【課題】良好に塗工材料を塗工することが可能な塗工装置及び電極の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ポンプから吐出される塗工材料を塗工部へ流通させる配管部材を備える塗工装置において、前記配管部材内に、開口部を有するメッシュ部材を、該メッシュ部材の下端側が上流側に、上端側が下流側に位置するように傾斜させて該配管部材内の全流路を覆うように配置すると共に、前記配管部材の上部には、前記メッシュ部材と対応する位置に気泡溜まり部を形成したことを特徴する。 （もっと読む）

【課題】装置サイズを大きくすることなく、液体内の異物の沈殿を促進し、フィルタの詰まりを抑制する。
【解決手段】液体付与部から送液された処理液は、第１の流路３０から第１の沈殿槽２０に供給される。第１の沈殿槽２０は、第１の流路３０から供給された処理液を貯留する。第１の沈殿槽２０に貯留された処理液の液面の高さが高さｈ_ａを超えると、オーバーフロー路２０ａから処理液がオーバーフローし、第２の沈殿槽２２に流入する。第２の沈殿槽２２は、第１の沈殿槽２０から流入した処理液を貯留する。第２の沈殿槽２２に貯留された処理液の液面の高さが高さｈ_ｂを超えると、フィルタ流路３２に流入する。フィルタ流路３２にはフィルタ４０が接続されており、フィルタ流路３２に流入した処理液はフィルタ４０を通過する。 （もっと読む）

【課題】ノズルへの異物詰まりを防止する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル４と、該ノズル４に連通する個別流路６と、液体が個別流路６に至る途中に設けられたフィルタ１０と、を少なくとも備えた液滴吐出ヘッド１において、フィルタ１０は、ノズル４から液滴を排出する方向に液体を流した場合と、ノズル４から液体を供給する方向に液体を流した場合とでは、捕捉できる異物のサイズが異なるものとしている。 （もっと読む）

【課題】送液系内での塗液の滞留を低減し、塗液に含まれる微粒子や顔料の沈降及び凝集を減少させ、塗液に含まれる樹脂や溶媒なども分散させることができ、さらに効率の良い洗浄装置を備える塗布装置を提供する。
【解決手段】ダイヘッドに均一に混合分散させた塗液を送液させるため、さらには洗浄時においてダイヘッドおよび送液系内の汚れを除去するためのスタティックミキサーおよび超音波振動子を備え、塗布および洗浄が可能な送液系であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理液中の異物を除去する清浄性能と、処理液中に混入している気泡を除去する脱気性能を同時に向上させることができる液処理装置及び液処理方法を提供すること。
【解決手段】レジスト容器１３に第１管路２６を介して接続する一時貯留容器４０と、一時貯留容器に第２管路２７を介して接続される供給ノズルと、一時貯留容器内を負圧にして、処理液内に混入した気泡を排出するための脱気機構３２と、一時貯留容器内に形成され、第１管路を介して供給される処理液を貯留する流入槽４１と、流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、第２管路２７が接続する流出槽４３と、流出槽と第１管路を接続する第３管路２８と、第１管路と第３管路の接続部に介設される切換弁３１と、流出槽から第３管路及び第１管路を介して流入槽への処理液の供給を行う供給・循環用ポンプＰ２と、第３管路に介設され、異物・気泡を除去するフィルタ５０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】液体貯留部材の揺動等に起因して発生する衝撃が流路内の液体を伝播することによりメニスカスが破壊されることを抑制できると共に、流路内の液体に混入した気体を回収することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体が導入される液体導入部１２から液体流路を通じて圧力室３４側に液体を導入し、圧力発生手段４４の作動によって圧力室３４内の液体をノズル２１から液滴として噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、前記液体導入部１２の内部に、前記液体流路内の液体を濾過するフィルター１７を備えたフィルター室５１を形成し、該フィルター室５１の前記フィルター１７よりも重力方向の上方に、内部に気体を貯留した気体室１６を形成し、当該気体室１６と前記フィルター室５１とを連通させた。 （もっと読む）

【課題】液体吐出部と液体貯留部間を循環して供給される液体に混入した気泡を排出し、かつフィルタの目詰まりや液圧異常などの検出を簡易な構成で実現可能な液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧力検出部６は、インクの流路に接続された圧力室６ｃにインクを供給する圧力室インク供給部６ｄが当該圧力室６ｃからインクを送出する圧力室インク送出部６ｅより重力方向下方に配置されている。 （もっと読む）

【課題】連続走行している帯状の基材に塗液を塗工するロールコーターにおいて、塗液中の粒子の沈降や凝集または分散不良などによって、塗液の初期組成が塗工途中に変化して、物性や品質が変化する課題を解決できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗液を貯留するマニホールドブロック１と、塗液を基材に転移させるマイクログラビア版４と、マニホールドブロック１の底壁および塗液供給配管９に設けられたスタティックミキサー８と、塗液排出配管から排出された塗液を循環させるための、脱泡・脱気装置、塗液タンク、送液用ポンプ、フィルター、質量流量計を備えている塗布装置。 （もっと読む）

【課題】液体の流路に用いられるフィルタ装置のメンテナンスの最適時期が判断され、好ましいメンテナンス処理が実行される、フィルタ装置及び塗布装置並びにフィルタ装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】ろ過対象の液体が流入する流入口と連通されるハウジング部(22)と、ハウジング部の内部に配置され、中空の筒型形状を有し外周部から中空部へ液を通過させる構造を有するエレメント部(24)と、ハウジング部の外側面、又はハウジング部の外側面に近接する位置に設けられ、ハウジング部内部の液体の濁りの程度を検出する濁度センサ(26)と、を備え、濁度センサの検出結果に基づいて、エレメント部に対するメンテナンス処理必要であるか否かを判断することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出装置では、描画品位を維持することが困難である。
【解決手段】機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３と、機能液５３を貯留する第２タンク１１７と、第２タンク１１７内の機能液５３を吐出ヘッド３３に導く第２供給管１１９と、第２タンク１１７内の機能液５３を第２タンク１１７外に排出する第１排出管１２１と、を有し、第２タンク１１７は、第２タンク１１７内の機能液５３を第２供給管１１９に供給する供給口と、第２タンク１１７内の機能液５３を第１排出管１２１に排出する第１排出口と、を有しており、第１排出口は、供給口よりも、鉛直方向で上方に位置している、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】全ての吐出口から液体と共に気泡及び異物を効率よく排出しつつ、液体が無駄に消費されるのを抑制する。
【解決手段】サブタンクが、インク供給管を介してインク流入流路と連通し、インク帰還管を介して排気流路と連通している。インク流入流路は、インク流出流路及び排気流路と連通している。インク流出流路は吐出口と連通している。インク供給管にはパージポンプが、インク帰還管には循環バルブが設けられている。循環バルブを開いた状態で、パージポンプを駆動することによって、サブタンク、インク流入流路及び排気流路の順にインクを循環させる。この状態で、循環バルブを閉じることによって、吐出口からインクを排出する。パージポンプの駆動を停止させることにより、インク供給量が低下した後に、循環バルブを開いて吐出口からのインクの排出を停止させる。 （もっと読む）

【課題】レジスト吐出時に、微小気泡を抑制させる塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト供給源３０から供給されたレジスト液をベローズポンプ１４で加圧することによりレジスト液中に含まれる微小気泡をレジスト液に溶解し、さらに、第１の圧力制御ポンプ２４により予め決められた圧力に加圧制御されるコータチャンバー２０内にコータ１８を収容し、この加圧雰囲気下で微小気泡を溶解させた状態を保ったままのレジスト液をコータ１８によりウェハＷに塗布する構成にした。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく、ろ過効果を高めることが可能な薬液供給システムを提供する。
【解決手段】開示される薬液供給システムは、薬液を貯留する第１の容器および第２の容器と、第１の容器と第２の容器とを繋ぐ第１の配管に設けられ、第１の容器に貯留される薬液を第２の容器へ流す第１のポンプと、第１の配管に設けられ、第１の容器から第２の容器へ向かって第１の配管内を流れる薬液をろ過する第１のフィルタと、第１の容器と第２の容器とを繋ぐ第２の配管と、第２の配管に設けられ、第２の容器に貯留される薬液を第１の容器へ流す第２のポンプとを備える。 （もっと読む）

【課題】気泡の滞留を効果的に防止し得る液体供給構造を提供する。
【解決手段】フィルタを介して液体が供給され、当該供給された液体を吐出する液体吐出ヘッドに適用される液体供給構造には、フィルタに設けられる開口の最大寸法をＲとしたとき、液体供給構造の内壁には、前記吐出に伴って流動するインクの流動方向に沿って、Ｒ以上で√２・Ｒ以下の空間周波数ｆをもって、最高部と最低部との高さの差Ｒｙが√２・Ｒ／２以上である凹凸部が繰り返し形成されている。 （もっと読む）

【課題】液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドに供給される液状体におけるゲル状異物を含む異物の数を抑制することができる液滴吐出装置、液状体供給方法、及び液状体供給装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、液状体を液滴として吐出し、液滴を描画対象物上に着弾させることによって描画対象物上に液状体を配置する液滴吐出装置であって、液滴を吐出する吐出ヘッドと、吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段と、ヘッド保持手段と描画対象物とを相対移動させる相対移動手段と、吐出ヘッドに液状体を供給する液状体供給手段と、を備え、液状体供給手段は、吐出ヘッドに向けて液状体を流動させる供給路の途中に、ヘッド保持手段と一体に移動可能に配設された濾過フィルターを備える液状体濾過手段を備える。 （もっと読む）

【課題】液体の流路に用いられるフィルタ装置のエレメントの目詰まり状態を外部から把握することでき、フィルタの目詰まり状態を検出してフィルタの交換時期を報知することを可能とする、フィルタ装置及び塗布装置を提供する。
【解決手段】フィルタ装置(10)は、蓋部(20)に設けられた排出流路(32)が垂直下方向へ延長され、エレメント(24)の中空部(24B)に挿入される。エレメントの下側端部(24C)と延長管(32A)の下側開口(32C)との間には隙間部(36)が設けられ、エレメントの外側(24A)の液体は隙間部を通って中空部へ流入する。エレメントの外側の隙間部に対応する位置に堆積物(40)が付着すると、液体は付着物を乗り越えて付着物の上からエレメント内に進入するので、エレメントの外側の水位が上昇するので、エレメントの外側の水位からエレメントの目詰まり状態を把握することができる。 （もっと読む）

【課題】 供給される塗料の中に気泡が含まれることを防止し得る塗料供給装置を提供する。
【解決手段】 塗料を貯蔵するタンク（１０）と、前記塗料を濾過するフィルタ（１２）を有する濾過室（１４）と、前記濾過室または前記タンクと接続され、前記塗料を供給する供給口（１６）と、前記タンクと前記濾過室を繋いでおり、前記タンクと前記フィルタの間を前記塗料が循環するように流れる循環経路（２０）と、前記循環経路に接続されており、前記塗料を流動させるポンプ（１８）と、前記循環経路に取り付けられており、前記濾過室が加圧されるように前記濾過室の圧力を変化させる圧力調整装置（５０）と、を有する塗料供給装置。 （もっと読む）

【課題】液体供給流路および液体回収流路のポンプおよびフィルターの性能を個別に判断することができる液付与装置および画像形成装置、並びにポンプ及びフィルターの判定方法を提供する。
【解決手段】塗布液を記録媒体に塗布する塗布手段と、塗布手段に塗布液を供給する供給部と、塗布手段から塗布液を回収する回収部と、を有し、供給部の送液能力を判定する供給能力判定手段と、回収部の送液能力を判定する回収能力判定手段と、を備えることを特徴とする液付与装置、および、この液付与装置を備える画像形成装置である。供給能力判定手段および回収能力判定手段により、ポンプ、フィルターなどの能力を個別に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の表面や裏面を均一に処理することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】洗浄液ＣＬを循環させるとともに洗浄液ＣＬにＤＩＷの液滴ＬＤを供給して凝固させて新たな氷粒ＩＧを生成し、洗浄液ＣＬ中に混合させている。したがって、氷粒ＩＧ同士が結合するのを抑制しながら洗浄液ＣＬ中に氷粒ＩＧを均一に分散させることができる。そして、この洗浄液ＣＬにより基板の表面や裏面を洗浄しているため、洗浄液ＣＬの氷粒ＩＧが基板に対して均一に作用して基板の表面や裏面を均一に処理することができる。 （もっと読む）

【課題】気泡を効率よく収集および排出でき、液体を安定供給できる液体供給システムを提供すること。
【解決手段】本発明に係る液体供給システムの態様の１つは、液体を収容する液体収容部と、前記液体収容部と第１管を介して接続され、鉛直上向きに凸形状である上面と、底面と、側面と、を有する容器と、前記容器と第２管を介して接続され、前記液体を吐出する吐出ヘッドと、前記容器の上面における頂部と第３管を介して接続されている気泡排出機構と、を含み、前記頂部および前記側面の上端部を結ぶ直線と、水平面と、のなす角度θ_１が、１０°以上９０°未満である。 （もっと読む）