【課題】 小型の、特に薄型の圧力調整弁を備え、液体収容率の高い液体容器、および液体容器を搭載する液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】 軟質の弾性部材で扁平形状に形成された基体８０と、硬質の弾性部材で薄板状に形成された作動体７０を重ね合わせて、圧力調整弁４０が構成される。作動体７０は蓋部７１とリード部７２を有し、リード部７２の一端であるリード基部７３は基体上面９２と接合固定される。蓋部７１は、基体８０に穿たれた孔部８１の開口外縁部８４と当接している。リード部７２のバネ力によって発生する付勢力と、蓋部７１の両面に働く液圧差から生じる作動力の関係によって、圧力調整弁としての機能が果たされる。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットプリンタのインクカートリッジのインク貯留部に収容されているインクは、圧力弁の開閉動作により消費されることを利用して、圧力弁の開閉動作の回数を計数して、その計数値からインクの消費量を推測していたが、大気圧が変化することで、インク貯留部内のインクの圧力と大気圧との関係が変化することから、圧力弁の開閉動作によるインクの移送量は変動するため、インクの消費量を正確に把握できなかった。
【解決手段】 液体収容容器は、液体を内部に貯留するインクパック２４と、接続した外部に前記液体を供給するインク供給部材５０と、インクパック２４およびインク供給部材５０に連通して、周期的な動作の回数に応じて、所定量のインクパック２４の液体をインク供給部材５０に移送する液体移送部２００と、前記回数を計数するポンプ動作検出部２２０と、前記計数した数値に関する情報を記憶する情報記憶部５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ポンプによってノズルから基板に処理液を供給する装置において，多くのパラメータをポンプの制御装置に入力することなく，ノズルの調整を可能にして，調整に要する手間，時間を大幅に縮減し，個々人の技量差の影響を排除する。
【解決手段】 レジスト液吐出ノズル５０の吐出口から先の吐出経路に設定された所定位置で，レジスト液流の有無を検出するセンサ１０１を設ける。吐出開始時点から，センサ１０１がレジスト液流を検出した時までの時間を計測し，その結果に基づいてポンプ７４の内圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】液体が消費され尽くしたことを正確に検出することができる液体容器および液体残量検出方法を提供する。
【解決手段】液体消費装置５に供給される液体を貯留する袋状のメインパック１１と、上記メインパック１１から液体消費装置５に供給される液体が途中で一時的に保持されて上記メインパック１１の液体の残量状態を検出する袋状のセンサパック１２とを備えた。これにより、センサパック１２に保持されている液体の量がメインパック１１の液体残量に応じて変化するので、この変化状態がセンサパック１２の形状変化等に現われ、この変化による変位を活用して、例えば、メインパック１１内の液体が消費され尽くしたことを確実に検知することができる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハに対するレジスト液の吐出流量を安定させる。
【解決手段】 ガス圧駆動式でダイヤフラム形の圧送ポンプ２２のガス管路４１には，電空レギュレータ４３が設けられる。電空レギュレータ４３と圧送ポンプ２２との間には，ダイヤフラム形のアキュームレータ４４が設けられる。第３の開閉バルブ２６が開放され，レジスト液吐出ノズル７からレジスト液が吐出されると，圧送ポンプ２２の給気室３１内の急激な圧力変動がアキュームレータ４４により緩和され，短時間で収束する。これにより，給気室３１の圧力によって貯留室３０から圧送されるレジスト液の流量も短時間で安定する。この結果，レジスト液吐出ノズル７から吐出されるレジスト液の吐出流量が安定する。 （もっと読む）

【課題】処理溶液の圧力を測定するための圧力センサを含むスピンコーティングシステム、特にその装置を提供する。
【解決手段】基板上に処理溶液をスピンコーティング処理するのに有効な方法及び装置を開示する。この方法及び装置は、処理溶液の圧力、即ち、分配器から処理溶液の開始または終了に関係した圧力を検出するための圧力センサ218を含む。好ましい方法及び装置は、分配ライン215におけるフォトレジスト、現像液、水、溶媒、または洗浄剤の圧力を測定する。また、この方法及び装置は、割り込み動作を含むパラレル制御方法を含む処理制御システムを包含する。
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【課題】 高精度での粘性流体の塗布量制御を可能にする簡素な構造の粘性流体供給装置及びその固化防止方法を提供する。
【解決手段】 粘性流体を内部に保持するカートリッジ３３０と、ピストン３３４を介してカートリッジ３３０内の粘性流体に大気圧よりも大きい圧力の圧縮空気を供給するエアー供給源３３２と、カートリッジ３３０をエアー供給源３３２に連通させるか、あるいはカートリッジ３３０を大気に連通させる切替えバルブ３３１と、カートリッジ３３０内部に配設され、カートリッジ３３０内周面に付着した粘性流体を掻き落とすピストン３３４とを備え、切替えバルブ３３１は、塗布動作を行っていない時間が所定の時間を超えた時に、所定の間隔で切替えを繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット法で用いるインクは、スクリーン印刷法などで用いられるインキに対して、低粘度であるため、密度の大きい金属粒子などを用いた場合に比較的短時間に沈降が発生し、沈殿した粒子や二次凝集した粒子により、インクジェットヘッドのノズル詰まりを発生させ、信頼性が低下する。
【解決手段】 溶質の密度が、溶媒の密度よりも大きいインクを用いるインクジェット記録装置において、装置使用時に、インクタンクからヘッドまでのインク流路に傾斜を有し、さらにヘッドへのインク導入部直前にインク排出部を具備した最下点を設ける。 （もっと読む）

本発明は、容器（１２）を処理するための方法であって、この容器（１２）は、この容器（１２）の外側でキャビティ（１８）を規定し、真空ポンプ回路（５０）に接続されているチャンバ（１６）の内側に配置され、この容器（１２）の内部は、このポンプチャンバ（５０）に接続されるタイプで、初期排気工程（Ｅ１）とそれに続く処理工程（Ｅ２）とを有するタイプの方法において、この初期工程（Ｅ１）は、キャビティ（１８）の内側だけで圧力を減少させる外部排気段階（Ｐ１）と、容器（１２）の内側だけで圧力を減少させる内部排気段階（Ｐ２）と、を有することを特徴とする方法に関する。本発明は、また、この方法を実行するための機械を提供する。
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【課題】 本発明は、機能液を安定して吐出させることができると共に、機能液流路を延長させることのない吐出ヘッド装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の吐出ヘッド装置１３は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド６１と、機能液タンク１０１からの機能液を導入する１次室１６１、連通流路１６３を介して１次室１６１に連なり、流出ポート２０１から機能液滴吐出ヘッド６１に機能液を供給する２次室１６２、および大気圧を調整基準圧力として連通流路１６３を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁１４１と、接続流路が形成され、機能液滴吐出ヘッド６１および流出ポート２０１を接続する接続管ブロック３０１と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 水頭圧差の変化による吐出量の変動を抑え、膜のパターンや厚さについての精度を十分に高めることができるようにした、成膜装置とこれを用いた成膜方法を提供する。
【解決手段】 ノズル１８を有し、ノズル１８から基体上に液状体を吐出する吐出ヘッド３４と、吐出ヘッド３４に供給するための液状体を貯留するタンク４５と、を有してなる成膜装置３０である。吐出ヘッド３４は、圧力制御装置５２によってその内圧が制御可能な第１のチャンバー４１内に収容されている。 （もっと読む）

【課題】サックバック機構によって吸引されるサック量を任意に調整することにある。
【解決手段】円盤状部材９０が当接することにより第２ピストン８０の変位量を規制するねじ部材１０９と、前記円盤状部材９０に対して前記ねじ部材１０９を接近または離間させる回転駆動部１０５と、前記ねじ部材１０９の変位量を検出する検出部１０３とを含むサック量調整機構１０１を設けることにより、第２ダイアフラム８８の負圧作用によって吸引する圧力流体の流量を適宜調整することができる。 （もっと読む）

液体吐出バルブは、バルブ本体と、バルブシートと、液体出口を通る流れを制御すべくバルブシートに対して係合可能である、往復運動するバルブ部材を具備している。較正装置は、回転可能なストローク制御停止部材と、回転可能な基準リングとを具備している。基準リングと停止部材とは、当初には、ゼロ位置に回転しており、次に、停止部材を回転させて、所望のストローク長さに設定する。１又は複数の流体取付具が設けられ、クランプ板を用いてバルブ本体に対して密封される。

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ポリマー溶液を基板、例えば半導体ウェーハ上に塗布する方法及び装置を提供する。本発明による方法は、基板を用意するステップを有する。ポンプを用いてポリマー溶液を基板の表面上に小出しする。ポンプは、バッファタンク及びポリマー溶液源と直列に連結され、ポンプは、ポリマー溶液を小出しするために、連続流路内のポリマー溶液をポリマー溶液源及びバッファタンクから引き出す。ポリマー溶液源は、ポリマー溶液をポリマー溶液源からバッファタンク内に移送することができる圧力源に連結されている。バッファタンクは、ポンプが空気を引き込んでこれを基板の表面上に小出しするのを防止するためにポリマー溶液を比較的一定のレベルに維持するよう構成されている。 （もっと読む）

印刷流体容器（１２０）は、ほぼ平坦なプロフィールを有する最前部分と、該最前部分と協働し、それにより、囲まれた体積を画定するようになっている終端部分とを備える。上記最前部分は、相補的な構成のインク容器ベイ（１００）とはめ合うように構成されている。 （もっと読む）

接着剤などの流体の消費装置の入口で作動圧力を調節するための流体源に結合可能な第１の分容積（１４）と、消費装置側の流体入口に結合可能であるような第２の分容積（２４）とを備える圧力調節器であって、第２の分容積（２４）は、大きさが可変である円筒形部分（２４ａ）と、第１の分容積（１４）と第２の分容積（２４）とを結合する結合流路（２２）と、結合流路を開閉すべく第１の分容積の内部に配設されてなるバルブとを備え、これはインサート（２３）と可動であるシールピストン（３２）とを備えて、その前端部は結合流路を閉じるためのシール本体（３４）を形成し、その後端部は第１の分容積に対して密封され、円筒形部分（２４ａ）の内部にはその容積を変化させるべく作動ピストン（５４）が配設され、その前端部（５９）は円筒形部分及びシールピストンに対面し、それを動かすピストンロッド（５６）が備えられ、これはシールピストンにおける前端部（５９）に係合し、該ピストンのための行き止まり端を形成し、シールピストンの後端部と作動ピストンの前端部とは、第２の分容積（２４）の内部の流体圧力に暴露され、バルブの閉位置と開位置との間においてバルブの開き具合を決定すべく、圧縮空気が与えられて行き止まり端に結合される可動な調整ピストン（９２）とを備えている。

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【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンク１０から供給される薬液５を負圧吸引して該薬液５を噴射するノズル１１と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１２とを備え、上記正圧供給手段１２により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの流量を調整することによって上記ノズル１１への薬液５の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンク１０からの薬液５を負圧吸引して噴射するノズル１１を利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンクに薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンクから供給される薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液タンクの上面に接続され内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）