【課題】 導光路内のビーム雰囲気を低コストでもって良好に維持する。
【解決手段】 レーザ発振器（２）と、該レーザ発振器から出力されるレーザを集光する集光光学系（１３）と、レーザ発振器からのレーザを集光光学系まで導く導光路（３０）と、空気を除湿する除湿手段（４０）と、除湿手段によって除湿された除湿空気を導光路まで供給する供給手段（３１、３２）とを具備するレーザ装置（１００）が提供される。除湿手段（４０）により除湿された除湿空気の大気圧露点は０℃以下である。レーザ発振器（２）と集光光学系（１３）との間の距離（Ｌ）が所定の値よりも大きい場合には、複数の除湿手段（４０ａ、４０ｂ）を含むようにするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 真空もしくは所望のガス雰囲気下で、ワークを加工できるとともに、ＸおよびＹ方向の照射位置精度を向上させることができるレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】 レーザ光をＸおよびＹ方向にそれぞれ光学的に走査する走査手段２２と、この走査手段から出射される光ビームを導く鏡筒２５と、この鏡筒が一体的に接続された気密チャンバー３１とを有し、前記鏡筒には、集光レンズ２６がシール状態で配置されているレーザ加工装置。 （もっと読む）

気体格納容器（２４０）は、居住可能な建造物から材料を取り除くために、建造物の相互作用領域にレーザ光を供給するように適合されている。気体格納容器（２４０）は、レーザ光供給源に連結されるように適合させた気体格納ハウジング（２４２）を含む。気体格納容器（２４０）は、レーザ光に実質的に透明な窓（２４３）をさらに備える。窓（２４３）は、気体格納ハウジング（２４２）内に、下流方向にレーザ光を伝達するように、かつレーザ光と建造物との相互作用により生成される粒子状物質の上流への移動に対するバリヤを提供するように装着される。気体格納容器（２４０）は、圧縮ガス供給源に流体連結されたノズル（２４４）をさらに含む。ノズル（２４４）は、窓（２４３）の下流に装着されて、それにより、レーザ光と圧縮ガスとが、建造物の相互作用領域に下流方向にノズル（２４４）を通って伝達される。気体格納容器（２４０）は、気体格納ハウジング（２４２）に連結されており、建造物と弾性接触しかつ実質的に相互作用領域を囲むように適合されて、それにより、材料を閉じ込め相互作用領域から材料を取り除く弾性インターフェース（２４６）をさらに備える。
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【課題】レーザ加工機の管路及び中空室又はそのいずれか一方を相応なガスによって掃気する方法において、品質及び必要な所要時間に関して改良する。
【解決手段】レーザ加工機の管路及び中空室又はそのいずれか一方を相応なガスによって掃気する方法であって、掃気のために設けられたガスを断続的に、管路及び中空室又はそのいずれか１つに存在している圧力よりも高い圧力で供給し、次いで供給後に膨張させる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で第１の被加工物に第２の被加工物を効率よく接合することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 このレーザ加工装置１では、光ガイド体６の押圧部９が容器の胴部１２に対して蓋部１３を押圧した状態で、光ファイバ４を伝搬してきたレーザ光を光ガイド体６が環状に案内して押圧部９から出射させる。これにより、胴部１２及び蓋部１３における環状の加工領域全体に対して一度にレーザ光を照射し、胴部１２に対して蓋部１３を接合することが可能となるため、作業効率の向上が図られる。このような作業効率の向上は、加工時間の短縮化や製造歩留まりの向上を実現する。さらに、このレーザ加工装置１では、レーザ光走査のための回転機構や、胴部１２及び蓋部１３に対する加圧機構などを別途設ける必要がないため、装置の構成を極めて簡単化することができる。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ発振器７からレーザ光線Ｌが発振されると集光レンズ１２によって集光されて、ノズル５の開口部５Ａを介して被加工物２の加工位置２Ａに照射される。これと同時にノズル５内のチャンバー１９に給送された圧力液体としての水が開口部５Ａを介して上記加工位置２Ａに噴射される。
上記ノズル５の内面は、上方側の円錐面１６Ａとその下方側に位置する小径の円筒面１６Ｂによって構成している。上記集光レンズ１２で集光されるレーザ光線Ｌを円錐面１６Ａで反射させて更に収束させることができるとともに、上記圧力液体を円筒面１６Ｂにより拡散されないように噴射させることができる。
【効果】 加工中におけるノズルと被加工物との距離を長くすることができるとともに、平行な加工面を得ることができる。 （もっと読む）

レーザ光を発振するレーザ発振器（１１）と、レーザ発振器（１１）から出射されたレーザ光を被加工物（１００）に照射する加工ヘッド（２１）と、レーザ発振器（１１）のレーザ光出射口（１２）から加工ヘッド（２１）までレーザ光を導く光学系を有する光路ダクト（３０）と、光路ダクト（３０）のレーザ発振器（１１）との接続部付近に設けられるパージガス供給口（３５）からパージガスを供給するパージガス供給手段（４２）と、光路ダクト（３０）の加工ヘッド（２１）との接続部付近に設けられるパージガス排出口（３６）と、を備えるレーザ加工装置において、光路ダクト（３０）内にレーザ光の出力に異常をきたす不純ガスの光路ダクト内への混入を検知するガス検知部（５０）を備える。
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【課題】レーザをスキャニングさせて溶接を行うことを前提としながらも、母材に対してレーザ光を面直角となるようにいわゆる垂直入射のかたちで照射しながら広い範囲を溶接できるようにしたレーザ溶接装置を提供する。
【解決手段】 集光レンズ３で透過・集光したレーザ光５を折り返しミラー４および光路選択ミラー６で反射させて折り返し、さらに照射ミラー７で反射させて母材Ｗに対し垂直入射の形態で照射する。集光レンズ３をａ方向に、照射ミラー７をｂ方向にそれぞれ同期移動させて、溶接長さＬについて溶接を施す。溶接長さＬは、集光レンズ３の移動量Ｍおよび照射ミラー７の移動量Ｎと共に等しいものとなる。
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【課題】 レーザ光による加工が行われている被照射面の光軸の中心を自動焦点の測距の基準位置とすると、正確な被照射面と対物レンズとの間の測距を行うことができない。
【解決手段】 被照射面に加工用レーザ光Ｌ１を照射する際に、加工用レーザ光Ｌ１の光軸の中心を除いた周囲に複数のレーザ光Ｌ２の光束が位置するように各光学系を配置し、
被照射面から反射したレーザ光Ｌ２の複数の光束それぞれに基づいた被照射面に対する集光状態に関する情報から、被照射面に対する対物レンズ５２ａの自動焦点調整を行う。 （もっと読む）

レーザエネルギ供給システムはリレーイメージングシステムを備える。レーザエネルギを受け取るよう配置された入力光学装置、入力光学装置に対する入射角が調節可能な伝送ミラー、及び、ロボット搭載光学組立品が、レーザエネルギを移動可能なターゲット像平面に向けるように構成されている。レーザエネルギは、伝送ミラーから受光ミラーまでの空気中において、長さ及び入力光学装置に対する角度が変更可能な基本的に一直線の区間を含む光学経路をたどる。加工ヘッドに搭載された診断用装置によって処理が容易となる。
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本発明は、被加工物（３）の処理に使用される、内部に投射されたレーザビーム（１０）を、導波体のようにして搬送するのに適した流体ジェット（５）を発生する方法及び装置に関する。当該装置は、流体ジェット（５）を発生するための流体ノズル（１）と、流体ノズル（１）から距離をおいて配置されて、流体ジェット（５）の外側を包み込むガス流（３５）を発生するガス出口ノズル（２３）とを有する。流体ノズル（１）及びガス出口ノズル（２３）間にガス貯蔵部が画定されている。流体ジェット（５）は、ガス出口ノズル（２３）を通過する、又はそれを通って吐出される。流体ジェット（５）は、好ましくは６０μｍ以下の直径を有し、ガス流（３５）は、好ましくは１〜２ｍｍの直径を有する。
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【課題】蛇腹を備えたレーザ加工機において、蛇腹の内部を通過する乱光を光路の途中で遮蔽し、蛇腹が損傷することを防止することができるとともに、乱光の発生を把握し、不具合に対して迅速に対処することができること。
【解決手段】電源又はランプ３１若しくはブザー等と接続されてなる第１及び第２の接続端子１ａ，１ｂを有するレーザ加工機１から放射されるレーザ光の光路に沿って配設される複数の蛇腹１５，１６間に配置される乱光遮蔽装置１２であって、ほぼ中央にはレーザ光の光路用開口２３ａが形成され該光路用開口２３ａを通過しない乱光を遮蔽する乱光乱光遮蔽板２３と、この乱光乱光遮蔽板２３の一面又は両面若しくは内部に配線され上記乱光の照射により断線するとともに、端部には上記第１及び第２の接続端子に直接的又は間接的に電気的な接続がなされる第３及び第４の接続端子２５，２６に接続されてなるリード線２４とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光の出射方向を光軸がずれることなく簡単な構成で変えること。
【解決手段】 ユニットケース１はレーザ光源２およびレーザ走査部１２を内蔵するものであり、ユニットフレーム１５内に着脱可能に嵌合されている。この構成の場合、ユニットケース１のユニットフレーム１５に対する挿入角度を変更することに基いてレーザー光Ｒの出射方向を段階的に変更できる。このため、レーザ走査部１２を光軸の整合状態でレーザ光源２に対して相対的に回動させる精密な回動機構が不要になるので、レーザー光Ｒの出射方向を光軸がずれることなく簡単な構成で変えることができる。 （もっと読む）

【課題】一度に大きな面積を所望の温度分布に加熱することができるレーザ加熱装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源と、このレーザ光源から放射されるレーザ光を導く光導波部材２とからなり、上記光導波部材２が上記レーザ光を入射せしめる一端面９と、上記レーザ光を放射せしめる、上記一端面９より広い面積を有する他端面１０とを有する構造にし、さらに他端面１０を管状面にすることで被加熱物を広範囲に加熱することができる。 （もっと読む）

【課題】 搬送ラインからの飛び出しを最小限に押さえた上で、ワークの側面・上面の双方に印字等を行うことが可能なレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 レーザ加工装置は内部にレーザ光源１４を有するレーザ光源ユニット１０と、内部にガルバノミラー装置２４等を有する走査ユニット２０と、両ユニット１０、２０間を相対回動可能に連結する連結筒３１を主体として構成されている。そして、連結筒３１はその中心軸がレーザ光源ユニット１０のケーシング１１の長手方向とは直交するような配置とされている。そのため、レーザ光をレーザ光源ユニット１０の長手方向並びにこれと直交する方向のいずれの方向へも照射出来るから、ワークＷの上面或いは側面のいずれの面に印字等する場合であっても搬送ラインＬに対して幅方向の飛び出しなく同レーザ加工装置を設置することが出来る。 （もっと読む）

本発明は、液体ジェット（７）中に入射されるレーザ光線（６）を用いてウェハ（２）を複数のチップに切断する装置（１）に関する。ブラスト効果を有する薄い流動液体層（９）が、ウェハ（２）の表面（５）上に生成される。これは、レーザ切断中に生じる噴出物がウェハの表面に再び堆積するのを防止することを可能にする。その結果、切断プロセス後の表面の清浄度が非常に高くなる。液体層（９）は、特に、加工点（８）の周りの加工領域（１０）内の方が加工領域（１０）の外側よりも薄くなるように生成される。これにより、材料を除去するのに十分なレーザエネルギーがウェハ表面に当たるように、液体層が加工点（８）において十分に薄い（１４）ことが確実になるとともに、ウェハ（２）の表面（５）のいかなる領域も乾燥しないように、液体層が加工領域の外側において十分に厚い（１５）ことが確実になる。
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【課題】 固体レーザによるビアホール加工の生産性を改善することを目的とする。
【解決手段】 ２つ以上の波長を発生するレーザ発振器を具備し、高調波発生装置またはビーム切り替えにより、波長を選択する手段を配して、主加工を基本波で従加工を高調波で行う事により、スミア発生の少ないビアホール加工を高生産性維持しながら実現する。 （もっと読む）