機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
【課題】メインタンクは交換時に、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要のない機能液供給装置。
【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッド１７に、機能液をそれぞれ供給する複数のサブタンク１２１と、複数のサブタンク１２１に機能液をそれぞれ補給するメインタンク１８１と、上流側をメインタンク１８１に接続し、下流側を各サブタンク１２１に接続した上流側機能液流路１２６と、上流側機能液流路１２６に介設したバッファタンク１２３と、メインタンク１８１に交換時に、バッファタンク１２３内の機能液を各サブタンク１２１に加圧送液可能な窒素ガス供給設備８５と、上流側機能液流路１２６に介設され、機能液を開閉動作により各サブタンク１２１に補給する複数の第４開閉弁１３９と、を備えた。
【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッド１７に、機能液をそれぞれ供給する複数のサブタンク１２１と、複数のサブタンク１２１に機能液をそれぞれ補給するメインタンク１８１と、上流側をメインタンク１８１に接続し、下流側を各サブタンク１２１に接続した上流側機能液流路１２６と、上流側機能液流路１２６に介設したバッファタンク１２３と、メインタンク１８１に交換時に、バッファタンク１２３内の機能液を各サブタンク１２１に加圧送液可能な窒素ガス供給設備８５と、上流側機能液流路１２６に介設され、機能液を開閉動作により各サブタンク１２１に補給する複数の第４開閉弁１３９と、を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液を液滴吐出装置の機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の機能液供給装置として、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液を貯留したサブタンクと、サブタンクに機能液を補給する単一のメインタンクと、これら装置間を接続するインクチューブと、ポンプやバルブ等で構成され、インクチューブを介して各装置間で機能液を送液し、また送液を制御する送液手段と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。機能液滴吐出ヘッドから機能液滴が吐出され、サブタンクに貯留された機能液が少なくなると、メインタンクからサブタンクに機能液が補給される。
【特許文献１】特開平１１−４２７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような機能液供給装置では、例えばサブタンクから補給信号を受信している状態で、メインタンクの機能液残量が少なくなり、メインタンクを交換する必要が生ずる場合がある。かかる場合、描画処理を続行すると、サブタンクの機能液が無くなり、機能液滴吐出ヘッドが空吐出の状態になるおそれがあるため、描画処理を停止し、メインタンクを交換する必要がある。すなわち、このような構成では、メインタンクの交換に際し、描画処理を停止する必要があるため、生産性が低下してしまう問題があった。
【０００４】
本発明は、メインタンクの交換時に、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要のない機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液供給装置は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドに、ヘッド側流路を介して機能液をそれぞれ供給する複数のサブタンクと、機能液の加圧送液により、複数のサブタンクに機能液をそれぞれ補給するメインタンクと、上流側をメインタンクに接続した主流路、上流側を主流路に接続した分岐流路および上流側を分岐流路に接続され下流側を各サブタンクに接続した複数の枝流路から成る機能液流路と、主流路に介設したバッファタンクと、メインタンクの交換時に、バッファタンク内の機能液を各サブタンクに加圧送液可能な補助加圧送液手段と、各枝流路に介設され、メインタンクおよびバッファタンクの一方から加圧送液された機能液を、開閉動作により各サブタンクに補給する複数の枝流路開閉手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、メインタンクの機能液がなくなった際に、補助加圧送液手段および枝流路開閉手段により、バッファタンクから、各サブタンクに機能液を供給することができる。これにより、メインタンクの交換時にも継続して、各サブタンクの補給をすることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要がなく、生産性を向上させることができる。
【０００７】
この場合、各枝流路開閉手段は、各枝流路を容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、各枝流路開閉手段を開閉した際に発生する機能液の脈動を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッドに脈動が伝わることを抑え、機能液滴吐出ヘッドによる吐出不良を抑えることができる。また、エアーオペレートバルブを使用することにより、バルブを通過する機能液の温度上昇を抑えることができる。
【０００９】
各サブタンクは、対応する機能液滴吐出ヘッドより高い位置に配設されており、各ヘッド側流路には、大気圧基準で作動すると共に対応する機能液滴吐出ヘッドとの間の水頭値を所定の許容範囲に維持する減圧弁が介設され、各サブタンクには、対応する前記減圧弁との間の水頭値を所定の許容範囲に維持する負圧制御手段が接続されていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、減圧弁および負圧制御手段を使用することにより、機能液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液の水頭値を精度良く管理することができる。また、サブタンクにおける満液、減液の液位差を大きくとることができ、結果、サブタンクの容量を小さくすることができる。
【００１１】
この場合、各サブタンクの機能液補給時の液位を、上下中間部位置に制御する液位制御手段を、更に備えることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、サブタンク内で、機能液が満たされていない大きな空間（気体容量）を常に構成することができる。これにより、サブタンクの上流側で発生した機能液の脈動を吸収することができ、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を更に抑えることができる。
【００１３】
この場合、主流路に介設され、機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去手段を、更に備えることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、機能液内のマイクロバブルによる大きな気泡の発生を抑えることができる。そのため、サブタンクに気泡が含有した機能液が達することを抑え、サブタンク内での気泡による液位誤検出を抑えることができる。これにより、サブタンクの液位の調整を精度良く行なうことができ、機能液の水頭値を安定に維持することができるため、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を更に抑えることができる。
【００１５】
この場合、主流路の下流端に介設したエアー抜き手段と、エアー抜き手段に接続したエアー抜き流路と、を更に備えることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、機能液供給装置全体に機能液を充填する初期充填の際に、無用なエアーを適切にエアー抜きすることができる。これにより、初期充填時の無用なエアーを簡単に排除することができる。
【００１７】
この場合、各サブタンクに接続され、各サブタンクを加圧可能なサブ加圧手段と、各ヘッド側流路に介設され、ヘッド側流路を開閉するヘッド流路開閉手段と、各サブタンクの上限に達した液位を検出する上限検出手段と、各サブ加圧手段、各枝流路開閉手段および各ヘッド流路開閉手段を制御する送液制御手段と、を更に備え、送液制御手段は、上限検出手段が各サブタンクの上限に達した液位を検出した場合、枝流路開閉手段を開放動作させると共にヘッド流路開閉手段を閉塞動作させた後、サブ加圧手段を駆動してサブタンクの機能液をバッファタンクに逆送させることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、通常の液位を検出するセンサの故障等により、サブタンクに、機能液がオーバーフローする上限を超えて、機能液が充填されてしまった場合にも、充填された機能液を逆送させて機能液の一部をバッファタンクに戻すことができる。これにより、サブタンクに過剰供給された機能液を廃棄することなく、適切に処理することができ、装置の稼動停止等を行う必要がない。
【００１９】
この場合、分岐流路は、上流側端から下流側端まで、２分岐継手および一対の接続短管による２分岐を複数段に亘って繰り返して構成されると共に、上流側を下にし、下流側を上にして配置されていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、圧力損失や流速（流量）を一定にするために複雑な構成にする必要がなく、複数の分岐構造を簡単な構成することができる。また、上流側を下にし、下流側を上にすることにより、機能液が下から上に流れるため、分岐流路内にエアーが残留することを抑えることができる。
【００２１】
この場合、分岐流路は、最下流段に端数が生じた場合に、最下流段の一対の接続短管とその上流段の接続短管との間において、配管長で圧力損失が調整されていることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、最下流段に端数が生じた場合に、配管長により各分岐における圧力損失の調整が行われる。そのため、最下流段に端数が生じた場合にも、各サブタンクへの供給量を同一にすることができる。
【００２３】
この場合、分岐流路は、少なくとも、最下流段に属する２分岐継手および一対の接続短管に比して、最上流段に属する２分岐継手および一対の接続短管は、太径に形成されていることが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、分岐流路で圧力損失を極力小さくすることができる。
【００２５】
この場合、２分岐継手は、Ｔ字継手で構成されていることが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、安価なＴ字継手を使用することにより、分岐流路を安価な構成にすることができる。
【００２７】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する上記の機能液供給装置と、を備えたことを特徴とする。
【００２８】
この構成によれば、本液滴吐出装置の稼動を停止することなく、メインタンクの交換を行うことができるため、装置の生産性を高めることができる。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液により、描画を行う場合には、各色に対応した３組の機能液供給装置を設けることが好ましい。
【００２９】
この場合、内部雰囲気を所定の温度に管理するチャンバ手段を、更に備え、チャンバ手段は、描画手段を収容する共に、メインタンクを外部に設置した状態でメインタンクを除いた機能液供給装置を収容していることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、チャンバ手段を開放することなく、メインタンクの交換を行うことができるため、更に装置の生産性を向上させることができる。
【００３１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３２】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３３】
この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display， ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display， ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【００３４】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３５】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３７】
図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７（図示省略）が搭載された８個のキャリッジユニット５１と、から成り、８個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ（チャンバ手段）６と、チャンバ６を貫通して、チャンバ６の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する３組の機能液供給装置１０１を有した機能液供給ユニット７と、を備えている。Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット７から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。なお、請求項にいう描画手段は、Ｘ軸テーブル１１、Ｙ軸テーブル１２および８個のキャリッジユニット５１により構成されている。
【００３８】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から直角に延び、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台上に配設されている（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）。
【００３９】
フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット７１,７１と、定期フラッシングユニット７２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受ける。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット７４を有し、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート７５を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査するものである。
【００４０】
次に、液滴吐出装置１の構成要素について簡単に説明する。図２または図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００４１】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット７１が添設されている。
【００４２】
Ｙ軸テーブル１２は、８個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した８個のブリッジプレート５２と、８個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する８組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、８組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５（吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６）に臨ませる。
【００４３】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、８個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００４４】
また、Ｙ軸テーブル１２の両脇には、これに平行にケーブル坦持体８１が配設されている。両ケーブル坦持体８１は、一方がＹ軸支持ベース３に固定されると共に他方が各ブリッジプレート５２の１つに固定されている。このケーブル坦持体８１には、各キャリッジユニット５１用のケーブル類、エアーチューブ類および機能液流路（後述する下流側機能液流路１２７）等が収容されている。
【００４５】
各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット５１は、その上部に後述するサブタンク１２１が配設されており（実際には、ブリッジプレート５２上に配設）、このサブタンク１２１から各機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されるようになっている。
【００４６】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、機能液供給ユニット７に接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）、キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００４７】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。
【００４８】
チャンバ６は、内部温度および湿度を一定に保つように構成されている。すなわち、液滴吐出装置１によるワークＷへの描画は、温度および湿度が一定値に管理された雰囲気中で行われる。そして、チャンバ６の側壁の一部には、後述するタンクユニット１２２を収納するためのタンクキャビネット８４が設けられている。なお、有機ＥＬ装置等を製造する場合には、チャンバ６内を不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気で構成することが好ましい。
【００４９】
次に、図１および図６ないし図９を参照して機能液供給ユニット７について説明する。機能液供給ユニット７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色に対応した３組の機能液供給装置１０１を備えている。また、機能液供給ユニット７は、後述するメインタンク１８１およびサブタンク１２１等の制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備８５と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備８６と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備８７と、８つのサブタンクの大気開放用に設けた大気開放設備８８と、後述する気泡除去ユニット１３５に接続された真空設備８９と、を備えている。３組の機能液供給装置１０１は、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ３色に対応した機能液滴吐出ヘッド１７に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド１７には対応する色の機能液が供給される。
【００５０】
図６に示すように、各機能液供給装置１０１は、機能液の供給源を構成するメインタンク１８１を有するタンクユニット１２２と、各キャリッジユニット５１に対応して設けた８つのサブタンク１２１と、タンクユニット１２２とサブタンク１２１の間に配設したバッファタンク１２３と、タンクユニット１２２、バッファタンク１２３および８つのサブタンク１２１を接続する上流側機能液流路（機能液流路）１２６と、各サブタンク１２１と各機能液滴吐出ヘッド１７とを接続する８組の下流側機能液流路（ヘッド側流路）１２７と、を備えている。
【００５１】
メインタンク１８１内の機能液は、これに接続して窒素ガス供給設備８５からの圧縮窒素ガスにより加圧され、上流側機能液流路１２６を介しバッファタンク１２３を経由して８つのサブタンク１２１に選択的に供給される。その際、圧縮エアー供給設備８６の圧縮エアーにより、各種開閉弁が開閉制御される。また同時に、各サブタンク１２１は、大気開放設備８８を介して大気開放（実際には、負圧制御）され、必要量の機能液を受容する。各サブタンク１２１の機能液は、これに連なる機能液滴吐出ヘッド１７の駆動により、所定の水頭圧を維持しながら、下流側機能液流路１２７を介して機能液滴吐出ヘッド１７に供給される。詳細は後述するが、サブタンク１２１から機能液を逆送する際には、圧縮窒素ガスが各サブタンク１２１に供給される一方、バッファタンク１２３は、ガス排気設備８７を介して大気開放（実際には負圧制御）される。なお、請求項にいうサブ加圧手段は、窒素ガス供給設備８５により構成されており、請求項にいう負圧制御手段は、大気開放設備８８により構成されている。
【００５２】
タンクユニット１２２は、機能液の供給源となるメインタンク１８１と、メインタンク１８１の重量をそれぞれ測定する重量測定装置１８２と、を備えている。メインタンク１８１には、窒素ガス供給設備８５およびガス排気設備８７に接続されており、機能液を圧送する場合の加圧制御および機能液を逆送する場合の負圧制御（大気開放に相当）可能に構成されている。
【００５３】
重量測定装置１８２は、例えばロードセル等で構成され、メインタンク１８１内の機能液が消費され所定の重量になると、交換を促す警報を発するようになっている。なお、重量測定装置１８２に代えて、液位センサあるいは気泡検出センサ等により警報を出すようにしてもよい。
【００５４】
上流側機能液流路１２６は、上流側から、タンクユニット１２２（メインタンク１８１）とバッファタンク１２３とを接続した上流側主流路１３１ａと、上流側をバッファタンク１２３に接続した下流側主流路１３１ｂと、上流側を下流側主流路１３１ｂに接続した８分岐流路（分岐流路）１３２と、上流側を８分岐流路１３２に接続され、下流側をサブタンク１２１に接続した８本の枝流路１３３と、を備えている。メインタンク１８１から供給された機能液は、バッファタンク１２３を通過し、８分岐流路１３２により８つに分流して各サブタンク１２１に供給される。なお、請求項にいう主流路は、上流側主流路１３１ａおよび下流側主流路１３１ｂにより構成されている。
【００５５】
また、上流側主流路１３１ａには、バッファタンク１２３の近傍に位置して第１開閉弁１２４が介設され、下流側主流路１３１ｂには、上流側から気泡除去ユニット（気泡除去手段）１３５、第２開閉弁１３６、エアー抜きユニット１３７、および第３開閉弁１３８がそれぞれ介設されている。また、各８分岐流路１３２には、各サブタンク１２１の近傍に位置して第４開閉弁（枝流路開閉手段）１３９がそれぞれ介設されている。上記のメインタンク１８１を交換する場合には、第１開閉弁１２４を閉弁する。
【００５６】
各下流側機能液流路１２７は、上流側から、上流側を各サブタンク１２１に接続したヘッド側主流路１４６と、上流側をヘッド側主流路１４６に接続した４分岐流路１４７と、上流側を４分岐流路１４７に接続した複数の個別流路１４８と、により構成されている。これにより、機能液が各サブタンク１２１から４方に分岐して、それぞれの機能液滴吐出ヘッド１７の接続されている。すなわち、上流側機能液流路１２６の８分岐と、下流側機能液流路１２７の４分岐により、８×４個の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されている。加えて、機能液供給ユニット７は、Ｒ・Ｇ・Ｂで３組の機能液供給装置１０１を有しているため、８×１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給される。更に、ヘッド側主流路１４６には、第５開閉弁（ヘッド流路開閉手段）１４９および減圧弁１５０が介設されている。
【００５７】
気泡除去ユニット１３５には、上記の真空設備８９が接続されており、気体透過膜で隔てられた内部流路を真空引きし、気体透過膜を介して内部流路の機能液から気泡を透過させ除去する。このような気泡除去ユニット１３５を備えることにより、機能液内のマイクロバブルによる大きな気泡の発生を抑えることができる。そのため、気泡が含有した機能液がサブタンク１２１に達することを抑えることができ、サブタンク１２１内において、後述する液位検出センサ１７７による液位誤検出を抑えることができる。これにより、機能液の厳密な液位検出を行うことができ、機能液吐出ヘッド１７の水頭値を安定に維持することができるため、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良を抑えることができる。なお、気泡除去ユニット１３５は消耗品であるため、交換を迅速に行えるように、予備の気泡除去ユニット１３５を用意しておくことが、好ましい（図６参照）。
【００５８】
エアー抜きユニット１３７は、下流側主流路１３１ｂに介設したエアー抜き継手（エアー抜き手段）１５５と、開閉弁および気泡検出センサから成るエアー抜き弁（エアー抜き手段）１５７と、エアー抜き弁１５７に連なるエアー抜き流路１５６と、エアー抜き流路１５６の下流端に設けた貯液タンク１５８と、を有している。エアー抜きユニット１３７は、機能液供給装置１０１に機能液を初期充填するときに機能するものであり、メインタンク１８１からの機能液の送液に際し、エアー抜き弁１５７を開弁し且つ第３開閉弁１３８を閉弁して上流側主流路１３１ａおよび下流側主流路１３１ｂ内のエアーを排出する。そして、エアー抜き弁１５７が気泡を検出したところ（少し時間をおく）で、エアー抜き弁１５７を閉弁し且つ第３開閉弁１３８を開弁してエアー抜きを終了する。なお、請求項にいうエアー抜き手段は、エアー抜き継手１５５およびエアー抜き弁１５７で構成されている。
【００５９】
このようなエアー抜きユニット１３７を有することにより、初期充填の際に、無用なエアーを適切にエアー抜きすることができる。これにより、初期充填時の無用なエアーを簡単に排除することができる。なお、貯液タンク１５８に流下した機能液を再利用する場合には、貯液タンク１５８を各色に対応させて３つとし、再利用しない場合には、貯液タンク１５８を１つとする。
【００６０】
各サブタンク１２１の上流側および下流側近傍に設けた第４開閉弁１３９および第５開閉弁１４９は、容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されており、開閉弁を開閉した際に発生する機能液の脈動を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７に脈動が伝わることを抑え、機能液滴吐出ヘッド１７による吐出不良を抑えることができる。また、エアーオペレートバルブを使用することにより、防爆機能の他、開閉弁を通過する機能液の温度上昇を抑えることができる。なお、これらの開閉弁は、例えば、ダイヤフラム式のエアーオペレートバルブで構成することが好ましい。これにより、開閉弁の開閉をゆっくり行うことができるため、容易に容積変化なく開閉可能に構成される。
【００６１】
８分岐流路１３２は、上流側端から下流側端まで、Ｔ字継手で形成された２分岐継手１６１と、２分岐継手１６１の下流側に接続された一対の接続短管１６２と、による２分岐を３段に亘って繰り返して構成されている（図８（ａ）参照）。８分岐流路１３２は、上流側を下にし、下流側を上にして配置し、タンクユニット１２２から供給された機能液が下から上に流れるように構成されている。このような８分岐流路１３２を使用することにより、８分岐流路１３２の下流端において圧力損失が同一となるため、８本の枝流路１３３の流速（流量）を一定にすることができる。また、上流側を下にし、下流側を上にすることにより、機能液が下から上に流れるため、８分岐流路１３２内にエアーが残留することを抑えることができる。さらに、２分岐継手１６１として安価なＴ字継手を使用することにより、８分岐流路１３２を安価の構成にすることができる。
【００６２】
８分岐流路１３２は、最下流段に属する２分岐継手１６１および一対の接続短管１６２,１６２に比して、最上流段に属する２分岐継手１６１および一対の接続短管１６２,１６２は、太径に形成されている。これにより、８分岐流路１３２での圧力損失を極力小さくすることができる。
【００６３】
なお、本実施形態においては８分岐の分岐流路であるため、端数が生じることがないが、端数が生じる場合、例えば１０分岐（１０分岐流路）である場合、６方の分岐については、３つの２分岐継手１６１と３本の接続短管１６２と通るのに対し、他４方の分岐については、４つの２分岐継手１６１と４本の接続短管１６２と通ることになる（図８（ｂ）参照）。この際、６方の分岐と他４方の分岐の流路長に違いが出ると、サブタンク１２１への機能液の流量が同一にならないため、最下流段の一対の接続短管１６２,１６２（他４方の分岐）と、その上流段の接続短管１６２（６方の分岐）との間において、配管長で圧力損失が調整するよう構成する。
【００６４】
また、各下流側機能液流路１２７の４分岐流路１４７も、上記の８分岐流路１３２と同様の構成とすることが、好ましい。但しこの場合には、４分岐流路１４７の上流側を上にし、下流側を下にすることが好ましい。これにより、下流側機能液流路１２７に気泡が混入することがあっても、気泡をサブタンク１２１側に抜くようにする。
【００６５】
減圧弁１５０は、大気圧基準で作動すると共に対応する機能液滴吐出ヘッド１７との間の水頭値を所定の許容範囲に維持するものである。この減圧弁１５０を使用することにより、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７における機能液の水頭値を精度良く管理することができる。
【００６６】
バッファタンク１２３は、タンクユニット１２２の近傍のチャンバ６内に設けられており、メインタンク１８１から供給された機能液は、バッファタンク１２３内部を通ってサブタンク１２１側に送液されることになる。バッファタンク１２３は、メインタンク１８１の交換時に、メインタンク１８１に代わりサブタンク１２１への機能液供給を行うものであり（詳細は後述する）、窒素ガス供給設備８５およびガス排気設備８７に接続され、機能液を圧送する場合の加圧制御およびバッファタンク１２３による圧送を解除するための負圧制御（大気開放に相当）可能に構成されている。すなわち、窒素ガス供給設備８５は、請求項にいう補助加圧手段として機能している。詳細は後述するが、上記の加圧制御はメインタンク１８１の交換時にのみ行われ、負圧制御は逆送動作時にのみ行われる。このため、通常時のバッファタンク１２３は、単なる密閉タンクとして機能する。
【００６７】
なお、本実施形態においては、メインタンク１８１からの機能液がバッファタンク１２３内を介して、サブタンク１２１に供給されるような構成に為されているが、上流側機能液流路１２６から分岐した流路にバッファタンク１２３が接続されている構成にしてもよい。なお、この場合、バッファタンク１２３への機能液補充に、上流側機能液流路１２６とは別の流路を形成する必要がある。
【００６８】
図９に示すように、サブタンク１２１は、機能液を貯留するサブタンク本体１７１と、サブタンク本体１７１に落し蓋様に浮かした蓋体フロート１７２と、サブタンク本体１７１の側方に配設された透明なバイパスチューブ１７６と、バイパスチューブ１７６に臨み、貯留された機能液の液位を検出する液位検出機構１７３と、サブタンク本体１７１の側方下部に配設された液圧センサ１７４と、を備えている。また、サブタンク１２１は、サブタンク本体１７１の上部には、窒素ガス供給設備８５および大気開放設備８８が接続されており（図６参照）、サブタンク本体１７１の内部を、メインタンク１８１からの送液の際の負圧制御およびメインタンク１８１への加圧制御可能に構成されている。加えて、サブタンク本体１７１の下方には、枝流路１３３が接続される流入ジョイント１６３、およびヘッド側主流路１４６が接続される流出ジョイント１６４が設けられており、機能液は、サブタンク本体１７１の下方から流入し、下方から流出するように構成されている。
【００６９】
液位検出機構１７３は、バイパスチューブ１７６に臨んでおり、上限となる機能液の液位を検出する上限検出センサ（上限検出手段）１７８と、上下中間位置に配設され、補給時の機能液の液位を検出する液位検出センサ１７７と、下限となる機能液の液位を検出する下限検出センサ１７９と、を備えている。上限検出センサ１７８は、サブタンク１２１のオーバーフローを防止すべく設けられており、上限検出センサ１７８が上限液位を検出した場合には、メインタンク１８１からの送液を停止させる。一方、下限検出センサ１７９は、サブタンク１２１が空になるのを防止すべく設けられており、下限検出センサ１７９が下限液位を検出した場合には、現時点のワークＷの描画が終了したところで液滴吐出装置１を停止させる。
【００７０】
また、上限検出センサ１７８が上限液位を検出した場合には、その後サブタンク１２１の機能液をバッファタンク１２３に戻す逆送動作が行われる。この逆送動作は、第５開閉弁１４９を閉弁すると共に第４開閉弁１３９を開弁し、且つ第１開閉弁１２４と閉弁した後、サブタンク１２１内を加圧（加圧制御）して機能液を逆流させる。そして、液位検出センサ１７７が液位を検出したところで、逆送動作を終了する。このような逆送動作により、サブタンク１２１に過剰供給された機能液を廃棄することなく、適切に処理することができる。なお、本実施形態においては、逆送動作として、機能液をバッファタンク１２３に戻すよう構成されているが、バッファタンク１２３を経由してメインタンク１８１に戻すよう構成してもよい。この場合、第１開閉弁１２４を開弁すると共にメインタンク１８１の加圧制御を解除する必要がある。
【００７１】
液位検出センサ１７７は、機能液滴吐出ヘッド１７の理想の水頭値を考慮した液位を検出するものであり、液位検出センサ１７７により機能液の液位が検出されると、後述する制御部１９７との協働により、満液もしくは減液と判断される。すなわち、液位検出センサ１７７より上に液位がある状態から、吐出動作により機能液が減り、液位検出センサ１７７により液位が検出されると、減液と判断される。また、液位検出センサ１７７より下に液位がある状態から、補給動作により機能液が増え、液位検出センサ１７７により液位が検出された後、一定時間経過すると満液と判断される。このような液位検出センサ１７７により、サブタンク１２１内の機能液の液位が上下中間部位置に制御されている。このように機能液の液位がサブタンク１２１の上下中間部位置に制御されていることにより、サブタンク１２１内で、機能液が満たされていない大きな空間（気体容量）を常に構成することができる。これにより、サブタンク１２１の上流側で発生した機能液の脈動を吸収することができ、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良を抑えることができる。
【００７２】
図７に示すように、各機能液供給装置１０１のタンクユニット１２２から８分岐流路１３２までの各構成要素は、チャンバ６の側壁に配設されたタンクキャビネット８４に収納されている（図１参照）。図７に示すように、タンクキャビネット８４は、各タンクユニット１２２が収納されたメインタンク収納部１１１と、メインタンク収納部１１１に隣設（図７中、右側）され、各バッファタンク１２３が収納されたバッファタンク収納部１１４と、メインタンク収納部１１１の上方に配設され、各気泡除去ユニット１３５が収納されたユニット収納部１１２と、ユニット収納部１１２に隣設（図７中左側）され、各８分岐流路１３２が収納された分岐流路収納部１１３と、を備えている。
【００７３】
メインタンク収納部１１１は、その開閉扉１０５ａがチャンバ６の外側に開閉し、図示しないがバッファタンク収納部１１４、ユニット収納部１１２および分岐流路収納部１１３の開閉扉は、それぞれチャンバ６の内側に開閉する。すなわち、各バッファタンク１２３、各気泡除去ユニット１３５および各８分岐流路１３２は、チャンバ６内に配設され、各タンクユニット１２２は、チャンバ６外に配設されている。したがって、タンクユニット１２２は、チャンバ６内を大気置換することなく、そのメインタンク１８１を交換可能に構成されている。このように、チャンバ６外にタンクユニット１２２を配設することにより、メインタンク１８１の交換の際に、チャンバ６を開放することない。これにより、メインタンク１８１の交換の都度にチャンバ６内の雰囲気が破壊されることがない。ずなわち、再度温度および湿度の調整を行なう必要がなく（チャンバ６内を不活性ガス雰囲気にしている場合には、不活性ガスが外部に漏れることがない）、メインタンク１８１の交換を行うことができるため、装置の生産性を向上させることができる。
【００７４】
次に、図１０を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１、を有し、ワークＷをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、機能液供給ユニット７を有し、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給部１９８と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部（送液制御手段および液位制御手段）１９７と、を備えている。
【００７５】
制御部１９７には、各手段を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。
【００７６】
そして、制御部１９７は、各手段からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。
【００７７】
ここで、機能液滴吐出ヘッド１７への機能液供給動作について説明する。この動作は、メインタンク１８１、バッファタンク１２３および各サブタンク１２１に機能液が貯液されていると共に、各流路に機能液が充液されている状態にて行われるものとする。加えて、窒素ガス供給設備８５によりメインタンク１８１が加圧されているものとする。
【００７８】
まず、サブタンク１２１の上流側に介設された第４開閉弁１３９を閉弁した状態で、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動して機能液滴の吐出を行う。第４開閉弁１３９が閉弁されているため、メインタンク１８１からの圧力は縁切りされ、機能液滴吐出ヘッド１７のポンプ作用により、機能液が各サブタンク１２１から各機能液滴吐出ヘッド１７に送液される。なお、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７における水頭値は、下流側機能液流路１２７に介設された減圧弁１５０により最終調整されており、また、この水頭値制御は、大気開放設備８８によるサブタンク１２１内の負圧制御によって補助されている。このように減圧弁１５０による水頭値管理が、サブタンク１２１の負圧制御により補助されることにより、サブタンク１２１における満液、減液の液位差を大きくとることができ、結果、サブタンク１２１の容量を小さくすることができるよう構成されている。
【００７９】
次に、サブタンク１２１への機能液の補給について説明する。機能液滴吐出ヘッド１７の吐出動作により、サブタンク１２１内の機能液が一定量減ると、液位検出機構１７３によって減液状態であると判断される。減液状態であると判断された場合、第４開閉弁１３９を開弁してメインタンク１８１からサブタンク１２１に機能液を補給する。メインタンク１８１は加圧されているため、第４開閉弁１３９を開弁することでメインタンク１８１の機能液が自動的にサブタンク１２１に送液される。なお、この際、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出動作は継続的に行われる。
【００８０】
メインタンク１８１からサブタンク１２１に機能液が送液され、サブタンク１２１内の機能液が一定量貯まると、液位検出機構１７３によって、サブタンク１２１内が満液状態であると判断される。満液状態と判断されると、第４開閉弁１３９を閉弁して補給動作を終了する。なお、上記した機能液の逆送動作も、上記の制御系により行われる。
【００８１】
次に、メインタンク１８１において機能液が無くなった際の対処動作について説明する。サブタンク１２１への補給動作を繰り返すと、メインタンク１８１内の機能液が減り、重量測定装置１８２により、メインタンク１８１が要交換であると判断される。メインタンク１８１が要交換であると判断されると、第１開閉弁１２４を閉弁し、バッファタンク１２３を加圧して、バッファタンク１２３によりサブタンク１２１への補給動作が行なわれる。この際、要交換のメインタンク１８１の交換が行われる。このため、サブタンク１２１への供給動作（機能液滴吐出ヘッド１７の吐出駆動）を止めることなく、メインタンク１８１の交換を行うことができる。このようにバッファタンク１２３を有することにより、メインタンク１８１の交換時にも継続して、各サブタンク１２１の機能液補給を行うことができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７による描画処理を停止する必要がなく、生産性を向上させることができる。
【００８２】
以上のような構成によれば、メインタンク１８１の機能液がなくなった際に、窒素ガス供給設備８５および第４開閉弁により、バッファタンク１２３から、各サブタンク１２１に機能液を供給することができる。これにより、メインタンク１８１の交換時にも継続して、各サブタンク１２１の補給をすることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７による描画処理を停止する必要がなく、生産性を向上させることができる。
【００８３】
なお、本実施形態においては、８個のキャリッジユニット５１を備えた液滴吐出装置１を備えたものを使用しているが、キャリッジユニット５１の個数は任意である。
【００８４】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００８５】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００８６】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００８７】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００８８】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８９】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００９０】
図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９１】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００９２】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００９３】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９４】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００９５】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００９６】
図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００９７】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００９８】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９９】
図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１００】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１０１】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１０２】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１０３】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１０４】
次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１０５】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１０６】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１０７】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１０８】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１０９】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１１０】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１１１】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１１２】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１１３】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１１４】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１１５】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１１６】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１１７】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１１８】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１１９】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１２０】
図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１２１】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１２２】
そして次に、図２２に示すように、各色のうちのいずれか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１２３】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１２４】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１２５】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１２６】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１２７】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１２８】
次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１２９】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１３０】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１３１】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３２】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１３３】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１３４】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１３５】
次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１３６】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１３７】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１３８】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３９】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１４０】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１４１】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４２】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】機能液供給装置の配管系統図である。
【図７】タンクキャビネットを示した図である。
【図８】８分岐流路およびその変形例である１０分岐流路を示した図である。
【図９】サブタンク廻りを模式的に表した断面図である。
【図１０】液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。
【図１１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２８】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１４３】
１：液滴吐出装置、 ６：チャンバ、 １１：Ｘ軸テーブル、 １２：Ｙ軸テーブル、 １７：機能液滴吐出ヘッド、 ５１：キャリッジユニット、 ８５：窒素ガス供給設備、 ８８：大気開放設備、 １０１：機能液供給装置、 １２１：サブタンク、 １２６：上流側機能液流路、 １２７：下流側機能液流路、 １３１ａ：上流側主流路、 １３１ｂ：下流側主流路、 １３２：８分岐流路、 １３３：枝流路、 １３５：気泡除去ユニット、 １３９：第４開閉弁、 １４９：第５開閉弁、 １５０：減圧弁、 １５５：エアー抜き継手、 １５６：エアー抜き流路、 １５７：エアー抜き弁、 １６１：２分岐継手、 １６２：接続短管、 １７８：上限検出センサ、 １８１；メインタンク、 １９７：制御部、 Ｗ：ワーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液を液滴吐出装置の機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の機能液供給装置として、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液を貯留したサブタンクと、サブタンクに機能液を補給する単一のメインタンクと、これら装置間を接続するインクチューブと、ポンプやバルブ等で構成され、インクチューブを介して各装置間で機能液を送液し、また送液を制御する送液手段と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。機能液滴吐出ヘッドから機能液滴が吐出され、サブタンクに貯留された機能液が少なくなると、メインタンクからサブタンクに機能液が補給される。
【特許文献１】特開平１１−４２７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような機能液供給装置では、例えばサブタンクから補給信号を受信している状態で、メインタンクの機能液残量が少なくなり、メインタンクを交換する必要が生ずる場合がある。かかる場合、描画処理を続行すると、サブタンクの機能液が無くなり、機能液滴吐出ヘッドが空吐出の状態になるおそれがあるため、描画処理を停止し、メインタンクを交換する必要がある。すなわち、このような構成では、メインタンクの交換に際し、描画処理を停止する必要があるため、生産性が低下してしまう問題があった。
【０００４】
本発明は、メインタンクの交換時に、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要のない機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液供給装置は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドに、ヘッド側流路を介して機能液をそれぞれ供給する複数のサブタンクと、機能液の加圧送液により、複数のサブタンクに機能液をそれぞれ補給するメインタンクと、上流側をメインタンクに接続した主流路、上流側を主流路に接続した分岐流路および上流側を分岐流路に接続され下流側を各サブタンクに接続した複数の枝流路から成る機能液流路と、主流路に介設したバッファタンクと、メインタンクの交換時に、バッファタンク内の機能液を各サブタンクに加圧送液可能な補助加圧送液手段と、各枝流路に介設され、メインタンクおよびバッファタンクの一方から加圧送液された機能液を、開閉動作により各サブタンクに補給する複数の枝流路開閉手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、メインタンクの機能液がなくなった際に、補助加圧送液手段および枝流路開閉手段により、バッファタンクから、各サブタンクに機能液を供給することができる。これにより、メインタンクの交換時にも継続して、各サブタンクの補給をすることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要がなく、生産性を向上させることができる。
【０００７】
この場合、各枝流路開閉手段は、各枝流路を容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、各枝流路開閉手段を開閉した際に発生する機能液の脈動を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッドに脈動が伝わることを抑え、機能液滴吐出ヘッドによる吐出不良を抑えることができる。また、エアーオペレートバルブを使用することにより、バルブを通過する機能液の温度上昇を抑えることができる。
【０００９】
各サブタンクは、対応する機能液滴吐出ヘッドより高い位置に配設されており、各ヘッド側流路には、大気圧基準で作動すると共に対応する機能液滴吐出ヘッドとの間の水頭値を所定の許容範囲に維持する減圧弁が介設され、各サブタンクには、対応する前記減圧弁との間の水頭値を所定の許容範囲に維持する負圧制御手段が接続されていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、減圧弁および負圧制御手段を使用することにより、機能液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液の水頭値を精度良く管理することができる。また、サブタンクにおける満液、減液の液位差を大きくとることができ、結果、サブタンクの容量を小さくすることができる。
【００１１】
この場合、各サブタンクの機能液補給時の液位を、上下中間部位置に制御する液位制御手段を、更に備えることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、サブタンク内で、機能液が満たされていない大きな空間（気体容量）を常に構成することができる。これにより、サブタンクの上流側で発生した機能液の脈動を吸収することができ、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を更に抑えることができる。
【００１３】
この場合、主流路に介設され、機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去手段を、更に備えることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、機能液内のマイクロバブルによる大きな気泡の発生を抑えることができる。そのため、サブタンクに気泡が含有した機能液が達することを抑え、サブタンク内での気泡による液位誤検出を抑えることができる。これにより、サブタンクの液位の調整を精度良く行なうことができ、機能液の水頭値を安定に維持することができるため、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を更に抑えることができる。
【００１５】
この場合、主流路の下流端に介設したエアー抜き手段と、エアー抜き手段に接続したエアー抜き流路と、を更に備えることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、機能液供給装置全体に機能液を充填する初期充填の際に、無用なエアーを適切にエアー抜きすることができる。これにより、初期充填時の無用なエアーを簡単に排除することができる。
【００１７】
この場合、各サブタンクに接続され、各サブタンクを加圧可能なサブ加圧手段と、各ヘッド側流路に介設され、ヘッド側流路を開閉するヘッド流路開閉手段と、各サブタンクの上限に達した液位を検出する上限検出手段と、各サブ加圧手段、各枝流路開閉手段および各ヘッド流路開閉手段を制御する送液制御手段と、を更に備え、送液制御手段は、上限検出手段が各サブタンクの上限に達した液位を検出した場合、枝流路開閉手段を開放動作させると共にヘッド流路開閉手段を閉塞動作させた後、サブ加圧手段を駆動してサブタンクの機能液をバッファタンクに逆送させることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、通常の液位を検出するセンサの故障等により、サブタンクに、機能液がオーバーフローする上限を超えて、機能液が充填されてしまった場合にも、充填された機能液を逆送させて機能液の一部をバッファタンクに戻すことができる。これにより、サブタンクに過剰供給された機能液を廃棄することなく、適切に処理することができ、装置の稼動停止等を行う必要がない。
【００１９】
この場合、分岐流路は、上流側端から下流側端まで、２分岐継手および一対の接続短管による２分岐を複数段に亘って繰り返して構成されると共に、上流側を下にし、下流側を上にして配置されていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、圧力損失や流速（流量）を一定にするために複雑な構成にする必要がなく、複数の分岐構造を簡単な構成することができる。また、上流側を下にし、下流側を上にすることにより、機能液が下から上に流れるため、分岐流路内にエアーが残留することを抑えることができる。
【００２１】
この場合、分岐流路は、最下流段に端数が生じた場合に、最下流段の一対の接続短管とその上流段の接続短管との間において、配管長で圧力損失が調整されていることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、最下流段に端数が生じた場合に、配管長により各分岐における圧力損失の調整が行われる。そのため、最下流段に端数が生じた場合にも、各サブタンクへの供給量を同一にすることができる。
【００２３】
この場合、分岐流路は、少なくとも、最下流段に属する２分岐継手および一対の接続短管に比して、最上流段に属する２分岐継手および一対の接続短管は、太径に形成されていることが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、分岐流路で圧力損失を極力小さくすることができる。
【００２５】
この場合、２分岐継手は、Ｔ字継手で構成されていることが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、安価なＴ字継手を使用することにより、分岐流路を安価な構成にすることができる。
【００２７】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する上記の機能液供給装置と、を備えたことを特徴とする。
【００２８】
この構成によれば、本液滴吐出装置の稼動を停止することなく、メインタンクの交換を行うことができるため、装置の生産性を高めることができる。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液により、描画を行う場合には、各色に対応した３組の機能液供給装置を設けることが好ましい。
【００２９】
この場合、内部雰囲気を所定の温度に管理するチャンバ手段を、更に備え、チャンバ手段は、描画手段を収容する共に、メインタンクを外部に設置した状態でメインタンクを除いた機能液供給装置を収容していることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、チャンバ手段を開放することなく、メインタンクの交換を行うことができるため、更に装置の生産性を向上させることができる。
【００３１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３２】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３３】
この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display， ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display， ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【００３４】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３５】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３７】
図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７（図示省略）が搭載された８個のキャリッジユニット５１と、から成り、８個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ（チャンバ手段）６と、チャンバ６を貫通して、チャンバ６の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する３組の機能液供給装置１０１を有した機能液供給ユニット７と、を備えている。Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット７から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。なお、請求項にいう描画手段は、Ｘ軸テーブル１１、Ｙ軸テーブル１２および８個のキャリッジユニット５１により構成されている。
【００３８】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から直角に延び、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台上に配設されている（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）。
【００３９】
フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット７１,７１と、定期フラッシングユニット７２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受ける。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット７４を有し、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート７５を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査するものである。
【００４０】
次に、液滴吐出装置１の構成要素について簡単に説明する。図２または図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００４１】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット７１が添設されている。
【００４２】
Ｙ軸テーブル１２は、８個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した８個のブリッジプレート５２と、８個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する８組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、８組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５（吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６）に臨ませる。
【００４３】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、８個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００４４】
また、Ｙ軸テーブル１２の両脇には、これに平行にケーブル坦持体８１が配設されている。両ケーブル坦持体８１は、一方がＹ軸支持ベース３に固定されると共に他方が各ブリッジプレート５２の１つに固定されている。このケーブル坦持体８１には、各キャリッジユニット５１用のケーブル類、エアーチューブ類および機能液流路（後述する下流側機能液流路１２７）等が収容されている。
【００４５】
各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット５１は、その上部に後述するサブタンク１２１が配設されており（実際には、ブリッジプレート５２上に配設）、このサブタンク１２１から各機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されるようになっている。
【００４６】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、機能液供給ユニット７に接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）、キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００４７】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。
【００４８】
チャンバ６は、内部温度および湿度を一定に保つように構成されている。すなわち、液滴吐出装置１によるワークＷへの描画は、温度および湿度が一定値に管理された雰囲気中で行われる。そして、チャンバ６の側壁の一部には、後述するタンクユニット１２２を収納するためのタンクキャビネット８４が設けられている。なお、有機ＥＬ装置等を製造する場合には、チャンバ６内を不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気で構成することが好ましい。
【００４９】
次に、図１および図６ないし図９を参照して機能液供給ユニット７について説明する。機能液供給ユニット７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色に対応した３組の機能液供給装置１０１を備えている。また、機能液供給ユニット７は、後述するメインタンク１８１およびサブタンク１２１等の制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備８５と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備８６と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備８７と、８つのサブタンクの大気開放用に設けた大気開放設備８８と、後述する気泡除去ユニット１３５に接続された真空設備８９と、を備えている。３組の機能液供給装置１０１は、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ３色に対応した機能液滴吐出ヘッド１７に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド１７には対応する色の機能液が供給される。
【００５０】
図６に示すように、各機能液供給装置１０１は、機能液の供給源を構成するメインタンク１８１を有するタンクユニット１２２と、各キャリッジユニット５１に対応して設けた８つのサブタンク１２１と、タンクユニット１２２とサブタンク１２１の間に配設したバッファタンク１２３と、タンクユニット１２２、バッファタンク１２３および８つのサブタンク１２１を接続する上流側機能液流路（機能液流路）１２６と、各サブタンク１２１と各機能液滴吐出ヘッド１７とを接続する８組の下流側機能液流路（ヘッド側流路）１２７と、を備えている。
【００５１】
メインタンク１８１内の機能液は、これに接続して窒素ガス供給設備８５からの圧縮窒素ガスにより加圧され、上流側機能液流路１２６を介しバッファタンク１２３を経由して８つのサブタンク１２１に選択的に供給される。その際、圧縮エアー供給設備８６の圧縮エアーにより、各種開閉弁が開閉制御される。また同時に、各サブタンク１２１は、大気開放設備８８を介して大気開放（実際には、負圧制御）され、必要量の機能液を受容する。各サブタンク１２１の機能液は、これに連なる機能液滴吐出ヘッド１７の駆動により、所定の水頭圧を維持しながら、下流側機能液流路１２７を介して機能液滴吐出ヘッド１７に供給される。詳細は後述するが、サブタンク１２１から機能液を逆送する際には、圧縮窒素ガスが各サブタンク１２１に供給される一方、バッファタンク１２３は、ガス排気設備８７を介して大気開放（実際には負圧制御）される。なお、請求項にいうサブ加圧手段は、窒素ガス供給設備８５により構成されており、請求項にいう負圧制御手段は、大気開放設備８８により構成されている。
【００５２】
タンクユニット１２２は、機能液の供給源となるメインタンク１８１と、メインタンク１８１の重量をそれぞれ測定する重量測定装置１８２と、を備えている。メインタンク１８１には、窒素ガス供給設備８５およびガス排気設備８７に接続されており、機能液を圧送する場合の加圧制御および機能液を逆送する場合の負圧制御（大気開放に相当）可能に構成されている。
【００５３】
重量測定装置１８２は、例えばロードセル等で構成され、メインタンク１８１内の機能液が消費され所定の重量になると、交換を促す警報を発するようになっている。なお、重量測定装置１８２に代えて、液位センサあるいは気泡検出センサ等により警報を出すようにしてもよい。
【００５４】
上流側機能液流路１２６は、上流側から、タンクユニット１２２（メインタンク１８１）とバッファタンク１２３とを接続した上流側主流路１３１ａと、上流側をバッファタンク１２３に接続した下流側主流路１３１ｂと、上流側を下流側主流路１３１ｂに接続した８分岐流路（分岐流路）１３２と、上流側を８分岐流路１３２に接続され、下流側をサブタンク１２１に接続した８本の枝流路１３３と、を備えている。メインタンク１８１から供給された機能液は、バッファタンク１２３を通過し、８分岐流路１３２により８つに分流して各サブタンク１２１に供給される。なお、請求項にいう主流路は、上流側主流路１３１ａおよび下流側主流路１３１ｂにより構成されている。
【００５５】
また、上流側主流路１３１ａには、バッファタンク１２３の近傍に位置して第１開閉弁１２４が介設され、下流側主流路１３１ｂには、上流側から気泡除去ユニット（気泡除去手段）１３５、第２開閉弁１３６、エアー抜きユニット１３７、および第３開閉弁１３８がそれぞれ介設されている。また、各８分岐流路１３２には、各サブタンク１２１の近傍に位置して第４開閉弁（枝流路開閉手段）１３９がそれぞれ介設されている。上記のメインタンク１８１を交換する場合には、第１開閉弁１２４を閉弁する。
【００５６】
各下流側機能液流路１２７は、上流側から、上流側を各サブタンク１２１に接続したヘッド側主流路１４６と、上流側をヘッド側主流路１４６に接続した４分岐流路１４７と、上流側を４分岐流路１４７に接続した複数の個別流路１４８と、により構成されている。これにより、機能液が各サブタンク１２１から４方に分岐して、それぞれの機能液滴吐出ヘッド１７の接続されている。すなわち、上流側機能液流路１２６の８分岐と、下流側機能液流路１２７の４分岐により、８×４個の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されている。加えて、機能液供給ユニット７は、Ｒ・Ｇ・Ｂで３組の機能液供給装置１０１を有しているため、８×１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給される。更に、ヘッド側主流路１４６には、第５開閉弁（ヘッド流路開閉手段）１４９および減圧弁１５０が介設されている。
【００５７】
気泡除去ユニット１３５には、上記の真空設備８９が接続されており、気体透過膜で隔てられた内部流路を真空引きし、気体透過膜を介して内部流路の機能液から気泡を透過させ除去する。このような気泡除去ユニット１３５を備えることにより、機能液内のマイクロバブルによる大きな気泡の発生を抑えることができる。そのため、気泡が含有した機能液がサブタンク１２１に達することを抑えることができ、サブタンク１２１内において、後述する液位検出センサ１７７による液位誤検出を抑えることができる。これにより、機能液の厳密な液位検出を行うことができ、機能液吐出ヘッド１７の水頭値を安定に維持することができるため、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良を抑えることができる。なお、気泡除去ユニット１３５は消耗品であるため、交換を迅速に行えるように、予備の気泡除去ユニット１３５を用意しておくことが、好ましい（図６参照）。
【００５８】
エアー抜きユニット１３７は、下流側主流路１３１ｂに介設したエアー抜き継手（エアー抜き手段）１５５と、開閉弁および気泡検出センサから成るエアー抜き弁（エアー抜き手段）１５７と、エアー抜き弁１５７に連なるエアー抜き流路１５６と、エアー抜き流路１５６の下流端に設けた貯液タンク１５８と、を有している。エアー抜きユニット１３７は、機能液供給装置１０１に機能液を初期充填するときに機能するものであり、メインタンク１８１からの機能液の送液に際し、エアー抜き弁１５７を開弁し且つ第３開閉弁１３８を閉弁して上流側主流路１３１ａおよび下流側主流路１３１ｂ内のエアーを排出する。そして、エアー抜き弁１５７が気泡を検出したところ（少し時間をおく）で、エアー抜き弁１５７を閉弁し且つ第３開閉弁１３８を開弁してエアー抜きを終了する。なお、請求項にいうエアー抜き手段は、エアー抜き継手１５５およびエアー抜き弁１５７で構成されている。
【００５９】
このようなエアー抜きユニット１３７を有することにより、初期充填の際に、無用なエアーを適切にエアー抜きすることができる。これにより、初期充填時の無用なエアーを簡単に排除することができる。なお、貯液タンク１５８に流下した機能液を再利用する場合には、貯液タンク１５８を各色に対応させて３つとし、再利用しない場合には、貯液タンク１５８を１つとする。
【００６０】
各サブタンク１２１の上流側および下流側近傍に設けた第４開閉弁１３９および第５開閉弁１４９は、容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されており、開閉弁を開閉した際に発生する機能液の脈動を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７に脈動が伝わることを抑え、機能液滴吐出ヘッド１７による吐出不良を抑えることができる。また、エアーオペレートバルブを使用することにより、防爆機能の他、開閉弁を通過する機能液の温度上昇を抑えることができる。なお、これらの開閉弁は、例えば、ダイヤフラム式のエアーオペレートバルブで構成することが好ましい。これにより、開閉弁の開閉をゆっくり行うことができるため、容易に容積変化なく開閉可能に構成される。
【００６１】
８分岐流路１３２は、上流側端から下流側端まで、Ｔ字継手で形成された２分岐継手１６１と、２分岐継手１６１の下流側に接続された一対の接続短管１６２と、による２分岐を３段に亘って繰り返して構成されている（図８（ａ）参照）。８分岐流路１３２は、上流側を下にし、下流側を上にして配置し、タンクユニット１２２から供給された機能液が下から上に流れるように構成されている。このような８分岐流路１３２を使用することにより、８分岐流路１３２の下流端において圧力損失が同一となるため、８本の枝流路１３３の流速（流量）を一定にすることができる。また、上流側を下にし、下流側を上にすることにより、機能液が下から上に流れるため、８分岐流路１３２内にエアーが残留することを抑えることができる。さらに、２分岐継手１６１として安価なＴ字継手を使用することにより、８分岐流路１３２を安価の構成にすることができる。
【００６２】
８分岐流路１３２は、最下流段に属する２分岐継手１６１および一対の接続短管１６２,１６２に比して、最上流段に属する２分岐継手１６１および一対の接続短管１６２,１６２は、太径に形成されている。これにより、８分岐流路１３２での圧力損失を極力小さくすることができる。
【００６３】
なお、本実施形態においては８分岐の分岐流路であるため、端数が生じることがないが、端数が生じる場合、例えば１０分岐（１０分岐流路）である場合、６方の分岐については、３つの２分岐継手１６１と３本の接続短管１６２と通るのに対し、他４方の分岐については、４つの２分岐継手１６１と４本の接続短管１６２と通ることになる（図８（ｂ）参照）。この際、６方の分岐と他４方の分岐の流路長に違いが出ると、サブタンク１２１への機能液の流量が同一にならないため、最下流段の一対の接続短管１６２,１６２（他４方の分岐）と、その上流段の接続短管１６２（６方の分岐）との間において、配管長で圧力損失が調整するよう構成する。
【００６４】
また、各下流側機能液流路１２７の４分岐流路１４７も、上記の８分岐流路１３２と同様の構成とすることが、好ましい。但しこの場合には、４分岐流路１４７の上流側を上にし、下流側を下にすることが好ましい。これにより、下流側機能液流路１２７に気泡が混入することがあっても、気泡をサブタンク１２１側に抜くようにする。
【００６５】
減圧弁１５０は、大気圧基準で作動すると共に対応する機能液滴吐出ヘッド１７との間の水頭値を所定の許容範囲に維持するものである。この減圧弁１５０を使用することにより、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７における機能液の水頭値を精度良く管理することができる。
【００６６】
バッファタンク１２３は、タンクユニット１２２の近傍のチャンバ６内に設けられており、メインタンク１８１から供給された機能液は、バッファタンク１２３内部を通ってサブタンク１２１側に送液されることになる。バッファタンク１２３は、メインタンク１８１の交換時に、メインタンク１８１に代わりサブタンク１２１への機能液供給を行うものであり（詳細は後述する）、窒素ガス供給設備８５およびガス排気設備８７に接続され、機能液を圧送する場合の加圧制御およびバッファタンク１２３による圧送を解除するための負圧制御（大気開放に相当）可能に構成されている。すなわち、窒素ガス供給設備８５は、請求項にいう補助加圧手段として機能している。詳細は後述するが、上記の加圧制御はメインタンク１８１の交換時にのみ行われ、負圧制御は逆送動作時にのみ行われる。このため、通常時のバッファタンク１２３は、単なる密閉タンクとして機能する。
【００６７】
なお、本実施形態においては、メインタンク１８１からの機能液がバッファタンク１２３内を介して、サブタンク１２１に供給されるような構成に為されているが、上流側機能液流路１２６から分岐した流路にバッファタンク１２３が接続されている構成にしてもよい。なお、この場合、バッファタンク１２３への機能液補充に、上流側機能液流路１２６とは別の流路を形成する必要がある。
【００６８】
図９に示すように、サブタンク１２１は、機能液を貯留するサブタンク本体１７１と、サブタンク本体１７１に落し蓋様に浮かした蓋体フロート１７２と、サブタンク本体１７１の側方に配設された透明なバイパスチューブ１７６と、バイパスチューブ１７６に臨み、貯留された機能液の液位を検出する液位検出機構１７３と、サブタンク本体１７１の側方下部に配設された液圧センサ１７４と、を備えている。また、サブタンク１２１は、サブタンク本体１７１の上部には、窒素ガス供給設備８５および大気開放設備８８が接続されており（図６参照）、サブタンク本体１７１の内部を、メインタンク１８１からの送液の際の負圧制御およびメインタンク１８１への加圧制御可能に構成されている。加えて、サブタンク本体１７１の下方には、枝流路１３３が接続される流入ジョイント１６３、およびヘッド側主流路１４６が接続される流出ジョイント１６４が設けられており、機能液は、サブタンク本体１７１の下方から流入し、下方から流出するように構成されている。
【００６９】
液位検出機構１７３は、バイパスチューブ１７６に臨んでおり、上限となる機能液の液位を検出する上限検出センサ（上限検出手段）１７８と、上下中間位置に配設され、補給時の機能液の液位を検出する液位検出センサ１７７と、下限となる機能液の液位を検出する下限検出センサ１７９と、を備えている。上限検出センサ１７８は、サブタンク１２１のオーバーフローを防止すべく設けられており、上限検出センサ１７８が上限液位を検出した場合には、メインタンク１８１からの送液を停止させる。一方、下限検出センサ１７９は、サブタンク１２１が空になるのを防止すべく設けられており、下限検出センサ１７９が下限液位を検出した場合には、現時点のワークＷの描画が終了したところで液滴吐出装置１を停止させる。
【００７０】
また、上限検出センサ１７８が上限液位を検出した場合には、その後サブタンク１２１の機能液をバッファタンク１２３に戻す逆送動作が行われる。この逆送動作は、第５開閉弁１４９を閉弁すると共に第４開閉弁１３９を開弁し、且つ第１開閉弁１２４と閉弁した後、サブタンク１２１内を加圧（加圧制御）して機能液を逆流させる。そして、液位検出センサ１７７が液位を検出したところで、逆送動作を終了する。このような逆送動作により、サブタンク１２１に過剰供給された機能液を廃棄することなく、適切に処理することができる。なお、本実施形態においては、逆送動作として、機能液をバッファタンク１２３に戻すよう構成されているが、バッファタンク１２３を経由してメインタンク１８１に戻すよう構成してもよい。この場合、第１開閉弁１２４を開弁すると共にメインタンク１８１の加圧制御を解除する必要がある。
【００７１】
液位検出センサ１７７は、機能液滴吐出ヘッド１７の理想の水頭値を考慮した液位を検出するものであり、液位検出センサ１７７により機能液の液位が検出されると、後述する制御部１９７との協働により、満液もしくは減液と判断される。すなわち、液位検出センサ１７７より上に液位がある状態から、吐出動作により機能液が減り、液位検出センサ１７７により液位が検出されると、減液と判断される。また、液位検出センサ１７７より下に液位がある状態から、補給動作により機能液が増え、液位検出センサ１７７により液位が検出された後、一定時間経過すると満液と判断される。このような液位検出センサ１７７により、サブタンク１２１内の機能液の液位が上下中間部位置に制御されている。このように機能液の液位がサブタンク１２１の上下中間部位置に制御されていることにより、サブタンク１２１内で、機能液が満たされていない大きな空間（気体容量）を常に構成することができる。これにより、サブタンク１２１の上流側で発生した機能液の脈動を吸収することができ、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良を抑えることができる。
【００７２】
図７に示すように、各機能液供給装置１０１のタンクユニット１２２から８分岐流路１３２までの各構成要素は、チャンバ６の側壁に配設されたタンクキャビネット８４に収納されている（図１参照）。図７に示すように、タンクキャビネット８４は、各タンクユニット１２２が収納されたメインタンク収納部１１１と、メインタンク収納部１１１に隣設（図７中、右側）され、各バッファタンク１２３が収納されたバッファタンク収納部１１４と、メインタンク収納部１１１の上方に配設され、各気泡除去ユニット１３５が収納されたユニット収納部１１２と、ユニット収納部１１２に隣設（図７中左側）され、各８分岐流路１３２が収納された分岐流路収納部１１３と、を備えている。
【００７３】
メインタンク収納部１１１は、その開閉扉１０５ａがチャンバ６の外側に開閉し、図示しないがバッファタンク収納部１１４、ユニット収納部１１２および分岐流路収納部１１３の開閉扉は、それぞれチャンバ６の内側に開閉する。すなわち、各バッファタンク１２３、各気泡除去ユニット１３５および各８分岐流路１３２は、チャンバ６内に配設され、各タンクユニット１２２は、チャンバ６外に配設されている。したがって、タンクユニット１２２は、チャンバ６内を大気置換することなく、そのメインタンク１８１を交換可能に構成されている。このように、チャンバ６外にタンクユニット１２２を配設することにより、メインタンク１８１の交換の際に、チャンバ６を開放することない。これにより、メインタンク１８１の交換の都度にチャンバ６内の雰囲気が破壊されることがない。ずなわち、再度温度および湿度の調整を行なう必要がなく（チャンバ６内を不活性ガス雰囲気にしている場合には、不活性ガスが外部に漏れることがない）、メインタンク１８１の交換を行うことができるため、装置の生産性を向上させることができる。
【００７４】
次に、図１０を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１、を有し、ワークＷをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、機能液供給ユニット７を有し、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給部１９８と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部（送液制御手段および液位制御手段）１９７と、を備えている。
【００７５】
制御部１９７には、各手段を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。
【００７６】
そして、制御部１９７は、各手段からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。
【００７７】
ここで、機能液滴吐出ヘッド１７への機能液供給動作について説明する。この動作は、メインタンク１８１、バッファタンク１２３および各サブタンク１２１に機能液が貯液されていると共に、各流路に機能液が充液されている状態にて行われるものとする。加えて、窒素ガス供給設備８５によりメインタンク１８１が加圧されているものとする。
【００７８】
まず、サブタンク１２１の上流側に介設された第４開閉弁１３９を閉弁した状態で、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動して機能液滴の吐出を行う。第４開閉弁１３９が閉弁されているため、メインタンク１８１からの圧力は縁切りされ、機能液滴吐出ヘッド１７のポンプ作用により、機能液が各サブタンク１２１から各機能液滴吐出ヘッド１７に送液される。なお、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７における水頭値は、下流側機能液流路１２７に介設された減圧弁１５０により最終調整されており、また、この水頭値制御は、大気開放設備８８によるサブタンク１２１内の負圧制御によって補助されている。このように減圧弁１５０による水頭値管理が、サブタンク１２１の負圧制御により補助されることにより、サブタンク１２１における満液、減液の液位差を大きくとることができ、結果、サブタンク１２１の容量を小さくすることができるよう構成されている。
【００７９】
次に、サブタンク１２１への機能液の補給について説明する。機能液滴吐出ヘッド１７の吐出動作により、サブタンク１２１内の機能液が一定量減ると、液位検出機構１７３によって減液状態であると判断される。減液状態であると判断された場合、第４開閉弁１３９を開弁してメインタンク１８１からサブタンク１２１に機能液を補給する。メインタンク１８１は加圧されているため、第４開閉弁１３９を開弁することでメインタンク１８１の機能液が自動的にサブタンク１２１に送液される。なお、この際、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出動作は継続的に行われる。
【００８０】
メインタンク１８１からサブタンク１２１に機能液が送液され、サブタンク１２１内の機能液が一定量貯まると、液位検出機構１７３によって、サブタンク１２１内が満液状態であると判断される。満液状態と判断されると、第４開閉弁１３９を閉弁して補給動作を終了する。なお、上記した機能液の逆送動作も、上記の制御系により行われる。
【００８１】
次に、メインタンク１８１において機能液が無くなった際の対処動作について説明する。サブタンク１２１への補給動作を繰り返すと、メインタンク１８１内の機能液が減り、重量測定装置１８２により、メインタンク１８１が要交換であると判断される。メインタンク１８１が要交換であると判断されると、第１開閉弁１２４を閉弁し、バッファタンク１２３を加圧して、バッファタンク１２３によりサブタンク１２１への補給動作が行なわれる。この際、要交換のメインタンク１８１の交換が行われる。このため、サブタンク１２１への供給動作（機能液滴吐出ヘッド１７の吐出駆動）を止めることなく、メインタンク１８１の交換を行うことができる。このようにバッファタンク１２３を有することにより、メインタンク１８１の交換時にも継続して、各サブタンク１２１の機能液補給を行うことができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７による描画処理を停止する必要がなく、生産性を向上させることができる。
【００８２】
以上のような構成によれば、メインタンク１８１の機能液がなくなった際に、窒素ガス供給設備８５および第４開閉弁により、バッファタンク１２３から、各サブタンク１２１に機能液を供給することができる。これにより、メインタンク１８１の交換時にも継続して、各サブタンク１２１の補給をすることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７による描画処理を停止する必要がなく、生産性を向上させることができる。
【００８３】
なお、本実施形態においては、８個のキャリッジユニット５１を備えた液滴吐出装置１を備えたものを使用しているが、キャリッジユニット５１の個数は任意である。
【００８４】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００８５】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００８６】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００８７】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００８８】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８９】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００９０】
図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９１】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００９２】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００９３】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９４】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００９５】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００９６】
図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００９７】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００９８】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９９】
図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１００】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１０１】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１０２】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１０３】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１０４】
次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１０５】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１０６】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１０７】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１０８】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１０９】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１１０】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１１１】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１１２】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１１３】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１１４】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１１５】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１１６】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１１７】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１１８】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１１９】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１２０】
図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１２１】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１２２】
そして次に、図２２に示すように、各色のうちのいずれか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１２３】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１２４】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１２５】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１２６】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１２７】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１２８】
次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１２９】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１３０】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１３１】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３２】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１３３】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１３４】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１３５】
次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１３６】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１３７】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１３８】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３９】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１４０】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１４１】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４２】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】機能液供給装置の配管系統図である。
【図７】タンクキャビネットを示した図である。
【図８】８分岐流路およびその変形例である１０分岐流路を示した図である。
【図９】サブタンク廻りを模式的に表した断面図である。
【図１０】液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。
【図１１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２８】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１４３】
１：液滴吐出装置、 ６：チャンバ、 １１：Ｘ軸テーブル、 １２：Ｙ軸テーブル、 １７：機能液滴吐出ヘッド、 ５１：キャリッジユニット、 ８５：窒素ガス供給設備、 ８８：大気開放設備、 １０１：機能液供給装置、 １２１：サブタンク、 １２６：上流側機能液流路、 １２７：下流側機能液流路、 １３１ａ：上流側主流路、 １３１ｂ：下流側主流路、 １３２：８分岐流路、 １３３：枝流路、 １３５：気泡除去ユニット、 １３９：第４開閉弁、 １４９：第５開閉弁、 １５０：減圧弁、 １５５：エアー抜き継手、 １５６：エアー抜き流路、 １５７：エアー抜き弁、 １６１：２分岐継手、 １６２：接続短管、 １７８：上限検出センサ、 １８１；メインタンク、 １９７：制御部、 Ｗ：ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドに、ヘッド側流路を介して機能液をそれぞれ供給する複数のサブタンクと、
機能液の加圧送液により、前記複数のサブタンクに機能液をそれぞれ補給するメインタンクと、
上流側を前記メインタンクに接続した主流路、上流側を前記主流路に接続した分岐流路および上流側を前記分岐流路に接続され下流側を前記各サブタンクに接続した複数の枝流路から成る機能液流路と、
前記主流路に介設したバッファタンクと、
前記メインタンクの交換時に、前記バッファタンク内の機能液を前記各サブタンクに加圧送液可能な補助加圧送液手段と、
前記各枝流路に介設され、前記メインタンクおよび前記バッファタンクの一方から加圧送液された機能液を、開閉動作により前記各サブタンクに補給する複数の枝流路開閉手段と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置。
【請求項２】
前記各枝流路開閉手段は、前記各枝流路を容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項３】
前記各サブタンクは、対応する前記機能液滴吐出ヘッドより高い位置に配設されており、
前記各ヘッド側流路には、大気圧基準で作動すると共に対応する前記機能液滴吐出ヘッドとの間の水頭値を所定の許容範囲に維持する減圧弁が介設され、
前記各サブタンクには、対応する前記減圧弁との間の水頭値を所定の許容範囲に維持する負圧制御手段が接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液供給装置。
【請求項４】
前記各サブタンクの機能液補給時の液位を、上下中間部位置に制御する液位制御手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項５】
前記主流路に介設され、機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項６】
前記主流路の下流端に介設したエアー抜き手段と、
前記エアー抜き手段に接続したエアー抜き流路と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項７】
前記各サブタンクに接続され、前記各サブタンクを加圧可能なサブ加圧手段と、
前記各ヘッド側流路に介設され、前記ヘッド側流路を開閉するヘッド流路開閉手段と、
前記各サブタンクの上限に達した液位を検出する上限検出手段と、
前記各サブ加圧手段、前記各枝流路開閉手段および前記ヘッド流路開閉手段を制御する送液制御手段と、を更に備え、
前記送液制御手段は、前記上限検出手段が前記各サブタンクの上限に達した液位を検出した場合、前記枝流路開閉手段を開放動作させると共に前記ヘッド流路開閉手段を閉塞動作させた後、前記サブ加圧手段を駆動して前記サブタンクの機能液を前記バッファタンクに逆送させることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項８】
前記分岐流路は、上流側端から下流側端まで、２分岐継手および一対の接続短管による２分岐を複数段に亘って繰り返して構成されると共に、
上流側を下にし、下流側を上にして配置されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項９】
前記分岐流路は、最下流段に端数が生じた場合に、最下流段の前記一対の接続短管とその上流段の前記接続短管との間において、配管長で圧力損失が調整されていることを特徴とする請求項８に記載の機能液供給装置。
【請求項１０】
前記分岐流路は、少なくとも、最下流段に属する前記２分岐継手および前記一対の接続短管に比して、最上流段に属する前記２分岐継手および前記一対の接続短管は、太径に形成されていることを特徴とする請求項８または９に記載の機能液供給装置。
【請求項１１】
前記２分岐継手は、Ｔ字継手で構成されていることを特徴とする請求項８ないし１０のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１２】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液供給装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
内部雰囲気を所定の温度に管理するチャンバ手段を、更に備え、
前記チャンバ手段は、前記描画手段を収容する共に、前記メインタンクを外部に設置した状態で前記メインタンクを除いた前記機能液供給装置を収容していることを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１２または１３に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１５に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドに、ヘッド側流路を介して機能液をそれぞれ供給する複数のサブタンクと、
機能液の加圧送液により、前記複数のサブタンクに機能液をそれぞれ補給するメインタンクと、
上流側を前記メインタンクに接続した主流路、上流側を前記主流路に接続した分岐流路および上流側を前記分岐流路に接続され下流側を前記各サブタンクに接続した複数の枝流路から成る機能液流路と、
前記主流路に介設したバッファタンクと、
前記メインタンクの交換時に、前記バッファタンク内の機能液を前記各サブタンクに加圧送液可能な補助加圧送液手段と、
前記各枝流路に介設され、前記メインタンクおよび前記バッファタンクの一方から加圧送液された機能液を、開閉動作により前記各サブタンクに補給する複数の枝流路開閉手段と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置。
【請求項２】
前記各枝流路開閉手段は、前記各枝流路を容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項３】
前記各サブタンクは、対応する前記機能液滴吐出ヘッドより高い位置に配設されており、
前記各ヘッド側流路には、大気圧基準で作動すると共に対応する前記機能液滴吐出ヘッドとの間の水頭値を所定の許容範囲に維持する減圧弁が介設され、
前記各サブタンクには、対応する前記減圧弁との間の水頭値を所定の許容範囲に維持する負圧制御手段が接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液供給装置。
【請求項４】
前記各サブタンクの機能液補給時の液位を、上下中間部位置に制御する液位制御手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項５】
前記主流路に介設され、機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項６】
前記主流路の下流端に介設したエアー抜き手段と、
前記エアー抜き手段に接続したエアー抜き流路と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項７】
前記各サブタンクに接続され、前記各サブタンクを加圧可能なサブ加圧手段と、
前記各ヘッド側流路に介設され、前記ヘッド側流路を開閉するヘッド流路開閉手段と、
前記各サブタンクの上限に達した液位を検出する上限検出手段と、
前記各サブ加圧手段、前記各枝流路開閉手段および前記ヘッド流路開閉手段を制御する送液制御手段と、を更に備え、
前記送液制御手段は、前記上限検出手段が前記各サブタンクの上限に達した液位を検出した場合、前記枝流路開閉手段を開放動作させると共に前記ヘッド流路開閉手段を閉塞動作させた後、前記サブ加圧手段を駆動して前記サブタンクの機能液を前記バッファタンクに逆送させることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項８】
前記分岐流路は、上流側端から下流側端まで、２分岐継手および一対の接続短管による２分岐を複数段に亘って繰り返して構成されると共に、
上流側を下にし、下流側を上にして配置されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項９】
前記分岐流路は、最下流段に端数が生じた場合に、最下流段の前記一対の接続短管とその上流段の前記接続短管との間において、配管長で圧力損失が調整されていることを特徴とする請求項８に記載の機能液供給装置。
【請求項１０】
前記分岐流路は、少なくとも、最下流段に属する前記２分岐継手および前記一対の接続短管に比して、最上流段に属する前記２分岐継手および前記一対の接続短管は、太径に形成されていることを特徴とする請求項８または９に記載の機能液供給装置。
【請求項１１】
前記２分岐継手は、Ｔ字継手で構成されていることを特徴とする請求項８ないし１０のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１２】
ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液供給装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
内部雰囲気を所定の温度に管理するチャンバ手段を、更に備え、
前記チャンバ手段は、前記描画手段を収容する共に、前記メインタンクを外部に設置した状態で前記メインタンクを除いた前記機能液供給装置を収容していることを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１２または１３に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１５に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２】
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【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
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【図２３】
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【図２６】
【図２７】
【図２８】
【公開番号】特開２００８−２４６３３７（Ｐ２００８−２４６３３７Ａ）
【公開日】平成２０年１０月１６日（２００８．１０．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−８９２５０（Ｐ２００７−８９２５０）
【出願日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１０月１６日（２００８．１０．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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