【課題】 複数回のショット（塗布）を連続して行っても、各ショットでの塗布液の吐出量を一定にすることができる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】 １回目のショットが終了したならば、開閉弁１４，２１を閉とし、開閉弁１１を開とし、且つシリンジポンプ９を元の位置に戻し、脱気モジュール８を介して再び塗布液貯留空間Ｓ内に塗布液を送り込む。このとき塗布液貯留空間Ｓ内は外部からのエアの巻き込みを防止するため余剰圧力で陽圧になっている。 この後、開閉弁１１を閉じるとともに、分岐配管１５の開閉弁１７を開にする。すると前記したと同様に、塗布液貯留空間Ｓ内の余剰圧力は除去され大気圧に近い圧力まで低下する。このように、各ショットの直前に塗布液貯留空間Ｓ内の余剰圧力を除去することで、ショット毎の吐出前状態を常に一定の状態に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】 ワークに対して液体を吐出させて所定の処理をする際に、液体の吐出圧力を容易に変化させることが可能な液体吐出圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 ワーク３０に対し処理液Ｌを吐出する液体吐出圧力制御装置１は、処理液Ｌを収容する液体収容タンク２と、処理液Ｌを吐出するノズル４と、液体収容タンク２に収容された処理液Ｌをノズル４に供給するポンプ３と、ポンプ３の吐出側とノズル４とを結ぶ供給管５２と、供給管５２と液体収容タンク２とを結ぶ調圧管７，８とを備え、調圧管７，８は、調圧管上におのおの開閉バルブ９，１０を有し、開閉バルブ９，１０を制御部１４により開／閉作動することによりノズル４から吐出する処理液の吐出圧力がデジタル制御される。 （もっと読む）

【課題】 高精度での粘性流体の塗布量制御を可能にする簡素な構造の粘性流体供給装置及びその固化防止方法を提供する。
【解決手段】 粘性流体を内部に保持するカートリッジ３３０と、ピストン３３４を介してカートリッジ３３０内の粘性流体に大気圧よりも大きい圧力の圧縮空気を供給するエアー供給源３３２と、カートリッジ３３０をエアー供給源３３２に連通させるか、あるいはカートリッジ３３０を大気に連通させる切替えバルブ３３１と、カートリッジ３３０内部に配設され、カートリッジ３３０内周面に付着した粘性流体を掻き落とすピストン３３４とを備え、切替えバルブ３３１は、塗布動作を行っていない時間が所定の時間を超えた時に、所定の間隔で切替えを繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 エアーブラシとエアーブラシとの中間的な吹き出し量を低圧式コンプレッサーにより実現する共に、エアーブラシと同様な微細な噴霧を行なうことのできる塗装用エアーブラシを提供する。
【解決手段】
エアーブラシ本体１の軸芯にニードル軸５を挿通し、このニードル軸５を、エアーブラシ本体１先端に対して着脱可能に螺嵌したヘッド部２中芯部に挿入すると共に、該ヘッド部２の中芯部に突設せしめたノズル体６０に挿入し、且つ、ヘッド部２におけるノズル体６０の周囲に円筒状の嵌合部２０を周設し、該嵌合部２０の外周面２０ａに平吹き用のノズルキャップ３の内周面３ｄを密接嵌合して同エアーキャップ３を回転摺動可能に装着し、この嵌合関係により、エアーキャップ３の中芯孔３ａと上記ノズル先端部６０との芯だしを行なうと共に、該エアーキャップ３の外周にリングナット４を嵌合して、ヘッド部２外周面２４に螺合してノズルキャップ３を固定したものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、機能液を安定して吐出させることができると共に、機能液流路を延長させることのない吐出ヘッド装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の吐出ヘッド装置１３は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド６１と、機能液タンク１０１からの機能液を導入する１次室１６１、連通流路１６３を介して１次室１６１に連なり、流出ポート２０１から機能液滴吐出ヘッド６１に機能液を供給する２次室１６２、および大気圧を調整基準圧力として連通流路１６３を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁１４１と、接続流路が形成され、機能液滴吐出ヘッド６１および流出ポート２０１を接続する接続管ブロック３０１と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】サックバック機構によって吸引されるサック量を任意に調整することにある。
【解決手段】円盤状部材９０が当接することにより第２ピストン８０の変位量を規制するねじ部材１０９と、前記円盤状部材９０に対して前記ねじ部材１０９を接近または離間させる回転駆動部１０５と、前記ねじ部材１０９の変位量を検出する検出部１０３とを含むサック量調整機構１０１を設けることにより、第２ダイアフラム８８の負圧作用によって吸引する圧力流体の流量を適宜調整することができる。 （もっと読む）

【課題】個々の部品の寸法精度のばらつきによって影響されることがなく、高精度にサックバック量を制御することにある。
【解決手段】オン／オフ弁２６と、第２ダイアフラム８８に連結されて一体的に変位する第２ピストン８０及び前記第２ピストン８０に係着された第２ばね部材１０４を含むサックバック機構２８と、供給される前記パイロット圧の圧力に対応し、前記第２ばね部材１０４の弾発力によって付与される荷重を検出する荷重センサ１０２と、前記荷重センサ１０２によって前記第２ダイアフラム８８の変位前と変位後との荷重を検出し、前記検出される荷重の偏差に基づいて前記第２ダイアフラム８８の変位量を演算する第１及び第２コントロールユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】物品の外表面の所望の位置に向かって着色材を一定量ずつ確実に滴射できる着色ノズルを提供する。
【解決手段】着色ノズル３１は物品としての電線３の外表面３ａに向かって液状の着色材を一定量ずつ滴射して該電線３を着色する。着色ノズル３１は着色材を滴射するノズル５４とノズルカバー５５と洗浄液供給源６２を備えている。ノズルカバー５５はノズル５４の少なくとも先端部３７ｂを覆う。ノズル５４の先端面５０ｂとノズルカバー５５の端面５６ａとは同一平面上に位置する。洗浄液供給源６２はノズルカバー５５内に洗浄液を供給する。着色ノズル３１は表面張力により洗浄液がノズルカバー５５内に保たれた状態でノズル５４から着色材を滴射する。 （もっと読む）

液体吐出バルブは、バルブ本体と、バルブシートと、液体出口を通る流れを制御すべくバルブシートに対して係合可能である、往復運動するバルブ部材を具備している。較正装置は、回転可能なストローク制御停止部材と、回転可能な基準リングとを具備している。基準リングと停止部材とは、当初には、ゼロ位置に回転しており、次に、停止部材を回転させて、所望のストローク長さに設定する。１又は複数の流体取付具が設けられ、クランプ板を用いてバルブ本体に対して密封される。

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ポリマー溶液を基板、例えば半導体ウェーハ上に塗布する方法及び装置を提供する。本発明による方法は、基板を用意するステップを有する。ポンプを用いてポリマー溶液を基板の表面上に小出しする。ポンプは、バッファタンク及びポリマー溶液源と直列に連結され、ポンプは、ポリマー溶液を小出しするために、連続流路内のポリマー溶液をポリマー溶液源及びバッファタンクから引き出す。ポリマー溶液源は、ポリマー溶液をポリマー溶液源からバッファタンク内に移送することができる圧力源に連結されている。バッファタンクは、ポンプが空気を引き込んでこれを基板の表面上に小出しするのを防止するためにポリマー溶液を比較的一定のレベルに維持するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】 薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンク１０からの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液供給パイプ７に対しノズル１１が接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンク１０の上面に接続されその内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段１３により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズル１１への薬液の供給流量を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンクに薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンクから供給される薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液タンクの上面に接続され内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）