【課題】圧力調整動作の安定性を向上するとともに小型化や組み立て性の面で有利な流体供給装置を提供する。
【解決手段】導入口１７から導入されるインクを貯留して導出口１８に導出する圧力室１５内を所定圧力に減圧する減圧弁２０を有する流体供給装置であって、上記減圧弁２０は、上記圧力室１５へのインクの導入を遮断する閉弁位置と圧力室１５にインクを導入する開弁位置の間を移動する弁体２３と、上記圧力室１５内の圧力が上記所定圧力に減圧されると弁体２３を閉弁位置から開弁位置に変位させる変位手段と、上記弁体２３が閉弁位置に位置するときに弁体２３と導入口１７の外周部に密接して導入口１７を封止するＯリング２４とを有し、上記導入口１７に連通する収容流路２７内に設けられた板ばね２２によって弁体２３が支持されることにより、上記弁体２３が圧力室１５内の圧力が上記所定圧力に減圧されるまで閉弁位置に保持されるようにした。 （もっと読む）

【課題】装置姿勢が傾けられた場合にも、液体塗布手段に供給する液体を貯留する液体貯留手段における大気連通口からの液漏れを、確実に防止することが可能な液体塗布装置を提供する。
【解決手段】液体を媒体に塗布する塗布手段１００１，２００１には、液体を貯蔵する貯蔵空間３００２ａを有する貯蔵手段３００２が接続されている。この貯蔵手段３００２には、大気に連通する開口部３４０１ａが設けられている。貯蔵空間３４０１ａ内に貯蔵される液体の貯蔵量は、貯蔵手段の姿勢に拘わらず、開口部から液体が流れ出すことのない量に保たれる。 （もっと読む）

【課題】この発明は塗布ヘッドのノズルから吐出される溶液の量を精度よく測定することができる塗布装置を提供することにある。
【解決手段】基板に溶液を供給塗布する溶液の塗布装置であって、
溶液を吐出するノズルを有する塗布ヘッド２２と、塗布ヘッドに設けられ電圧が印加されることで作動してノズルから上記溶液を吐出させる圧電素子と、ノズルから吐出された溶液の長さを検出する測定装置４１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】薬液に溶解した気体を除去することができる薬液供給装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】薬液を貯蔵する薬液貯蔵容器２が、気体が透過可能、かつ液体が透過不能である、可撓性を有する材質からなる内側容器２２と、内側容器２２を収納する外側容器２１とを備える。外側容器２１と内側容器２２との間に、加圧配管３を通じて加圧気体等を導入することにより、内側容器２２は外側から加圧圧縮される。当該加圧により内側容器２２から送出された薬液は、供給配管４を通じて対象物に供給される。また、薬液供給待機期間中に、内側容器２２と外側容器２１との間の空間を減圧する、真空ポンプ１０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】加熱によってマザーシート４Ｍが常温（２６℃）時に比べてＹ矢印方向及び
反Ｙ矢印方向に沿ってずれた場合、各非描画領域Qa1〜Qa9のビットマップデータに、それ
ぞれそのずれ量に従って「０」（Ｌレベル）のビットマップデータを挿入するようにした
。また、Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に沿ってずれた場合、各非描画領域Qb1〜Qb9のビッ
トマップデータに、それぞれそのずれ量に従って「０」（Ｌレベル）のビットマップデー
タを挿入するようにした。そして、その補正されたビットマップデータに基づいて内部配
線の配線パターンを形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】ベース部材に対してマザーシートの膨張方向（Ｘ矢印方向）に沿ってスライ
ド移動可能となるキャリッジＣＡ１〜ＣＡ１５を設けた。また、互いに隣接するキャリッ
ジＣＡ１〜ＣＡ１５をマザーシートの膨張方向（Ｘ矢印方向）に沿って伸長する連結部材
Ｌを介して連結した。そして、マザーシートの膨張度合いに基づいて、キャリッジＣＡ１
〜ＣＡ１５間の距離を、マザーシートの膨張方向（Ｘ矢印方向）に沿って補正するように
した。従って、各ノズルの配置ピッチがキャリッジＣＡ１〜ＣＡ１５毎に補正される。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】ステージ２３を０．５μｍ毎にＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に沿って移動可
能とする。また、吐出タイミング信号を加熱によるマザーシート４Ｍの膨張度合いに基づ
いて補正するようにする。従って、ノズルからの液滴の着弾位置をマザーシート４Ｍの膨
張度合いに基づいて０．５μｍ毎に調整されるので、マザーシート４Ｍが膨張した場合で
あっても、液滴は区画領域の所望の位置に着弾させることができる。 （もっと読む）

【課題】閉弁時に開閉弁の膜状部が揺動部材から付与される押圧力によって疲弊することを抑制することが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェット式プリンタは、インクを噴射する記録ヘッドにインクを供給するための液体供給路と、該液体供給路を開閉する際に可撓性を有する第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂがそれぞれ変位する第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８と、第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８の閉弁時に第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂをそれぞれ閉弁方向へ変位させるための押圧力を付与するために揺動する作動板７３及び作動板７２と、第１開閉弁４７及び第２開閉弁４８の閉弁時に作動板７３及び作動板７２からの押圧力をそれぞれ受けて第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂと直交する方向に移動して該第１膜状部４７ｂ及び第２膜状部４８ｂを閉弁方向に変位させる第１中継部材４９及び第２中継部材５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口からパターン形成材料を吐出して線状の複数のパターン要素により構成されるパターンを形成する際に、パターンに生じるムラを抑制する。
【解決手段】パターン形成装置１は、複数の吐出口を有する得るノズル部５、および、基板９をノズル部５に対して移動するステージ移動機構２を備え、ノズル部５の複数の吐出口からパターン形成材料が連続的に吐出される間に基板９が移動することにより、基板９上に等ピッチにて配列された線状かつリブ状の複数のパターン要素により構成されるパターンが形成される。パターン形成装置１では、パターン形成材料の吐出速度などを変動させることにより、ノズル部５から基板９に付与されるパターン形成材料の量のノズル部５の相対移動距離に対する割合が不規則に変更される。これにより、各パターン要素の幅や高さが不規則に変更され、ストライプ状のパターンに生じるムラが抑制される。 （もっと読む）

【課題】ハンダ粉末の形状がくずれることがなく、均一に付着させることができ、より微細な回路パターンを実現できること。
【解決手段】プリント配線板上の導電性回路表面にハンダ粉末を含むスラリーを吐出し、加熱することにより該回路表面にハンダ層を形成する方法において、前記スラリーをスラリーのタンク内の圧力によって吐出する方法である。
上記の方法に用いる吐出装置はスラリーを貯えるタンクにスラリーの吐出管及びタンク内の圧力を調整する気体または溶媒の送入管が取り付けられている構成からなる。この装置において、タンクからスラリーを吐出する管とタンクにスラリーを貯める管を共通にすること、またタンクに気体等の送入及びタンクから気体等を吸引する管を共通にすることができる。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルから吐出される処理液の状態を正確に測定する。
【解決手段】スリットノズル４１の二次側に設けられたエア抜き用の配管４２を設ける。配管４２とスリットノズル４１の一次側に設けられた配管６３とを直接連通させず独立させるとともに、配管４２を直接スリットノズル４１内の流路４１０と連通させる。配管４２に圧力センサ４３を設置し、測定値を制御部８に伝達する。ポンプ６１からスリットノズル４１にレジスト液を供給し、そのときの配管４２内の圧力を圧力センサ４３によって測定する。 （もっと読む）

【課題】吐出量を精度良く制御できる液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１４のキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズル３１から機能液を基板７に吐出する液滴吐出装置に関する。液滴吐出ヘッド１４と基板７とを相対移動するキャリッジ１２及びステージ４を備えている。さらに、ノズル３１から吐出される機能液を受けるフラッシングユニット１８とを備えている。また、液滴吐出ヘッド１４は、キャビティを加圧する圧電素子を備えている。液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８と対向する場所から、基板７と対向する場所に移動する間、圧電素子は、ノズル３１から機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる。 （もっと読む）

【課題】脱着方向に付勢された状態で液体噴射装置に着脱自在に装着された液体収容体の脱着時において、液体収容体の脱着方向への飛び出しを好適に規制することのできる液体収容体装着機構及び同装着機構を備えた液体噴射装置並びに同液体噴射装置に装着される液体収容体を提供する。
【解決手段】装着機構２９は、装着機構２９に装着されるインクカートリッジ２２を脱着方向に付勢するばね３６と、ばね３６の付勢力に抗してインクカートリッジ２２を装着状態に保持可能な保持用係止部３０ｃと、インクカートリッジ２２の脱着時に、インクカートリッジ２２の脱着方向への飛び出しを規制可能な規制用係止部３０ｂとを備える。規制用係止部３０ｂは、外部から付与される操作力に基づき変位することによって、インクカートリッジ２２の飛び出しを規制する位置態様となる。 （もっと読む）

【課題】吐出量を精度良く制御できる液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１５のキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズル３１から微小液滴３６を基板８に吐出して塗布する液滴吐出装置に係る。液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１５と基板８とを相対移動するキャリッジ１３とステージ４とを備える。液滴吐出ヘッド１５は、キャビティを加圧する圧電素子を備えている。圧電素子は、ノズル３１から微小液滴３６を吐出しないとき、ノズル３１から微小液滴３６が吐出しない程度に、キャビティを複数回連続して加圧して、キャビティ内の機能液を圧力変動させる。液滴吐出ヘッド１５に接する空気の流れ３７の風速に合わせて、圧電素子は、キャビティを加圧する圧力の周波数を、変更して加圧する。 （もっと読む）

【課題】駆動信号の制御を変更することなく、液体噴射ヘッドの配線接続部をその側壁に配置することで、装置全体の小型化を図ることが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】４つの記録ヘッド１０を千鳥状に配設してラインヘッド３を構成し、記録ヘッドは、振動子ユニットへの駆動信号を中継する駆動基板を有し、ノズル形成基板３７の表面とは反対側の面にインク圧調整ユニットを配置し、これら記録ヘッドを、ノズル形成基板の表面が同一面上に位置し、尚且つ、そのノズル列がそれぞれ平行に位置する状態で並べて設けると共に、これら記録ヘッドのノズル形成基板の表面とは反対側のインク圧調整ユニット側のベース面５５にインク供給チューブ１７をノズル列方向に沿って配置し、インク圧調整ユニットをインク供給チューブに接続し、駆動基板のコネクタ４１を記録ヘッドの側壁２２に配置し、このコネクタに、駆動信号を供給するＦＦＣ１８を接続した。 （もっと読む）

【課題】
インクジェット方式のカラーフィルタ製造工程における、インク液の吐出過剰や吐出不足による吐出不良を検査する検査方法及び検査装置の提供である。
【解決手段】
インクジェット方式のカラーフィルタ製造工程において、カラーフィルタ用透明基板にインク液を吐出する前に、受像用透明テストフィルムにインク液を吐出させ、検査用パターンを形成し、前記受像用透明テストフィルムの搬送方向と直交方向に移動可能な撮像手段と前記受像用透明テストフィルムの底側に透過面照明部を設けて、前記撮像用カメラを前記検査用パターンに対して直交方向に移動させながら撮像し、取得した画像データを画像処理部へ転送し、検査処理部にてインク液吐出不良を検査する方法及び検査装置である。 （もっと読む）

【課題】高いピーク照度を得ることができ、照度均一度のよい、線状の集光光を照射する光照射器を提供するとともに、この光照射器を用いたインクの硬化処理を高い効率で行うことができるインクジェットプリンタを提供すること。
【解決手段】放電ランプ１２から放射された光が、回転放物面状の反射面を有するリフレクタ１３によって反射され、シリンドリカルレンズ１７に照射される。シリンドリカルレンズ１７に入射した光は、シリンドリカルレンズ１７の軸方向に直交する方向にのみ集光されながら出射される。そして、光照射面Ｗ上のシリンドリカルレンズ１７の焦点Ｆｓに位置においてシリンドリカルレンズ１７の軸方向に線状に伸びる光照射領域ＩＡが形成される。この光照射器を光硬化型インクジェット方式を利用したインクジェットプリンタに適用することにより、インクの硬化処理効率の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板にハンダ層を形成するための溶融ハンダ塗布装置および溶融ハンダ塗布方法において、良好な界面強度を有するとともにそのバラツキが少ないハンダ層を形成できる溶融ハンダ塗布装置および溶融ハンダ塗布方法を提供することを課題としている。
【解決手段】本発明の一態様は、溶融ハンダをガラス基板の一面に塗布する溶融ハンダ塗布装置であって、前記溶融ハンダを前記ガラス基板の一面に供給する供給部を備えた溶融ハンダ供給手段と、前記ガラス基板の一面に当接する掻引部を備えるとともに前記溶融ハンダ供給手段と同期して移動可能な掻引手段とを有し、前記供給部は、前記掻引部と前記ガラス基板との当接部分に対し溶融ハンダを供給可能な位置に配設されている溶融ハンダ塗布装置である。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の向上による高性能化を容易に図ることのできるアキュムレータおよび塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置は、塗料タンクと、塗料を移送するためのポンプと、塗料を循環させるための液体供給路および液体戻し路と、液体供給路を流動する塗料の脈動を吸収するためのアキュムレータ２０と、アキュムレータ２０にガスを供給するためのガス供給路とを設ける。アキュムレータ２０は、カバー体２２にガス吸気弁３３とガス排気弁３４とを設けるとともに、液体の圧力が周期的な変動範囲を超えて変化した場合、この液体の圧力の変化をダイアフラム２３により検知して、液体の圧力の変化によるダイアフラム２３の変位に連動させてガス吸気弁３３あるいはガス排気弁３４を開閉させることでガス室２５の圧力を液体の圧力に合わせて自動調節するように形成する。ガス排気弁３４の下流側に、ガス排気孔９３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ミストをワークに付着させることなく、捨て吐出を行う。
【解決手段】ワークテーブル２１の相対移動方向の前方に近接し且つ自身の上面７１ａがワークテーブル２１に搭載されたワークＷの上面Ｗａより低い位置となるように配設されると共に、機能液滴吐出ヘッド１７の描画動作直前の捨て吐出を受けるフラッシングユニット７１と、機能液滴吐出ヘッド１７を昇降させるヘッド昇降手段３５と、機能液滴吐出ヘッド１７、移動手段２３およびヘッド昇降手段３５を制御する制御手段と、をさらに備え、制御手段は、描画動作直前に、ヘッド昇降手段３５により機能液滴吐出ヘッド１７をそのノズル面３８がワークＷの上面Ｗａより低い位置とした状態で、機能液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせる。 （もっと読む）