【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能なデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 デバイスの製造方法は、基板をチャンバ内に搬入して載置台に載置する工程と、待機位置において封止部材により液滴吐出ノズルを隔離した状態で、チャンバの内部を減圧する減圧工程と、ガス供給機構からチャンバ内にパージガスを導入してチャンバ内部の雰囲気を置換するとともに大気圧状態に戻す雰囲気置換工程と、封止部材による液滴吐出ノズルの隔離を解除し、液滴吐出ノズルを吐出位置に移動させて被処理体へ向けて前記液滴を吐出する吐出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】作業従事者が中に入って吹付け塗装を行う既設の密封型塗装ブースにおいて、吹付け塗装時のブース内湿度を高めて水性塗料の過度の乾燥を抑え塗装面品質を確保すると共に、季節を問わず吹付け作業時の温度をできるだけ平準化して作業環境を改善する。
【解決手段】塗装ブース１が備えたシロッコファン１５、２５の吸引によって外気取入れ口３２から吸引した外気を、匡体３１に内設した加湿器３３ａ、３３ｂ、３３ｃと、加温又は冷却する熱交換器３４ａ、３４ｂと、により空調し、流出路３５に設けた接続部３６から塗装ブース１の吸気口２１へ空調空気を供給可能とする温冷加湿エアーボックス３を既設の塗装ブース１とは別体に設け、前記接続部３６によって簡単に後付け可能としたことで、水性塗料の吹付け塗装に適した湿度を確保しながら塗装ブース１内作業時の冷暖房を実現し、塗装後の汚れた空気を使い捨て可能とした。 （もっと読む）

【課題】チャンバー内の温度のバラツキの影響を低減させるための温度測定方法および温度補正方法を有する高精度の液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド３０を相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド３０を駆動して描画を行なう描画装置と、描画装置を収容するチャンバールーム４およびチャンバールーム４内の雰囲気温度を調整する雰囲気調整部５を有するチャンバー装置３と、描画装置２の相互に離間した複数箇所の温度を検出する複数の温度センサー５１と、複数の温度センサー５１の検出温度を平均化して平均検出温度を求め、平均検出温度に基づいて雰囲気調整手段を制御する制御装置１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】半導体基板処理動作中に流体を分配する装置。
【解決手段】当該装置は、複数の流体源に結合された複数の分配ノズルを備える中央流体分配バンクと、中央流体分配バンクの第１の側に位置された第１の処理チャンバとを含む。また、当該装置は、中央流体分配バンクの第２の側に位置された第２の処理チャンバと、中央流体分配バンクと第１の処理チャンバと第２の処理チャンバとの間で並進するようになっている分配アームとを含む。さらに、当該装置は、第１の処理チャンバと第２の処理チャンバとの間に位置された分配アームアクセスシャッタを含む。 （もっと読む）

【課題】移動式塗装小屋の提供。
【解決手段】移動式塗装小屋は、ローラー要素（６）を具備して移動可能なモジュール（１）からなり、従って、さまざまな場所で使用できる。その塗装小屋は、修理機器（２）、空気吸引及びフィルター手段（３）、乾燥手段（４）および照明手段（５）からなる、修理作業の実施に必要な各種の要素を統合してなるものである。 （もっと読む）

【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に複数回塗布し前記基板上に複数の液状体層を積層する塗布ステップと、前記塗布ステップによって前記液状体の塗布される塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方を調整する調整ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記塗布部によって前記液状体の塗布される塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバと、前記チャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方を調整する調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記塗布部によって前記液状体の塗布を行う塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバと、前記チャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方を調整する調整部と、前記チャンバ内への異物の侵入に応じて前記塗布部の動作を停止させる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布ステップと、前記液状体が塗布された前記基板を大気圧に対して減圧下で加熱する加熱ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記塗布部によって前記液状体の塗布を行う塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバと、前記チャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方が閾値を超えたときに前記液状体を前記チャンバ内雰囲気から隔離させる隔離機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】待ち時間による生産性の低下を招くことなく、吐出ヘッドの温度変化に起因する吐出バラツキを防止した、製膜装置及び製膜方法を提供する。
【解決手段】基板Ｐを載置するステージ２と、吐出ヘッド３と、吐出ヘッド３のメンテナンスを行うメンテナンス装置５、６、７と、これらを収容するチャンバー８とを備えた製膜装置１である。チャンバー８内には、描画エリアＥ１とメンテナンスエリアＥ２とが設けられ、描画エリアＥ１とメンテナンスエリアＥ２との間に吐出ヘッド３を移動させる搬送装置２５が設けられている。チャンバー８には、吐出ヘッド３がメンテナンスエリアＥ２に位置させられている間のメンテナンスエリアＥ２の温度を、吐出ヘッド３が描画エリアＥ１に位置させられている間の描画エリアＥ１の温度に対して、同じかこれより高くなるように調整する温度調整手段５６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の吐出量を安定化させて、製品品質の低下を防止する。
【解決手段】機能液を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッド５を備えると共に、気流供給手段２００から供給される気流Ｙに晒される液滴吐出装置であって、動作することによって発熱する発熱部１１を備え、該発熱部１１が上記気流供給手段２００と上記液滴吐出ヘッド５との間を避けて配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、作業員が作業する作業エリア部が高温化することを抑制できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗装工場１０では、作業員５が作業する作業エリア部３１は、塗料４３が塗布されたボデー２０を乾燥する乾燥炉５１と乾燥炉５１を出たボデー２０の熱を放熱する待避エリア部５２とが設けられる階よりも下の階に設けられる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、且つ短時間で機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査することができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の検査方法を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジユニットと、検査吐出パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッドから検査吐出された機能液滴を受けるワークと、ワークに着弾した機能液滴の検査ドットを画像認識すると共に、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから成るノズル列に対応して設けたラインスキャナ５１と、ラインスキャナ５１による認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査手段と、を備え、ラインスキャナ５１は、キャリッジユニットに搭載されているものである。 （もっと読む）

【課題】外気の温湿度を調整して塗装ブース３０に供給する空調空気を生成する場合において、外気の状態点が目標温湿度線に対して低湿度側にある場合に、目標状態点を適切に設定して、エネルギーの消費量を出来る限り低減する。
【解決手段】外気のエンタルピと当該外気に噴霧される水のエンタルピとが異なるときに、該水のエンタルピに応じて、外気のエンタルピと等しい等エンタルピ線と目標温湿度線との交点に設定した目標状態点を補正する。 （もっと読む）

【課題】スループット低下を抑制しつつ装置内への昇華物の飛散を防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】反射防止膜用の塗布液が塗布された基板Ｗが開口部５２から加熱ユニットＰＨＰのクールプレート７０に搬入される。基板Ｗは搬送アーム８６によってクールプレート７０からホットプレート６０に搬送されて加熱され、反射防止膜が焼成される。ホットプレート６０による加熱処理が終了した後、搬送アーム８６が基板Ｗを受け取ってその基板Ｗの温度が昇華物の発生が停止する温度以下に降温するまでホットプレート６０にて待機した後に基板Ｗをクールプレート７０に搬送する。加熱処理後にホットプレート６０からクールプレート７０に搬送される時点では、基板Ｗから昇華物が発生していないため、昇華物が開口部５２から流出して基板処理装置の全体に飛散することが防止される。 （もっと読む）

【課題】ジェットエンジンシャフト等のように径に対して長い長さを有する筒体の特に内表面に一定膜厚の塗装膜を安定して形成できるようにする。
【解決手段】防爆ブース５内の支持台２上に水平に支持した筒体１を内面塗装機３及び外面塗装機４により塗装する筒体の塗装設備であって、筒体１の一端延長上における防爆ブース５の天井部に外部の空気を供給する給気口２８を設け、防爆ブース５における筒体１の他端延長上に吸引口２９を備えた隔壁３０を介して吸引室３１を形成すると共に、吸引室３１に吸引ファン３２を設け、吸引ファン３２の駆動により防爆ブース５内に吸引口２９に向かうガス流れを形成する。 （もっと読む）

【課題】 塗装室に供給する空気の加熱及び乾燥炉に供給する乾燥用空気の加熱に対する熱源供給方式を改良することで省エネルギーを図った塗装装置を提供する。
【解決手段】 塗装室３と、乾燥炉５と、塗装室３に温度と湿度を調整した空気を供給する給気装置８と、乾燥炉５に高温の乾燥用空気を供給する乾燥用空気循環供給装置１０とを備え、乾燥用空気循環供給装置１０は、乾燥炉５から吸引した乾燥用空気をバーナーユニット１３の燃焼ガスにて加熱し、加熱された乾燥用空気を熱交換器１５に通して温度調整した後乾燥炉５内に供給し、給気装置８は、外気を冷水と熱交換する冷却用熱交換器２０に通して冷却した後、乾燥用空気循環供給装置１０の熱交換器１５に通して加熱し、その後蒸気源３１から水蒸気が供給される加湿器２９にて加湿して塗装室３内に供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】複数のヒータを用いた加熱装置において、一部のヒータが断線した場合であっても均熱性を保つことが可能な加熱装置およびその制御方法の提供。
【解決手段】複数のヒータ２の断線箇所を検知する断線検知装置１２と、帯状物上の少なくとも１点の温度を測定する放射温度計１３と、断線検知装置１２により検知した断線箇所情報および放射温度計１３により測定した帯状物上の少なくとも１点の温度に基づいて帯状物全体の温度分布をシミュレーションするとともに、このシミュレーション結果に基づいて断線検知装置１２により検知した断線箇所の周りのヒータの出力を補正する温度分布シミュレータ・断線補正装置１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成および制御によって、チャンバ内部や排気管内部に結露の原因となり得る低温部が発生することを防止することにより処理時間を短縮することが可能な減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１０は、チャンバ上・下部１２，１４、排気管３２、減圧ポンプ２８、仕切りシート材１６、熱風発生器２０、および熱風導入管３４を備える。排気管３２は、チャンバ上・下部１２，１４内部に連通するように構成される。減圧ポンプ２８は、排気管３２を介してチャンバ上・下部１２，１４内部を減圧するように構成される。仕切りシート材１６は、少なくともチャンバ上・下部１２，１４における排気管３２との接続箇所と排気管３２とを囲んで閉空間を形成する。熱風発生器２０および熱風導入管３４は、仕切りシート材１６によって閉じられた空間内に所定温度の熱風を供給させるように構成される。 （もっと読む）