【課題】複数の種類の液状体を吐出することが可能であり、液状体供給流路の洗浄が容易な液状体吐出装置を提供する。
【解決手段】液状体を吐出するノズル５２と、前記ノズル５２に前記液状体を供給する供給流路と、前記供給流路に連通し、第１の液状体を収容する第１の収容容器８２と、前記供給流路に連通し、第２の液状体を収容する第２の収容容器６２と、前記第１の液状体の供給と、前記第２の液状体の供給と、を切り替える切り替え手段８６と、を備えた液状体吐出装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、減圧下でインクジェットヘッドから基板上に材料溶液を吐出塗布して薄膜を形成する際に、膜厚の均一性を実現すると共に、吐出塗布の機能を損なうことなく各構成を簡潔に実装した薄膜形成装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、一定間隔で形成された複数のノズルから材料溶液を吐出して基板に塗布する複数のインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドにノズル面と液面との水頭差を利用して材料溶液を供給する塗布溶液収納容器と、前記基板を載置し水平に移動させる基板搬送テーブルと、前記インクジェットヘッド及び塗布溶液収納容器及び基板搬送テーブルを収容する減圧手段を備えた減圧室とからなり、前記インクジェットヘッドに直接接続された前記塗布溶液収納容器を同じ減圧環境下に置くことを特徴とする薄膜形成装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】、反応性の高い塗布液を用いた場合でも、当該塗布液を安定して供給しつつ、塗布液を長期的に使用する。
【解決手段】塗布液供給装置３０は、塗布液供給源４０と、塗布液供給源４０から供給された塗布液を塗布ノズル２０に圧送するポンプ７０とを有している。塗布液供給源４０には、塗布液供給源４０内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給源４２が接続され、塗布液供給源４０内は所定の圧力に加圧されている。塗布液供給源４０とポンプ７０との間には、塗布液を一旦貯留させるリキッドエンドタンク５０と塗布液中に溶存する窒素ガス等の気体を除去する脱気機構６０が設けられている。ポンプ７０は、配管７３を介して、塗布ノズル２０に接続されている。配管７３には、塗布液中の不純物を除去するフィルタ８０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド部での塗布液の漏れがなく、液滴の吐出状態が良好な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】メインタンク６、サブタンク７、ヘッド部４、メインタンク６の塗布液をヘッド部４に供給する塗布液供給管２０、ヘッド部４から出た塗布液をサブタンク７に戻す塗布液回収管２２、サブタンク７の塗布液をメインタンク６に送るタンク間移送管１３、タンク間移送管１３の途中に設けられたタンク間移送用ポンプ１４、メインタンク内を減圧するメインタンク用減圧手段９、１１、サブタンク内を減圧するサブタンク用減圧手段１６、１７を備え、前記サブタンク内に外気を取り込むことができるように構成された大気導入口９７と、流量調節弁９８と、外気取込フィルタ９９が設けられ、外気取込弁１００によって開閉可能に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】開口幅が相違する凹部に液状物を充填して溶媒を除去して機能層を形成した場合でも、機能層を等しい厚さに形成することのできる電気光学装置の製造方法、およびかかる電気光学装置の製造に用いられる液状物吐出装置を提供すること。
【解決手段】電気光学装置１００の素子基板１０を製造する際、解像度の低い電気光学装置用、および解像度の高い電気光学装置用のいずれを製造する場合においても、隔壁５ｂで囲まれた凹部５ｅ内に液状物８５を吐出して凹部５ｅ内に液状物８５を充填した後、液状物８５から溶媒成分を除去して有機機能層８６を形成する。かかる工程を行なう際、凹部５ｅの開口幅Ｗ１が狭い場合には、機能層形成材料濃度が高い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填し、凹部５ｅの開口幅Ｗ２が広い場合には、機能層形成材料濃度が低い液状物８５を凹部５ｅにメニスカスが膨らむように充填する。 （もっと読む）

【課題】 合理的かつ完成度の高い運転形態を採ることで全体として一層優れた塗料供給設備を提供する。
【解決手段】 塗料種別の塗料供給ポンプＰの夫々を吐出流量Ｌの調整が可能な可変速ポンプにするとともに、それら塗料供給ポンプＰにより塗料往路４から塗料還路５にわたって塗料Ｔを循環させる塗料種別の塗料循環運転を塗装ガン装備部２の運転状況に応じて正規運転とセーブ運転とに自動的に切り換える制御手段２４を設け、正規運転では背圧調整調整手段Ｒ，２２，２３による塗料往路圧力調整の目標圧力ｐｓを設定正規圧力値ｐｓａにするとともに塗料供給ポンプＰをその吐出流量Ｌが設定正規流量値Ｌａとなる状態に変速制御し、かつ、セーブ運転では背圧調整手段Ｒ，２２，２３による塗料往路圧力調整の目標圧力ｐｓを設定セーブ圧力値ｐｓｂにするとともに塗料供給ポンプＰをその吐出流量Ｌが設定正規流量値Ｌａよりも小さい設定セーブ流量値Ｌｂとなる状態に変速制御する構成にする。 （もっと読む）

【課題】高精度での粘性流体の塗布量制御を可能にする簡素な構造の粘性流体供給装置及びその固化防止方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】本発明の粘性流体塗布装置は、カートリッジ３３０と、ピストン３３４と、エアー供給源３３２と、切替えバルブ３３１と、供給配管３４０と、供給コック３４１と、供給コック３４１により塗布ヘッド１００への粘性流体の供給が停止され塗布ヘッド１００が基板への塗布動作を終了させた後、エアー供給源３３２に接続され大気圧よりも大きい圧力を粘性流体に継続的に加える供給状態から、切替えバルブ３３１による切替えを所定の時間間隔繰り返す事により、所定の時間間隔で圧力が変化するようパルス状に供給圧力の上昇、下降を繰返し、ピストン３３４の上下動により粘性流体の固化を防止する固化防止状態に切替えるように制御する制御部１６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの詰まりが低減された微細液滴塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 容器と、容器内に設けられ、溶質と溶媒とを含む塗布液を微細液滴に加工して前記容器内に置かれた基板上に塗布する微細液滴塗布手段と、容器内を、溶媒の蒸発を抑制する雰囲気に保持する雰囲気調整手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置において、キャリッジ間で新旧の液状体が混在することを低減させる。
【解決手段】液滴吐出ヘッドとキャリッジ１４_iとを備え、基板Ｂをキャリッジ１４_iに対して移動させ、基板Ｂ上に液状体を吐出して描画する液滴吐出装置１００であって、キャリッジ１４_iに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量をキャリッジ１４_i毎に検出する液量検出手段と、基板Ｂの移動方向に対して略直交する方向に並列して設けられるとともに複数の前記キャリッジ１４_iを基板Ｂの移動方向に対して略直交する方向に個別に移動させ保持する複数のキャリッジ移動機構１６，１８と、を有し、液量検出手段が検出した液状体の供給量に基づいて、複数のキャリッジ１４_i間で液状体の供給量を略同じにするように、キャリッジ１４_iを移動させ配置する。 （もっと読む）

【課題】常に精度よく一定量のインクを噴射する液体噴射装置およびその制御方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液体噴射装置は、可撓性を有するインク袋２に貯留されているインクを、インクジェットヘッド１を介して噴射する液体噴射装置であって、上記インク袋２に貯留されているインク量を計測する計測手段３と、上記インクジェットヘッド内の圧力を制御する圧力制御手段６と、上記インク量に基づいて、上記圧力制御手段６による圧力制御の目標値を決定する圧力制御目標決定手段５とを備え、上記圧力制御手段４は、上記インクジェットヘッド１内の圧力を上記目標値に近づけるように制御する。 （もっと読む）

【課題】液滴サイズや着弾精度の均一性を向上させた液滴吐出装置、及び該液滴吐出装置
を用いるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】キャビティに貯留された導電性インクの温度を検出する温度センサと、導電
性インクの温度と、該温度を目標温度にするステート数とを関連付けて温度をステート数
へ変換する温度変換データＴＣＤを記憶するＲＯＭ３６と、温度センサの検出結果を受け
て温度変換データＴＣＤに基づくステート数を得るための吐出制御データＳＩを生成し、
吐出制御データＳＩを用いて圧電素子を駆動することによりフラッシング処理を実行する
制御装置３０とを有した。 （もっと読む）

【課題】 三次元形状樹脂成形品に導電材料を均一に塗布することができ、交差ラインの変形、傷つき、断線なしに高品質に液状の導電材料で回路を形成できる回路形成装置を提供する。
【解決手段】 三次元形状樹脂成形品に対して液状の導電材料を吐出する少なくとも１つのノズルを備える吐出部と、前記吐出部を把持し、前記三次元形状樹脂成形品表面に沿って前記吐出部を三次元に移動させる移動体と、前記ノズルに前記導電材料を供給する供給手段と、を有する回路形成装置であって、前記ノズルが前記三次元形状樹脂成形品の表面に非接触で基準距離に保持するように前記移動体の位置を三次元に調整する調整手段をさらに有することを特徴とする回路形成装置とする。 （もっと読む）

【課題】機能液タンクから機能液的吐出ヘッドに至るまでの機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、気泡を残すことなく、機能液の初期充填を行うことができる機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供する。
【解決手段】機能液流路を介して、機能液タンク６１からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を導入し、機能液流路および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に対し機能液の初期充填を行う初期充填工程と、初期充填工程に先立ち、機能液流路および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に洗浄液を通液する洗浄液通液工程と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】塗布直後において、塗布面に縦スジ等のムラが生じることなく、均質な塗布を行う。
【解決手段】
走行するウエブ１８に塗布液を塗布するバー２０と、バー２０の下側に設けられ、該バー２０を回転自在に支持するバー受け部材２２と、バー２０よりも帯状体走行方向の上流側に設けられ、ウエブ１８に塗布する塗布液を供給するスロット３４と、バー２０よりも帯状体走行方向の下流側に設けられ、バー表面を流下する余剰塗布液を排出するスロット４０と、を備えた。 （もっと読む）

エレクトロスピニングにより導電性ナノ構造物を生成する装置及び方法が開示される。本装置は、基板ホルダ（１）と、スピニング液（４）の貯蔵器（３）に接続され、電圧源（５）に接続されたスピニング孔（２）と、スピニング孔（２）及び／又は基板ホルダ（１）を相対的に移動させる調整可能な移動装置（６，６’）と、スピニング孔（２）の出口においてスピニング処理を追跡する光学測定機器（７）と、スピニング処理に依存してスピニング孔（２）及び基板ホルダ（１）の間隔を調節するコンピュータ装置（８）とを少なくとも備える。
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【課題】軽量かつ内容積も小さいため製造コストが安く、保留液の廃棄が容易なスリットノズル待機ユニットを提供する。
【解決手段】ディップ槽７はアルミニウム板等の金属板を谷折りして端面視でＶ字状に形成され、このディップ槽７にスリットノズル３を浸漬する場合には、傾動用シリンダ９によってディップ槽７を水平に保った状態で、リンス供給ライン１１から供給された洗浄液をディップ槽７に溜めておき、そこへスリットノズル３の下端部を浸漬する。また、ディップ槽７内の液を廃棄する場合は、傾動用シリンダ９を縮めることで、ドレンパイプ１２につながる側を低くし、ポンプ１３によってドレンパイプ１２を介して廃棄する。 （もっと読む）

【課題】機能液タンクの交換により生ずる新旧機能液の交換に際し、描画品質の低下を抑制することができる。
【解決手段】第１メインタンク１８１ａに接続し、１０方に分岐した第１タンク側流路１３４ａと、第２メインタンク１８１ｂに接続し、１０方に分岐した第２タンク側流路１３４ｂと、上流側を、相関する、それぞれで１０方に分岐した流路の合流部１３５に接続され、下流側を、複数のヘッドユニットに接続した１０組の個別流路と、各個別流路に流入する機能液を旧機能液と新機能液との間で切り換える１０組の流路切換機構１４３と、１０組の流路切換機構１４３を個別に制御する制御部と、を備え、新機能液が複数のヘッドユニットに同時に到達するように複数の流路切換機構１４３を個別に制御する。 （もっと読む）

【課題】機能液タンクの交換により生ずる新旧機能液の交換に際し、描画品質の低下を抑制することができる。
【解決手段】新旧のメインタンク１８１の交換により、複数のヘッドユニットに機能液を連続的に供給するタンクユニット１２２と、上流側をタンクユニット１２２に接続した主流路１３１、および主流路１３１から分岐して下流側を複数のヘッドユニットに接続した複数の個別流路１４３から成る機能液供給流路１４５と、を備え、複数の個別流路１４３は、複数の個別流路１４３の総容量を各ヘッドユニットの個別機能液消費量で比例配分した容量を有している。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高品位な接触塗布を行える塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】サーボガン１００に、被塗布物と接触して該被塗布物に塗料を塗布する接触塗布手段として、先端に塗布体１８１を有するディスペンサーチップ１８０を設ける。ディスペンサーチップ１８０に対する塗料供給圧力は、圧力センサヘッド１９１で検出した圧力室１０３ａ内の圧力値が所定範囲内となるよう、サーボモータ１１４で駆動されるピストン１０２を圧力室１０３ａ内に出し入れすることにより調節し、塗料が垂れ落ちないよう制御する。圧力室１０３ａへの塗料充填、および圧力室１０３ａからディスペンサーチップ１８０への塗料供給はバルブユニット１４２、１４１により制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大気圧より低い圧力雰囲気において基板上に薄膜を塗布する際に、インクジェットヘッドの不具合の原因となるインク充填不良を解消することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、マニホールドに充填したインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドと、ノズルから滴り落ちたインクを受ける材料吸引ブロックと、インクジェットヘッドにインクを供給する材料タンクと、マニホールドから溢れたインクを再利用のために材料タンクに送り返す戻りタンクと、吸引ポンプで負圧状態にし材料吸引ブロック又は戻りタンクの廃インクを吸引するドレンタンクと、インクジェットヘッド、材料吸引ブロック、材料タンク、戻りタンク及びドレンタンクを内部に収容し、真空排気ポンプにより内部を減圧できる真空容器と、大気圧力中に設置され材料タンクにインクを補充する外部タンクとからなるインク充填装置の構成とした。 （もっと読む）