００は、加工用レーザビームＦＢの伝播方向に沿って第１の分岐結合部１０２、ファラデー回転子１０４、１／２波長板１０６および第２の結合分岐部１０８をこの順序で一列に配置している。第１の分岐結合部１０２は、ガラスキューブ１１２の中にコーティングされた反射射透過膜１１０と、その近傍の所定位置に所定の傾斜姿勢で配置される折り返しミラー１１４とからなる。第２の結合分岐部１０８は、ガラスキューブ１１８の中にコーティングされた反射射透過膜１１６と、その近傍の所定位置に所定の傾斜姿勢で配置される折り返しミラー１２０とからなる。 （もっと読む）

【課題】レーザー光の伝搬効率を向上させて、安定した加工品質を確保する。
【解決手段】ワークＷに噴流液体を噴射するノズル３と、ノズル３に噴流液体を供給する液体供給手段６と、を有し、ノズル３から噴射された噴流液柱Ｆ内に導かれたレーザー光Ｌによるレーザー加工装置であって、噴流液体を層流状態でノズル３に供給する層流形成流路８を有し、層流形成流路８は、液体供給手段６から供給された噴流液体をノズルの軸線Ｇ周りに環状に分配する空洞が形成された分配流路８１と、ノズルの軸線Ｇ方向下流側において分配流路８１に連通して設けられ、分配流路８１よりも狭い流路で軸線Ｇ周りに環状の空洞が形成された連絡流路８２と、ノズルの軸線Ｇ方向上流側に隣接して設けられ、噴流液体を貯留してノズル３に供給する液体貯留室８３と、を備え、液体貯留室８３の外周縁部は、環形状の全周にわたって連絡流路８２と連通されている。 （もっと読む）

多軸切断システムが提供される。切断システムは、平衡したか慣性力を生ぜしめるように構成された駆動装置を有する、多軸の、比較的高加速の駆動システム（１６）を有する。幾つかの実施形態においては、駆動装置は、極座標系に従って作動する。
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【課題】マルチレーザシステムを提供する。
【解決手段】 第１レーザビームを出射する第１レーザ発振器と、第２レーザビームを出射する第２レーザ発振器と、第１レーザ発振器から出射された第１レーザビームが入射され、入射された第１レーザビームを加工しようとする基板上の所望の位置に偏向させるための第１スキャナ対と、第２レーザ発振器から出射された第２レーザビームが入射され、入射された第２レーザビームを加工しようとする基板上の所望の位置に偏向させるための第２スキャナ対と、第１及び第２スキャナ対を経由したレーザビームが入射され、入射されたそれぞれのレーザビームを所定直径のスポットに集束させて基板上に照射するためのスキャンレンズと、を備えるマルチレーザシステムである。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の出力調整に伴うエネルギーロスが少なく、かつレーザ光の出力調整に伴って出射光の特性が変化しにくいレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置１は、例えばレーザマーキング装置などに用いられるものであり、直線偏光ではないレーザ光を出射するレーザ光源３と、レーザ光源３からのレーザ光の出力を調整する出力調整装置１０とを備えている。出力調整装置１０は、レーザ光源３から出射されたレーザ光の全てを１以上の特定偏光方向の直線偏光に変換する偏光方向設定部１１と、偏光方向設定部１１からの直線偏光の偏光方向を回転させる偏光方向回転部１３と、偏光方向回転部１３による回転後の光から、所定の偏光方向の光を抽出する抽出部１７と、その抽出された所定の偏光方向の光を取り込み出射光を出射する合流部１９と、を有し、出射光について、第１偏光成分の割合と、これに直交する第２偏光成分の割合と、を一定の関係としつつ出力変更可能とされている。 （もっと読む）