【課題】吐出開始時におけるノズルからの高粘度液体の吐出量を抑え、高品質な塗布作業を行う。
【解決手段】 ホットメルト接着剤Ｂを、ポンプユニット３からヒーティングホース４を通して圧送し、塗布ガン２の吐出ノズル８から吐出する。ポンプユニット３の還流路１４に、ホットメルト接着剤Ｂの圧送圧力を調整するためのエア作動式の圧力調整バルブ１５を設ける。圧力調整バルブ１５とエア源６との間にエア供給路２４，２５を並列に設け、作動エア圧力を高圧側に調整するための第１のエアレギュレータ２６、低圧側に調整するための第２のエアレギュレータ２９、第１，第２の切替弁２８，３１及びそれらを制御するシーケンサ７を設ける。シーケンサ７は、塗布ガン２におけるホットメルト接着剤Ｂの非吐出時に、作動エア圧力を低圧側とし、ホットメルト接着剤Ｂの吐出開始時に、作動エア圧力を高圧側に切替える。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＰコーターを用いて基板表面にレジスト膜を形成する場合、基板面内の塗布膜厚の均一性が良好なマスクブランクの製造方法、及び基板面内の塗布膜厚の均一性を向上させることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】転写パターンを形成するための薄膜を有する基板の被塗布面に、液状のレジスト剤２１を収容した液槽２０からノズル２２を通過してノズル先端開口部に到達したレジスト剤を接液させ、基板とノズルとを相対的に移動させることによって、被塗布面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する工程を含むマスクブランクの製造方法である。このレジスト膜形成工程において、前記液槽２０と連通し、レジスト剤を収容する緩衝槽６０を配置することにより、被塗布面へのレジスト剤の塗布中は、液槽内のレジスト剤の液面高さの変動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】複数のユースポイントへの液体の分配供給を可能とする液体供給システムにおいて、構成の煩雑化を回避しつつ、液体圧力を望み通りに適正に制御する。
【解決手段】本システムでは、液体を流通させる主供給ライン１２と、その主供給ライン１２の途中に設けられたポンプ１３と、主供給ライン１２から分岐させて設けられた複数の分岐ラインＬＮ１〜ＬＮｎとを備えており、開閉弁２１により各分岐ラインＬＮ１〜ＬＮｎが個別に開閉されて当該各ラインにおける液体の流通が許可又は禁止される。圧力制御部３０内のコントローラ３５は、各分岐ラインの開閉が要求される場合に、その開閉に伴う分岐ラインの流量変化分に相当する電空レギュレータ３２の制御量を算出するとともに、分岐ラインの開閉に同期させて、前記アクチュエータ制御量に基づいて電空レギュレータ３２の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】液剤の滴下量の精度向上を図ることができる液剤滴下装置を提供すること。
【解決手段】シリンジ２４を、プランジャ３１が水平方向に沿って往復動するように配置するとともに、プランジャ３１を水平方向に沿って往復動させることでシリンジ２４内への液晶の供給及びノズル７０からの液晶の吐出を行うようにした。そして、プランジャ３１を、リニアモータ８０によって往復動するようにした。 （もっと読む）

【課題】ポンプの吐出圧力を必要以上に高くすることなく、定圧弁の二次側圧力若しくは二次側流量を一定に保って、定圧若しくは定流量の処理液の供給を実現できるようにすること。
【解決手段】処理液を貯留する処理液タンク３と、処理液を供給する処理液供給ノズル３６とを接続する配管２に、処理液タンク３から処理液を連続的に吐出するベローズポンプ４と、このベローズポンプ４の二次側に位置し、ベローズポンプ４による液流の脈動を抑制する定圧弁５と、を介設する処理液供給システムにおいて、配管２におけるベローズポンプ４の二次側に、ベローズポンプ４による液流の脈動の圧力低下を補完する気体を供給する気体供給源７を接続すると共に、この気体供給源７から配管２内に供給された気体を排出する気体抜き部８ａを有するフィルタ８を介設する。 （もっと読む）

【課題】経時変化等に伴う材料自体の粘度変化が生じても、吐出量を高精度で所定量に制御することができる液体材料の吐出方法及び吐出装置を提供する。
【解決手段】吐出量を測定するタイミングを計画し、実行するスケジューリング部９と、スケジューリング部９からのタイミングにより加圧力と吐出量の関係を計測する吐出量測定部７と、計測情報を追記記憶する情報記憶部８と、液体材料を吐出する都度、情報記憶部８の情報から電空レギュレータ５への加圧力を算出更新する加圧力制御部６と、を含む。加圧力制御部６は、情報記憶部８に記憶されている計測情報から、液体材料２を吐出する度に、所定吐出量となる加圧力を算出し、算出結果に従って電空レギュレータ５を制御する。 （もっと読む）

【課題】メインタンクは交換時に、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要のない機能液供給装置。
【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッド１７に、機能液をそれぞれ供給する複数のサブタンク１２１と、複数のサブタンク１２１に機能液をそれぞれ補給するメインタンク１８１と、上流側をメインタンク１８１に接続し、下流側を各サブタンク１２１に接続した上流側機能液流路１２６と、上流側機能液流路１２６に介設したバッファタンク１２３と、メインタンク１８１に交換時に、バッファタンク１２３内の機能液を各サブタンク１２１に加圧送液可能な窒素ガス供給設備８５と、上流側機能液流路１２６に介設され、機能液を開閉動作により各サブタンク１２１に補給する複数の第４開閉弁１３９と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】メインタンクの交換時に、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要のない機能液供給装置を提供する。
【解決手段】複数のサブタンク１２１と、複数のサブタンク１２１に機能液をそれぞれ補給する単一のタンクユニット１２２と、上流側をタンクユニット１２２に接続し、下流側を各サブタンクに接続した上流側機能液流路１２６と、タンクユニット１２２から加圧送液された機能液を、開閉動作により各サブタンク１２１に補給する複数の第３開閉弁１３９と、を備え、タンクユニット１２２は、一対のメインタンク１８１と、一対のメインタンク１８１に接続した窒素ガス供給設備８５と、一対のメインタンク１８１からの機能液の加圧送液を交互に切替え可能な切替え機構１８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】キャリッジ上にインクカートリッジなどの流体貯留部を配置した、いわゆるオンキャリッジタイプの流体噴射装置において、流体貯留部から流体噴射ヘッドに流体を良好に供給する。
【解決手段】インクカートリッジ７が気密状態の収容空間７３を有するように構成するとともに、インクを貯留したインクパック７１が収容空間７３に収容されている。そして、キャリッジ６の移動に応じてポンプ８を作動させ、収容空間７３に対して空気を送り込んで収容空間７３内の圧力を高める。したがって、インクパック７１内のインクを確実に記録ヘッド５側に送り出すことができ、インクパック７１内へのインクの残留を効果的に防止することができ、インクを無駄なく消費することができる。 （もっと読む）

【課題】滴下（供給）した液晶剤の重量を正確に、かつ容易に検出できる液状物質滴下装置、及び液状物質滴下方法を提供すること。
【解決手段】第１の発明は、液状物質を滴下させる液状物質滴下装置であり、前記液状物質を収容し、収容された該液状物質の重量を計測する計量容器と、該計量容器と送液管を介して連結し、該計量容器に収容されている前記液状物質を滴下させる滴下機構を備え、前記送液管の流入側開口端を、該送液管を前記計量容器に接触させることなく、該計量容器に収容されている前記液状物質内に差し入れたことを特徴として液状物質滴下装置を構成した。これにより、滴下した液状物質の量を正確に計測することができる。 （もっと読む）

【課題】 安定的な液滴供給を行う。
【解決手段】 配管９の外壁には、振動部２１が取り付けられている。振動部２１はピエゾ素子を有しており、このピエゾ素子には、電源部１７から所定の正弦波電圧が与えられる。これによりピエゾ素子が周期的に振動すると、その振動が配管９に伝達され、配管９が高速で振動する。ノズル１３は固定されているので、ノズル１３から吐出される水は、吐出された後、液滴状態となる。ノズル１３を振動させる必要がないので、液滴のばらつきを防止できる。 （もっと読む）

【課題】オフキャリッジタイプの流体噴射装置において供給チューブへの空気混入を効果的に防止するとともに、流体噴射ヘッド側でトラブルが発生したとしても流体漏れ量を最小限に抑制する。
【解決手段】電源オフ指令を受けると、装置電源を落とす前に強制加圧処理が実行される。このため、電源が落とされて記録ヘッド５へのインク供給が停止される間も、供給チューブ２３１〜２３６内が加圧状態に維持され、外部からの供給チューブ２３１〜２３６への空気混入が防止される。また、供給チューブ２３１〜２３６のインクパック側に開閉弁２４１〜２４６がそれぞれ設けられ、インクの流通／遮断が切替可能となっている。そして、電源オフ状態（記録ヘッド５へのインク供給が停止される間）、開閉弁２４１〜２４６はインクパック２２１〜２２６からの流体の流出を規制している。 （もっと読む）

【課題】処理液供給系から送出される処理液の圧力に生じるリップルの影響を低減し、塗布むらの発生を抑制して均一な処理液膜を形成する。
【解決手段】基板Ｇ上を平行移動しながらスリット状の吐出口から処理液を吐出し、基板Ｇ表面に処理液Ｒを塗布するノズル１０２と、処理液Ｒをノズル１０２へ送出するポンプ手段２と、ポンプ手段２により送出される処理液Ｒの圧力を検出する圧力検出手段５と、圧力検出手段５が検出した圧力の変化から所定の振幅値以上のリップル周波数の逆位相波を生成し、該逆位相波を所定のタイミングで出力する演算手段７と、演算手段７が出力した前記逆位相波に基づく圧力をポンプ手段２により送出された処理液Ｒに印加する加圧手段９とを備える。 （もっと読む）

【課題】侵食性・腐食性の高い薬液であっても劣化することなく、薬液の定量吐出を行うことのできる薬液吐出装置を提供する。
【解決手段】薬液を貯留する薬液タンクと、該薬液タンク内に加圧空気を供給するエアポンプと、薬液タンク内に垂下すると共に下端に開閉弁を設けた吸液管と、薬液タンクから外部に引き出した吸液管の先端に、一端を連結すると共に他端に薬液吐出口を設けた送液管と、吸液管の昇降手段を備え、開閉弁は弁体をスプリングで付勢して吸液管の下端の弁座を閉鎖すると共に、該弁体から下方突出部を設けており、昇降手段で吸液管を下降させて開閉弁の弁体の下端突出部の端面を薬液タンクの底壁に当接させると開閉弁が開弁され、加圧空気で加圧された薬液が吸液管から送液管を通して薬液吐出口から薬液が吐出される一方、吸液管を上昇させると開閉弁が閉弁して薬液の送給を停止する構成としている。 （もっと読む）

本発明は、圧力容器及び遠心ポンプとを兼ね備え、液体ディスペンスシステムにおいて、液体の圧力及び流量を正確且つ効率的に制御する方法及び装置を提供する。本発明は、特には、半導体製造プロセスにおいて使用される高純度の薬品又はスラリーなどの液体の圧力及び流量の正確且つ効率的な制御に関する。 （もっと読む）

【課題】塗布液供給装置において、シールの安定性向上、吸引時間の短縮等を図る。
【解決手段】シリンジポンプ２のシリンダヘッド９の内面９ａのうち凹部底部９ｅの同一円周上に供給口１８ａ，１８ｂと吐出口１９を設ける。切換ロッド２４の先端に設けた弁板２６に供給口１８ａ，１８ｂ及び吐出口１９と対応する貫通孔２７ａ，２７ｂを設ける。切換ロッド２４はロータリアクチュエータ２３によって回転駆動され、コイルばね４８によって弁板２６がシリンダヘッド９の凹部底部９ｅに押圧される向きに弾性的に付勢される。 （もっと読む）

【課題】不良塗布基板が生産されるのを抑えて塗布基板の生産効率を向上させることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、基板に沿って相対的に移動するとともに基板上に塗布液を塗布する口金と、口金に連通して接続された管路を通じて塗布液を口金に送液する送液手段と、を備える塗布装置であって、前記送液手段と前記口金とを連結する前記管路に圧力検出手段を設け、この圧力検出手段の検出結果により基板上における塗布液の塗布状態を判断するように構成する。 （もっと読む）

【課題】毎回の塗布開始時の液面レベルを再現性良く正確に管理でき、基板間の塗布膜厚の均一性を向上させることができるとともに、液槽中に持ち込まれた浮遊異物を効率的に取り除き、異物による塗布欠陥を大幅に低減することができる塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液を満たした液槽からノズルを通過し、ノズル先端開口部に到達した塗布液を基板の被塗布面に接液させ、基板とノズルを相対的に、被塗布面に平行に移動させることによって、被塗布面に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布方法である。この塗布方法において、一回の塗布終了後に、液槽に塗布液の補給を行い、塗布開始時の所望の液面レベルを超える液面レベルまで液面を一旦上昇させ、次いで、次の塗布に先立ち、液槽中の塗布開始時の所望の液面レベルを超える液面レベルまで蓄えられた塗布液をオーバーフローさせることにより、塗布開始時の所望の液面レベルまで液面を下降させる。 （もっと読む）

【課題】空気圧回路のみの回路構成によって粘性剤の塗布時間を適切に制御できるようにした粘性剤塗布装置を提供する。
【解決手段】手動操作によって切替えられる手動切替えバルブ１１と、エア吐出通路１９中に配設された第１パイロット切替えバルブ１３および第２パイロット切替えバルブと、シリンダにエア圧制御通路より加圧エアが供給された際には第１パイロット切替えバルブを開位置に切替え、シリンダよりエア圧制御通路に加圧エアが排出される際には第１パイロット切替えバルブを閉位置に切替えるエアタイマ部１４と、エアタイマ部とエア圧制御通路との間に配設されエア圧制御通路への加圧エアの排出量を制限する吐出時間調整部１８とによって構成した。 （もっと読む）

【課題】機能液の物性の変化を抑制しつつ、簡易な構造で機能液の圧力を調整できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出ヘッドと、吐出ヘッドと流路を介して接続され、吐出ヘッドに供給するための機能液を収容する第１空間を形成する第１容器と、第１容器を収容し、第１容器との間で第２空間を形成する第２容器と、第２空間の圧力を調整する圧力調整装置と、第１容器の機能液の温度を調整する温度調整装置とを備える。第１容器の少なくとも一部は、圧力調整装置の動作に応じて変形する膜で形成されている。 （もっと読む）