【課題】 内蔵する弁体付勢ばねまたは負圧保持ばねを簡単に交換することができる圧力調整弁、機能液供給装置、描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 ダイヤフラム１７５が受ける大気圧を基準調整圧力として、機能液を機能液タンク９１から機能液滴吐出ヘッド４１に供給する圧力調整弁１６１において、１次室１７２と２次室１７３とを連通する連通流路１７４を開閉する弁体１７６に付勢する弁体付勢ばね２６７は、蓋体１９０のハウジング本体１９２からの離脱に伴って共に離脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】切換弁の漏洩防止を簡潔にして液体を高速に高精度に吐出すること。
【解決手段】切換弁によりシリンダ２と貯留容器１４またはノズル１５との連通を切換ながら、液体を定量吐出する方法にあって、前記シリンダのプランジャロッド３を後退動作する際は、前記切換弁により当該シリンダと貯留容器を連通させ、当該シリンダと連通する切換弁の流路に吸引力を生じさせて貯留容器から液体をシリンダに吸引すること、および、前記シリンダのプランジャロッドを進出動作する際は、前記切換弁により当該シリンダとノズルとを連通させ、前記シリンダと連通する切換弁の流路に吐出力を生じさせて当該切換弁の第１の流路を介してノズルから液体を吐出すると共に、第２の流路へ液材を流入させ吐出すべき液体の圧力に応じたシール力（Ｏリング）を作り出すことにより切換弁の漏洩を防止することを特徴とする液体の定量吐出方法。 （もっと読む）

【課題】 高粘度液供給ラインにおいて高圧側ラインでたとえば５ＭPa〜２０ＭPaの圧力変動があっても低圧側ラインは一定圧たとえば１ＭPaに調整でき、しかも従来のように減圧弁とシャットオフバルブの２種類の弁やアキュムレータが不要で、装置全体の構造を簡略化できる高粘度液用圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 高粘度液の流入口２３を備えた一次圧室３Ａ、高粘度液の流出口２２を備えた二次圧室４Ａおよび二次圧調整室５Ａを有する筒状ハウジング１ａと、一次圧室と二次圧室とを接続する流路６を開閉する可動弁体８と、二次圧室内に一面を臨ませて二次圧調整室内に摺動可能に配設するピストン１０と、可動弁体８とピストン１０とを一体に移動可能に連結する連結ロッド９と、一次圧室内に可動弁体と一体に移動可能に連結され一次圧に対する受圧面積を共通にした圧力バランス体２とを備え、ピストン１０を介して二次圧を調整可能な圧力調整機構１７を二次圧調整室内に配備した。 （もっと読む）

【課題】 高粘度液供給ラインにおいて高圧側ラインでたとえば５ＭPa〜１５ＭPaの圧力変動があっても低圧側ラインは一定圧たとえば１ＭPaに調整でき、しかも従来のような減圧弁とシャットオフバルブの２種類の弁やアキュムレータが不要で、装置全体の構造を簡略化でき、経済的な高粘度液供給システムを提供する。
【解決手段】 高粘度液収容タンク６内の高粘度液をプランジャポンプ１により吸引して高圧下で供給ラインＳに供給するとともに、同供給ラインＳを介してディスペンサー２から高粘度液を定量ずつワークに供給する高粘度液供給システムにおいて、供給ラインＳのディスペンサー２の上流側（ディスペンサーの吐出停止時に許容上限圧値を超えない範囲の位置）にまたはディスペンサー２の吸込口２ａに直接に、一次側から流入する高圧の高粘度液を減圧し二次圧を一定に制御する高粘度液用圧力調整弁３を介設している。 （もっと読む）

【課題】 容器から吐出部まで基板に塗布する液体を気密に搬送する半導体製造装置において、容器を取り替える際にも液体が空気と接触することを可及的に抑制することができる半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 半導体製造装置１０は、基板に対して塗布液を吐出する吐出部と、塗布液を収容する液体容器２０内へ不活性ガスを供給し、該液体容器２０内を加圧する気体供給管１６と、気体供給管による加圧を利用して、液体容器から吐出部へ塗布液を気密状態で供給する塗布液供給管１２と、液体容器と塗布液供給管とを接続／取外し可能な第１の接続部Ｃ１ａと、液体容器と気体供給管とを接続／取外し可能な第２の接続部Ｃ２ａと、塗布液を溶かすことができる溶媒を第１の接続部へ供給する溶媒供給管１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スペーサ粒子の吐出安定性の高い印刷装置を提供する。
【解決手段】
本発明のヘッドモジュール２は、内部フィルター３０によって輸送室２２と吐出室２１に二分されたヘッド本体２０を有している。スペーサ分散液は輸送路１２を通って、流入口２３から輸送室２２へ供給され、輸送室２２内部を流入口２３から流出口２４へ向かって流れた後、流出口２４から輸送路２２へ戻り、再び流入口２３へ送られる。このように、スペーサ分散液の流れは、吐出室２１とは内部フィルター２２で隔たれた輸送室２２で起こるので、スペーサ分散液の流速が変動しても、ノズルプレート２６側の吐出室２１は影響を受けず、ノズルプレート２６の噴出孔から吐出される液量および液滴中のスペーサ個数の安定性が高い。 （もっと読む）

【課題】塗布液をノズルにより連続した液膜状態で噴射することによって、被脱泡液粒が充分な質量を保持して、充分大きな衝撃力を発生させることができるようにした塗布装置を提供する。
【解決手段】シート状物Ｓに塗布液１２を塗布する塗布装置において、真空容器１１と、この真空容器１１内に配置され、塗布液１２を真空容器内壁面１１ｏに対し連続した液膜１３を形成するように噴射して衝突させる液膜形成ノズル１４と、からなる脱気装置４を設ける。 （もっと読む）

【課題】 処理液の液流をコントロールすることにより、洗浄，エッチング処理の均一性の向上を図れるようにし、また、周辺部の洗浄，エッチング量の向上を図れるようにすること。
【解決手段】 半導体ウエハＷを起立状態に保持するウエハ保持体３０と、ウエハ保持体によって保持されたウエハを収容する処理容器１０と、処理容器内に処理液を供給する処理液供給ノズル４０とを具備し、処理液供給ノズルを、水平方向を軸に回転及び又は揺動可能に形成する。これにより、処理容器内に供給される処理液の液流をコントロールすることができる。 （もっと読む）

【課題】 配管においてポンプを開閉バルブに近接できるレジスト液供給装置を提供する。
【解決手段】 タンクからレジスト液供給ノズルに通じる第２の配管１７６に，バルブやポンプが取り付け可能な取付けユニット１７５を接続する。取付けユニット１７５には，第１の開閉バルブ１９０と，ポンプ１９１と，第２の開閉バルブ１９２を上流側から順に取り付けられる。取付けユニット１７５の内部には，外部流入口１８０から第１の開閉バルブ１９０に通じる第１の接続流路２００と，第１の開閉バルブ１９０からポンプ１９１に通じる第２の接続流路２０１と，ポンプ１９１から第２の開閉バルブ１９２に通じる第３の接続流路２０２と，第２の開閉バルブ１９２から外部流出口１８１に通じる第４の接続流路２０３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 液体収容体内の液体を効果的に攪拌して液体濃度の変動を極力なくすことが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 印刷ヘッド５へ供給するインクＩを内部の貯留空間部Ｓに貯留するインクカートリッジ１３に、吸引口３２から貯留空間部Ｓ内のインクＩを引き込んで排出口３３から貯留空間部Ｓへ戻す循環路２４を設ける。吸引口３２をインクカートリッジ１３の底面近傍に設け、排出口３３をインクカートリッジ１３の上面近傍に設けることにより、排出口３３を吸引口３２よりも上方位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、気泡の発生を抑制した圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 圧力調整弁７は、機能液タンク９１から１次室１２２に導入した機能液を、２次室１２３を介して機能液滴吐出ヘッド１１に重力供給し、２次室１２３の円形のダイヤフラム１２５により、大気圧を調整基準圧力として、弁体１２６を開閉動作させて、２次室１２３を圧力調整し、機能液タンクに連なる流入口１４７と１次室１２２の上端部１５３に開口した１次室側開口１４９とを連通する流入流路１４８を下り勾配に流路形成し、２次室１２３の下端部１７５に開口した２次室側開口１７９と機能液滴吐出ヘッド１１に連なる流出口１７８とを連通する流出流路１８０を下り勾配に流路形成している。 （もっと読む）

【課題】 圧力調整弁内に混入した気泡の効率的な排出並びに機能液初期充填時における充填時間の短縮を課題としている。
【解決手段】 機能液タンク６２から導入した機能液を機能液滴吐出ヘッド７１に供給すると共に、大気圧を調整基準圧力としてダイヤフラム２２１により圧力調整を行う圧力調整弁６１のバルブ内流路６１ｒと、機能液タンク６２から圧力調整弁６１に連なるタンク側供給流路８１ｒと、圧力調整弁６１から機能液滴吐出ヘッド７１に連なるヘッド側供給流路８２ｒと、機能液滴吐出ヘッド７１のヘッド内流路７１ｒと、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する方法であって、押圧手段７によりダイヤフラム２２１をマイナス変形させる工程と、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８に密着させたキャップ１０２を介して機能液を吸引する工程と、機能液吸引により機能液供給流路に機能液を通液したら押圧手段７の押圧を解除する工程と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ヘッド内流路から気泡を効率良く排除し得るようにした機能液滴吐出ヘッドへの液体充填方法およびこの方法を実施するのに適した吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供する。
【解決手段】 各液滴吐出ヘッド７に個別に接続される給液用の分岐通路１５８ｂに開閉弁１６６を介設すると共に、各キャップ２１２に個別に接続される吸引用の分岐通路２１６ｂに液体センサ２１７を介設する。液体充填時に、液体が液体センサ２１７に到達したところで対応する開閉弁１６６を一時的に閉弁する。 （もっと読む）

【課題】 必要量の塗布剤を均一に塗布できる塗布装置および塗布方法を実現する。
【解決手段】 圧送ポンプ６よりケーブル７を経由してサーボポンプ４に接着剤が供給されるとき、ガンバルブ５の解放前にサーボポンプ４が駆動しているため、接着剤には十分な供給圧が負荷されているので、ガンバルブ５が開放した直後から鋼板３１に所定量の接着剤が吐出され、接着剤の「先細り」が生じない。ガンバルブ５が閉鎖すると、ノズル３内に残存する接着剤が継続して吐出するが、塗布ガン２は移動しているため、接着剤は１箇所に集中して吐出されることがないので、「団子」が発生しない。つまり、塗布ガン２の移動が開始する前にサーボポンプ４を駆動して、塗布ガン２の移動が終了する前にガンバルブ５が閉鎖する制御を行えば、必要量の接着剤を均一に塗布できる塗布装置および塗布方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプやポンプ前後の各開閉弁をユニット化して小型化を図りつつ、ユニットの薬液流路中において気泡や薬液の滞留を低減することができる薬液供給用ポンプユニットを提供する。
【解決手段】ポンプユニット１０は、ポンプ室２５と連通する吸入通路１７ａ，２１ｂ及び吐出通路１８ａ，２１ｃが同一直線Ｌ１上となるように、ポンプ１１（ポンプハウジング２１，２２）に対して、吸入側遮断弁１３を一体的に設けられる吸入側流路部材１７と、吐出側遮断弁１４を一体的に設けられる吐出側流路部材１８とが一体的に組み付けられて構成される。 （もっと読む）

【課題】薬液を加圧することの弊害を回避でき、薬液ボトルの交換時における不具合を解消できるようにした薬液供給装置の提供。
【解決手段】薬液ボトル１１は、被処理物ｂよりも高い位置に、密封栓１４で塞がれた排出口を下向きにした状態で設置するようにした。また、薬液ボトル１１は、加圧容器１８で覆い、加圧容器１８内に加圧ガスを供給することにより薬液ボトル１１内の薬液を間接的に加圧するようになっている。すなわち、薬液ボトル１１は、排出口とは対向する反対側の底部側に開閉自在な孔１８を有し、加圧容器１８で覆ったときには、孔１８を開いた状態にして薬液ボトル１１内の薬液が加圧ガスで加圧されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】異物に起因するスジ等の塗布欠陥の発生を抑制し、たとえ塗布欠陥が発生した場合でも簡便かつ迅速に異物を除去することができるエクストルージョン型塗布装置の提供にある。
【解決手段】流入路９と流出路１８でなりマニホールド６を内部に有する塗布ヘッド５と、該塗布ヘッド５に塗布液を供給する塗布液貯留タンク１とで構成されるエクストルージョン型塗布装置において、前記塗布液貯留タンク１が三方バルブ１５を介して吐出能力の低い塗布用ポンプ１２と吐出能力の高い循環・洗浄用ポンプ１３とに連繋され、その流路が三方バルブ１６で合流され、合流後フィルター４を介して流入路９に連繋され、マニホールド６の流出路１４より開閉バルブ１８を介して前記塗布液貯留タンク１へ連繋されている洗浄機能を有するエクストルージョン型塗布装置である。 （もっと読む）

【課題】 小型且つ簡素な構成で微量の流体を定量的に吐出でき、吸引・吐出のサイクルタイムが短く、流体の種類に応じた再調整も不要な流体吐出機構１０を提供する。
【解決手段】 ノズル２１ｎを有するシリンジチューブ２１及びこれに内挿されたプランジャ２２を有し、シリンジチューブ２１に対するプランジャ２２の移動速度及び移動量を制御し得るように構成されたシリンジ２０と、シリンジチューブ２１のノズル２１ｎと連結された第１の開口、流体の供給源Ｓに連結される第２の開口、及び流体の吐出用ノズル５０に連結される第３の開口を有し、第２の開口から第１の開口に至る流体の流入経路と、第１の開口から第３の開口に至る流体の流出経路とを選択的に形成し得る三方バルブ３０とを備え、三方バルブ３０における流体の流出経路が直線状に形成されるようにする。 （もっと読む）

【課題】 塗布終端及び塗布開始時の始端の乱れ、若しくは塗膜部の欠点のより発生しない、又は、より動作高速化の可能な間欠塗布装置を提供することである。
【解決手段】 塗料が流れる流路１、２、８、９と、流路１、２、８、９の内壁に形成された弁座３３と、流路１、２、８、９内を移動可能な、先端部にストッパー６ａが形成された軸６と、軸６に、塗料が通過可能に所定の大きさの隙間をおいて移動可能に取り付けられたリング状の弁体７とを備え、流路１、２、８、９を閉鎖する際には、軸６を一方向に移動させ、弁体７をストッパー６ａにより弁座３３に押圧し、流路１、２、８、９を開放する際には、軸６を反対方向に移動させ、弁体７のストッパー６ａによる押圧力を解放する、塗料間欠供給用バルブ。 （もっと読む）

【課題】 液面の検出に基づいて供給圧力を制御することなく、液体の供給圧力を所定圧力に正確に維持し得る圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 タンク１内に貯留された液体Ｌをノズル９から所定の圧力で吐出する液圧制御装置において、タンク１内の液圧Ｐｓを検出する液圧センサ１０と、液圧センサ１０の検出信号に基づいて、ノズル９の出力圧Ｐｘを一定に維持するように、タンク１内の気圧Ｐｒを制御する制御部５，１１とを備えた。 （もっと読む）