ある実施形態において、システムは統合マニホールドシリンジを含む。統合マニホールドシリンジは、第１および第２の筒を有する多筒本外と、第１、第２、第３および第４の接続口を有するマニホールドとを含み、第１および第２の接続口は、第１および第２の筒にそれぞれ接続されてもよい。統合マニホールドシリンジは、また、マニホールドの中に、複数の姿勢に回転可能に配設された流れ制御コアを含み、流れ制御コアは、複数の姿勢において、第１、第２、第３および第４の接続口の間の異なる流路配置を有してもよい。
（もっと読む）

【課題】ニードル弁体の進退による液体の定量吐出に当って、ニードル弁体の移動に起因する液室内の圧力変動を相殺して、高精度で安定した液体吐出および吐出停止を行うこと。
【解決手段】吐出口を閉止開放するニードル弁体の進退移動に同期して、その弁体の移動によって生じる液室内の圧力変動を相殺するような方向に、液室の体積を変化させる圧力補償手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】液移送ポンプで使用される封止部材の長寿命化を図ることのできる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液を貯留する貯留タンク４と、基板Ｋを保持するステージ５と、スリット状の開口部６２１を備えステージ５の上方に架設された口金６と、吸込動作と吐出動作とを交互に行うことにより貯留タンク内の塗布液を口金に導く液移送ポンプと、液移送ポンプの吸込口Ｃ１２と貯留タンクとの間に配設され吸込動作時に開状態となり吐出動作時に閉状態となる第１開閉バルブ１１と、液移送ポンプの吐出口Ｃ１３と口金との間に配設され吐出動作時に開状態となり吸込動作時に閉状態となる第２開閉バルブ１２と、スリット状の開口部と基板とを近接させた状態で口金と基板とを相対移動させる駆動手段７とを備える塗布装置１において、液移送ポンプは、シリンダＣとプランジャＰとの間隙Ｇを封止する膜状封止部材Ｆを備える。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、気泡の発生を抑制し得るディスペンサ装置を提供する。
【解決手段】液剤を貯留するバレル１と、バレル１からシリンジ３への液剤の供給を制御する供給弁と、シリンジ３からノズル６への液剤の供給を制御する先端弁と、先端弁の開路時に、シリンジ３内の液剤をノズル６に向かって押圧するプランジャ７とを備えたディスペンサ装置において、供給弁及び先端弁は、開閉動作による液剤中の気泡の発生を防止する摺動部のないピンチバルブ１３ａ，１３ｂで構成した。 （もっと読む）

【課題】塗布液のボタ落ちや空気の吸い込みをなくすことができると共に、塗布液内への気泡の含有率を最小限度に抑えることができる開閉バルブ、及びこの開閉バルブを用いた塗布装置を提供する。
【解決手段】入口ポートＰ１と出口ポートＰ２とこれらを連通する弁口Ｐ３とを備えるハウジングＨＳと、弁口の外周部に設けられた弁座１１Ｓに着座して弁口を閉塞可能な弁体１３と、弁座に着座する位置と弁座から離座する位置とに弁体を選択的に配置可能とする弁体位置切替手段とを有する開閉バルブ１０において、入口ポートと出口ポートと弁口とを略同一軸線Ｊ１上に配置して形成し、弁体は、磁気吸引可能な磁気被吸引部材１３１を一部または全体に含んで構成し、弁体位置切替手段は、弁座に着座する方向に弁体を付勢するスプリング１４と、このスプリングの付勢力に抗して弁座から離座する方向に弁体を磁気吸引する電磁石１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出弁から大きく離れた箇所に流量計を配置しても、流量計による測定結果と噴射ノズルからの実際の吐出量との間の誤差を大幅に低減できるようにする。
【解決手段】潤滑剤供給源としての加圧タンク１から噴射ノズル２へ潤滑剤を圧送する管路３の途中であって、噴射ノズル２に近接する箇所に吐出弁４と気液混合部５とを一体的に配設し、吐出弁４の開閉に応じて所定量の潤滑剤を噴射ノズル２からエアと一緒に間欠的に噴射する潤滑剤噴射装置において、前記吐出弁４より上流側へ大きく離れた管路部分に流量計１２とチャッキ弁１３とを相隣接して配設し、前記吐出弁４の開閉に応じてチャッキ弁１３を作動させて、流量計１２を配置した管路部分に余分な液流動が生じないようにし、流量計１２による測定誤差を小さくする。 （もっと読む）

【課題】 安定したコーティング液の供給を行えるコーティング液供給装置を提供する。
【解決手段】 コーティング液供給装置１は、Ａ液７を貯蔵するＡ液タンク３、Ｂ液９を貯蔵するＢ液タンク５を有し、Ａ液タンク３とＢ液タンク５はミキサ１０に接続されている。
ミキサ１０は中間タンク１７に接続され、中間タンク１７はタンク２０を有している。中間タンク１７には脱気装置３５が接続され、脱気装置３５には１次フィルタ３９が接続されている。
Ａ液タンク３、Ｂ液タンク５、ミキサ１０、タンク２０、脱気装置３５、１次フィルタ３９には冷却パイプ３ａ、５ａ、１０ａ、１９ａ、３５ａ、３９ａがらせん状に巻きつけられており、コーティング液１９ａはこれらによって冷却される。 （もっと読む）

【課題】温度上昇変化に際して可撓性弁体が基材から剥離することを防止できる弁装置及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】一側面（表面３０ａ）に円形凹部３７を有し、該円形凹部３７内に液体流路の上流側に連通する供給口３９と液体流路の下流側に連通する排出口４２とが開口形成された基材３０と、該基材３０に対して円形凹部３７に対応する撓み変形可能な可撓部分３１ａを有して固着されるフィルム３１とを有する弁装置（チョーク弁４０）が液体流路の途中に配置される。そして、可撓部分３１ａにおける円形凹部３７の直径φに対応する可撓長さＬは、円形凹部３７の直径φに所定の撓み許容長さを付加した長さとされ、当該撓み許容長さは、チョーク弁４０が設置される設置環境の温度上昇に基づく基材３０とフィルム３１との熱膨張によるそれぞれの変位長さの差分以上とされている。 （もっと読む）

【課題】 塗装ローラを用いたロボット塗装において、塗膜状態の良好な塗装を行う。
【解決手段】 ロボット２０に取り付けた塗装ローラ３０を、塗装条件に基づいて、被塗面４１上で回転させつつ移動させることによって塗膜を形成する。塗装済みの塗膜の状態を検査し、その検査結果に基づいて塗装条件を補正し、検査後の塗膜形成を、補正した塗装条件に基づいて行う。これにより、不適正な塗膜状態を直ちに改善しつつ塗装工程を進めることができ、塗膜状態が良好な塗装を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 パーティクルの発生を抑制できる塗布装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る塗布装置は、シリコンウエハ１１上にＳＯＧの成膜材料を吐出する吐出部８と、前記吐出部に前記成膜材料を供給する材料供給ライン７と、前記材料供給ラインに繋げられた三方弁１７と、前記三方弁に繋げられ、前記成膜材料が収容され、前記材料供給ライン７に前記成膜材料を供給する容器２と、前記容器に繋げられ、前記容器内に加圧ガスが供給され、前記加圧ガスが前記容器内の成膜材料を加圧するガス供給ライン５と、前記ガス供給ラインに繋げられ、前記加圧ガスを前記ガス供給ラインに供給する加圧ライン１６と、前記ガス供給ラインに設けられ、前記ガス供給ラインのガスの流れを停止させるバルブ４とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流体、特にコンディショニング処理溶液又はゴム引き溶液、又は画線部差別化層を形成するための媒体を、コーティングすべき表面、特に印刷機の版胴に位置決めされた書換え可能及び消去可能な印刷版へ供給するための新種の装置を提供する。
【解決手段】コンディショニング処理溶液又はゴム引き溶液、又は画線部差別化層を形成するための媒体を、コーティングすべき表面、特に印刷機の版胴１１に位置決めされた書換え可能及び消去可能な印刷版へ供給するための装置であって、コーティングローラ１３が設けられており、該コーティングローラ１３は、当該コーティングローラ１３が一方では前記コーティングすべき表面上を転動し、かつ他方では前記コーティングすべき表面上を転動する際に並進的に当該コーティングローラ１３の回転軸線に沿って前記コーティングすべき表面に対して相対移動することによって、コーティングすべき表面へ流体を供給する。 （もっと読む）

【課題】着色フォトレジストを塗布する塗布装置において、次のレジスト缶に交換するためにレジスト缶から配管の先端部を取り外しても、最下部から配管内の着色フォトレジストが逆流し、レジスト缶の近辺に吐出されない逆止弁を提供する。
【解決手段】１）配管２３と接続する上部口１１、ホーン状の中空部１２、段部１３を有するフランジ１０、２）チャックキャップ５０を固定する頭部３１、ホーン状の中空部３２、先端口３３を有し、中空部の下部と先端口の堺を弁座３４とするヘッドノズル３０、３）段部と頭部の間に固定され、チャックボールの流出を防止する貫通口５１を有するチャックキャップ５０、４）チャックキャップの下方、ヘッドノズルの中空部内に封入されるチャックボール７０を具備すること。 （もっと読む）

【課題】 液体を吐出バルブから吐き出す液体吐出装置において、液体中に混入している気泡を除去する。
【解決手段】 吐出バルブ（２）と、液体（３）を収容するタンク（１０）と、タンク内の液体を吐出バルブに導く管路（４）とを備える液体吐出装置において、管路の途中の吐出バルブに近接した位置に中空容器からなる気泡溜め（３０）を配置する。そして、気泡溜めの天井には廃液回収タンク（１１）に続く廃気管（４４）が接続され、廃気管の途中に廃気弁（４６）が設けられる。
（もっと読む）

【課題】 液塗布処理プロセスから回収された使用済シンナーを精製し、シンナー中の不純物の濃度を適正範囲内に調節して液塗布処理プロセスに再び供給する装置であって、不純物濃度を高精度に検出でき、十分に濃度管理されたシンナーを供給し得ると共に、シンナーの回収率を高めることが出来るシンナーのリサイクル供給装置を提供する。
【解決手段】 シンナーのリサイクル供給装置は、供給すべきシンナーを貯留する供給貯槽（１）、使用済シンナーを精製して供給貯槽（１）に送液する回収液精製機構（２）、シンナー原液を供給貯槽（１）に送液する原液供給機構（３）、精製シンナー中の不純物濃度を超音波伝播速度、電磁導電率または吸光度の少なくとも１つによって検出する濃度計（５）とを備えている。そして、濃度計（５）による検出濃度に基づき、精製シンナー及びシンナー原液の各送液を制御可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】ノズルの吐出停止後の液切れ性を高めるとともに、吐出停止後の液だれや空気の進入を抑制することができる液体定量吐出装置を提供すること。
【解決手段】液体定量吐出装置１は、ディスペンサ１４のシリンジ３に接続される空気圧回路を備える。シリンジ３には、負圧用開閉弁７、負圧圧力制御弁９、逆止弁８を介して負圧発生装置５に接続され、管路２５には負圧が蓄積される。また、加圧用開閉弁６、加圧用圧力制御弁１１を介して空気圧源装置４に接続されている。液体の吐出時には加圧用開閉弁６が開放されシリンジ３内が加圧され、吐出が終了すると、負圧用開閉弁７が代わって開放され、シリンジ３が管路２５に蓄積された負圧により瞬時に負圧にされる。 （もっと読む）

【課題】インクのような液体の消費の無駄を防ぎ、液体の種類の切り換えの際に確実にシールをして容易に同じノズルから異なる種類の液体を吐出させることができる液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】ヘッド２０のノズルから液体を噴射する液体噴射装置１０であって、液体を貯留していてヘッド２０へ液体を供給するための液体貯留部と、液体貯留部から供給される複数種類の液体を選択して切り換えて、選択された種類の液体をヘッド２０へ供給する液体の切り換え装置２００とを有し、液体の切り換え装置２００は、ヘッド２０の付近に配置されている。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ簡便に交換できることによりダウンタイム及び全費用を減らすシールアセンブリを有する、ホットメルト接着剤等の粘稠液体を吐出する装置を提供することが目的である。
【解決手段】液体を吐出する装置は、液体通路及び空気通路を有するディスペンサ本体を備える。ディスペンサ本体には弁棒が取り付けられ、液体の流れを許す開位置と液体の流れを阻止する閉位置との間で往復運動する。予め組み立てられた一体シールアセンブリは、ディスペンサ本体に螺合し、穴が貫通しているハウジングを備える。ハウジングは、穴内に配置される第１のシール部材及び第２のシール部材を備え、それぞれが弁棒とともに動的シールを形成して空気及び液体が空気通路及び液体通路から漏出することを防止する。ハウジングはさらに、ハウジングの外面とディスペンサ本体との間に静的シールを備える。弁棒は、ピストンに作用する加圧空気によって開位置に移動し、ばね復帰機構によって閉位置に移動して、液体を選択的に吐出することができる。 （もっと読む）

【課題】 凹凸のパターンの凹部のみに膜を形成でき、製造工程を低減することができる成膜方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 基板１９をＸ軸モータＭ１にて移動させて、液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズル３４に対して相対移動させる。このとき、液滴吐出ヘッドに設けた段差検出センサ３５が先行して基板１９上の凹部２２を検出する。制御部４１は、その検出した凹部２２が液滴吐出ノズル３４の前方を通過するタイミングを求める。制御部４１は、その求めたタイミングにて、液滴吐出ノズル３４を駆動させて前記検出した凹部２２に機能液Ｒを吐出させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、機能液の使用量を削減し且つ吐出を安定化することができる機能液供給装置等を提供することを課題としている。
【解決手段】 機能液タンク４３からバルブハウジング６９内の１次室７０に導入した機能液を、バルブハウジング６９内の２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給すると共に、大気に面し２次室７９の１つの面を構成するダイヤフラム７５により、１次室７０と２次室７９とを連通する連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させて、２次室７９を圧力調整する圧力調整弁４６の２次室７９には、連通流路８０の２次室側開口部９２が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッド３に連なる流出流路９３の流出開口部９４が開口し、２次室７９の内面壁９１は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】
塗布ヘッド本体の射出口面とその周縁部表面を直接触れること無く、付着している材料や異物を常に安定した作用で除去するクリーニング装置を提供する。
【解決手段】
クリーニング機構部は塗布ヘッド本体内部に材料を充填するための充填機構部と、前記塗布ヘッド本体の射出口面とその周縁部表面に付着する材料や異物を吸引除去し清掃するための面清掃機構部とからなる。面清掃機構部は塗布ヘッド射出口面とその周縁部を異なる吸引溝で清掃する。
（もっと読む）