【課題】塗布ヘッドのノズルから吐出される溶液の流量を精密に、しかも能率よく測定することのできる塗布装置を提供することにある。
【解決手段】複数のノズルを有し、これらのノズルから溶液をインクジェット方式によって吐出させる溶液の供給装置であって、
溶液を供給する溶液タンク３１と、複数のノズルのうちから溶液を吐出させるノズルを選択制御するとともに、各ノズルからの溶液の吐出量を設定する制御装置と、制御装置によって選択された複数のノズルから吐出される溶液の流量を測定する流量計２９を具備する。 （もっと読む）

【課題】レジスト瓶の交換にあたって無駄を省き、作業効率を向上するためのフォトレジスト供給装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハ８へのレジストの供給を行っていくうちに、レジスト瓶２ａ内のレジスト２０ａを消耗して、空になった場合、配管Ａ１３ａに設置された状態センサー１２が検出し、これを配管Ａ１３ａに介装されたコック１４へ通知する。コック１４はこの通知を受けると閉塞して配管Ａ１３ａ内へ気泡が混入することを防止する。このため、レジスト瓶２ａの交換作業において、バッファタンク４でレジストごと気泡を除去する作業を行う必要がない。また、この交換作業の間、レジスト充填容器２ｂには十分な量のレジストが充填充填されており、第二の加圧制御部３ｂによってポンプ６にレジスト２０ｂを送り続けることができるために、この交換作業の間でも、レジストの供給が滞ることはない。 （もっと読む）

【課題】毛細管力を利用した電荷集中方式の液滴吐出型プリンティング装置を提供する。
【解決手段】溶液を入れる貯水槽と、後端部が貯水槽内の溶液に浸漬されるように配置され、毛細管力により前端部まで溶液を移送する毛細管ノズルと、毛細管ノズルの前端部から所定距離だけ離隔されるように配置された標的部と、溶液に電圧を印加する開路型電圧印加装置と、を備える毛細管力を利用した電荷集中方式の液滴吐出型プリンティング装置である。 （もっと読む）

【課題】長尺の帯状支持体に複数台のヘッドを使用して薄膜塗布を行う時、各ヘッド間の濃度のムラを発生させることなく、品種切り換え時間が短く、塗布液の残液量が少なく、コンパクトで安価な塗布方法及び塗布装置の提供。
【解決手段】固形分を溶解又は分散した塗布液をノズル吐出口から液滴として射出するヘッドを用いた塗布装置を使用し、連続的に搬送する長尺の帯状支持体に対し、前記帯状支持体に前記塗布液を連続的に吐出して塗布し塗膜面を形成する塗布方法において、前記ヘッドは前記帯状支持体の幅手方向に少なくとも２つが配設され、前記ヘッドの全てに同一の塗布液供給タンクより塗布液を供給し、前記塗布液により前記ヘッドに掛かる圧力の平均値に対して、前記ヘッドへ掛かる最大の圧力値と最小の圧力値とが前記式１）、前記式２）に示される関係を有していることを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】ダイに対して形成された複数の供給口に供給する塗布液の圧力又は流量を供給口毎に調整するとともにダイ本体に対する側板の高さを調整して塗布を行うダイ方式塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】搬送ローラ６、７によって連続走行されるウェブ１０表面に対して塗布液１１を所定の塗布幅Ｗで吐出させるダイ２において、ダイ２の内部に塗布液１１を供給する塗布液供給口２５〜２７をダイ２に対して塗布幅方向に計３箇所に設け、各塗布液供給口２５〜２７に対して供給される塗布液の圧力又は流量を供給口毎に所定圧力又は所定流量に調整するとともに、ダイ本体１５のリップ面２１に対して側板１６、１７のエッジ面２８、２９の高さを低く配置するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ダイに対して複数の供給口を形成するとともに供給口に供給する塗布液の圧力又は流量を供給口毎に調整することにより、高精度で均一な幅方向膜厚精度を得ることができるダイ方式塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ダイ２の内部に塗布液１１を供給する塗布液供給口２５〜２７をダイ２に対して塗布幅方向に計３箇所に設け、各塗布液供給口２５〜２７に対して供給される塗布液の圧力又は流量を供給口毎に所定圧力又は所定流量に調整して塗工を行うように構成する。 （もっと読む）

塗布器デバイス６が、組織または骨に対する接着剤または密閉剤の２つ以上の組成物を混合し塗布するために提供される。塗布器デバイスは、概して、ハンドルに取り外し可能に取り付けられた二連式シリンジを含むハンドルを有する塗布器アセンブリと、塗布器アセンブリに空気圧の制御およびソースを提供する調節器アセンブリとを含む。噴霧先端が、ハンドルの遠位端に提供され、かつ、二連式シリンジと流体連通することにより、その中に含まれている成分を混合する。
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【課題】基板の（着色不良部分等の）所定部分に効率よく液滴を塗布できると共に、基板のアライメントを短時間でかつ精度よく行うことができる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１０が載置される載置面１１ａを有する基台１１と、上記基台１１に対して矢印Ａ方向に移動可能に上記基台１１に取り付けられたアーム部４と、上記基台１１に対して矢印Ｂ方向に移動可能に上記アーム部４に取り付けられると共に上記載置面１１ａに載置された上記基板１０に液滴を吐出する複数の液滴吐出部６と、上記載置面１１ａに載置された上記基板１０のアライメントマーク１１０を検出する撮像部９０と、上記撮像部９０の検出結果に基づいて上記載置面１１ａに載置された上記基板１０の姿勢を調整する姿勢調整部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】カートリッジの交換が容易で、使い勝手が良好な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】タンク6，7を有するカートリッジ部3と、塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部4と、タンク6の塗布液をヘッド部4に供給して、ヘッド部4を通過した塗布液をタンク7に戻す塗布液供給循環部2と、塗布液供給循環部2を介して洗浄液をヘッド部4に供給する洗浄液供給部29と、塗布液供給循環部2の一部から廃液を排出する廃液排出部33と、洗浄液供給部2から供給する洗浄液で塗布液供給循環部2とヘッド部4を洗浄する際に洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、塗布液供給循環部2により塗布液を循環する際にタンク6，7内を減圧する圧力切替部を備え、カートリッジ部3が塗布液供給循環部2に交換可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】機能液への気泡の混入および機能液の変質を防止しつつ、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１７の駆動による液滴吐出に伴って、供給流路１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給装置１８において、供給流路１０４に連通すると共に機能液を貯留する真空パック形式のパック容器１１１と、パック容器１１１を密閉状態で収容する密閉容器１１５と、密閉容器１１５に連通し、密閉容器１１５内の圧力を調整する圧力調整手段１４２と、密閉容器１１５内の圧力を検出する圧力検出手段１１６と、圧力検出手段１１６の検出結果に基づいて、密閉容器１１５内の圧力が一定になるように圧力調整手段１４２を制御する制御手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】機能液への気泡の混入および機能液の変質を抑制しつつ、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】供給流路１０３を介して機能液滴吐出ヘッド７に機能液を供給する機能液供給装置１８において、供給流路１０４に連通すると共に機能液を貯留する密閉型の貯留タンク１１１と、貯留タンク１１１内の機能液上に浮き、且つ浮いた状態で機能液を閉蓋する蓋体１１２と、貯留タンク１１１に連通し、貯留タンク１１１内の圧力を調整する圧力調整手段１０７と、貯留タンク１１１の圧力を検出する圧力検出手段１１３と、圧力検出手１１３段の検出結果に基づいて、貯留タンク１１１内の圧力が一定になるように圧力調整手段１０７を制御する制御手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 ペーストを基板上に必要な塗布量で塗布し、塗布品質を向上させることのできるペースト塗布装置及びペースト塗布方法を提供すること。
【解決手段】 ポンプ３４を駆動して容器４０内のペーストをノズルから吐出させて基板３１上に塗布するペースト塗布装置１０において、容器４０内に加圧気体を供給する正圧源５３と、ポンプ３４を駆動している時に、容器４０内に加圧気体を供給し、ポンプ３４の駆動を停止している時には加圧気体の供給を停止する制御装置５６と、を備えたもの。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単であり、揮発性成分を含む溶液の微小量を適量に安定して供給する液体材料供給装置を提供する。
【解決手段】揮発性成分を含む液体材料を収容する容器２１と、一端が毛細管部分であるディスペンサノズル２２と、このディスペンサノズル２２の毛細管部分を容器内２１に出し入れ可能にするディスペンサノズル移動手段２３と、前記ディスペンサノズル２２の圧力を正圧または負圧または大気圧にする圧力調整手段６と、を備える液体材料供給装置であって、容器２１が、ディスペンサノズル２２の毛細管部分を前記液体材料に浸漬可能な深さを有することを特徴とする液体材料供給装置。 （もっと読む）

【課題】塗布停止時におけるスリット内の塗布液の乾燥防止や目詰まり防止をメンテナンスフリーで実現するスリットコータの提供。
【解決手段】ノズルを構成する対となったリップ部１２，１３相互間にスリット１５を介在させてなるスリットコータ１１と、塗布液Ｌを貯留する貯液タンク２１と、該貯液タンク２１からスリット１５内へと塗布液Ｌを送る送液管３１との間に形成される液流路系Ｆに対し、スリットコータ１１が塗布停止中に振動を与える振動付与手段４１を配設して、液流路系Ｆ中の塗布液Ｌにおける大気との接触面Ｌ_１の乾燥を自動阻止自在とした。また、スリットコータ１１と、塗布停止時にスリット１５における液吐出口１６を閉止すべく真空吸引自在に配設される蓋体と、該蓋体の内側面と液吐出口１６との間に配設されて施蓋時に液吐出口１６に接触する吸湿清拭材とを少なくとも具備させてスリット１５の目詰まりを自動阻止自在とした。 （もっと読む）

【課題】複数の液体収容体から各々供給される各液体を複数のノズル列が形成された液体噴射ヘッドに対して各別に供給可能な複数の液体供給路を介して供給する際における液体の供給具合を液体供給路同士の間でのばらつきを生じさせることなく均一化することができる液体供給装置、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のインクカートリッジから各々供給される各インクを各インクカートリッジと個別対応する複数のノズル列が形成された記録ヘッドに対して各別に供給可能な複数の液体供給路を備えたバルブユニットであって、定形性を有する流路形成体（圧力室部品３６、第１の流路部品３７、第２の流路部品３８）を少なくとも１つ備え、各液体供給路における他の液体供給路と機能的に共通する各々の共通構成部分を同一の流路形成体に形成した。 （もっと読む）

【課題】温度変化等に起因して材料の粘度変化が生じても複数の液状材料を一定割合で混合でき、設定圧力で混合材料を吐出、塗布して吐出遅れ等を防止できる材料塗布装置を提供する。
【解決手段】粘性材料Ｍ１，Ｍ２に圧力を付与する複数のブースター１１と、これらブースター１１から送出される粘性材料を混合するミキシング装置１３と、ミキシング装置に連通するノズル１５とを備える。各ブースター１１を構成するシリンダ３０内には当該シリンダ３０内の材料Ｍ１，Ｍ２に付与される圧力を検出する圧力センサ４８が設けられている。圧力センサ４８は、混合材料Ｍ３の安定塗布時のシリンダ３０内の圧力を検出する。この検出圧力は、吐出開始時の設定圧力としてコントローラ２４に記憶され、吐出動作はプランジャ３１が下降してシリンダ３０内圧力が前記設定圧力となったときに、吐出バルブ１６を開くことにより行われる。 （もっと読む）

【課題】スピンレス塗布法におけるノズル吐出圧力および走査速度について塗布膜の膜厚均一性を向上させる制御波形およびタイミングの最適条件を簡便に求める。
【解決手段】模擬塗布走査においては、仮の吐出圧力制御波形および仮の走査速度制御波形を用いて、レジストノズル７８にレジスト液を吐出させると同時に基板搬送部８４に走査運動を行わせ、同一の時間上で吐出圧力計測波形および走査速度計測波形を取得する。その際、レジストノズル７８より吐出されたレジスト液はドレイン部２２４に回収され、ステージ７６に落ちるようなことはない。一方、基板搬送部８４における走査運動は、ステージ７６上で基板Ｇを浮上搬送してもよいが、ステージ７６上に基板Ｇを搬入せずにスライダ９８のみを運動させてもよい。 （もっと読む）

【課題】ヘッド部での塗布液の漏れがなく、液滴の吐出状態が良好な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】メインタンク6、サブタンク7、ヘッド部4、メインタンク6の塗布液をヘッド部4に供給する塗布液供給管20、ヘッド部4から出た塗布液をサブタンク7に戻す塗布液回収管22、サブタンク7の塗布液をメインタンク6に送るタンク間移送管13、タンク間移送管13の途中に設けられたタンク間移送用ポンプ14、メインタンク内を減圧するメインタンク用減圧手段9，11、サブタンク内を減圧するサブタンク用減圧手段16，17を備え、タンク6，7がヘッド部4より高い位置に設置され、サブタンク7の内圧がメインタンク6の内圧よりも低く保たれていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗料ロスを低減できる塗料の供給制御装置および方法を提供する。
【解決手段】塗料タンク６からの塗料が充填される塗料室３ａを有するとともにこの塗料を塗装ガン５へ供給する第１シリンダアクチュエータ３と、駆動流体が供給される駆動流体室４ａを有し、当該駆動流体室から第１シリンダアクチュエータの駆動流体室３ｂへ駆動流体を供給して当該第１シリンダアクチュエータを駆動する第２シリンダアクチュエータ４と、第２シリンダアクチュエータの駆動を制御する制御装置１７とを有し、第１シリンダアクチュエータの塗料室の容量と第２シリンダアクチュエータの駆動流体室の容量が同期するように制御する。 （もっと読む）

【課題】バックアップロールを使用したダイヘッド方式の塗布装置において、塗布ギャップを適切に調整して良好な塗布を行うことを可能とする。
【解決手段】バックアップロール１に対向、配置したダイヘッド２から塗布液を吐出し、バックアップロールとダイヘッドの間を走行するウェブ３に塗布する塗布中において、ダイヘッド２の左右領域に取り付けた圧力センサー１４ｂ、１４ｃによってダイヘッド内における塗布液の液圧を測定し、測定した液圧が塗膜形成に適した塗布可能液圧範囲内となり且つ両測定値の差が小さくなるようにダイヘッド２の両端位置を調整する構成とする。 （もっと読む）