液滴吐出装置および液滴吐出装置の描画制御方法
【課題】液滴吐出装置において、キャリッジ間で新旧の液状体が混在することを低減させる。
【解決手段】液滴吐出ヘッドとキャリッジ１４iとを備え、基板Ｂをキャリッジ１４iに対して移動させ、基板Ｂ上に液状体を吐出して描画する液滴吐出装置１００であって、キャリッジ１４iに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量をキャリッジ１４i毎に検出する液量検出手段と、基板Ｂの移動方向に対して略直交する方向に並列して設けられるとともに複数の前記キャリッジ１４iを基板Ｂの移動方向に対して略直交する方向に個別に移動させ保持する複数のキャリッジ移動機構１６，１８と、を有し、液量検出手段が検出した液状体の供給量に基づいて、複数のキャリッジ１４i間で液状体の供給量を略同じにするように、キャリッジ１４iを移動させ配置する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドとキャリッジ１４iとを備え、基板Ｂをキャリッジ１４iに対して移動させ、基板Ｂ上に液状体を吐出して描画する液滴吐出装置１００であって、キャリッジ１４iに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量をキャリッジ１４i毎に検出する液量検出手段と、基板Ｂの移動方向に対して略直交する方向に並列して設けられるとともに複数の前記キャリッジ１４iを基板Ｂの移動方向に対して略直交する方向に個別に移動させ保持する複数のキャリッジ移動機構１６，１８と、を有し、液量検出手段が検出した液状体の供給量に基づいて、複数のキャリッジ１４i間で液状体の供給量を略同じにするように、キャリッジ１４iを移動させ配置する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を液滴吐出ヘッドを搭載した複数のキャリッジに対して移動させながら、基板上に液状体を吐出して描画を行う液滴吐出装置および液滴吐出装置の描画制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜などの分野に液滴吐出装置が利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから液状体を液滴として吐出することにより、基板等からなるワーク上に液状体からなるパターンの描画を行う。
【０００３】
近年、表示装置は大型化が進んでおり、それに伴い表示装置に用いられるワークも大型化が進んでいる。そのため、ワークに対して効率よくパターンの描画を行うことが重要になってきている。ワークに液状体を吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置として、複数の液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジを描画エリアに１列に配置して、キャリッジが配置された方向と直交する方向に、ワークを移動させてパターンの描画を行う液滴吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２５４７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述のような液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドに供給する液状体を収容するタンクを、キャリッジ毎に搭載したいわゆるオンキャリッジタイプがある。このようなオンキャリッジタイプの液滴吐出装置は、描画パターンがキャリッジによって異なると、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の使用量に差が生じ、同じくキャリッジに搭載されたタンク内の液状体の収容量に差が生じてしまう。タンクに収容された液状体の収容量に差が生ずると、一部のタンクのみ液状体の収容量が先に減じてしまう。先に液状体が減じたタンクには新の液状体が供給される。
【０００６】
そのため、液滴吐出装置において、キャリッジ間で新旧の液状体が混在することになる。その結果、１つのワーク上で旧の液状体によって描画された部分と新の液状体によって描画された部分とができてしまう。液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等に用いられる液状体は、特殊な液状体であり、経時的に粘度等の物性が変化してしまったり、ロット毎に液状体の物性が異なったりする。このような物性の異なる液状体によって、パターンが描画されると、描画品質がばらつく惧れがある。描画品質がばらつくと、製造される表示装置の画像品質が低下してしまうという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（適用例１）液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジとを備え、被吐出対象である基板を複数の前記キャリッジに対して移動させ、前記基板上に前記液状体を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記キャリッジに搭載される前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状体の供給量を、前記キャリッジ毎に検出する液量検出手段と、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に並列して設けられるとともに、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に個別に移動させ保持する複数のキャリッジ移動機構と、を有し、前記液量検出手段が検出した前記液状体の前記供給量に基づいて、複数の前記キャリッジ間で前記液状体の前記供給量を略同じにするように、前記キャリッジを移動させ配置することを特徴とする液滴吐出装置。
【０００９】
（適用例２）前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記液状体を収容する液状体収容容器を備えていることを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００１０】
これらの構成によれば、複数のキャリッジ移動機構によって移動され保持された複数のキャリッジを基板に対向させて、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して基板上にパターンを描画する。このとき、液量検出機構によって、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量を、キャリッジ毎に検出することができる。そして、複数のキャリッジ移動機構によって、液状体の供給量の多いキャリッジを吐出頻度の低い被吐出領域に移動し、液状体の供給量の少ないキャリッジを吐出頻度の高い被吐出領域に移動させ、描画作業を実施することができる。
【００１１】
これにより、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量において、キャリッジ間の差を低減することができる。また、キャリッジに備えられた液状体収容容器に収容される液状体の残量において、キャリッジ間の差を低減することができる。そのため、キャリッジに備えられた液状体収容容器において、新の液状体の補充時期もしくは液状体収容容器の交換時期のばらつきを低減させることができ、キャリッジ間で新旧の液状体が混在することを低減させることが可能になる。その結果、１つの基板上で旧の液状体によって描画された部分と新の液状体によって描画された部分とができることを防止でき、描画品質のばらつきを低減させることができる。
【００１２】
（適用例３）前記液量検出手段は、前記液状体収容容器内に収容される前記液状体の残重量を測定する重量測定装置を含み、前記重量測定装置で測定された前記液状体の残重量に基づいて、前記液状体の供給量を検出することを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００１３】
この構成によれば、液状体収容容器毎の液状体の残重量を重量測定装置で測定することができる。そのため、液状体収容容器に収容される液状体の収容量を知ることができ、液状体の供給量を正確に検出することができる。
【００１４】
（適用例４）前記液量検出手段は、前記液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で前記液状体収容容器から供給される前記液状体の供給量を検出することを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００１５】
この構成によれば、キャリッジ毎の液状体の供給量を、同じくキャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で知ることができる。そのため、測定装置が不要になり、装置の小型化が図られる。
【００１６】
（適用例５）前記キャリッジは、搭載された前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出幅が想定されており、前記複数のキャリッジが、前記複数のキャリッジ移動機構により、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に各々移動され配置されることによって、配置された複数のキャリッジが構成するトータルの吐出幅は、少なくとも、前記基板の被吐出領域の幅を覆う長さを有することを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００１７】
この構成によれば、基板の被吐出領域の幅を、複数のキャリッジが複数のキャリッジ移動機構により移動配置されて構成するトータルの吐出幅で覆うことができる。そのため、液状体収容容器に収容される液状体の残重量によって任意の被吐出領域に移動配置させて、基板を、複数のキャリッジが配置された方向とは直交する方向に移動させながら、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出し、基板にパターンを描画することができる。その結果、キャリッジ間の液状体収容容器に収容される液状体の残量の差を低減することができるとともに、様々な描画パターンへの対応および描画時間の短縮が可能になる。
【００１８】
（適用例６）液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジとを備え、被吐出対象である基板を複数の前記キャリッジに対して移動させ、前記基板上に前記液状体を吐出して描画する液滴吐出装置の描画制御方法であって、前記キャリッジに搭載される前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状体の供給量を、前記キャリッジ毎に検出する液量検出工程と、検出された前記キャリッジ毎の前記液状体の前記供給量に基づいて、複数の前記キャリッジ間で供給される前記液状体の前記供給量を略同じにするように、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に複数の列状に、移動させ配置するキャリッジ移動工程と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の描画制御方法。
【００１９】
（適用例７）前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記液状体を収容する液状体収容容器を備えていることを特徴とする上記の液滴吐出装置の描画制御方法。
【００２０】
これらの方法によれば、キャリッジ移動工程により、複数のキャリッジを複数の列状に配置して、対向する基板を当該列と略直交する方向に移動させながら、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して基板上にパターンを描画することができる。このとき、液量検出工程において、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量を、キャリッジ毎に検出することができる。そして、複数のキャリッジ移動機構によって、液状体の供給量の多いキャリッジを吐出頻度の低い被吐出領域に移動し、液状体の供給量の少ないキャリッジを吐出頻度の高い被吐出領域に移動させ、描画作業を実施することができる。
【００２１】
これにより、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量において、キャリッジ間の差を低減することができる。また、キャリッジに備えられた液状体収容容器に収容される液状体の残量において、キャリッジ間の差を低減することができる。そのため、キャリッジに備えられた液状体収容容器において、新の液状体の補充時期もしくは液状体収容容器の交換時期のばらつきを低減させることができ、キャリッジ間で新旧の液状体が混在することを低減させることが可能になる。その結果、１つの基板上で旧の液状体によって描画された部分と新の液状体によって描画された部分とができることを防止でき、描画品質のばらつきを低減させることができる。
【００２２】
（適用例８）前記液量検出工程は、前記液状体収容容器内に収容される前記液状体の残重量を測定する重量測定工程をさらに有し、前記重量測定工程で測定された前記液状体の残重量に基づいて、前記液状体の供給量を検出することを特徴とする上記の液滴吐出装置の描画制御方法。
【００２３】
この方法によれば、液状体収容容器毎の液状体の残重量を重量測定装置で測定することができる。そのため、液状体収容容器に収容される液状体の収容量を知ることができ、液状体の供給量を正確に検出することができる。
【００２４】
（適用例９）前記液量検出工程は、前記液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で前記液状体収容容器から供給される前記液状体の供給量を検出することを特徴とする上記の液滴吐出装置の描画制御方法。
【００２５】
この方法によれば、キャリッジ毎の液状体の供給量を、同じくキャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で知ることができる。そのため、測定装置が不要になり、装置の小型化が図られるとともに、液滴吐出ヘッドからの液状体の供給量を正確に検出することができる。
【００２６】
（適用例１０）前記キャリッジは、搭載された前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液状体の吐出幅が想定されており、前記キャリッジ移動工程は、複数の前記キャリッジが構成するトータルの吐出幅が、少なくとも、前記基板の被吐出領域の幅を覆うように、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に各々移動させ配置することを特徴とする上記の液滴吐出装置の描画制御方法。
【００２７】
この方法によれば、基板の被吐出領域の幅を、複数のキャリッジが複数のキャリッジ移動機構により移動配置されて構成するトータルの吐出幅で覆うことができる。そのため、液状体収容容器に収容される液状体の残重量によって任意の被吐出領域に移動配置させて、基板を、複数のキャリッジが配置された方向とは直交する方向に移動させながら、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出し、基板にパターンを描画することができる。その結果、キャリッジ間の液状体収容容器に収容される液状体の残量の差を低減することができるとともに、様々な描画パターンへの対応および描画時間の短縮が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、実施形態を図面に基づいて説明する。以下の説明で参照する図面では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００２９】
（液滴吐出装置の全体構成について）
まず、本実施形態における液滴吐出装置を、図１および図２を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す平面図であり、図２は液滴吐出装置の概略構成を示す正面図である。なお、図１および図２中のＸ方向はテーブルの移動方向を示し、Ｙ方向は複数のキャリッジの移動方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
この液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３０】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１００は、テーブル１０と、テーブル移動機構１２と、複数のキャリッジ１４と、第１のキャリッジ移動機構１６と、第２のキャリッジ移動機構１８と、制御装置２０と、メンテナンス部２４と、基台２２とを備えている。
基台２２は、例えば、平板状の石材などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Ｙ方向に一定の幅を有し、Ｘ方向に沿って延びるように４本の脚部２６に支持されている。また、基台２２のＺ方向の下部には、制御装置２０が設けられている。
【００３１】
テーブル移動機構１２は、テーブル１０と、２つのリニアモータ３０とを有している。 ２つのリニアモータ３０は、基台２２のＺ方向上面にＸ方向に沿って平行に配置されている。テーブル１０は、平板状の部材であり、Ｚ方向上面に基板Ｂを着脱可能に保持する載置面１０Ａを有している。テーブル１０は、基台２２に配置された２つのリニアモータ３０の上方に配設されている。
【００３２】
リニアモータ３０は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は基台２２に、可動子はテーブル１０に設けられている。テーブル移動機構１２は、制御装置２０からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０をＸ方向に往復移動させることができる。
【００３３】
図１および図２に示すように、第１のキャリッジ移動機構１６は、２つのリニアモータ３２と、４本の支柱３４とを備えている。リニアモータ３２のそれぞれは、テーブル移動機構１２に配置されたテーブル１０に対してＺ方向に空間を有する状態で、テーブル移動機構１２のリニアモータ３０と直交するようにＹ方向に延びて２本の支柱３４に支持され、互いに平行に配設されている。
【００３４】
第２のキャリッジ移動機構１８は、２つのリニアモータ３６と、４本の支柱３８とを備えている。リニアモータ３６のそれぞれは、テーブル移動機構１２に配置されたテーブル１０に対してＺ方向に空間を有する状態でＹ方向に延びるように、２本の支柱３８に支持され互いに平行に配設されている。第２のキャリッジ移動機構１８は、第１のキャリッジ移動機構１６に対して、Ｘ方向に一定の間隔を有し、平行に配設されている。
【００３５】
キャリッジ１４は、本実施形態においては、８個設けられており、４個のキャリッジ１４は第１のキャリッジ移動機構１６に、残りの４個のキャリッジ１４は第２のキャリッジ移動機構１８に割り当てられ配置されている。以降、説明を分かりやすくするため、キャリッジ１４は、キャリッジ１４i（ｉは１から８の自然数）と表し、第１のキャリッジ移動機構１６に配置された４個のキャリッジ１４をキャリッジ１４1〜１４4、第２のキャリッジ移動機構１８に配置された４個のキャリッジ１４をキャリッジ１４5〜１４8と表す。
【００３６】
キャリッジ１４iは、複数の液滴吐出ヘッド４０が搭載されている。キャリッジ１４1〜１４4は、液滴吐出ヘッド４０側が図２中Ｚ方向下方、すなわち、テーブル１０に載置された基板Ｂの上面に対向するように、２つのリニアモータ３２のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ３２は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱３４に支持され、可動子はキャリッジ１４1〜１４4にそれぞれ設けられている。第１のキャリッジ移動機構１６は、制御装置２０からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、キャリッジ１４1〜１４4をＹ方向に沿って、個別に往復移動させ、それぞれを任意の位置に停止させ保持することができる。
【００３７】
キャリッジ１４5〜１４8は、液滴吐出ヘッド４０側が図２中Ｚ方向下方、すなわち、テーブル１０に載置された基板Ｂの上面に対向するように、２つのリニアモータ３６のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ３６は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱３８に支持され、可動子はキャリッジ１４5〜１４8にそれぞれ設けられている。第２のキャリッジ移動機構１８は、制御装置２０からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、キャリッジ１４5〜１４8をＹ方向に沿って、個別に往復移動させ、それぞれを任意の位置に停止させ保持することができる。
キャリッジ１４iの詳細については後述する。
【００３８】
メンテナンス部２４は、第１のキャリッジ移動機構１６と第２のキャリッジ移動機構１１８とを挟んで、テーブル移動機構１２のテーブル１０の待機位置のＸ方向反対に設けられており、２つのリニアモータ３０のＺ方向上方に配設されている。メンテナンス部２４は、リニアモータ３０の可動子が設けられ、制御装置２０からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、Ｘ方向に往復移動することができる。
【００３９】
メンテナンス部２４は、図示しない吸引ユニットとワイピングユニットとを有している。メンテナンス部２４は、Ｘ方向に移動することにより、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８により移動されるキャリッジ１４iに搭載された液滴吐出ヘッド４０と、吸引ユニットおよびワイピングユニットとを対向させることができる。
吸引ユニットは、液滴吐出装置１００の非稼働時に、液滴吐出ヘッド４０のノズル面を封止してノズルの乾燥を防止すると共に、液滴吐出ヘッド４０のノズルから増粘した液状体を吸引除去する役割を果たす。ワイピングユニットは、液滴吐出ヘッド４０のノズル面に付着する汚れを払拭する役割を果たす。
【００４０】
このような液滴吐出装置１００は、複数のキャリッジ１４を列状に配置し、列状に配置された複数のキャリッジ１４と略直交する方向にテーブル１０を移動させながら、複数のキャリッジ１４に搭載された複数の液滴吐出ヘッド４０から液状体を液滴として吐出して、テーブル１０に搭載されたワークとしての基板Ｂに液状体で所望のパターンを形成することができる。
【００４１】
（液滴吐出ヘッドの構成について）
次に、液滴吐出ヘッドについて、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は底面側から見た斜視図、（ｂ）は底面図である。図３中のＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同一の方向を示す。
図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド４０は、液状体導入部４２と、ヘッド基板４４と、ヘッド本体４６と、コネクタ４８とを備えている。
【００４２】
液状体導入部４２は、方形に形成され、２連の接続針５０を有し、ヘッド基板４４の一面に設けられている。ヘッド基板４４は、長手方向の長さが液状体導入部４２の長手方向の長さより長い長方形の板状に形成され、液状体導入部４２が設けられている面に、さらに２個のコネクタ４８が設けられている。ヘッド本体４６は、方形に形成され、液状体導入部４２が設けられている面とは反対側のヘッド基板４４の面に、液状体導入部４２と対峙するように設けられている。
【００４３】
ヘッド本体４６は、液状体導入部４２に連なるポンプ部５２と、ポンプ部５２に連なるノズルプレート５４と、を有している。ノズルプレート５４のノズル面５６には、複数のノズル５８（例えば、１８０個）が形成されている。図３（ｂ）に示すように、複数のノズル５８は、ノズル面５６にＹ方向に沿って所定のピッチ間隔Ｐを有して互いに平行なノズル列５９ａおよび５９ｂを形成している。ノズル列５９ａおよび５９ｂは、ノズル列５９ａおよび５９ｂのノズル５８同士がＸ方向にＰ／２の間隔だけずれた位置に形成されている。
【００４４】
ポンプ部５２には、図示しない圧電素子が設けられており、当該圧電素子を駆動することによって、液状体導入部４２から供給されてきた液状体をノズル５８から液滴として吐出する。１つのノズル５８に対応して１つの圧電素子が設けられており、それぞれのノズル５８毎に独立して液滴を吐出することができる。同時に、１つの液滴吐出ヘッド４０は、図３（ｂ）に示すように液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｌを有している。
【００４５】
（キャリッジの構成について）
キャリッジ１４iを、図２、図４および図５を参照して説明する。図４は１つのキャリッジの底面図である。図５は、キャリッジに搭載された液状体収容容器としてのタンクを説明する図である。図４および図５中のＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同一の方向を示す。
【００４６】
キャリッジ１４iは、図２および図４に示すように、ヘッドプレート６０と、１２個の液滴吐出ヘッド４０n（ｎは、１〜１２の整数）と、タンク６２k（ｋは１から８の自然数）とを有している。ヘッドプレート６０は、ステンレス等からなる上面視略平行四辺形の板状部材であり、１２個の液滴吐出ヘッド４０nを、ノズル面５６がＺ方向下方に突出するよう搭載し、キャリッジ１４iのＺ方向下方に設けられている。キャリッジ１４iのＺ方向上方にはタンク６２kが設けられている。
【００４７】
図４に示すように、１２個の液滴吐出ヘッド４０nは、６個ずつに二分されＸ方向に所定の間隔をあけて、ヘッド列６４ａおよび６４ｂを形成している。ヘッド列６４ａおよび６４ｂは、Ｘ方向から所定の角度θを有する方向に延びるように構成されている。そのため、図４中のＸ方向から見たとき、各キャリッジ１４iにおいて、１２個の液滴吐出ヘッド４０nは、これらの全ノズル列５９ａおよび５９ｂで１つの描画ラインを構成すべく、そのノズル列５９ａおよび５９ｂが連続するように配設されている。同時に、１つのキャリッジ１４iは、１２個の液滴吐出ヘッド４０nから液状体が吐出される吐出幅Ｍを有している。
【００４８】
図５に示すように、タンク６２kは、箱形状に形成され、予め脱気した液状体を内部に貯留して、キャリッジ１４iのＺ方向上面側に設けられている。また、タンク６２kの下側には、液量検出機構を構成するタンク６２kの重量を検出する重量測定装置６６が設けられている。なお、図５は図を分かりやすくするために１つの液滴吐出ヘッド４０nへの液状体の供給状態を示している。
そして、タンク６２kから供給される液状体は、供給チューブ６８により圧力調整弁７０を介して、液滴吐出ヘッド４０nに供給される。また、供給チューブ６８に介設された圧力調整弁７０は、タンク６２kに貯蔵された液状体の水頭値と液滴吐出ヘッド４０nとの間の水頭差を調整して、液滴吐出ヘッド４０nからの液ダレを防止する。
【００４９】
また、液滴吐出装置１００において、図１に示すようにキャリッジ１４iが配置されたとき、図１中Ｙ方向において隣接するキャリッジ１４i間のそれぞれ端部に位置する液滴吐出ヘッド４０n同士は、そのノズル列５９ａおよび５９ｂがＹ方向において連続し、８個のキャリッジ１４1〜１４8全体としても１つの描画ラインが形成されるようになっている。この描画ラインは、被吐出対象である基板Ｂの被吐出領域を覆う長さに構成されている。
【００５０】
（液滴吐出装置の制御について）
次に、図６を参照して、液滴吐出装置１００の制御系について説明する。図６は液滴吐出装置１００の主要構成を示すブロック図である。液滴吐出装置１００は、基板Ｂを搭載したテーブル１０を搬送するテーブル移動機構１２、液滴吐出ヘッド４０nを搭載したキャリッジ１４i、キャリッジ１４iを搬送する第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８を有する描画部８０と、液量検出機構を含む検出部８２と、メンテナンス部２４と、これらを統括制御する制御装置２０と、を備えている。
【００５１】
検出部８２は、各タンク６２kに接続した重量測定装置６６を有している。重量測定装置６６は、タンク６２kの重量を所定の期間毎に測定しており、この測定値を随時制御装置２０に送るようにしている。この測定値は、満液の状態のタンク６２kを測定した測定値を基準にしており、計測した重量からタンク６２kの重量を減算することで、タンク６２k内部の液状体の重量を測定している。
【００５２】
制御装置２０は、制御系の主要部となる制御部８４と、液滴吐出ヘッド４０nを吐出駆動させるヘッドドライバ８６と、テーブル移動機構１２、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８を駆動するモータドライバ８８とインターフェース９６とを備えている。
【００５３】
制御部８４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）９０、メモリ部９２、およびハードディスク９４を備えている。
ＣＰＵ９０は、描画処理等の各種処理を実行する。メモリ部９２は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read-Only Memory）などを含んだ構成を有している。ＲＡＭは、ホストコンピュータ９３からインターフェース９６を介して入力される描画データを格納したり、ＣＰＵ９０によって実行される描画処理等のプログラムを一時的に展開したり、各種データを一時的に格納したりする。
【００５４】
ここで、描画データは、液状体で基板Ｂに描画すべきパターンを指示するものであり、描画すべきパターンがビットマップ状に表現されている。なお、描画データは、ホストコンピュータ９３によって生成され、ホストコンピュータ９３からインターフェース９６を介して制御部８４に入力される。
ＲＯＭは、例えば不揮発性半導体メモリで構成され、各液滴吐出ヘッド４０nの駆動周波数を制御する吐出制御プログラムの他、ＣＰＵ９０が実行する各種のプログラムが格納されている。
【００５５】
ハードディスク９４には、キャリッジ１４iのそれぞれの移動、すなわちキャリッジ移動工程を制御するキャリッジ移動プログラム１１０と、液滴吐出ヘッド４０nの吐出状態を管理する吐出管理プログラム１１２と、がインストールされている。
【００５６】
吐出管理プログラム１１２は、上記の液滴吐出ヘッド４０nの駆動周波数により各液滴吐出ヘッド４０nの累積ショット数をカウントして液量検出機構としても機能するショット数プログラムと、各液滴吐出ヘッド４０nの累積使用時間をカウントする使用時間プログラムと、各液滴吐出ヘッド４０nの累積ショット数および累積使用時間のカウント値、および重量測定装置６６から送られる測定値を保持する管理データ領域と、を備えている。管理データ領域は、キャリッジ１４i毎に区分されており、これらカウント値および測定値がキャリッジ１４i毎に管理できるようになっている。各タンク６２kの測定値は、重量測定装置６６から送られる新たな測定値により常時更新される。
【００５７】
ヘッドドライバ８６は、ＣＰＵ９０からの指令に基づいて、キャリッジ１４iの各液滴吐出ヘッド４０nを個別に制御する。モータドライバ８８は、ＣＰＵ９０からの指令に基づいて、テーブル移動機構１２、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８のそれぞれのモータを個別に制御する。
【００５８】
インターフェース９６は、ホストコンピュータ９３から受け取った描画データを制御部８４に出力したり、制御部８４から受け取った各種情報をホストコンピュータ９３に出力したりする。
【００５９】
そして、基板Ｂに描画を開始する際には、ＣＰＵ９０は、吐出管理プログラム１１２を起動し、管理データに基づいてキャリッジ１４i毎に搭載されたタンク６２kの液状体の残量Ｔを確認する。次いで、ＣＰＵ９０は、上記の吐出管理プログラム１１２の結果をホストコンピュータ９３から送られた描画パターンに照らして、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８より、描画に適したキャリッジ１４iを選択し、それぞれ適切な位置に移動させる。
【００６０】
（液滴吐出装置の描画制御方法について）
次に、本実施形態の液滴吐出装置の描画制御方法について、図７および図８を参照して説明する。図７は、液滴吐出装置の描画の流れを説明する図である。図８は、キャリッジの初期配置を示す図である。
【００６１】
この描画制御方法は、各キャリッジ１４iを、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８により、描画エリアにおいて、描画パターンとキャリッジ１４iに搭載されたタンク６２kに収容される液状体の収容量とに基づいて選択的に移動させ描画することにより、それぞれのキャリッジ１４iに搭載されたタンク６２kに収納される液状体の使用量のばらつきを低減して、新旧の液状体が混在することを低減させるように液滴吐出装置１００を制御するものである。なお、液滴吐出ヘッド４０nから供給される液状体の供給量は、タンク６２kに収容される液状体の収容量から算出される。この作業は、ホストコンピュータ９３から制御部８４に描画指令が入力されると、ＣＰＵ９０によって開始される。
【００６２】
ステップＳ１の第１のキャリッジ移動配置工程において、液滴吐出装置１００の８個のキャリッジ１４iを、被吐出対象である基板Ｂとその基板Ｂへの描画パターンに応じて、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８により、それぞれの初期位置に移動させ配置する。
本実施形態では、図８に示すように、基板Ｂの被吐出領域Ｒをキャリッジ１４iの配設方向（Ｙ方向）に沿って８個に分割し、中央の４／８領域には第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8を配置する。基板Ｂの搬送方向から見て、Ｙ方向（＋）側の２／８領域には第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４3，１４4を、Ｙ方向（−）側の２／８領域には第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1，１４2を配置する。
【００６３】
このように配置することにより、８個のキャリッジ１４1〜１４8全体として形成される描画ラインは、被吐出対象である基板Ｂの被吐出領域ＲのＹ方向の幅を覆うことができる。このとき、キャリッジ１４1〜１４8に搭載されるタンク６２1〜６２8は、吐出される液状体がフル充填されている。なお、タンク６２kに収納される液状体は、収容量が空の状態を０とし満液の状態を１０としたときの、０から１０までの１０段階の数字で示される。図８中キャリッジ１４i上に示される数字は、液状体の残量Ｔを示す。
【００６４】
ステップＳ２の基板搬入工程において、基板Ｂが、図示しない移載ロボットにより図８中Ｘ方向（−）側から液滴吐出装置１００に搬入され、テーブル１０の載置面１０Ａに、例えば、真空吸着により吸着され載置される。
【００６５】
ステップＳ３は、描画工程と液量管理工程から構成されており、描画工程において、基板Ｂへの描画作業が実施される。テーブル１０に載置された基板Ｂを、テーブル移動機構１２により図８中Ｘ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
液量管理工程においては、制御部８４で、液滴吐出ヘッド４０nの使用状態（累積ショット数）および各キャリッジ１４iに搭載されたタンク６２kに収容される液状体の重量が、リアルタイムで管理されている。
【００６６】
すなわち、前述の吐出管理プログラム１１２は、液滴吐出装置１００の稼動中に常時稼動しており、基板Ｂへの描画作業の進行に伴い、各液滴吐出ヘッド４０nの累積吐出回数等、種々の管理データを逐次更新している。また、例えば、メンテナンス部２４に臨むキャリッジ１４iの各液滴吐出ヘッド４０nが、吸引ユニットにフラッシング（捨て吐出）をした場合、または吸引機構によるノズル吸引を行った場合には、これらの処理がショット数に換算され、換算値を付加した累積ショット数のカウント値が、管理データ領域で保持される。
さらに、検出部８２では、各タンク６２kに設けられた重量測定装置６６により、タンク６２kの重量を所定の期間毎に測定しており、この測定値を随時制御装置２０に送るようにしている。この測定値は、管理データ領域で保持される。
【００６７】
また、このとき、各キャリッジ１４iに設けられたそれぞれのタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔを求める。タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔは、上述の制御部８４の管理データ領域に保持された累積ショット数のカウント値およびタンク６２kの重量測定値により求められる。
液滴吐出ヘッド４０nの累積ショット数からタンク６２kに収納される液状体の残量Ｔを求める場合は、液滴吐出装置１００に搭載された図示しない吐出重量測定装置により、各液滴吐出ヘッド４０nから吐出されるノズル５８毎の液滴吐出量を計測し、このノズル５８毎の液滴吐出量に累積ショット数を乗じて液状体の使用量を求める。そして、初期に充填された液状体の重量から使用量を減算してタンク６２k内部の液状体の重量（液状体残量）を求める。
【００６８】
タンク６２kの重量測定値からタンク６２kに収納される液状体の残量Ｔを求める場合は、計測した重量からタンク６２kの重量を減算することで、タンク６２k内部の液状体の重量を測定している。
このようにして、１枚の基板Ｂへの描画が終了し、ステップＳ４に移行する。
【００６９】
ステップＳ４のキャリッジ選定工程において、移動させるキャリッジ１４iを選定する。この選定は、複数のキャリッジ１４i間でタンク６２kの液状体の収容量が平均化するように、ステップＳ３の液量管理工程で求めた各キャリッジ１４iの液状体の残量Ｔと描画パターンとに基づいて行う。
【００７０】
そしてステップＳ５の第２のキャリッジ移動配置工程において、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８により、液状体の残量Ｔの少ないキャリッジ１４iを吐出頻度の低い吐出領域に移動し、液状体の残量Ｔの多いキャリッジ１４iを吐出頻度の高い吐出領域に移動させ配置する。
このキャリッジ１４iの選定および移動配置によるキャリッジ１４i間でキャリッジ１４iに搭載された液滴吐出ヘッド４０nからの液状体の供給量を略同じにすること、すなわち、キャリッジ１４i間ごとに収容される液状体の収容量の平均化の詳細については、後述する。
【００７１】
ステップＳ６において、次に描画する基板Ｂがあるか否かを判定し、基板Ｂがないと（ＮＯ）と判定されると、液滴吐出装置１００の描画作業は終了する。次の描画する基板Ｂがある（ＹＥＳ）と判定されると、ステップＳ２に移行し、新たな基板Ｂが搬入され描画作業を繰り返す。
【００７２】
（キャリッジ間の液状体の収容量の平均化について）
キャリッジ間の液状体の収容量の平均化について、図９を参照して説明する。図９（ａ）〜（ｃ）は、テーブル１０の上面に搭載された基板Ｂとキャリッジ１４iとの位置関係を説明する図である。なお、図中キャリッジ１４iに記載された数字は、前述のタンク６２kに収容されている液状体の残量Ｔを示す０から１０までの１０段階の数字である。
【００７３】
基板Ｂの被吐出領域Ｒは、液状体が吐出されるキャリッジ１４iの液状体の吐出幅Ｍm（ｍは１から８の自然数）に対応して、８つの被吐出領域Ｒr（ｒは１から８の自然数）が構成される。すなわち、キャリッジ１４1により吐出される被吐出領域をＲ1、キャリッジ１４2により吐出される領域をＲ2、以下同様に、キャリッジ１４8により吐出される領域をＲ8とする。被吐出領域Ｒrの描画パターンにより液滴吐出ヘッド４０nから吐出される液状体の量が異なり、タンク６２kに収容されている液状体の残量Ｔに差が生ずる。液滴吐出装置１００は、既に所定枚数の基板Ｂに描画作業を行っており、タンク６２kに収容されている液状体の残量Ｔは差が生じている。この差は、吐出管理プログラム１１２により管理されている。
【００７４】
本実施形態では、所定枚数の基板Ｂの描画作業が終了した時点で、図９（ａ）に示すように、キャリッジ１４1〜１４8に搭載されるタンク６２1〜６２8の残量Ｔが、１０段階で８，７，７，８，６，７，７，６である場合を例にとり説明する。この場合は、上記所定の枚数の基板Ｂを描画する場合、被吐出領域Ｒ1〜Ｒ8での液状体の使用量は、１０段階で２，３，３，２，４，３，３，４となる。
そのため、残量Ｔの多いキャリッジ１４i、残量Ｔの少ないキャリッジ１４iを選択して、液状体の使用量の少ない被吐出領域Ｒr、使用量の多い被吐出領域Ｒrに移動する。
【００７５】
具体的には、図９（ｂ）に示すように、第１のキャリッジ移動機構１６に搭載されたキャリッジ１４1〜１４4を、基板ＢのＹ方向中央に集めるようにそれぞれ移動させ、被吐出領域Ｒ5〜Ｒ8に対向させる。第２のキャリッジ移動機構１８に搭載されたキャリッジ１４5，１４6を、Ｙ方向（−）側に移動させ、被吐出領域Ｒ1，Ｒ2に対向させる。第２のキャリッジ移動機構１８に搭載されたキャリッジ１４7，１４8を、Ｙ方向（＋）側に移動させ、被吐出領域Ｒ3，Ｒ4に対向させる。
【００７６】
その後、基板Ｂの描画作業を実施する。上記と同様の枚数の基板Ｂを描画するのに使用される液状体の使用量は、被吐出領域Ｒ1〜Ｒ8で、１０段階で２，３，３，２，４，３，３，４となる。そのため、図９（ｃ）に示すように、上記と同様の枚数の基板Ｂの描画作業が終了した時点では、キャリッジ１４1〜１４8に搭載されるタンク６２1〜６２8の残量Ｔは、１０段階ですべて４となる。
【００７７】
上述の選定および配置方法は１例であって、これに限定されない。キャリッジ１４iに搭載されるタンク６２kの液状体の収容量と被吐出領域Ｒrへの描画パターンとによって、無限な組合せがある。すなわち、本実施形態では、第１のキャリッジ移動機構１６に配置されたキャリッジ１４1〜１４4とおよび第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8が、それぞれ移動機構毎に接し列を構成しているが、これに限定されない。例えば、それぞれのキャリッジ１４iが１つおきに配置されていてもよいし、一部のキャリッジ１４iが接し、その他のキャリッジ１４iは分離していてもよい。キャリッジ１４iに搭載されるタンク６２kの液状体の収容量と被吐出領域Ｒrへの描画パターンとによって、配置されればよい。
【００７８】
以下、実施形態の効果を記載する。
【００７９】
（１）上述の液滴吐出装置１００は、基板Ｂへの描画作業において、吐出管理プログラム１１２および重量測定装置６６によって、キャリッジに１４iに搭載されたタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔを、キャリッジ１４i毎に管理することができる。換言すると、キャリッジ１４i間でキャリッジ１４iに搭載された液滴吐出ヘッド４０nからの液状体の供給量を管理することができる。そして、基板Ｂに描画するパターンの種類およびタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔに基づいて、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８によって、液状体の残量Ｔの多いキャリッジ１４iを吐出頻度の高い被吐出領域に移動配置し、液状体の収容量の少ないキャリッジ１４iを吐出頻度の低い被吐出領域に移動配置させ、描画作業を実施することができる。
【００８０】
これにより、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔに関して、キャリッジ１４i間のばらつきを低減することができる。そのため、新の液状体の補充時期の違いを低減させることができ、キャリッジ１４i間で新旧の液状体が混在することを低減させることができる。その結果、１つの基板Ｂ上で旧の液状体によって描画された部分と新の液状体によって描画された部分とができることを防止でき、描画品質のばらつきを低減させることができる。
【００８１】
（２）本実施形態では、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔのキャリッジ１４i間のばらつきを低減することができる。そのため、タンク６２kを交換するタイプの液滴吐出装置１００にあっては、タンク６２kの交換時期を同じくすることができる。そのため、タンク６２kの交換に要するトータルの時間を低減することができ生産効率の向上が図れる。
【００８２】
（３）従来の液滴吐出装置では、新旧の液状体が混在を防ぐため、キャリッジ１４iのタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔをそれぞれ等しくするべく、メンテナンス部２４の吸引ユニットにおいて、液状体の残量Ｔの多いキャリッジ１４iの液状体を吸引し廃棄していた。上述の液滴吐出装置１００では、キャリッジ１４iのタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔのばらつきを低減することができるため、吸引され廃棄される液状体を低減させることができる。
液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置等の表示装置の製造に用いられる液状体は、特殊な液状体であり非常に高価なものである。従って、表示装置の製造コストの低減に寄与することができる。
【００８３】
（４）本実施形態では、キャリッジ１４iおよびキャリッジ１４iに搭載させる液滴吐出ヘッド４０nの使用頻度のばらつきを低減させることができる。そのため、キャリッジ１４iおよび液滴吐出ヘッド４０nの交換のタイミングを合わせることができ、交換に要するトータルの時間を低減することができる。従って、メンテナンスの効率化に寄与できる。
【００８４】
（５）本実施形態では、キャリッジ１４iの使用頻度の偏りを防止することができ、キャリッジ１４iの寿命を延ばすことが可能になる。従って、液滴吐出装置１００の信頼性向上に寄与できる。
【００８５】
なお、上述した実施形態に限定されず、種々の変形や改良を加えて実施することが可能である。変形例を以下に述べる。なお、これら変形例においては、上述の実施形態と同じ構成部材についてはその符号を等しくし、その詳細な説明を省略する。
【００８６】
（変形例１）上記実施形態では、１枚の基板Ｂの被吐出領域Ｒに、液滴吐出装置１００から液滴を吐出して描画することを例にとり説明したが、これに限定されない。変形例１を示す図である図１０に示すように、それぞれ被吐出領域Ｑを有する複数の基板Ｃに液状体が吐出して、それぞれに描画してもよい。本変形例１では、テーブル１０のＸ方向に所定の間隔をおいて３枚、Ｙ方向に所定の間隔をおいて３枚、計９枚の基板Ｑが載置された場合を例にとり説明する。なお、図１０では、一部省略している。
【００８７】
図１０（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００は、Ｙ方向中央に第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1〜１４4を配置し、Ｙ方向（＋）側に第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４7，１４8を、Ｙ方向（−）側には第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5，１４6を配置する。そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｃを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
【００８８】
この場合、キャリッジ１４1，１４4の吐出領域は、基板Ｃを配置した時の隙間を含み、キャリッジ１４2，１４3，１４5〜１４8は、基板Ｃの被吐出領域Ｑに液状体を吐出する。そのため、キャリッジ１４1，１４4は、液状体の使用量が少なく、タンク６２1，６２4に収容される液状体の残量Ｔは、他のタンク６２2，６２3，６２5〜６２8より隙間分だけ多くなる。
【００８９】
次の描画作業を行う場合は、図１０（ｂ）に示すように、キャリッジ１４1，１４7をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅分移動させ、キャリッジ１４4，１４6をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅分移動させる。そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｃを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
【００９０】
この場合、キャリッジ１４6，１４7の吐出領域は、基板Ｃを配置した時の隙間を含み、キャリッジ１４1〜１４5，１４8は、基板Ｃの被吐出領域Ｑに液状体を吐出する。そのため、キャリッジ１４6，１４7は、液状体の使用量が隙間分少なくなる。その結果、２回の描画作業によって、タンク６２1，６２4，６２6，６２7に収容される液状体の残量Ｔは、タンク６２2，６２3，６２5，６２8より隙間分だけ多くなる。
【００９１】
次の描画作業を行う場合は、図１０（ｃ）に示すように、キャリッジ１４2，１４7をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅分移動させ、キャリッジ１４3，１４6をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅分移動させる。そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｃを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
【００９２】
この場合、キャリッジ１４2，１４3の吐出領域は、基板Ｃを配置した時の隙間を含み、キャリッジ１４1，１４4〜１４8は、基板Ｃの被吐出領域Ｑに液状体を吐出する。そのため、キャリッジ１４2，１４3は、液状体の使用量が隙間分少なくなる。その結果、３回の描画作業によって、タンク６２1〜６２4，６２6，６２7に収容される液状体の残量Ｔは、タンク６２5，６２8より隙間分だけ多くなる。
【００９３】
次の描画作業を行う場合は、図１０（ｄ）に示すように、キャリッジ１４1，１４2をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅分移動させ、キャリッジ１４3，１４4をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅分移動させる。また、キャリッジ１４8をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅２つ分移動させ、キャリッジ１４5をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅２つ分移動させる。そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｃを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
【００９４】
この場合、キャリッジ１４5，１４8の吐出領域は、基板Ｃを配置した時の隙間を含み、キャリッジ１４1〜１４4，１４6，１４7は、基板Ｃの被吐出領域Ｑに液状体を吐出する。そのため、キャリッジ１４5，１４8は、液状体の使用量が隙間分少なくなる。その結果、４回の描画作業によって、タンク６２1〜６２8に収容される液状体の残量Ｔは、すべてほぼ同一になり、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔは平均化される。
【００９５】
このような複数の基板Ｃをテーブル１０に載置した描画作業においても、上記実施形態と同様な効果を奏することができる。なお、この基板Ｃの枚数、キャリッジ１４iの選定配置方法は１例であって、これに限定されない。基板Ｃの枚数、大きさ、配置および被吐出領域Ｑへの描画パターンによって、無限な組合せがある。
また、本変形例１は、９枚の基板Ｃを配置した場合を例にとり説明したが、これに限定されない。１枚の大型基板に複数の被吐出領域Ｑを設け、描画作業後に分割するいわゆる多数個取りにも対応可能である。
【００９６】
（変形例２）上記実施形態では、基板ＢのＹ方向の被吐出領域Ｒの幅と、複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅が略同等な場合を例にとり説明したが、これに限定されない。基板ＢのＹ方向の被吐出領域Ｒの幅が、複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅より狭くてもよい。本変形例２では、複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅の半分の幅を有する基板Ｄに対して描画する場合を例にとり説明する。
【００９７】
変形例２を示す図である図１１（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００は、Ｙ方向中央に第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8を配置し、Ｙ方向（＋）側に第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４3，１４4を、Ｙ方向（−）側には第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1，１４2を配置する。また、基板Ｄは、テーブル１０のＹ方向中央に載置される。このように配置することにより、基板Ｄは、キャリッジ１４5〜１４8が構成する吐出幅に収まる。
【００９８】
そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｄを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４5〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。このとき、キャリッジ１４1〜１４4は、液状体を吐出しない。そのため、キャリッジ１４1〜１４4に搭載されるタンク６２1〜６２4は液状体がフル充填のままであり、キャリッジ１４5〜１４8に搭載されるタンク６２5〜６２8は液状体が描画作業１回分だけ使用されている。
【００９９】
次の描画作業を行う場合は、図１１（ｂ）に示すように、キャリッジ１４1，１４2，１４7，１４8をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅２つ分移動させ、キャリッジ１４3，１４4，１４5，１４6をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅２つ分移動させる。そして、テーブル１０に載置された基板Ｄを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４4に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。このとき、キャリッジ１４5〜１４8は、液状体を吐出しない。
【０１００】
そのため、キャリッジ１４1〜１４4に搭載されるタンク６２1〜６２4は、液状体が描画作業１回分だけ使用されている。キャリッジ１４5〜１４8に搭載されるタンク６２5〜６２8は、すでに液状体が描画作業１回分だけ使用されている。その結果、２回の描画作業によって、タンク６２1〜６２8に収容される液状体の残量Ｔは、すべてほぼ同一になり、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔは平均化される。
【０１０１】
このようなＹ方向の被吐出領域Ｓの幅が、複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅より狭い基板Ｄへの描画作業においても、上記実施形態と同様な効果を奏することができる。なお、この基板Ｄのサイズ、キャリッジ１４iの選定配置方法は１例であって、これに限定されない。基板Ｄのサイズおよび被吐出領域Ｓへの描画パターンによって、無限な組合せがある。
【０１０２】
（変形例３）上記実施形態では、キャリッジ１４iがＸ方向に重ならないように配置した場合を例にとり説明したが、これに限定されない。変形例３を示す図である図１２（ａ），（ｂ）に示すように、一部もしくはすべてのキャリッジ１４iがＸ方向で重複してもかまわない。
【０１０３】
まず、基板Ｅのサイズが複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅より狭く、被吐出領域Ｕに液状体を多く吐出する必要がある場合について説明する。液滴吐出装置１００は、図１２（ａ）に示すように、テーブル１０のＹ方向中央に第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1〜１４4および第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8を配置する。また、テーブル１０のＹ方向中央には基板Ｅが載置される。
【０１０４】
このように配置することにより、基板Ｅの被吐出領域Ｕは、キャリッジ１４1〜１４4とキャリッジ１４5〜１４8とが並列して構成する吐出幅内に収まる。そして、テーブル１０に載置された基板Ｅを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、基板Ｅ上に所定のパターンを描画する。
【０１０５】
この場合、１枚の基板Ｅに対して、１回のテーブル１０の移動により、キャリッジ１４1〜１４4もしくはキャリッジ１４5〜１４8だけで描画する場合に比較して、同一領域に２倍の吐出を行うことができる。そのため、描画時間を短縮することが可能になり、製造効率の向上を図ることができる。また、打ち込み密度を上げて、高精細な画像表示装置を製造することが可能になる。
【０１０６】
次いで、基板Ｆの被吐出領域Ｖの一部の領域に液状体を多く吐出する必要がある場合、例えば、基板Ｆの被吐出領域Ｖを６つの被吐出領域Ｖv（ｖは１から６の自然数）に分割して被吐出領域Ｖ3，Ｖ5に液状体を多く吐出する必要がある場合について説明する。
【０１０７】
液滴吐出装置１００は、図１２（ｂ）に示すように、テーブル１０のＹ方向中央に第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8を並べて配置し、第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1，１４4を、Ｙ方向において、キャリッジ１４5，１４8の両側にそれぞれ配置する。このように配置することによって、基板Ｆの被吐出領域Ｖ1〜Ｖ6は、キャリッジ１４iの全吐出幅に覆われる。さらに、第１のキャリッジ移動機構１６により、キャリッジ１４2を被吐出領域Ｖ3にキャリッジ１４3を被吐出領域Ｖ5に配置する。そして、テーブル１０に載置された基板Ｆを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、基板Ｆ上に所定のパターンを描画する。
【０１０８】
被吐出領域Ｖ3，Ｖ5には、他の被吐出領域ＶVより液状体を多く吐出する必要があるため、キャリッジ１４1，１４4，１４5〜１４8からはほぼ同一量の液状体を吐出して、被吐出領域Ｖ3，Ｖ5に対する液状体の不足分は、キャリッジ１４2，１４3から吐出される液状体で補填される。なお、キャリッジ１４2，１４3は、基板Ｆの被吐出領域Ｖ2〜Ｖ5間を第１のキャリッジ移動機構１６により移動可能になっており、被吐出領域Ｖ2〜Ｖ5間の任意の位置で液状体を吐出することができる。
【０１０９】
そのため、キャリッジ１４2，１４3に搭載されるタンク６２2，６２3に収容される液状体の残量を他のタンク６２kと同じになるように調整することができる。従って、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔに関して、キャリッジ１４i間のばらつきを低減することができるとともに、さまざまな描画パターンに対応することが可能にある。
【０１１０】
本変形例３では、キャリッジ１４1，１４4，１４5〜１４8からはほぼ同一量の液状体を吐出する場合を例に説明したがこれに限定されない。例えば、液状体を補填するキャリッジ１４2，１４3とＸ方向で重複するキャリッジ１４iとの間で液状体の吐出量を調整してもよい。このようにすることにより、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔのばらつきの低減方法およびさまざまな描画パターンに対応する組合せの自由度が増加することができる。
【０１１１】
上述の実施形態では、キャリッジ１４iが８個設けられており、４個のキャリッジ１４は第１のキャリッジ移動機構１６に、残りの４個のキャリッジ１４は第２のキャリッジ移動機構１８に割り当てられ配置されている場合を例にとり説明したが、これに限定されない。キャリッジ１４iは、描画される基板の大きさ、描画パターン、液状体の打ち込み密度によって、数を増やすことも減ずることも可能である。また、キャリッジ移動機構も描画される基板の大きさ、描画パターン、液状体の打ち込み密度によって、数を増やすことが可能である。キャリッジ１４iおよびキャリッジ移動機構の数を増やすことにより、基板への描画作業の高速化、高密度化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す正面図。
【図３】液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は底面側から見た斜視図、（ｂ）は底面図。
【図４】キャリッジの底面図。
【図５】キャリッジに搭載されたタンクを説明する図。
【図６】液滴吐出装置の主要構成を示すブロック図。
【図７】液滴吐出装置の描画の流れを説明する図。
【図８】キャリッジの初期配置を示す図。
【図９】基板とキャリッジとの位置関係を説明する図。
【図１０】変形例１を示す図。
【図１１】変形例２を示す図。
【図１２】変形例３を示す図。
【符号の説明】
【０１１３】
１０…テーブル、１２…テーブル移動機構、１４，１４i…キャリッジ、１６…第１のキャリッジ移動機構、１８…第２のキャリッジ移動機構、２０…制御装置、４０，４０n…液滴吐出ヘッド、５８…ノズル、６２，６２k…液状体収容容器としてのタンク、６６…重量測定装置、８０…描画部、８２…検出部、８４…制御部、８６…ヘッドドライバ、８８…モータドライバ、１００…液滴吐出装置、１１０…キャリッジ移動プログラム、１１２…吐出管理プログラム、Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ…基板。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を液滴吐出ヘッドを搭載した複数のキャリッジに対して移動させながら、基板上に液状体を吐出して描画を行う液滴吐出装置および液滴吐出装置の描画制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜などの分野に液滴吐出装置が利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから液状体を液滴として吐出することにより、基板等からなるワーク上に液状体からなるパターンの描画を行う。
【０００３】
近年、表示装置は大型化が進んでおり、それに伴い表示装置に用いられるワークも大型化が進んでいる。そのため、ワークに対して効率よくパターンの描画を行うことが重要になってきている。ワークに液状体を吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置として、複数の液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジを描画エリアに１列に配置して、キャリッジが配置された方向と直交する方向に、ワークを移動させてパターンの描画を行う液滴吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２５４７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述のような液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドに供給する液状体を収容するタンクを、キャリッジ毎に搭載したいわゆるオンキャリッジタイプがある。このようなオンキャリッジタイプの液滴吐出装置は、描画パターンがキャリッジによって異なると、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の使用量に差が生じ、同じくキャリッジに搭載されたタンク内の液状体の収容量に差が生じてしまう。タンクに収容された液状体の収容量に差が生ずると、一部のタンクのみ液状体の収容量が先に減じてしまう。先に液状体が減じたタンクには新の液状体が供給される。
【０００６】
そのため、液滴吐出装置において、キャリッジ間で新旧の液状体が混在することになる。その結果、１つのワーク上で旧の液状体によって描画された部分と新の液状体によって描画された部分とができてしまう。液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等に用いられる液状体は、特殊な液状体であり、経時的に粘度等の物性が変化してしまったり、ロット毎に液状体の物性が異なったりする。このような物性の異なる液状体によって、パターンが描画されると、描画品質がばらつく惧れがある。描画品質がばらつくと、製造される表示装置の画像品質が低下してしまうという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（適用例１）液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジとを備え、被吐出対象である基板を複数の前記キャリッジに対して移動させ、前記基板上に前記液状体を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記キャリッジに搭載される前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状体の供給量を、前記キャリッジ毎に検出する液量検出手段と、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に並列して設けられるとともに、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に個別に移動させ保持する複数のキャリッジ移動機構と、を有し、前記液量検出手段が検出した前記液状体の前記供給量に基づいて、複数の前記キャリッジ間で前記液状体の前記供給量を略同じにするように、前記キャリッジを移動させ配置することを特徴とする液滴吐出装置。
【０００９】
（適用例２）前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記液状体を収容する液状体収容容器を備えていることを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００１０】
これらの構成によれば、複数のキャリッジ移動機構によって移動され保持された複数のキャリッジを基板に対向させて、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して基板上にパターンを描画する。このとき、液量検出機構によって、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量を、キャリッジ毎に検出することができる。そして、複数のキャリッジ移動機構によって、液状体の供給量の多いキャリッジを吐出頻度の低い被吐出領域に移動し、液状体の供給量の少ないキャリッジを吐出頻度の高い被吐出領域に移動させ、描画作業を実施することができる。
【００１１】
これにより、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量において、キャリッジ間の差を低減することができる。また、キャリッジに備えられた液状体収容容器に収容される液状体の残量において、キャリッジ間の差を低減することができる。そのため、キャリッジに備えられた液状体収容容器において、新の液状体の補充時期もしくは液状体収容容器の交換時期のばらつきを低減させることができ、キャリッジ間で新旧の液状体が混在することを低減させることが可能になる。その結果、１つの基板上で旧の液状体によって描画された部分と新の液状体によって描画された部分とができることを防止でき、描画品質のばらつきを低減させることができる。
【００１２】
（適用例３）前記液量検出手段は、前記液状体収容容器内に収容される前記液状体の残重量を測定する重量測定装置を含み、前記重量測定装置で測定された前記液状体の残重量に基づいて、前記液状体の供給量を検出することを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００１３】
この構成によれば、液状体収容容器毎の液状体の残重量を重量測定装置で測定することができる。そのため、液状体収容容器に収容される液状体の収容量を知ることができ、液状体の供給量を正確に検出することができる。
【００１４】
（適用例４）前記液量検出手段は、前記液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で前記液状体収容容器から供給される前記液状体の供給量を検出することを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００１５】
この構成によれば、キャリッジ毎の液状体の供給量を、同じくキャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で知ることができる。そのため、測定装置が不要になり、装置の小型化が図られる。
【００１６】
（適用例５）前記キャリッジは、搭載された前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出幅が想定されており、前記複数のキャリッジが、前記複数のキャリッジ移動機構により、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に各々移動され配置されることによって、配置された複数のキャリッジが構成するトータルの吐出幅は、少なくとも、前記基板の被吐出領域の幅を覆う長さを有することを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００１７】
この構成によれば、基板の被吐出領域の幅を、複数のキャリッジが複数のキャリッジ移動機構により移動配置されて構成するトータルの吐出幅で覆うことができる。そのため、液状体収容容器に収容される液状体の残重量によって任意の被吐出領域に移動配置させて、基板を、複数のキャリッジが配置された方向とは直交する方向に移動させながら、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出し、基板にパターンを描画することができる。その結果、キャリッジ間の液状体収容容器に収容される液状体の残量の差を低減することができるとともに、様々な描画パターンへの対応および描画時間の短縮が可能になる。
【００１８】
（適用例６）液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジとを備え、被吐出対象である基板を複数の前記キャリッジに対して移動させ、前記基板上に前記液状体を吐出して描画する液滴吐出装置の描画制御方法であって、前記キャリッジに搭載される前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状体の供給量を、前記キャリッジ毎に検出する液量検出工程と、検出された前記キャリッジ毎の前記液状体の前記供給量に基づいて、複数の前記キャリッジ間で供給される前記液状体の前記供給量を略同じにするように、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に複数の列状に、移動させ配置するキャリッジ移動工程と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の描画制御方法。
【００１９】
（適用例７）前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記液状体を収容する液状体収容容器を備えていることを特徴とする上記の液滴吐出装置の描画制御方法。
【００２０】
これらの方法によれば、キャリッジ移動工程により、複数のキャリッジを複数の列状に配置して、対向する基板を当該列と略直交する方向に移動させながら、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して基板上にパターンを描画することができる。このとき、液量検出工程において、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量を、キャリッジ毎に検出することができる。そして、複数のキャリッジ移動機構によって、液状体の供給量の多いキャリッジを吐出頻度の低い被吐出領域に移動し、液状体の供給量の少ないキャリッジを吐出頻度の高い被吐出領域に移動させ、描画作業を実施することができる。
【００２１】
これにより、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドに供給される液状体の供給量において、キャリッジ間の差を低減することができる。また、キャリッジに備えられた液状体収容容器に収容される液状体の残量において、キャリッジ間の差を低減することができる。そのため、キャリッジに備えられた液状体収容容器において、新の液状体の補充時期もしくは液状体収容容器の交換時期のばらつきを低減させることができ、キャリッジ間で新旧の液状体が混在することを低減させることが可能になる。その結果、１つの基板上で旧の液状体によって描画された部分と新の液状体によって描画された部分とができることを防止でき、描画品質のばらつきを低減させることができる。
【００２２】
（適用例８）前記液量検出工程は、前記液状体収容容器内に収容される前記液状体の残重量を測定する重量測定工程をさらに有し、前記重量測定工程で測定された前記液状体の残重量に基づいて、前記液状体の供給量を検出することを特徴とする上記の液滴吐出装置の描画制御方法。
【００２３】
この方法によれば、液状体収容容器毎の液状体の残重量を重量測定装置で測定することができる。そのため、液状体収容容器に収容される液状体の収容量を知ることができ、液状体の供給量を正確に検出することができる。
【００２４】
（適用例９）前記液量検出工程は、前記液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で前記液状体収容容器から供給される前記液状体の供給量を検出することを特徴とする上記の液滴吐出装置の描画制御方法。
【００２５】
この方法によれば、キャリッジ毎の液状体の供給量を、同じくキャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で知ることができる。そのため、測定装置が不要になり、装置の小型化が図られるとともに、液滴吐出ヘッドからの液状体の供給量を正確に検出することができる。
【００２６】
（適用例１０）前記キャリッジは、搭載された前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液状体の吐出幅が想定されており、前記キャリッジ移動工程は、複数の前記キャリッジが構成するトータルの吐出幅が、少なくとも、前記基板の被吐出領域の幅を覆うように、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に各々移動させ配置することを特徴とする上記の液滴吐出装置の描画制御方法。
【００２７】
この方法によれば、基板の被吐出領域の幅を、複数のキャリッジが複数のキャリッジ移動機構により移動配置されて構成するトータルの吐出幅で覆うことができる。そのため、液状体収容容器に収容される液状体の残重量によって任意の被吐出領域に移動配置させて、基板を、複数のキャリッジが配置された方向とは直交する方向に移動させながら、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出し、基板にパターンを描画することができる。その結果、キャリッジ間の液状体収容容器に収容される液状体の残量の差を低減することができるとともに、様々な描画パターンへの対応および描画時間の短縮が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、実施形態を図面に基づいて説明する。以下の説明で参照する図面では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００２９】
（液滴吐出装置の全体構成について）
まず、本実施形態における液滴吐出装置を、図１および図２を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す平面図であり、図２は液滴吐出装置の概略構成を示す正面図である。なお、図１および図２中のＸ方向はテーブルの移動方向を示し、Ｙ方向は複数のキャリッジの移動方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
この液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３０】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１００は、テーブル１０と、テーブル移動機構１２と、複数のキャリッジ１４と、第１のキャリッジ移動機構１６と、第２のキャリッジ移動機構１８と、制御装置２０と、メンテナンス部２４と、基台２２とを備えている。
基台２２は、例えば、平板状の石材などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Ｙ方向に一定の幅を有し、Ｘ方向に沿って延びるように４本の脚部２６に支持されている。また、基台２２のＺ方向の下部には、制御装置２０が設けられている。
【００３１】
テーブル移動機構１２は、テーブル１０と、２つのリニアモータ３０とを有している。 ２つのリニアモータ３０は、基台２２のＺ方向上面にＸ方向に沿って平行に配置されている。テーブル１０は、平板状の部材であり、Ｚ方向上面に基板Ｂを着脱可能に保持する載置面１０Ａを有している。テーブル１０は、基台２２に配置された２つのリニアモータ３０の上方に配設されている。
【００３２】
リニアモータ３０は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は基台２２に、可動子はテーブル１０に設けられている。テーブル移動機構１２は、制御装置２０からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０をＸ方向に往復移動させることができる。
【００３３】
図１および図２に示すように、第１のキャリッジ移動機構１６は、２つのリニアモータ３２と、４本の支柱３４とを備えている。リニアモータ３２のそれぞれは、テーブル移動機構１２に配置されたテーブル１０に対してＺ方向に空間を有する状態で、テーブル移動機構１２のリニアモータ３０と直交するようにＹ方向に延びて２本の支柱３４に支持され、互いに平行に配設されている。
【００３４】
第２のキャリッジ移動機構１８は、２つのリニアモータ３６と、４本の支柱３８とを備えている。リニアモータ３６のそれぞれは、テーブル移動機構１２に配置されたテーブル１０に対してＺ方向に空間を有する状態でＹ方向に延びるように、２本の支柱３８に支持され互いに平行に配設されている。第２のキャリッジ移動機構１８は、第１のキャリッジ移動機構１６に対して、Ｘ方向に一定の間隔を有し、平行に配設されている。
【００３５】
キャリッジ１４は、本実施形態においては、８個設けられており、４個のキャリッジ１４は第１のキャリッジ移動機構１６に、残りの４個のキャリッジ１４は第２のキャリッジ移動機構１８に割り当てられ配置されている。以降、説明を分かりやすくするため、キャリッジ１４は、キャリッジ１４i（ｉは１から８の自然数）と表し、第１のキャリッジ移動機構１６に配置された４個のキャリッジ１４をキャリッジ１４1〜１４4、第２のキャリッジ移動機構１８に配置された４個のキャリッジ１４をキャリッジ１４5〜１４8と表す。
【００３６】
キャリッジ１４iは、複数の液滴吐出ヘッド４０が搭載されている。キャリッジ１４1〜１４4は、液滴吐出ヘッド４０側が図２中Ｚ方向下方、すなわち、テーブル１０に載置された基板Ｂの上面に対向するように、２つのリニアモータ３２のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ３２は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱３４に支持され、可動子はキャリッジ１４1〜１４4にそれぞれ設けられている。第１のキャリッジ移動機構１６は、制御装置２０からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、キャリッジ１４1〜１４4をＹ方向に沿って、個別に往復移動させ、それぞれを任意の位置に停止させ保持することができる。
【００３７】
キャリッジ１４5〜１４8は、液滴吐出ヘッド４０側が図２中Ｚ方向下方、すなわち、テーブル１０に載置された基板Ｂの上面に対向するように、２つのリニアモータ３６のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ３６は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱３８に支持され、可動子はキャリッジ１４5〜１４8にそれぞれ設けられている。第２のキャリッジ移動機構１８は、制御装置２０からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、キャリッジ１４5〜１４8をＹ方向に沿って、個別に往復移動させ、それぞれを任意の位置に停止させ保持することができる。
キャリッジ１４iの詳細については後述する。
【００３８】
メンテナンス部２４は、第１のキャリッジ移動機構１６と第２のキャリッジ移動機構１１８とを挟んで、テーブル移動機構１２のテーブル１０の待機位置のＸ方向反対に設けられており、２つのリニアモータ３０のＺ方向上方に配設されている。メンテナンス部２４は、リニアモータ３０の可動子が設けられ、制御装置２０からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、Ｘ方向に往復移動することができる。
【００３９】
メンテナンス部２４は、図示しない吸引ユニットとワイピングユニットとを有している。メンテナンス部２４は、Ｘ方向に移動することにより、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８により移動されるキャリッジ１４iに搭載された液滴吐出ヘッド４０と、吸引ユニットおよびワイピングユニットとを対向させることができる。
吸引ユニットは、液滴吐出装置１００の非稼働時に、液滴吐出ヘッド４０のノズル面を封止してノズルの乾燥を防止すると共に、液滴吐出ヘッド４０のノズルから増粘した液状体を吸引除去する役割を果たす。ワイピングユニットは、液滴吐出ヘッド４０のノズル面に付着する汚れを払拭する役割を果たす。
【００４０】
このような液滴吐出装置１００は、複数のキャリッジ１４を列状に配置し、列状に配置された複数のキャリッジ１４と略直交する方向にテーブル１０を移動させながら、複数のキャリッジ１４に搭載された複数の液滴吐出ヘッド４０から液状体を液滴として吐出して、テーブル１０に搭載されたワークとしての基板Ｂに液状体で所望のパターンを形成することができる。
【００４１】
（液滴吐出ヘッドの構成について）
次に、液滴吐出ヘッドについて、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は底面側から見た斜視図、（ｂ）は底面図である。図３中のＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同一の方向を示す。
図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド４０は、液状体導入部４２と、ヘッド基板４４と、ヘッド本体４６と、コネクタ４８とを備えている。
【００４２】
液状体導入部４２は、方形に形成され、２連の接続針５０を有し、ヘッド基板４４の一面に設けられている。ヘッド基板４４は、長手方向の長さが液状体導入部４２の長手方向の長さより長い長方形の板状に形成され、液状体導入部４２が設けられている面に、さらに２個のコネクタ４８が設けられている。ヘッド本体４６は、方形に形成され、液状体導入部４２が設けられている面とは反対側のヘッド基板４４の面に、液状体導入部４２と対峙するように設けられている。
【００４３】
ヘッド本体４６は、液状体導入部４２に連なるポンプ部５２と、ポンプ部５２に連なるノズルプレート５４と、を有している。ノズルプレート５４のノズル面５６には、複数のノズル５８（例えば、１８０個）が形成されている。図３（ｂ）に示すように、複数のノズル５８は、ノズル面５６にＹ方向に沿って所定のピッチ間隔Ｐを有して互いに平行なノズル列５９ａおよび５９ｂを形成している。ノズル列５９ａおよび５９ｂは、ノズル列５９ａおよび５９ｂのノズル５８同士がＸ方向にＰ／２の間隔だけずれた位置に形成されている。
【００４４】
ポンプ部５２には、図示しない圧電素子が設けられており、当該圧電素子を駆動することによって、液状体導入部４２から供給されてきた液状体をノズル５８から液滴として吐出する。１つのノズル５８に対応して１つの圧電素子が設けられており、それぞれのノズル５８毎に独立して液滴を吐出することができる。同時に、１つの液滴吐出ヘッド４０は、図３（ｂ）に示すように液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｌを有している。
【００４５】
（キャリッジの構成について）
キャリッジ１４iを、図２、図４および図５を参照して説明する。図４は１つのキャリッジの底面図である。図５は、キャリッジに搭載された液状体収容容器としてのタンクを説明する図である。図４および図５中のＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同一の方向を示す。
【００４６】
キャリッジ１４iは、図２および図４に示すように、ヘッドプレート６０と、１２個の液滴吐出ヘッド４０n（ｎは、１〜１２の整数）と、タンク６２k（ｋは１から８の自然数）とを有している。ヘッドプレート６０は、ステンレス等からなる上面視略平行四辺形の板状部材であり、１２個の液滴吐出ヘッド４０nを、ノズル面５６がＺ方向下方に突出するよう搭載し、キャリッジ１４iのＺ方向下方に設けられている。キャリッジ１４iのＺ方向上方にはタンク６２kが設けられている。
【００４７】
図４に示すように、１２個の液滴吐出ヘッド４０nは、６個ずつに二分されＸ方向に所定の間隔をあけて、ヘッド列６４ａおよび６４ｂを形成している。ヘッド列６４ａおよび６４ｂは、Ｘ方向から所定の角度θを有する方向に延びるように構成されている。そのため、図４中のＸ方向から見たとき、各キャリッジ１４iにおいて、１２個の液滴吐出ヘッド４０nは、これらの全ノズル列５９ａおよび５９ｂで１つの描画ラインを構成すべく、そのノズル列５９ａおよび５９ｂが連続するように配設されている。同時に、１つのキャリッジ１４iは、１２個の液滴吐出ヘッド４０nから液状体が吐出される吐出幅Ｍを有している。
【００４８】
図５に示すように、タンク６２kは、箱形状に形成され、予め脱気した液状体を内部に貯留して、キャリッジ１４iのＺ方向上面側に設けられている。また、タンク６２kの下側には、液量検出機構を構成するタンク６２kの重量を検出する重量測定装置６６が設けられている。なお、図５は図を分かりやすくするために１つの液滴吐出ヘッド４０nへの液状体の供給状態を示している。
そして、タンク６２kから供給される液状体は、供給チューブ６８により圧力調整弁７０を介して、液滴吐出ヘッド４０nに供給される。また、供給チューブ６８に介設された圧力調整弁７０は、タンク６２kに貯蔵された液状体の水頭値と液滴吐出ヘッド４０nとの間の水頭差を調整して、液滴吐出ヘッド４０nからの液ダレを防止する。
【００４９】
また、液滴吐出装置１００において、図１に示すようにキャリッジ１４iが配置されたとき、図１中Ｙ方向において隣接するキャリッジ１４i間のそれぞれ端部に位置する液滴吐出ヘッド４０n同士は、そのノズル列５９ａおよび５９ｂがＹ方向において連続し、８個のキャリッジ１４1〜１４8全体としても１つの描画ラインが形成されるようになっている。この描画ラインは、被吐出対象である基板Ｂの被吐出領域を覆う長さに構成されている。
【００５０】
（液滴吐出装置の制御について）
次に、図６を参照して、液滴吐出装置１００の制御系について説明する。図６は液滴吐出装置１００の主要構成を示すブロック図である。液滴吐出装置１００は、基板Ｂを搭載したテーブル１０を搬送するテーブル移動機構１２、液滴吐出ヘッド４０nを搭載したキャリッジ１４i、キャリッジ１４iを搬送する第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８を有する描画部８０と、液量検出機構を含む検出部８２と、メンテナンス部２４と、これらを統括制御する制御装置２０と、を備えている。
【００５１】
検出部８２は、各タンク６２kに接続した重量測定装置６６を有している。重量測定装置６６は、タンク６２kの重量を所定の期間毎に測定しており、この測定値を随時制御装置２０に送るようにしている。この測定値は、満液の状態のタンク６２kを測定した測定値を基準にしており、計測した重量からタンク６２kの重量を減算することで、タンク６２k内部の液状体の重量を測定している。
【００５２】
制御装置２０は、制御系の主要部となる制御部８４と、液滴吐出ヘッド４０nを吐出駆動させるヘッドドライバ８６と、テーブル移動機構１２、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８を駆動するモータドライバ８８とインターフェース９６とを備えている。
【００５３】
制御部８４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）９０、メモリ部９２、およびハードディスク９４を備えている。
ＣＰＵ９０は、描画処理等の各種処理を実行する。メモリ部９２は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read-Only Memory）などを含んだ構成を有している。ＲＡＭは、ホストコンピュータ９３からインターフェース９６を介して入力される描画データを格納したり、ＣＰＵ９０によって実行される描画処理等のプログラムを一時的に展開したり、各種データを一時的に格納したりする。
【００５４】
ここで、描画データは、液状体で基板Ｂに描画すべきパターンを指示するものであり、描画すべきパターンがビットマップ状に表現されている。なお、描画データは、ホストコンピュータ９３によって生成され、ホストコンピュータ９３からインターフェース９６を介して制御部８４に入力される。
ＲＯＭは、例えば不揮発性半導体メモリで構成され、各液滴吐出ヘッド４０nの駆動周波数を制御する吐出制御プログラムの他、ＣＰＵ９０が実行する各種のプログラムが格納されている。
【００５５】
ハードディスク９４には、キャリッジ１４iのそれぞれの移動、すなわちキャリッジ移動工程を制御するキャリッジ移動プログラム１１０と、液滴吐出ヘッド４０nの吐出状態を管理する吐出管理プログラム１１２と、がインストールされている。
【００５６】
吐出管理プログラム１１２は、上記の液滴吐出ヘッド４０nの駆動周波数により各液滴吐出ヘッド４０nの累積ショット数をカウントして液量検出機構としても機能するショット数プログラムと、各液滴吐出ヘッド４０nの累積使用時間をカウントする使用時間プログラムと、各液滴吐出ヘッド４０nの累積ショット数および累積使用時間のカウント値、および重量測定装置６６から送られる測定値を保持する管理データ領域と、を備えている。管理データ領域は、キャリッジ１４i毎に区分されており、これらカウント値および測定値がキャリッジ１４i毎に管理できるようになっている。各タンク６２kの測定値は、重量測定装置６６から送られる新たな測定値により常時更新される。
【００５７】
ヘッドドライバ８６は、ＣＰＵ９０からの指令に基づいて、キャリッジ１４iの各液滴吐出ヘッド４０nを個別に制御する。モータドライバ８８は、ＣＰＵ９０からの指令に基づいて、テーブル移動機構１２、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８のそれぞれのモータを個別に制御する。
【００５８】
インターフェース９６は、ホストコンピュータ９３から受け取った描画データを制御部８４に出力したり、制御部８４から受け取った各種情報をホストコンピュータ９３に出力したりする。
【００５９】
そして、基板Ｂに描画を開始する際には、ＣＰＵ９０は、吐出管理プログラム１１２を起動し、管理データに基づいてキャリッジ１４i毎に搭載されたタンク６２kの液状体の残量Ｔを確認する。次いで、ＣＰＵ９０は、上記の吐出管理プログラム１１２の結果をホストコンピュータ９３から送られた描画パターンに照らして、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８より、描画に適したキャリッジ１４iを選択し、それぞれ適切な位置に移動させる。
【００６０】
（液滴吐出装置の描画制御方法について）
次に、本実施形態の液滴吐出装置の描画制御方法について、図７および図８を参照して説明する。図７は、液滴吐出装置の描画の流れを説明する図である。図８は、キャリッジの初期配置を示す図である。
【００６１】
この描画制御方法は、各キャリッジ１４iを、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８により、描画エリアにおいて、描画パターンとキャリッジ１４iに搭載されたタンク６２kに収容される液状体の収容量とに基づいて選択的に移動させ描画することにより、それぞれのキャリッジ１４iに搭載されたタンク６２kに収納される液状体の使用量のばらつきを低減して、新旧の液状体が混在することを低減させるように液滴吐出装置１００を制御するものである。なお、液滴吐出ヘッド４０nから供給される液状体の供給量は、タンク６２kに収容される液状体の収容量から算出される。この作業は、ホストコンピュータ９３から制御部８４に描画指令が入力されると、ＣＰＵ９０によって開始される。
【００６２】
ステップＳ１の第１のキャリッジ移動配置工程において、液滴吐出装置１００の８個のキャリッジ１４iを、被吐出対象である基板Ｂとその基板Ｂへの描画パターンに応じて、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８により、それぞれの初期位置に移動させ配置する。
本実施形態では、図８に示すように、基板Ｂの被吐出領域Ｒをキャリッジ１４iの配設方向（Ｙ方向）に沿って８個に分割し、中央の４／８領域には第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8を配置する。基板Ｂの搬送方向から見て、Ｙ方向（＋）側の２／８領域には第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４3，１４4を、Ｙ方向（−）側の２／８領域には第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1，１４2を配置する。
【００６３】
このように配置することにより、８個のキャリッジ１４1〜１４8全体として形成される描画ラインは、被吐出対象である基板Ｂの被吐出領域ＲのＹ方向の幅を覆うことができる。このとき、キャリッジ１４1〜１４8に搭載されるタンク６２1〜６２8は、吐出される液状体がフル充填されている。なお、タンク６２kに収納される液状体は、収容量が空の状態を０とし満液の状態を１０としたときの、０から１０までの１０段階の数字で示される。図８中キャリッジ１４i上に示される数字は、液状体の残量Ｔを示す。
【００６４】
ステップＳ２の基板搬入工程において、基板Ｂが、図示しない移載ロボットにより図８中Ｘ方向（−）側から液滴吐出装置１００に搬入され、テーブル１０の載置面１０Ａに、例えば、真空吸着により吸着され載置される。
【００６５】
ステップＳ３は、描画工程と液量管理工程から構成されており、描画工程において、基板Ｂへの描画作業が実施される。テーブル１０に載置された基板Ｂを、テーブル移動機構１２により図８中Ｘ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
液量管理工程においては、制御部８４で、液滴吐出ヘッド４０nの使用状態（累積ショット数）および各キャリッジ１４iに搭載されたタンク６２kに収容される液状体の重量が、リアルタイムで管理されている。
【００６６】
すなわち、前述の吐出管理プログラム１１２は、液滴吐出装置１００の稼動中に常時稼動しており、基板Ｂへの描画作業の進行に伴い、各液滴吐出ヘッド４０nの累積吐出回数等、種々の管理データを逐次更新している。また、例えば、メンテナンス部２４に臨むキャリッジ１４iの各液滴吐出ヘッド４０nが、吸引ユニットにフラッシング（捨て吐出）をした場合、または吸引機構によるノズル吸引を行った場合には、これらの処理がショット数に換算され、換算値を付加した累積ショット数のカウント値が、管理データ領域で保持される。
さらに、検出部８２では、各タンク６２kに設けられた重量測定装置６６により、タンク６２kの重量を所定の期間毎に測定しており、この測定値を随時制御装置２０に送るようにしている。この測定値は、管理データ領域で保持される。
【００６７】
また、このとき、各キャリッジ１４iに設けられたそれぞれのタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔを求める。タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔは、上述の制御部８４の管理データ領域に保持された累積ショット数のカウント値およびタンク６２kの重量測定値により求められる。
液滴吐出ヘッド４０nの累積ショット数からタンク６２kに収納される液状体の残量Ｔを求める場合は、液滴吐出装置１００に搭載された図示しない吐出重量測定装置により、各液滴吐出ヘッド４０nから吐出されるノズル５８毎の液滴吐出量を計測し、このノズル５８毎の液滴吐出量に累積ショット数を乗じて液状体の使用量を求める。そして、初期に充填された液状体の重量から使用量を減算してタンク６２k内部の液状体の重量（液状体残量）を求める。
【００６８】
タンク６２kの重量測定値からタンク６２kに収納される液状体の残量Ｔを求める場合は、計測した重量からタンク６２kの重量を減算することで、タンク６２k内部の液状体の重量を測定している。
このようにして、１枚の基板Ｂへの描画が終了し、ステップＳ４に移行する。
【００６９】
ステップＳ４のキャリッジ選定工程において、移動させるキャリッジ１４iを選定する。この選定は、複数のキャリッジ１４i間でタンク６２kの液状体の収容量が平均化するように、ステップＳ３の液量管理工程で求めた各キャリッジ１４iの液状体の残量Ｔと描画パターンとに基づいて行う。
【００７０】
そしてステップＳ５の第２のキャリッジ移動配置工程において、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８により、液状体の残量Ｔの少ないキャリッジ１４iを吐出頻度の低い吐出領域に移動し、液状体の残量Ｔの多いキャリッジ１４iを吐出頻度の高い吐出領域に移動させ配置する。
このキャリッジ１４iの選定および移動配置によるキャリッジ１４i間でキャリッジ１４iに搭載された液滴吐出ヘッド４０nからの液状体の供給量を略同じにすること、すなわち、キャリッジ１４i間ごとに収容される液状体の収容量の平均化の詳細については、後述する。
【００７１】
ステップＳ６において、次に描画する基板Ｂがあるか否かを判定し、基板Ｂがないと（ＮＯ）と判定されると、液滴吐出装置１００の描画作業は終了する。次の描画する基板Ｂがある（ＹＥＳ）と判定されると、ステップＳ２に移行し、新たな基板Ｂが搬入され描画作業を繰り返す。
【００７２】
（キャリッジ間の液状体の収容量の平均化について）
キャリッジ間の液状体の収容量の平均化について、図９を参照して説明する。図９（ａ）〜（ｃ）は、テーブル１０の上面に搭載された基板Ｂとキャリッジ１４iとの位置関係を説明する図である。なお、図中キャリッジ１４iに記載された数字は、前述のタンク６２kに収容されている液状体の残量Ｔを示す０から１０までの１０段階の数字である。
【００７３】
基板Ｂの被吐出領域Ｒは、液状体が吐出されるキャリッジ１４iの液状体の吐出幅Ｍm（ｍは１から８の自然数）に対応して、８つの被吐出領域Ｒr（ｒは１から８の自然数）が構成される。すなわち、キャリッジ１４1により吐出される被吐出領域をＲ1、キャリッジ１４2により吐出される領域をＲ2、以下同様に、キャリッジ１４8により吐出される領域をＲ8とする。被吐出領域Ｒrの描画パターンにより液滴吐出ヘッド４０nから吐出される液状体の量が異なり、タンク６２kに収容されている液状体の残量Ｔに差が生ずる。液滴吐出装置１００は、既に所定枚数の基板Ｂに描画作業を行っており、タンク６２kに収容されている液状体の残量Ｔは差が生じている。この差は、吐出管理プログラム１１２により管理されている。
【００７４】
本実施形態では、所定枚数の基板Ｂの描画作業が終了した時点で、図９（ａ）に示すように、キャリッジ１４1〜１４8に搭載されるタンク６２1〜６２8の残量Ｔが、１０段階で８，７，７，８，６，７，７，６である場合を例にとり説明する。この場合は、上記所定の枚数の基板Ｂを描画する場合、被吐出領域Ｒ1〜Ｒ8での液状体の使用量は、１０段階で２，３，３，２，４，３，３，４となる。
そのため、残量Ｔの多いキャリッジ１４i、残量Ｔの少ないキャリッジ１４iを選択して、液状体の使用量の少ない被吐出領域Ｒr、使用量の多い被吐出領域Ｒrに移動する。
【００７５】
具体的には、図９（ｂ）に示すように、第１のキャリッジ移動機構１６に搭載されたキャリッジ１４1〜１４4を、基板ＢのＹ方向中央に集めるようにそれぞれ移動させ、被吐出領域Ｒ5〜Ｒ8に対向させる。第２のキャリッジ移動機構１８に搭載されたキャリッジ１４5，１４6を、Ｙ方向（−）側に移動させ、被吐出領域Ｒ1，Ｒ2に対向させる。第２のキャリッジ移動機構１８に搭載されたキャリッジ１４7，１４8を、Ｙ方向（＋）側に移動させ、被吐出領域Ｒ3，Ｒ4に対向させる。
【００７６】
その後、基板Ｂの描画作業を実施する。上記と同様の枚数の基板Ｂを描画するのに使用される液状体の使用量は、被吐出領域Ｒ1〜Ｒ8で、１０段階で２，３，３，２，４，３，３，４となる。そのため、図９（ｃ）に示すように、上記と同様の枚数の基板Ｂの描画作業が終了した時点では、キャリッジ１４1〜１４8に搭載されるタンク６２1〜６２8の残量Ｔは、１０段階ですべて４となる。
【００７７】
上述の選定および配置方法は１例であって、これに限定されない。キャリッジ１４iに搭載されるタンク６２kの液状体の収容量と被吐出領域Ｒrへの描画パターンとによって、無限な組合せがある。すなわち、本実施形態では、第１のキャリッジ移動機構１６に配置されたキャリッジ１４1〜１４4とおよび第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8が、それぞれ移動機構毎に接し列を構成しているが、これに限定されない。例えば、それぞれのキャリッジ１４iが１つおきに配置されていてもよいし、一部のキャリッジ１４iが接し、その他のキャリッジ１４iは分離していてもよい。キャリッジ１４iに搭載されるタンク６２kの液状体の収容量と被吐出領域Ｒrへの描画パターンとによって、配置されればよい。
【００７８】
以下、実施形態の効果を記載する。
【００７９】
（１）上述の液滴吐出装置１００は、基板Ｂへの描画作業において、吐出管理プログラム１１２および重量測定装置６６によって、キャリッジに１４iに搭載されたタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔを、キャリッジ１４i毎に管理することができる。換言すると、キャリッジ１４i間でキャリッジ１４iに搭載された液滴吐出ヘッド４０nからの液状体の供給量を管理することができる。そして、基板Ｂに描画するパターンの種類およびタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔに基づいて、第１のキャリッジ移動機構１６および第２のキャリッジ移動機構１８によって、液状体の残量Ｔの多いキャリッジ１４iを吐出頻度の高い被吐出領域に移動配置し、液状体の収容量の少ないキャリッジ１４iを吐出頻度の低い被吐出領域に移動配置させ、描画作業を実施することができる。
【００８０】
これにより、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔに関して、キャリッジ１４i間のばらつきを低減することができる。そのため、新の液状体の補充時期の違いを低減させることができ、キャリッジ１４i間で新旧の液状体が混在することを低減させることができる。その結果、１つの基板Ｂ上で旧の液状体によって描画された部分と新の液状体によって描画された部分とができることを防止でき、描画品質のばらつきを低減させることができる。
【００８１】
（２）本実施形態では、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔのキャリッジ１４i間のばらつきを低減することができる。そのため、タンク６２kを交換するタイプの液滴吐出装置１００にあっては、タンク６２kの交換時期を同じくすることができる。そのため、タンク６２kの交換に要するトータルの時間を低減することができ生産効率の向上が図れる。
【００８２】
（３）従来の液滴吐出装置では、新旧の液状体が混在を防ぐため、キャリッジ１４iのタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔをそれぞれ等しくするべく、メンテナンス部２４の吸引ユニットにおいて、液状体の残量Ｔの多いキャリッジ１４iの液状体を吸引し廃棄していた。上述の液滴吐出装置１００では、キャリッジ１４iのタンク６２kに収容される液状体の残量Ｔのばらつきを低減することができるため、吸引され廃棄される液状体を低減させることができる。
液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置等の表示装置の製造に用いられる液状体は、特殊な液状体であり非常に高価なものである。従って、表示装置の製造コストの低減に寄与することができる。
【００８３】
（４）本実施形態では、キャリッジ１４iおよびキャリッジ１４iに搭載させる液滴吐出ヘッド４０nの使用頻度のばらつきを低減させることができる。そのため、キャリッジ１４iおよび液滴吐出ヘッド４０nの交換のタイミングを合わせることができ、交換に要するトータルの時間を低減することができる。従って、メンテナンスの効率化に寄与できる。
【００８４】
（５）本実施形態では、キャリッジ１４iの使用頻度の偏りを防止することができ、キャリッジ１４iの寿命を延ばすことが可能になる。従って、液滴吐出装置１００の信頼性向上に寄与できる。
【００８５】
なお、上述した実施形態に限定されず、種々の変形や改良を加えて実施することが可能である。変形例を以下に述べる。なお、これら変形例においては、上述の実施形態と同じ構成部材についてはその符号を等しくし、その詳細な説明を省略する。
【００８６】
（変形例１）上記実施形態では、１枚の基板Ｂの被吐出領域Ｒに、液滴吐出装置１００から液滴を吐出して描画することを例にとり説明したが、これに限定されない。変形例１を示す図である図１０に示すように、それぞれ被吐出領域Ｑを有する複数の基板Ｃに液状体が吐出して、それぞれに描画してもよい。本変形例１では、テーブル１０のＸ方向に所定の間隔をおいて３枚、Ｙ方向に所定の間隔をおいて３枚、計９枚の基板Ｑが載置された場合を例にとり説明する。なお、図１０では、一部省略している。
【００８７】
図１０（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００は、Ｙ方向中央に第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1〜１４4を配置し、Ｙ方向（＋）側に第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４7，１４8を、Ｙ方向（−）側には第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5，１４6を配置する。そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｃを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
【００８８】
この場合、キャリッジ１４1，１４4の吐出領域は、基板Ｃを配置した時の隙間を含み、キャリッジ１４2，１４3，１４5〜１４8は、基板Ｃの被吐出領域Ｑに液状体を吐出する。そのため、キャリッジ１４1，１４4は、液状体の使用量が少なく、タンク６２1，６２4に収容される液状体の残量Ｔは、他のタンク６２2，６２3，６２5〜６２8より隙間分だけ多くなる。
【００８９】
次の描画作業を行う場合は、図１０（ｂ）に示すように、キャリッジ１４1，１４7をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅分移動させ、キャリッジ１４4，１４6をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅分移動させる。そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｃを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
【００９０】
この場合、キャリッジ１４6，１４7の吐出領域は、基板Ｃを配置した時の隙間を含み、キャリッジ１４1〜１４5，１４8は、基板Ｃの被吐出領域Ｑに液状体を吐出する。そのため、キャリッジ１４6，１４7は、液状体の使用量が隙間分少なくなる。その結果、２回の描画作業によって、タンク６２1，６２4，６２6，６２7に収容される液状体の残量Ｔは、タンク６２2，６２3，６２5，６２8より隙間分だけ多くなる。
【００９１】
次の描画作業を行う場合は、図１０（ｃ）に示すように、キャリッジ１４2，１４7をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅分移動させ、キャリッジ１４3，１４6をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅分移動させる。そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｃを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
【００９２】
この場合、キャリッジ１４2，１４3の吐出領域は、基板Ｃを配置した時の隙間を含み、キャリッジ１４1，１４4〜１４8は、基板Ｃの被吐出領域Ｑに液状体を吐出する。そのため、キャリッジ１４2，１４3は、液状体の使用量が隙間分少なくなる。その結果、３回の描画作業によって、タンク６２1〜６２4，６２6，６２7に収容される液状体の残量Ｔは、タンク６２5，６２8より隙間分だけ多くなる。
【００９３】
次の描画作業を行う場合は、図１０（ｄ）に示すように、キャリッジ１４1，１４2をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅分移動させ、キャリッジ１４3，１４4をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅分移動させる。また、キャリッジ１４8をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅２つ分移動させ、キャリッジ１４5をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅２つ分移動させる。そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｃを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。
【００９４】
この場合、キャリッジ１４5，１４8の吐出領域は、基板Ｃを配置した時の隙間を含み、キャリッジ１４1〜１４4，１４6，１４7は、基板Ｃの被吐出領域Ｑに液状体を吐出する。そのため、キャリッジ１４5，１４8は、液状体の使用量が隙間分少なくなる。その結果、４回の描画作業によって、タンク６２1〜６２8に収容される液状体の残量Ｔは、すべてほぼ同一になり、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔは平均化される。
【００９５】
このような複数の基板Ｃをテーブル１０に載置した描画作業においても、上記実施形態と同様な効果を奏することができる。なお、この基板Ｃの枚数、キャリッジ１４iの選定配置方法は１例であって、これに限定されない。基板Ｃの枚数、大きさ、配置および被吐出領域Ｑへの描画パターンによって、無限な組合せがある。
また、本変形例１は、９枚の基板Ｃを配置した場合を例にとり説明したが、これに限定されない。１枚の大型基板に複数の被吐出領域Ｑを設け、描画作業後に分割するいわゆる多数個取りにも対応可能である。
【００９６】
（変形例２）上記実施形態では、基板ＢのＹ方向の被吐出領域Ｒの幅と、複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅が略同等な場合を例にとり説明したが、これに限定されない。基板ＢのＹ方向の被吐出領域Ｒの幅が、複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅より狭くてもよい。本変形例２では、複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅の半分の幅を有する基板Ｄに対して描画する場合を例にとり説明する。
【００９７】
変形例２を示す図である図１１（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００は、Ｙ方向中央に第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8を配置し、Ｙ方向（＋）側に第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４3，１４4を、Ｙ方向（−）側には第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1，１４2を配置する。また、基板Ｄは、テーブル１０のＹ方向中央に載置される。このように配置することにより、基板Ｄは、キャリッジ１４5〜１４8が構成する吐出幅に収まる。
【００９８】
そして、テーブル１０に載置された９枚の基板Ｄを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４5〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。このとき、キャリッジ１４1〜１４4は、液状体を吐出しない。そのため、キャリッジ１４1〜１４4に搭載されるタンク６２1〜６２4は液状体がフル充填のままであり、キャリッジ１４5〜１４8に搭載されるタンク６２5〜６２8は液状体が描画作業１回分だけ使用されている。
【００９９】
次の描画作業を行う場合は、図１１（ｂ）に示すように、キャリッジ１４1，１４2，１４7，１４8をＹ方向（＋）側にキャリッジ１４i幅２つ分移動させ、キャリッジ１４3，１４4，１４5，１４6をＹ方向（−）側にキャリッジ１４i幅２つ分移動させる。そして、テーブル１０に載置された基板Ｄを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４4に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、所定のパターンを描画する。このとき、キャリッジ１４5〜１４8は、液状体を吐出しない。
【０１００】
そのため、キャリッジ１４1〜１４4に搭載されるタンク６２1〜６２4は、液状体が描画作業１回分だけ使用されている。キャリッジ１４5〜１４8に搭載されるタンク６２5〜６２8は、すでに液状体が描画作業１回分だけ使用されている。その結果、２回の描画作業によって、タンク６２1〜６２8に収容される液状体の残量Ｔは、すべてほぼ同一になり、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔは平均化される。
【０１０１】
このようなＹ方向の被吐出領域Ｓの幅が、複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅より狭い基板Ｄへの描画作業においても、上記実施形態と同様な効果を奏することができる。なお、この基板Ｄのサイズ、キャリッジ１４iの選定配置方法は１例であって、これに限定されない。基板Ｄのサイズおよび被吐出領域Ｓへの描画パターンによって、無限な組合せがある。
【０１０２】
（変形例３）上記実施形態では、キャリッジ１４iがＸ方向に重ならないように配置した場合を例にとり説明したが、これに限定されない。変形例３を示す図である図１２（ａ），（ｂ）に示すように、一部もしくはすべてのキャリッジ１４iがＸ方向で重複してもかまわない。
【０１０３】
まず、基板Ｅのサイズが複数のキャリッジ１４iが構成する吐出幅より狭く、被吐出領域Ｕに液状体を多く吐出する必要がある場合について説明する。液滴吐出装置１００は、図１２（ａ）に示すように、テーブル１０のＹ方向中央に第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1〜１４4および第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8を配置する。また、テーブル１０のＹ方向中央には基板Ｅが載置される。
【０１０４】
このように配置することにより、基板Ｅの被吐出領域Ｕは、キャリッジ１４1〜１４4とキャリッジ１４5〜１４8とが並列して構成する吐出幅内に収まる。そして、テーブル１０に載置された基板Ｅを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、基板Ｅ上に所定のパターンを描画する。
【０１０５】
この場合、１枚の基板Ｅに対して、１回のテーブル１０の移動により、キャリッジ１４1〜１４4もしくはキャリッジ１４5〜１４8だけで描画する場合に比較して、同一領域に２倍の吐出を行うことができる。そのため、描画時間を短縮することが可能になり、製造効率の向上を図ることができる。また、打ち込み密度を上げて、高精細な画像表示装置を製造することが可能になる。
【０１０６】
次いで、基板Ｆの被吐出領域Ｖの一部の領域に液状体を多く吐出する必要がある場合、例えば、基板Ｆの被吐出領域Ｖを６つの被吐出領域Ｖv（ｖは１から６の自然数）に分割して被吐出領域Ｖ3，Ｖ5に液状体を多く吐出する必要がある場合について説明する。
【０１０７】
液滴吐出装置１００は、図１２（ｂ）に示すように、テーブル１０のＹ方向中央に第２のキャリッジ移動機構１８に配設されたキャリッジ１４5〜１４8を並べて配置し、第１のキャリッジ移動機構１６に配設されたキャリッジ１４1，１４4を、Ｙ方向において、キャリッジ１４5，１４8の両側にそれぞれ配置する。このように配置することによって、基板Ｆの被吐出領域Ｖ1〜Ｖ6は、キャリッジ１４iの全吐出幅に覆われる。さらに、第１のキャリッジ移動機構１６により、キャリッジ１４2を被吐出領域Ｖ3にキャリッジ１４3を被吐出領域Ｖ5に配置する。そして、テーブル１０に載置された基板Ｆを、テーブル移動機構１２によりＸ（＋）方向に移動させながら、キャリッジ１４1〜１４8に搭載される液滴吐出ヘッド４０nから液状体を液滴として吐出させ、基板Ｆ上に所定のパターンを描画する。
【０１０８】
被吐出領域Ｖ3，Ｖ5には、他の被吐出領域ＶVより液状体を多く吐出する必要があるため、キャリッジ１４1，１４4，１４5〜１４8からはほぼ同一量の液状体を吐出して、被吐出領域Ｖ3，Ｖ5に対する液状体の不足分は、キャリッジ１４2，１４3から吐出される液状体で補填される。なお、キャリッジ１４2，１４3は、基板Ｆの被吐出領域Ｖ2〜Ｖ5間を第１のキャリッジ移動機構１６により移動可能になっており、被吐出領域Ｖ2〜Ｖ5間の任意の位置で液状体を吐出することができる。
【０１０９】
そのため、キャリッジ１４2，１４3に搭載されるタンク６２2，６２3に収容される液状体の残量を他のタンク６２kと同じになるように調整することができる。従って、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔに関して、キャリッジ１４i間のばらつきを低減することができるとともに、さまざまな描画パターンに対応することが可能にある。
【０１１０】
本変形例３では、キャリッジ１４1，１４4，１４5〜１４8からはほぼ同一量の液状体を吐出する場合を例に説明したがこれに限定されない。例えば、液状体を補填するキャリッジ１４2，１４3とＸ方向で重複するキャリッジ１４iとの間で液状体の吐出量を調整してもよい。このようにすることにより、タンク６２kに収容される液状体の残量Ｔのばらつきの低減方法およびさまざまな描画パターンに対応する組合せの自由度が増加することができる。
【０１１１】
上述の実施形態では、キャリッジ１４iが８個設けられており、４個のキャリッジ１４は第１のキャリッジ移動機構１６に、残りの４個のキャリッジ１４は第２のキャリッジ移動機構１８に割り当てられ配置されている場合を例にとり説明したが、これに限定されない。キャリッジ１４iは、描画される基板の大きさ、描画パターン、液状体の打ち込み密度によって、数を増やすことも減ずることも可能である。また、キャリッジ移動機構も描画される基板の大きさ、描画パターン、液状体の打ち込み密度によって、数を増やすことが可能である。キャリッジ１４iおよびキャリッジ移動機構の数を増やすことにより、基板への描画作業の高速化、高密度化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す正面図。
【図３】液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は底面側から見た斜視図、（ｂ）は底面図。
【図４】キャリッジの底面図。
【図５】キャリッジに搭載されたタンクを説明する図。
【図６】液滴吐出装置の主要構成を示すブロック図。
【図７】液滴吐出装置の描画の流れを説明する図。
【図８】キャリッジの初期配置を示す図。
【図９】基板とキャリッジとの位置関係を説明する図。
【図１０】変形例１を示す図。
【図１１】変形例２を示す図。
【図１２】変形例３を示す図。
【符号の説明】
【０１１３】
１０…テーブル、１２…テーブル移動機構、１４，１４i…キャリッジ、１６…第１のキャリッジ移動機構、１８…第２のキャリッジ移動機構、２０…制御装置、４０，４０n…液滴吐出ヘッド、５８…ノズル、６２，６２k…液状体収容容器としてのタンク、６６…重量測定装置、８０…描画部、８２…検出部、８４…制御部、８６…ヘッドドライバ、８８…モータドライバ、１００…液滴吐出装置、１１０…キャリッジ移動プログラム、１１２…吐出管理プログラム、Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ…基板。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジとを備え、被吐出対象である基板を複数の前記キャリッジに対して移動させ、前記基板上に前記液状体を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記キャリッジに搭載される前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状体の供給量を、前記キャリッジ毎に検出する液量検出手段と、
前記基板の移動方向に対して略直交する方向に並列して設けられるとともに、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に個別に移動させ保持する複数のキャリッジ移動機構と、
を有し、
前記液量検出手段が検出した前記液状体の前記供給量に基づいて、複数の前記キャリッジ間で前記液状体の前記供給量を略同じにするように、前記キャリッジを移動させ配置することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記液状体を収容する液状体収容容器を備えていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記液量検出手段は、前記液状体収容容器内に収容される前記液状体の残重量を測定する重量測定装置を含み、前記重量測定装置で測定された前記液状体の残重量に基づいて、前記液状体の供給量を検出することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記液量検出手段は、前記液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で前記液状体収容容器から供給される前記液状体の供給量を検出することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記キャリッジは、搭載された前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液状体の吐出幅が想定されており、
前記複数のキャリッジが、前記複数のキャリッジ移動機構により、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に各々移動され配置されることによって、配置された複数のキャリッジが構成するトータルの吐出幅は、少なくとも、前記基板の被吐出領域の幅を覆う長さを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジとを備え、被吐出対象である基板を複数の前記キャリッジに対して移動させ、前記基板上に前記液状体を吐出して描画する液滴吐出装置の描画制御方法であって、
前記キャリッジに搭載される前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状体の供給量を、前記キャリッジ毎に検出する液量検出工程と、
検出された前記キャリッジ毎の前記液状体の前記供給量に基づいて、複数の前記キャリッジ間で供給される前記液状体の前記供給量を略同じにするように、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に複数の列状に、移動させ配置するキャリッジ移動工程と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項７】
前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記液状体を収容する液状体収容容器を備えていることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項８】
前記液量検出工程は、前記液状体収容容器内に収容される前記液状体の残重量を測定する重量測定工程をさらに有し、前記重量測定工程で測定された前記液状体の残重量に基づいて、前記液状体の供給量を検出することを特徴とする請求項６または７に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項９】
前記液量検出工程は、前記液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で前記液状体収容容器から供給される前記液状体の供給量を検出することを特徴とする請求項６または７に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項１０】
前記キャリッジは、搭載された前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液状体の吐出幅が想定されており、
前記キャリッジ移動工程は、複数の前記キャリッジが構成するトータルの吐出幅が、少なくとも、前記基板の被吐出領域の幅を覆うように、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に各々移動させ配置することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項１】
液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジとを備え、被吐出対象である基板を複数の前記キャリッジに対して移動させ、前記基板上に前記液状体を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記キャリッジに搭載される前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状体の供給量を、前記キャリッジ毎に検出する液量検出手段と、
前記基板の移動方向に対して略直交する方向に並列して設けられるとともに、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に個別に移動させ保持する複数のキャリッジ移動機構と、
を有し、
前記液量検出手段が検出した前記液状体の前記供給量に基づいて、複数の前記キャリッジ間で前記液状体の前記供給量を略同じにするように、前記キャリッジを移動させ配置することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記液状体を収容する液状体収容容器を備えていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記液量検出手段は、前記液状体収容容器内に収容される前記液状体の残重量を測定する重量測定装置を含み、前記重量測定装置で測定された前記液状体の残重量に基づいて、前記液状体の供給量を検出することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記液量検出手段は、前記液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で前記液状体収容容器から供給される前記液状体の供給量を検出することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記キャリッジは、搭載された前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液状体の吐出幅が想定されており、
前記複数のキャリッジが、前記複数のキャリッジ移動機構により、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に各々移動され配置されることによって、配置された複数のキャリッジが構成するトータルの吐出幅は、少なくとも、前記基板の被吐出領域の幅を覆う長さを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジとを備え、被吐出対象である基板を複数の前記キャリッジに対して移動させ、前記基板上に前記液状体を吐出して描画する液滴吐出装置の描画制御方法であって、
前記キャリッジに搭載される前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状体の供給量を、前記キャリッジ毎に検出する液量検出工程と、
検出された前記キャリッジ毎の前記液状体の前記供給量に基づいて、複数の前記キャリッジ間で供給される前記液状体の前記供給量を略同じにするように、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に複数の列状に、移動させ配置するキャリッジ移動工程と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項７】
前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記液状体を収容する液状体収容容器を備えていることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項８】
前記液量検出工程は、前記液状体収容容器内に収容される前記液状体の残重量を測定する重量測定工程をさらに有し、前記重量測定工程で測定された前記液状体の残重量に基づいて、前記液状体の供給量を検出することを特徴とする請求項６または７に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項９】
前記液量検出工程は、前記液滴吐出ヘッドの累積吐出回数で前記液状体収容容器から供給される前記液状体の供給量を検出することを特徴とする請求項６または７に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【請求項１０】
前記キャリッジは、搭載された前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液状体の吐出幅が想定されており、
前記キャリッジ移動工程は、複数の前記キャリッジが構成するトータルの吐出幅が、少なくとも、前記基板の被吐出領域の幅を覆うように、複数の前記キャリッジを、前記基板の移動方向に対して略直交する方向に各々移動させ配置することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の描画制御方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００９−１２５６１５（Ｐ２００９−１２５６１５Ａ）
【公開日】平成２１年６月１１日（２００９．６．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３００１９９（Ｐ２００７−３００１９９）
【出願日】平成１９年１１月２０日（２００７．１１．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年６月１１日（２００９．６．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１１月２０日（２００７．１１．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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