機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置
【課題】機能液タンクから機能液的吐出ヘッドに至るまでの機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、気泡を残すことなく、機能液の初期充填を行うことができる機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供する。
【解決手段】機能液流路を介して、機能液タンク６１からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を導入し、機能液流路および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に対し機能液の初期充填を行う初期充填工程と、初期充填工程に先立ち、機能液流路および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に洗浄液を通液する洗浄液通液工程と、を備えたこと。
【解決手段】機能液流路を介して、機能液タンク６１からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を導入し、機能液流路および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に対し機能液の初期充填を行う初期充填工程と、初期充填工程に先立ち、機能液流路および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に洗浄液を通液する洗浄液通液工程と、を備えたこと。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、機能液を充填する機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のインク充填方法（機能液充填方法）として、予め界面活性剤溶液あるいは着色成分を除いたインク溶液を保存液としてインクジェットヘッドのヘッド内流路に充填させ、インクジェットヘッドのノズル面側からインクと共に吸引することで、インクを充填する方法が知られている（特許文献１参照）。このような充填方法では、界面活性剤により保存液の表面張力を弱めることで濡れ性を高め、インクジェットヘッドのヘッド内流路の隅々まで保存液を行き渡らせた後、保存液とインクとを置換することができる。
【特許文献１】特開２００４−１１４６４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のインク充填方法では、インクジェットヘッドのヘッド内流路に、気泡を残留させることなくインクを充填することができるが、インクタンクからインクジェットヘッドに至るまでのインク流路では、保存液が充填されていないため、インク充填時に、流路内に気泡が残留してしまう問題が生じる。また、界面活性剤を保存液としてヘッド内流路に長時間充填しておくと、保存液中の不純物が析出して目詰まりが生じてしまうおそれがある。さらに、保存液がヘッド内流路の狭い部分に残り易く、初期充填時に、保存液とインクとが置換せず保存液がインクジェットヘッド内に残留してしまう。その結果、初期充填時に多量のインクを無駄に流すことになったり、経時的に保存液とインクの構成成分とが反応して、副生成物を生産してしまうおそれがある。
【０００４】
本発明は、機能液タンクから機能液的吐出ヘッドに至るまでの機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、気泡を残すことなく、機能液の初期充填を行うことができる機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法は、機能液流路を介して、機能液タンクからインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を導入し、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に対し機能液の初期充填を行う初期充填工程と、初期充填工程に先立ち、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液する洗浄液通液工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の機能液供給装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクと、機能液滴吐出ヘッドに洗浄液を供給する洗浄液タンクと、機能液タンクおよび洗浄タンクと、機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液流路と、機能液流路の上流端を、機能液タンクと洗浄タンクとの間で流路切替えする流路切替え手段と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密接し、機能液および洗浄液を個々に吸引する吸引手段と、流路切替え手段および吸引手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、機能液流路を機能液タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に機能液を充填する初期充填動作に先立ち、機能液流路を洗浄液タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液する洗浄液通液動作を実行することを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に機能液を充填する前に、洗浄液によってこれら流路内を洗浄するため、これら流路内の異物を洗い流すことができるだけでなく、継手の隅部等に残り易い気泡を洗い流し、流路内面に膜として残る。このため、次に機能液を充填すると、機能液が洗浄液を洗い流すように機能液と置換し、初期充填状態で、機能液流路およびヘッド内流路に気泡が残ることがない。したがって、気泡による機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を有効に防止することができる。
【０００８】
この場合、洗浄液通液工程では、洗浄液として機能液の溶媒を用いること、或いは洗浄液として界面活性剤を含む溶液を用いることが、好ましい。
【０００９】
また、この場合、洗浄液が、機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液のいずれかであることが、好ましい。
【００１０】
これらの構成によれば、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路の機能液に対する親和性を向上させることができ、気泡の残留を有効に防止することができる。なお、界面活性剤は、ブチルジグリコールアセテートであることが好ましい。
【００１１】
この場合、洗浄液通液工程では、洗浄液として機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液を用い、溶媒を通液した後、溶液を通液することが、好ましい。
【００１２】
また、この場合、洗浄液が、機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液であり、洗浄液タンクは、溶媒を貯留する溶媒タンクと、溶液を貯留する溶液タンクとから成り、流路切り替え手段は、機能液タンクと溶媒タンクと溶液タンクとの相互間で、流路切替え可能に構成され、制御手段は、洗浄液通液動作において、機能液流路を溶媒タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に溶媒を通液する溶媒通液動作の後、機能液流路を溶液タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に溶液を通液する溶液通液動作を実行することが、好ましい。
【００１３】
これらの構成によれば、溶媒により、吐出試験等に用いた機能液をヘッド内流路から円滑に洗い流すことができると共に、溶液により、機能液流路およびヘッド内流路の機能液に対する親和性を向上させることができる。したがって、機能液を初期充填したときに、機能液流路およびヘッド内流路に気泡が残るのを有効に防止することができる。
【００１４】
この場合、洗浄液通液工程では、洗浄液として機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液を用い、溶媒を通液した後、溶液を通液し、再度溶媒を通液することが、好ましい。
【００１５】
また、この場合、洗浄液が、機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液であり、洗浄液タンクは、溶媒を貯留する溶媒タンクと、溶液を貯留する溶液タンクとから成り、流路切り替え手段は、機能液タンクと溶媒タンクと溶液タンクとの相互間で、流路切替え可能に構成され、制御手段は、洗浄液通液動作において、機能液流路を溶媒タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に溶媒を通液する溶媒通液動作の後、機能液流路を溶液タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に溶液を通液する溶液通液動作を実行し、再度溶媒通液動作を実行することをが、好ましい。
【００１６】
これらの構成によれば、濡れ性が向上した機能液流路およびヘッド内流路に、再度、機能液の溶媒を通液するため、流路内に残留している界面活性剤を完全に洗い流すことができ、界面活性剤が機能液に混入するのを確実に防止することができる。
【００１７】
この場合、初期充填工程では、機能液流路を機能液タンクに接続した状態で、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を吸引することで、初期充填が行われ、洗浄液通液工程では、機能液流路を機能液タンクから洗浄液タンクに切替え接続した状態で、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから洗浄液を吸引することで、通液が行われることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、機能液の初期充填と同様の吸引動作で、洗浄液の通液を行うことができるため、装置構成を単純化することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、上記に記載の機能液供給装置と、ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる描画装置と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、機能液流路およびヘッド内流路内を洗浄した後、機能液を充填し、ワークに対して描画することができるため、一連の動作を一つの装置で行うことができるため、作業時間を短縮することができると共に、液滴吐出装置を小型化することができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２３】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を効率良く行うことができる液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置および機能液的吐出ヘッドの機能液充填方法について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２５】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド１７を有し、機台２上に十字状に載置された描画装置４と、描画装置４に接続した機能液供給装置５と、描画装置４に添設するように機台２上に載置したメンテナンス装置６と、これらを制御する制御装置７と、を備えている。液滴吐出装置１は、機能液供給装置５により機能液の供給を受けながら、制御装置７による制御に基づいて、供給された機能液を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。また、機能液滴吐出ヘッド１７に対して、メンテナンス装置６がメンテナンスを行うようになっている。
【００２６】
描画装置４は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル１１およびＸ軸テーブル１１に直交するＹ軸テーブル１２から成るＸ・Ｙ移動機構１３と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１３と、メインキャリッジ１３に垂設され、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載したヘッドユニット１４と、を有している。
【００２７】
Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ１５を有し、これに吸着テーブル１６およびθテーブル３等から成るセットテーブル２１を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ１９を有し、これにヘッドユニット１４を支持する上記のメインキャリッジ１３をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル１２は、機台２上に立設した左右の支柱２０に支持されており、Ｘ軸テーブル１１およびメンテナンス装置６を跨ぐようにＹ軸方向に平行に延在している（図１および図２参照）。
【００２８】
液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア２７、Ｙ軸テーブル１２およびメンテナンス装置６が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド１７に対する機能回復および機能維持の処理（メンテナンス）を行う保守エリア２２となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア２７に、メンテナンスを行う場合には保守エリア２２に、ヘッドユニット１４を臨ませるようになっている。
【００２９】
メインキャリッジ１３は、図２に示すように、Ｙ軸テーブル１２のＹ軸スライダ１９に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材２３と、吊設部材２３の下面に取り付けられ、ヘッドユニット１４のθ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構２４と、θ回転機構２４の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体（キャリッジ）２５と、で構成されている。キャリッジ本体２５は、位置決め機構を有する枠状フレーム（図示省略）を有し、これに後述の支持フレーム２６を介してヘッドユニット１４を位置決め状態で固定されている。また、後述する各タンク６１，６４，６５は、メインキャリッジ１３上に配置されており、タンク側チューブ６７によって、機能液滴吐出ヘッド１７と連結している。
【００３０】
支持フレーム２６は、略方形の枠状に形成されており、図２に示すように、下側からヘッドユニット１４、圧力調整弁３１の順でこれらを位置決め状態で搭載している。なお、支持フレーム２６には、一対のハンドル（図示省略）が取り付けられており、この一対のハンドルを手持ち部位として、支持フレーム２６をメインキャリッジ１３に着脱できるようになっている。
【００３１】
図２に示すように、ヘッドユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド１７と、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド１７を搭載するヘッドプレートと、を備えている。ヘッドプレートは、支持フレーム２６に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット１４は、支持フレーム２６を介してキャリッジ本体２５に位置決めして搭載される。
【００３２】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針４１（機能液導入口）を有する機能液導入部４２と、機能液導入部４２に連なる２連のヘッド基板４３と、ヘッド基板４３の下方に連なり機能液で満たされるヘッド内流路４４が内部に形成されたヘッド本体４５と、を備えている。接続針４１は、図外の機能液供給チューブ６３に接続され、機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体４５に機能液を供給する。ヘッド本体４５は、複数の吐出ノズル４６が開口したノズル面４７を有するノズルプレート４８と、ピエゾ圧電素子（図示省略）を設けた圧力室（図示省略）と、各圧力室と各吐出ノズル４６とを流路接続する分岐流路（図示省略）と、を有している。ノズル面４７には、各分岐流路に連なる多数（１８０個）の吐出ノズル４６から成るノズル列４９が形成されている。すなわち、接続針４１（機能液導入口）、圧力室、分岐流路および吐出ノズル４６に至る流路によりヘッド内流路４４が構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、圧力室がポンプ様に作用し、吐出ノズル４６から機能液滴を吐出させる。
【００３３】
次に、図１を参照して、メンテナンス装置６について説明する。メンテナンス装置６は、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面を封止して吐出ノズル４６の乾燥を防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４６から増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット５１と、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４７に付着する汚れを払拭するワイピングユニット５２とを有している。これら両ユニット５１，５２は、機台２上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル５３上に搭載され、この移動テーブル５３によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。
【００３４】
保管・吸引ユニット５１は、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ５４と、封止キャップ５４を昇降させるキャップ昇降機構５５と、封止キャップ５４に接続した状態で機能液滴吐出ヘッド１７を吸引するエジェクタや吸引ポンプ等で構成される吸引機構５６と、吸引機構５６で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク５７と、を有している。描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド１７が移動テーブル５３上の保守エリア２２に移動しており、封止キャップ５４は、機能液滴吐出ヘッド１７から僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド１７のフラッシング（捨て吐出）を受ける。そして、機能液滴吐出ヘッド１７が稼動待機状態になると、封止キャップ５４が完全に上昇して機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４７のキャッピングを行い、各機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル４６を封止する。続いて、キャッピング状態の機能液滴吐出ヘッド１７を再駆動する際には、機能液の増粘によるノズル詰りを防止すべく、必要に応じて吸引機構５６の駆動を行い、吐出ノズル４６から増粘した機能液を吸引する。なお、詳細は後述するが、この吸引機構５６および廃液タンク５７は、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を初期充填する際にも用いられる。
【００３５】
同図に示すように、ワイピングユニット５２には、ワイピングシート５８が繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート５８を送りながら、且つ移動テーブル５３によりワイピングユニット５２をＸ軸方向に移動させつつ、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４７を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面に付着した機能液が取り除かれ、吐出した機能液滴の飛行曲がり等が防止される。なお、メンテナンス装置６として、上記の両ユニット５１，５２に加え、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。
【００３６】
次に、図４の系統図を参照して、機能液供給装置５廻りの構成について説明する。機能液供給装置５は、支持フレーム２６に支持されており、機能液を貯留する機能液タンク６１と、洗浄液を貯留する洗浄液タンク６２と、機能液タンク６１および洗浄液タンク６２と機能液滴吐出ヘッド１７とを接続する機能液供給チューブ（機能液供給流路）６３と、機能液供給チューブ６３に介設した圧力調整弁３１と、を有している。この場合、洗浄液タンク６２は、装置の組立時やヘッドユニット１４の交換時における、いわゆる機能液の機能液滴吐出ヘッド１７への初期充填の際に用いるものであり、洗浄液としての機能液の溶媒を貯留する溶媒タンク６４と、洗浄液としての界面活性剤を含む溶液を貯留する溶液タンク６５と、で構成されている。なお、機能液タンク６１は、パック式のタンクであってもよいし、図外のメインタンクから機能液の供給を受けるサブタンクであってもよい。
【００３７】
機能液供給チューブ６３は、各タンク６１，６４，６５から継手６６に至るタンク側チューブ６７と、継手６６から圧力調整弁３１を経て機能液滴吐出ヘッド１７に至るヘッド側チューブ６８と、を有している。ヘッド側チューブ６８は、ヘッドユニット１４に組み込まれており、ヘッドユニット１４と共に装置に搬入される。一方、各タンク６１，６４，６５およびタンク側チューブ６７は、メインキャリッジ１３に搭載されており、ヘッドユニット１４の交換時等において、タンク側チューブ６７とヘッド側チューブ６８とが継手６６（ワンタッチ接続のカプラ）により離接されるようになっている。
【００３８】
タンク側チューブ６７は、上流端が溶媒タンク６４に接続された溶媒タンク側短チューブ６９と、上流端が溶液タンク６５に接続された溶液タンク側短チューブ７０と、洗浄液切替えバルブ７１を介して両タンク側短チューブ６９，７０の下流端から継手６６に至る主タンク側チューブ６７と、上流端を機能液タンク６１に接続されると共に、下流端を切替バルブ７２を介して、主タンク側チューブ６７に接続された機能液タンク側短チューブ７３とで、構成されている。そして、主タンク側チューブ６７の下流端に、主タンク側チューブ６７とタンク側チューブ６７をワンタッチ接続する継手６６が接続されている。なお、請求項にいう流路切替え手段は、洗浄液切替えバルブ７１および切替バルブ７２により構成されている。
【００３９】
ヘッド側チューブ６８は、その上流端に継手６６に接続されると共に下流端に機能液滴吐出ヘッド１７が接続され、中間位置には圧力調整弁３１が介設されている。詳細は後述するが、各タンク６１，６４，６５に貯留している各液体は、両バルブ７１，７２を切り替えると共に、上記保管・吸引ユニット５１の吸引機構５６（エジェクタまたは吸引ポンプ）を駆動することで、機能液供給チューブ６３を介して、機能液滴吐出ヘッド１７に通液あるいは充填するようになっている。なお、請求項の機能液供給装置１は、実施形態の機能液供給装置５に保管・吸引ユニット５１を加えたものである。
【００４０】
圧力調整弁３１は、機能液滴吐出ヘッド１７の上流側近傍に配置されており、特に図示していないが、機能液タンク６１、溶媒タンク６４および溶液タンク６５に連なる１次室と、機能液滴吐出ヘッド１７に連なり液体が減圧される２次室と、１次室と２次室とを連通する連通流路と、連通流路に設けた弁体とを有し、いわゆる大気圧基準の減圧弁を構成している。機能液タンク６１が高い位置にあっても、この圧力調整弁３１により、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４７における機能液の水頭が適切な値になるように調整される。また、１次室側と２次室側とは、弁体により縁切りされており、機能液タンク６１側で発生した脈動等が機能液滴吐出ヘッド１７まで伝わるのが防止されている（ダンパー機能）。すなわち、ワークＷに対する描画に伴って、圧力調整弁３１に送られてくる機能液の液圧は、経時的に変化するが、機能液滴吐出ヘッド１７は、圧力調整弁３１により常に一定の圧力で液滴を吐出するようになっている。
【００４１】
制御装置７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）およびＲＡＭ（Random Access Memory）等により主要部が構成され、ワークＷに対する描画動作、機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンスおよび後述する各種の運転形態別に、両バルブ７１，７２を切り替え且つ吸引機構５６を駆動して通液動作をなどを制御する。
【００４２】
次に、上記の機能液供給装置５および上記の保管・吸引ユニット５１を用いた機能液滴吐出ヘッド１７における一連の機能液充填方法について、図４を参照して説明する。ヘッドユニット１４の交換時等においては、継手６６（雌側）から上流側のタンク側チューブ６７には、それぞれ機能液や洗浄液が既に充填されており、ここでの機能液充填方法は、継手６６（雄側）以降のヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に機能液を充填するものであり、請求項に言う機能液流路は、継手６６以降の圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブおよびヘッド内流路４４となる。この場合、機能液充填方法には、洗浄液を通液する洗浄動作と、機能液を充填する初期充填動作とが行われ、初期充填動作は、吸引による一般的な機能液滴吐出ヘッド１７の初期充填に相当する。
【００４３】
洗浄動作は、ヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に、機能液の溶媒を通液する第１溶媒通液動作と、溶媒と界面活性剤とを有する溶液を流路内に通液する溶液通液動作と、再度機能液の溶媒を流路内に通液する第２溶媒通液動作と、により行われる。
【００４４】
第１溶媒通液動作では、まず、洗浄液切替えバルブ７１を溶媒タンク６４側に切り替えると共に、切替バルブ７２を洗浄液タンク６２側に切り替えて、溶媒タンク６４と機能液滴吐出ヘッド１７とを、機能液供給チューブ６３を介して連通させた後、吸引機構５６を駆動する。これにより、溶媒タンク６４に貯留している溶媒は、溶媒タンク側短チューブ６９および主タンク側チューブ６７を経て、圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液される。
【００４５】
同様に、溶液通液動作では、まず、洗浄液切替えバルブ７１を溶液タンク６５側に切り替えると共に、切替バルブ７２を洗浄液タンク６２側に切り替えて、溶液タンク６５と機能液滴吐出ヘッド１７とを、機能液供給チューブ６３を介して連通させた後、吸引機構５６を駆動する。これにより、溶液タンク６５に貯留している溶液を、圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液する。
【００４６】
第２溶媒通液動作では、再度、洗浄液切替えバルブ７１を溶媒タンク６４側に切り替えると共に、切替バルブ７２を洗浄液タンク６２側に切り替えて、溶媒タンク６４と機能液滴吐出ヘッド１７とを、機能液供給チューブ６３を介して連通させた後、吸引機構５６を駆動する。これにより、溶媒タンク６４に貯留している溶媒を、圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液する。
【００４７】
以上の洗浄動作が完了すると続いて初期充填動作に移行する。初期充填動作では、切替バルブ７２を機能液タンク６１側に切り替えて、機能液タンク６１と機能液滴吐出ヘッド１７とを、機能液供給チューブ６３を介して連通させる。そして、吸引機構５６を駆動することで、機能液タンク６１に貯留している機能液を、圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液する。この通液を所定時間行った後、吸引機構５６を停止して初期充填を完了する。なお、初期充填の後、機能液滴吐出ヘッド１７のワイピングを行って、機能液滴吐出ヘッド１７を描画待機状態とする。
【００４８】
以上によれば、機能液の溶媒をヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液することで、ヘッド側チューブ６８およびヘッド内流路４４を機能液に対して親和性を高めた後、界面活性剤を含む溶液を通液することで流路内の隅部に行き渡らせると共に、異物を除去することができる。そして、再度機能液の溶媒を通液することで、流路内に残留している界面活性剤を洗い流し、流路内の界面活性剤を機能液と置換する。これにより、特に継手６６や圧力調整弁３１の内部の狭い部分に気泡が残留することなく、機能液をヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７に充填することができる。
【００４９】
なお、洗浄動作は、機能液の溶媒あるいは溶液を通液するだけでもよく、洗浄の順序および洗浄の回数が限定されるものではない。
【００５０】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００５１】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００５２】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図６（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図６（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００５３】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００５４】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００５５】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図６（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００５６】
図７は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５７】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００５８】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００５９】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６０】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００６１】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００６２】
図８は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００６３】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００６４】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６５】
図９は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００６６】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００６７】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００６８】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００６９】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７０】
次に、図１０は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００７１】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００７２】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００７３】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００７４】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００７５】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００７６】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００７７】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００７８】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００７９】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００８０】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００８１】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００８２】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１１〜図１９を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００８３】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１２に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１３に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００８４】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００８５】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００８６】
図１４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１５に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００８７】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００８８】
そして次に、図１６に示すように、各色のうちのいずれか（図１６の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００８９】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１７に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００９０】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図１８に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９１】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００９２】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図１９に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００９３】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００９４】
次に、図２０は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【００９５】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【００９６】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【００９７】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９８】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【００９９】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１００】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１０１】
次に、図２１は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１０２】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１０３】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１０４】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０５】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１０６】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２２（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２２（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１０７】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置の側面模式図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】機能液供給装置の系統図である。
【図５】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図６】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１１】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１３】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１４】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１５】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１６】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１７】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１８】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２０】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２１】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２２】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１０９】
１…液滴吐出装置 ４…描画装置 ５…機能液供給装置 ７…制御装置 １７…機能液滴吐出ヘッド ４４…ヘッド内流路 ４６…吐出ノズル ６２…洗浄液タンク ６４…溶媒タンク ６５…溶液タンク ７１…洗浄液切替バルブ ７２…切替えバルブ ５６…吸引機構 ６１…機能液タンク ６７…タンク側チューブ ６８…ヘッド側チューブ Ｗ…ワーク
【技術分野】
【０００１】
機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、機能液を充填する機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のインク充填方法（機能液充填方法）として、予め界面活性剤溶液あるいは着色成分を除いたインク溶液を保存液としてインクジェットヘッドのヘッド内流路に充填させ、インクジェットヘッドのノズル面側からインクと共に吸引することで、インクを充填する方法が知られている（特許文献１参照）。このような充填方法では、界面活性剤により保存液の表面張力を弱めることで濡れ性を高め、インクジェットヘッドのヘッド内流路の隅々まで保存液を行き渡らせた後、保存液とインクとを置換することができる。
【特許文献１】特開２００４−１１４６４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のインク充填方法では、インクジェットヘッドのヘッド内流路に、気泡を残留させることなくインクを充填することができるが、インクタンクからインクジェットヘッドに至るまでのインク流路では、保存液が充填されていないため、インク充填時に、流路内に気泡が残留してしまう問題が生じる。また、界面活性剤を保存液としてヘッド内流路に長時間充填しておくと、保存液中の不純物が析出して目詰まりが生じてしまうおそれがある。さらに、保存液がヘッド内流路の狭い部分に残り易く、初期充填時に、保存液とインクとが置換せず保存液がインクジェットヘッド内に残留してしまう。その結果、初期充填時に多量のインクを無駄に流すことになったり、経時的に保存液とインクの構成成分とが反応して、副生成物を生産してしまうおそれがある。
【０００４】
本発明は、機能液タンクから機能液的吐出ヘッドに至るまでの機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、気泡を残すことなく、機能液の初期充填を行うことができる機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法は、機能液流路を介して、機能液タンクからインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を導入し、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に対し機能液の初期充填を行う初期充填工程と、初期充填工程に先立ち、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液する洗浄液通液工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の機能液供給装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクと、機能液滴吐出ヘッドに洗浄液を供給する洗浄液タンクと、機能液タンクおよび洗浄タンクと、機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液流路と、機能液流路の上流端を、機能液タンクと洗浄タンクとの間で流路切替えする流路切替え手段と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密接し、機能液および洗浄液を個々に吸引する吸引手段と、流路切替え手段および吸引手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、機能液流路を機能液タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に機能液を充填する初期充填動作に先立ち、機能液流路を洗浄液タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液する洗浄液通液動作を実行することを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に機能液を充填する前に、洗浄液によってこれら流路内を洗浄するため、これら流路内の異物を洗い流すことができるだけでなく、継手の隅部等に残り易い気泡を洗い流し、流路内面に膜として残る。このため、次に機能液を充填すると、機能液が洗浄液を洗い流すように機能液と置換し、初期充填状態で、機能液流路およびヘッド内流路に気泡が残ることがない。したがって、気泡による機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を有効に防止することができる。
【０００８】
この場合、洗浄液通液工程では、洗浄液として機能液の溶媒を用いること、或いは洗浄液として界面活性剤を含む溶液を用いることが、好ましい。
【０００９】
また、この場合、洗浄液が、機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液のいずれかであることが、好ましい。
【００１０】
これらの構成によれば、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路の機能液に対する親和性を向上させることができ、気泡の残留を有効に防止することができる。なお、界面活性剤は、ブチルジグリコールアセテートであることが好ましい。
【００１１】
この場合、洗浄液通液工程では、洗浄液として機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液を用い、溶媒を通液した後、溶液を通液することが、好ましい。
【００１２】
また、この場合、洗浄液が、機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液であり、洗浄液タンクは、溶媒を貯留する溶媒タンクと、溶液を貯留する溶液タンクとから成り、流路切り替え手段は、機能液タンクと溶媒タンクと溶液タンクとの相互間で、流路切替え可能に構成され、制御手段は、洗浄液通液動作において、機能液流路を溶媒タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に溶媒を通液する溶媒通液動作の後、機能液流路を溶液タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に溶液を通液する溶液通液動作を実行することが、好ましい。
【００１３】
これらの構成によれば、溶媒により、吐出試験等に用いた機能液をヘッド内流路から円滑に洗い流すことができると共に、溶液により、機能液流路およびヘッド内流路の機能液に対する親和性を向上させることができる。したがって、機能液を初期充填したときに、機能液流路およびヘッド内流路に気泡が残るのを有効に防止することができる。
【００１４】
この場合、洗浄液通液工程では、洗浄液として機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液を用い、溶媒を通液した後、溶液を通液し、再度溶媒を通液することが、好ましい。
【００１５】
また、この場合、洗浄液が、機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液であり、洗浄液タンクは、溶媒を貯留する溶媒タンクと、溶液を貯留する溶液タンクとから成り、流路切り替え手段は、機能液タンクと溶媒タンクと溶液タンクとの相互間で、流路切替え可能に構成され、制御手段は、洗浄液通液動作において、機能液流路を溶媒タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に溶媒を通液する溶媒通液動作の後、機能液流路を溶液タンク側に切り替えると共に吸引手段を駆動して、機能液流路および機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に溶液を通液する溶液通液動作を実行し、再度溶媒通液動作を実行することをが、好ましい。
【００１６】
これらの構成によれば、濡れ性が向上した機能液流路およびヘッド内流路に、再度、機能液の溶媒を通液するため、流路内に残留している界面活性剤を完全に洗い流すことができ、界面活性剤が機能液に混入するのを確実に防止することができる。
【００１７】
この場合、初期充填工程では、機能液流路を機能液タンクに接続した状態で、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を吸引することで、初期充填が行われ、洗浄液通液工程では、機能液流路を機能液タンクから洗浄液タンクに切替え接続した状態で、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから洗浄液を吸引することで、通液が行われることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、機能液の初期充填と同様の吸引動作で、洗浄液の通液を行うことができるため、装置構成を単純化することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、上記に記載の機能液供給装置と、ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる描画装置と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、機能液流路およびヘッド内流路内を洗浄した後、機能液を充填し、ワークに対して描画することができるため、一連の動作を一つの装置で行うことができるため、作業時間を短縮することができると共に、液滴吐出装置を小型化することができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２３】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を効率良く行うことができる液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置および機能液的吐出ヘッドの機能液充填方法について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２５】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド１７を有し、機台２上に十字状に載置された描画装置４と、描画装置４に接続した機能液供給装置５と、描画装置４に添設するように機台２上に載置したメンテナンス装置６と、これらを制御する制御装置７と、を備えている。液滴吐出装置１は、機能液供給装置５により機能液の供給を受けながら、制御装置７による制御に基づいて、供給された機能液を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。また、機能液滴吐出ヘッド１７に対して、メンテナンス装置６がメンテナンスを行うようになっている。
【００２６】
描画装置４は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル１１およびＸ軸テーブル１１に直交するＹ軸テーブル１２から成るＸ・Ｙ移動機構１３と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１３と、メインキャリッジ１３に垂設され、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載したヘッドユニット１４と、を有している。
【００２７】
Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ１５を有し、これに吸着テーブル１６およびθテーブル３等から成るセットテーブル２１を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ１９を有し、これにヘッドユニット１４を支持する上記のメインキャリッジ１３をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル１２は、機台２上に立設した左右の支柱２０に支持されており、Ｘ軸テーブル１１およびメンテナンス装置６を跨ぐようにＹ軸方向に平行に延在している（図１および図２参照）。
【００２８】
液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア２７、Ｙ軸テーブル１２およびメンテナンス装置６が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド１７に対する機能回復および機能維持の処理（メンテナンス）を行う保守エリア２２となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア２７に、メンテナンスを行う場合には保守エリア２２に、ヘッドユニット１４を臨ませるようになっている。
【００２９】
メインキャリッジ１３は、図２に示すように、Ｙ軸テーブル１２のＹ軸スライダ１９に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材２３と、吊設部材２３の下面に取り付けられ、ヘッドユニット１４のθ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構２４と、θ回転機構２４の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体（キャリッジ）２５と、で構成されている。キャリッジ本体２５は、位置決め機構を有する枠状フレーム（図示省略）を有し、これに後述の支持フレーム２６を介してヘッドユニット１４を位置決め状態で固定されている。また、後述する各タンク６１，６４，６５は、メインキャリッジ１３上に配置されており、タンク側チューブ６７によって、機能液滴吐出ヘッド１７と連結している。
【００３０】
支持フレーム２６は、略方形の枠状に形成されており、図２に示すように、下側からヘッドユニット１４、圧力調整弁３１の順でこれらを位置決め状態で搭載している。なお、支持フレーム２６には、一対のハンドル（図示省略）が取り付けられており、この一対のハンドルを手持ち部位として、支持フレーム２６をメインキャリッジ１３に着脱できるようになっている。
【００３１】
図２に示すように、ヘッドユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド１７と、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド１７を搭載するヘッドプレートと、を備えている。ヘッドプレートは、支持フレーム２６に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット１４は、支持フレーム２６を介してキャリッジ本体２５に位置決めして搭載される。
【００３２】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針４１（機能液導入口）を有する機能液導入部４２と、機能液導入部４２に連なる２連のヘッド基板４３と、ヘッド基板４３の下方に連なり機能液で満たされるヘッド内流路４４が内部に形成されたヘッド本体４５と、を備えている。接続針４１は、図外の機能液供給チューブ６３に接続され、機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体４５に機能液を供給する。ヘッド本体４５は、複数の吐出ノズル４６が開口したノズル面４７を有するノズルプレート４８と、ピエゾ圧電素子（図示省略）を設けた圧力室（図示省略）と、各圧力室と各吐出ノズル４６とを流路接続する分岐流路（図示省略）と、を有している。ノズル面４７には、各分岐流路に連なる多数（１８０個）の吐出ノズル４６から成るノズル列４９が形成されている。すなわち、接続針４１（機能液導入口）、圧力室、分岐流路および吐出ノズル４６に至る流路によりヘッド内流路４４が構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、圧力室がポンプ様に作用し、吐出ノズル４６から機能液滴を吐出させる。
【００３３】
次に、図１を参照して、メンテナンス装置６について説明する。メンテナンス装置６は、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面を封止して吐出ノズル４６の乾燥を防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４６から増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット５１と、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４７に付着する汚れを払拭するワイピングユニット５２とを有している。これら両ユニット５１，５２は、機台２上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル５３上に搭載され、この移動テーブル５３によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。
【００３４】
保管・吸引ユニット５１は、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ５４と、封止キャップ５４を昇降させるキャップ昇降機構５５と、封止キャップ５４に接続した状態で機能液滴吐出ヘッド１７を吸引するエジェクタや吸引ポンプ等で構成される吸引機構５６と、吸引機構５６で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク５７と、を有している。描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド１７が移動テーブル５３上の保守エリア２２に移動しており、封止キャップ５４は、機能液滴吐出ヘッド１７から僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド１７のフラッシング（捨て吐出）を受ける。そして、機能液滴吐出ヘッド１７が稼動待機状態になると、封止キャップ５４が完全に上昇して機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４７のキャッピングを行い、各機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル４６を封止する。続いて、キャッピング状態の機能液滴吐出ヘッド１７を再駆動する際には、機能液の増粘によるノズル詰りを防止すべく、必要に応じて吸引機構５６の駆動を行い、吐出ノズル４６から増粘した機能液を吸引する。なお、詳細は後述するが、この吸引機構５６および廃液タンク５７は、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を初期充填する際にも用いられる。
【００３５】
同図に示すように、ワイピングユニット５２には、ワイピングシート５８が繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート５８を送りながら、且つ移動テーブル５３によりワイピングユニット５２をＸ軸方向に移動させつつ、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４７を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面に付着した機能液が取り除かれ、吐出した機能液滴の飛行曲がり等が防止される。なお、メンテナンス装置６として、上記の両ユニット５１，５２に加え、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。
【００３６】
次に、図４の系統図を参照して、機能液供給装置５廻りの構成について説明する。機能液供給装置５は、支持フレーム２６に支持されており、機能液を貯留する機能液タンク６１と、洗浄液を貯留する洗浄液タンク６２と、機能液タンク６１および洗浄液タンク６２と機能液滴吐出ヘッド１７とを接続する機能液供給チューブ（機能液供給流路）６３と、機能液供給チューブ６３に介設した圧力調整弁３１と、を有している。この場合、洗浄液タンク６２は、装置の組立時やヘッドユニット１４の交換時における、いわゆる機能液の機能液滴吐出ヘッド１７への初期充填の際に用いるものであり、洗浄液としての機能液の溶媒を貯留する溶媒タンク６４と、洗浄液としての界面活性剤を含む溶液を貯留する溶液タンク６５と、で構成されている。なお、機能液タンク６１は、パック式のタンクであってもよいし、図外のメインタンクから機能液の供給を受けるサブタンクであってもよい。
【００３７】
機能液供給チューブ６３は、各タンク６１，６４，６５から継手６６に至るタンク側チューブ６７と、継手６６から圧力調整弁３１を経て機能液滴吐出ヘッド１７に至るヘッド側チューブ６８と、を有している。ヘッド側チューブ６８は、ヘッドユニット１４に組み込まれており、ヘッドユニット１４と共に装置に搬入される。一方、各タンク６１，６４，６５およびタンク側チューブ６７は、メインキャリッジ１３に搭載されており、ヘッドユニット１４の交換時等において、タンク側チューブ６７とヘッド側チューブ６８とが継手６６（ワンタッチ接続のカプラ）により離接されるようになっている。
【００３８】
タンク側チューブ６７は、上流端が溶媒タンク６４に接続された溶媒タンク側短チューブ６９と、上流端が溶液タンク６５に接続された溶液タンク側短チューブ７０と、洗浄液切替えバルブ７１を介して両タンク側短チューブ６９，７０の下流端から継手６６に至る主タンク側チューブ６７と、上流端を機能液タンク６１に接続されると共に、下流端を切替バルブ７２を介して、主タンク側チューブ６７に接続された機能液タンク側短チューブ７３とで、構成されている。そして、主タンク側チューブ６７の下流端に、主タンク側チューブ６７とタンク側チューブ６７をワンタッチ接続する継手６６が接続されている。なお、請求項にいう流路切替え手段は、洗浄液切替えバルブ７１および切替バルブ７２により構成されている。
【００３９】
ヘッド側チューブ６８は、その上流端に継手６６に接続されると共に下流端に機能液滴吐出ヘッド１７が接続され、中間位置には圧力調整弁３１が介設されている。詳細は後述するが、各タンク６１，６４，６５に貯留している各液体は、両バルブ７１，７２を切り替えると共に、上記保管・吸引ユニット５１の吸引機構５６（エジェクタまたは吸引ポンプ）を駆動することで、機能液供給チューブ６３を介して、機能液滴吐出ヘッド１７に通液あるいは充填するようになっている。なお、請求項の機能液供給装置１は、実施形態の機能液供給装置５に保管・吸引ユニット５１を加えたものである。
【００４０】
圧力調整弁３１は、機能液滴吐出ヘッド１７の上流側近傍に配置されており、特に図示していないが、機能液タンク６１、溶媒タンク６４および溶液タンク６５に連なる１次室と、機能液滴吐出ヘッド１７に連なり液体が減圧される２次室と、１次室と２次室とを連通する連通流路と、連通流路に設けた弁体とを有し、いわゆる大気圧基準の減圧弁を構成している。機能液タンク６１が高い位置にあっても、この圧力調整弁３１により、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４７における機能液の水頭が適切な値になるように調整される。また、１次室側と２次室側とは、弁体により縁切りされており、機能液タンク６１側で発生した脈動等が機能液滴吐出ヘッド１７まで伝わるのが防止されている（ダンパー機能）。すなわち、ワークＷに対する描画に伴って、圧力調整弁３１に送られてくる機能液の液圧は、経時的に変化するが、機能液滴吐出ヘッド１７は、圧力調整弁３１により常に一定の圧力で液滴を吐出するようになっている。
【００４１】
制御装置７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）およびＲＡＭ（Random Access Memory）等により主要部が構成され、ワークＷに対する描画動作、機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンスおよび後述する各種の運転形態別に、両バルブ７１，７２を切り替え且つ吸引機構５６を駆動して通液動作をなどを制御する。
【００４２】
次に、上記の機能液供給装置５および上記の保管・吸引ユニット５１を用いた機能液滴吐出ヘッド１７における一連の機能液充填方法について、図４を参照して説明する。ヘッドユニット１４の交換時等においては、継手６６（雌側）から上流側のタンク側チューブ６７には、それぞれ機能液や洗浄液が既に充填されており、ここでの機能液充填方法は、継手６６（雄側）以降のヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に機能液を充填するものであり、請求項に言う機能液流路は、継手６６以降の圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブおよびヘッド内流路４４となる。この場合、機能液充填方法には、洗浄液を通液する洗浄動作と、機能液を充填する初期充填動作とが行われ、初期充填動作は、吸引による一般的な機能液滴吐出ヘッド１７の初期充填に相当する。
【００４３】
洗浄動作は、ヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に、機能液の溶媒を通液する第１溶媒通液動作と、溶媒と界面活性剤とを有する溶液を流路内に通液する溶液通液動作と、再度機能液の溶媒を流路内に通液する第２溶媒通液動作と、により行われる。
【００４４】
第１溶媒通液動作では、まず、洗浄液切替えバルブ７１を溶媒タンク６４側に切り替えると共に、切替バルブ７２を洗浄液タンク６２側に切り替えて、溶媒タンク６４と機能液滴吐出ヘッド１７とを、機能液供給チューブ６３を介して連通させた後、吸引機構５６を駆動する。これにより、溶媒タンク６４に貯留している溶媒は、溶媒タンク側短チューブ６９および主タンク側チューブ６７を経て、圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液される。
【００４５】
同様に、溶液通液動作では、まず、洗浄液切替えバルブ７１を溶液タンク６５側に切り替えると共に、切替バルブ７２を洗浄液タンク６２側に切り替えて、溶液タンク６５と機能液滴吐出ヘッド１７とを、機能液供給チューブ６３を介して連通させた後、吸引機構５６を駆動する。これにより、溶液タンク６５に貯留している溶液を、圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液する。
【００４６】
第２溶媒通液動作では、再度、洗浄液切替えバルブ７１を溶媒タンク６４側に切り替えると共に、切替バルブ７２を洗浄液タンク６２側に切り替えて、溶媒タンク６４と機能液滴吐出ヘッド１７とを、機能液供給チューブ６３を介して連通させた後、吸引機構５６を駆動する。これにより、溶媒タンク６４に貯留している溶媒を、圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液する。
【００４７】
以上の洗浄動作が完了すると続いて初期充填動作に移行する。初期充填動作では、切替バルブ７２を機能液タンク６１側に切り替えて、機能液タンク６１と機能液滴吐出ヘッド１７とを、機能液供給チューブ６３を介して連通させる。そして、吸引機構５６を駆動することで、機能液タンク６１に貯留している機能液を、圧力調整弁３１を含むヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液する。この通液を所定時間行った後、吸引機構５６を停止して初期充填を完了する。なお、初期充填の後、機能液滴吐出ヘッド１７のワイピングを行って、機能液滴吐出ヘッド１７を描画待機状態とする。
【００４８】
以上によれば、機能液の溶媒をヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路４４に通液することで、ヘッド側チューブ６８およびヘッド内流路４４を機能液に対して親和性を高めた後、界面活性剤を含む溶液を通液することで流路内の隅部に行き渡らせると共に、異物を除去することができる。そして、再度機能液の溶媒を通液することで、流路内に残留している界面活性剤を洗い流し、流路内の界面活性剤を機能液と置換する。これにより、特に継手６６や圧力調整弁３１の内部の狭い部分に気泡が残留することなく、機能液をヘッド側チューブ６８および機能液滴吐出ヘッド１７に充填することができる。
【００４９】
なお、洗浄動作は、機能液の溶媒あるいは溶液を通液するだけでもよく、洗浄の順序および洗浄の回数が限定されるものではない。
【００５０】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００５１】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００５２】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図６（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図６（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００５３】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００５４】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００５５】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図６（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００５６】
図７は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５７】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００５８】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００５９】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６０】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００６１】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００６２】
図８は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００６３】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００６４】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６５】
図９は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００６６】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００６７】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００６８】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００６９】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７０】
次に、図１０は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００７１】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００７２】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００７３】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００７４】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００７５】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００７６】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００７７】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００７８】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００７９】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００８０】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００８１】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００８２】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１１〜図１９を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００８３】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１２に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１３に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００８４】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００８５】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００８６】
図１４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１５に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００８７】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００８８】
そして次に、図１６に示すように、各色のうちのいずれか（図１６の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００８９】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１７に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００９０】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図１８に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９１】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００９２】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図１９に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００９３】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００９４】
次に、図２０は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【００９５】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【００９６】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【００９７】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９８】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【００９９】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１００】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１０１】
次に、図２１は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１０２】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１０３】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１０４】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０５】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１０６】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２２（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２２（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１０７】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置の側面模式図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】機能液供給装置の系統図である。
【図５】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図６】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１１】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１３】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１４】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１５】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１６】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１７】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１８】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２０】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２１】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２２】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１０９】
１…液滴吐出装置 ４…描画装置 ５…機能液供給装置 ７…制御装置 １７…機能液滴吐出ヘッド ４４…ヘッド内流路 ４６…吐出ノズル ６２…洗浄液タンク ６４…溶媒タンク ６５…溶液タンク ７１…洗浄液切替バルブ ７２…切替えバルブ ５６…吸引機構 ６１…機能液タンク ６７…タンク側チューブ ６８…ヘッド側チューブ Ｗ…ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液流路を介して、機能液タンクからインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を導入し、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に対し機能液の初期充填を行う初期充填工程と、
前記初期充填工程に先立ち、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液する洗浄液通液工程と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項２】
前記洗浄液通液工程では、前記洗浄液として前記機能液の溶媒を用いることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項３】
前記洗浄液通液工程では、前記洗浄液として界面活性剤を含む溶液を用いることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項４】
前記洗浄液通液工程では、前記洗浄液として前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液を用い、
前記溶媒を通液した後、前記溶液を通液することを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項５】
前記洗浄液通液工程では、前記洗浄液として前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液を用い、
前記溶媒を通液した後、前記溶液を通液し、再度前記溶媒を通液することを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項６】
前記初期充填工程では、前記機能液流路を前記機能液タンクに接続した状態で、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を吸引することで、前記初期充填が行われ、
前記洗浄液通液工程では、前記機能液流路を前記機能液タンクから洗浄液タンクに切替え接続した状態で、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから洗浄液を吸引することで、前記通液が行われることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項７】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクと、
前記機能液滴吐出ヘッドに洗浄液を供給する洗浄液タンクと、
前記機能液タンクおよび前記洗浄タンクと、前記機能液滴吐出ヘッドとを接続する前記機能液流路と、
前記機能液流路の上流端を、前記機能液タンクと前記洗浄タンクとの間で流路切替えする流路切替え手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密接し、前記機能液および前記洗浄液を個々に吸引する吸引手段と、
前記流路切替え手段および前記吸引手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記機能液流路を前記機能液タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に機能液を充填する初期充填動作に先立ち、
前記機能液流路を前記洗浄液タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液する洗浄液通液動作を実行することを特徴とする機能液供給装置。
【請求項８】
前記洗浄液が、前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液のいずれかであることを特徴とする請求項７に記載の機能液供給装置。
【請求項９】
前記洗浄液が、前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液であり、
前記洗浄液タンクは、前記溶媒を貯留する溶媒タンクと、前記溶液を貯留する溶液タンクとから成り、
前記流路切り替え手段は、前記機能液タンクと前記溶媒タンクと前記溶液タンクとの相互間で、流路切替え可能に構成され、
前記制御手段は、洗浄液通液動作において、前記機能液流路を前記溶媒タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記溶媒を通液する溶媒通液動作の後、
前記機能液流路を前記溶液タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記溶液を通液する溶液通液動作を実行することを特徴とする請求項７に記載の機能液供給装置。
【請求項１０】
前記洗浄液が、前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液であり、
前記洗浄液タンクは、前記溶媒を貯留する溶媒タンクと、前記溶液を貯留する溶液タンクとから成り、
前記流路切り替え手段は、前記機能液タンクと前記溶媒タンクと前記溶液タンクとの相互間で、流路切替え可能に構成され、
前記制御手段は、洗浄液通液動作において、前記機能液流路を前記溶媒タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記溶媒を通液する溶媒通液動作の後、
前記機能液流路を前記溶液タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記溶液を通液する溶液通液動作を実行し、
再度前記溶媒通液動作を実行することを特徴とする請求項７に記載の機能液供給装置。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれかに記載の機能液供給装置と、ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる描画装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１】
機能液流路を介して、機能液タンクからインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を導入し、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に対し機能液の初期充填を行う初期充填工程と、
前記初期充填工程に先立ち、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液する洗浄液通液工程と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項２】
前記洗浄液通液工程では、前記洗浄液として前記機能液の溶媒を用いることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項３】
前記洗浄液通液工程では、前記洗浄液として界面活性剤を含む溶液を用いることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項４】
前記洗浄液通液工程では、前記洗浄液として前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液を用い、
前記溶媒を通液した後、前記溶液を通液することを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項５】
前記洗浄液通液工程では、前記洗浄液として前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液を用い、
前記溶媒を通液した後、前記溶液を通液し、再度前記溶媒を通液することを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項６】
前記初期充填工程では、前記機能液流路を前記機能液タンクに接続した状態で、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を吸引することで、前記初期充填が行われ、
前記洗浄液通液工程では、前記機能液流路を前記機能液タンクから洗浄液タンクに切替え接続した状態で、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから洗浄液を吸引することで、前記通液が行われることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法。
【請求項７】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクと、
前記機能液滴吐出ヘッドに洗浄液を供給する洗浄液タンクと、
前記機能液タンクおよび前記洗浄タンクと、前記機能液滴吐出ヘッドとを接続する前記機能液流路と、
前記機能液流路の上流端を、前記機能液タンクと前記洗浄タンクとの間で流路切替えする流路切替え手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密接し、前記機能液および前記洗浄液を個々に吸引する吸引手段と、
前記流路切替え手段および前記吸引手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記機能液流路を前記機能液タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に機能液を充填する初期充填動作に先立ち、
前記機能液流路を前記洗浄液タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液する洗浄液通液動作を実行することを特徴とする機能液供給装置。
【請求項８】
前記洗浄液が、前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液のいずれかであることを特徴とする請求項７に記載の機能液供給装置。
【請求項９】
前記洗浄液が、前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液であり、
前記洗浄液タンクは、前記溶媒を貯留する溶媒タンクと、前記溶液を貯留する溶液タンクとから成り、
前記流路切り替え手段は、前記機能液タンクと前記溶媒タンクと前記溶液タンクとの相互間で、流路切替え可能に構成され、
前記制御手段は、洗浄液通液動作において、前記機能液流路を前記溶媒タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記溶媒を通液する溶媒通液動作の後、
前記機能液流路を前記溶液タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記溶液を通液する溶液通液動作を実行することを特徴とする請求項７に記載の機能液供給装置。
【請求項１０】
前記洗浄液が、前記機能液の溶媒および界面活性剤を含む溶液であり、
前記洗浄液タンクは、前記溶媒を貯留する溶媒タンクと、前記溶液を貯留する溶液タンクとから成り、
前記流路切り替え手段は、前記機能液タンクと前記溶媒タンクと前記溶液タンクとの相互間で、流路切替え可能に構成され、
前記制御手段は、洗浄液通液動作において、前記機能液流路を前記溶媒タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記溶媒を通液する溶媒通液動作の後、
前記機能液流路を前記溶液タンク側に切り替えると共に前記吸引手段を駆動して、前記機能液流路および前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記溶液を通液する溶液通液動作を実行し、
再度前記溶媒通液動作を実行することを特徴とする請求項７に記載の機能液供給装置。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれかに記載の機能液供給装置と、ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる描画装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２００９−１１２８８５（Ｐ２００９−１１２８８５Ａ）
【公開日】平成２１年５月２８日（２００９．５．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２８５３９１（Ｐ２００７−２８５３９１）
【出願日】平成１９年１１月１日（２００７．１１．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年５月２８日（２００９．５．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１１月１日（２００７．１１．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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