【課題】噴霧状の廃液を回収するにあたり、装置周辺への廃液の飛散を低減する。
【解決手段】廃液回収装置１は、上端の廃液供給孔６を通して廃液としてのシンナーが噴霧状に供給され、下端の排出孔７からシンナーを排出するハウジング５と、廃液供給孔６の下方に配置され、カール状に湾曲形成した金属線材の寄り束ねからなる第一霧化廃液捕集部２０と、第一霧化廃液捕集部２０の下方に配置され、千鳥配列された複数の断面山形状の上段山形偏向板３２、中段山形偏向板３３、下段山形偏向板３４からなる第二霧化廃液捕集部３０と、を備える。また、ハウジング５の下部にはエア孔１２が複数穿設された傾斜壁４ａが形成され、エア孔１２に対してエアの流入を許容し、シンナーの滴下を遮断する複数の偏向板１１からなるルーバーが設けられる。 （もっと読む）

【課題】レジスト吐出時に、微小気泡を抑制させる塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト供給源３０から供給されたレジスト液をベローズポンプ１４で加圧することによりレジスト液中に含まれる微小気泡をレジスト液に溶解し、さらに、第１の圧力制御ポンプ２４により予め決められた圧力に加圧制御されるコータチャンバー２０内にコータ１８を収容し、この加圧雰囲気下で微小気泡を溶解させた状態を保ったままのレジスト液をコータ１８によりウェハＷに塗布する構成にした。 （もっと読む）

【課題】ハンドガンで粉体塗装を行う小型の粉体塗装ブースにおいて、粉体塗料の再使用を可能とし、かつ色替え作業の清掃作業を短時間で行うことができるようにする。
【解決手段】塗装室１０と排気フィルター室１１とを備える粉体塗装ブースにおいて、塗装室１０と排気フィルター室１１とを分離し、塗装室１１０と排気フィルター室１１との間に、粉体塗料を回収する回収サイクロン１２を設置したことを特徴とする。塗装室１０は、ハンドガン１３から噴射された粉体塗料が周囲に飛び散らないように囲み、下部背面にオーバースプレー粉を吸引する吸引ダクト１６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】混合、調色した複数の色成分をもつ塗料を濾過した際に、色成分の一部がストレーナー内に滞留して調色時の色とは異なる色となることを防ぐことができるとともに、濾過速度に優れている塗料濾過用ストレーナーを提供すること。
【解決手段】逆円錐台形状をなす筒状体からなる紙製の本体と、本体の下方開口部を覆うように取り付けられた網体とからなり、網体は、周縁部が本体の外周面に取り付けられているとともに濾過面が全面に亘って平面であり、本体が、塗料が供給される主部材と、該主部材の外周面に取り付けられたリング状部材とから構成されており、網体は、主部材の下方開口部を外側から覆うように且つその周縁部が主部材の外周面に沿うように折り曲げられており、リング状部材は、網体の折り曲げられた周縁部を押さえるように、主部材の外周面に沿って固定されていることを特徴とする塗料濾過用ストレーナーである。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッド内の機能液の排出性を高めるとともに、液滴吐出ヘッドの温度調整を行う。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに対して前記機能液が供給される流路に設けられたフィルターと、前記フィルターを加温する加温部と、前記フィルターを加温させて前記流路内の前記機能液の粘度を低下させる低粘度化モードと、前記フィルターを加温させるとともに、加温された前記機能液を前記液滴吐出ヘッドに供給させ、前記液滴吐出ヘッドの温度を調整するヘッド温度調整モードと、を選択的に切り替える制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】グラビア塗工のような大気開放系において、塗工液を循環させる供給装置でも、液受けパン中で大気中の水分を吸収する。そのため、単に脱水槽を備えた循環系では、脱水槽中の水分吸着剤及び槽自体の交換頻度が高くなってしまい、連続した生産に不向きな点が挙げられる。
【解決手段】グラビア塗工に用いられ、塗工液供給装置から塗工液を供給される液受けパンで、該液受けパンの上部を仕切り板で囲い、該仕切り板で囲われた内部に、前記液受けパンより上部の位置にドライエアー噴出ノズルを備えたことを特徴とする塗工装置である。 （もっと読む）

【課題】気泡を効率よく収集および排出でき、液体を安定供給できる液体供給システムを提供すること。
【解決手段】本発明に係る液体供給システムの態様の１つは、液体を収容する液体収容部と、前記液体収容部と第１管を介して接続され、鉛直上向きに凸形状である上面と、底面と、側面と、を有する容器と、前記容器と第２管を介して接続され、前記液体を吐出する吐出ヘッドと、前記容器の上面における頂部と第３管を介して接続されている気泡排出機構と、を含み、前記頂部および前記側面の上端部を結ぶ直線と、水平面と、のなす角度θ_１が、１０°以上９０°未満である。 （もっと読む）

【課題】作業性を損なうことなく被攪拌物内への異物の混入を防止可能な攪拌ユニットを提供する。
【解決手段】本発明に係る攪拌ユニット１は、被攪拌物１００が収容される容器１１０の上部の開口１１２上に載置される蓋体１０と、蓋体１０に取付けられて被攪拌物１００を攪拌する攪拌装置２０と、被攪拌物１００を容器１１０内から外部に送出する送出管１２０を保持するために蓋体１０に設けられる第１挿通孔３２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドに影響を与えることなく、液滴吐出装置の導体パターン形成用インクの流路における汚れを好適に解消できる液滴吐出装置の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、金属粒子が水系分散媒に分散したインクを吐出する液滴吐出装置を洗浄する方法であり、当該液滴吐出装置は、インクを貯留するインク貯留層と、インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、インク貯留部から液滴吐出ヘッドに向かってインクを搬送する搬送路と、搬送路に設けられ、インクの逆流を防止する自己封止弁と、搬送路の自己封止弁よりもインク貯留部側に設けられたフィルターとを有し、液滴吐出装置の洗浄に用いられる洗浄液を、搬送路に、インクの流れる方向とは反対方向に向かって流すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薬液に含まれる気泡や塵等の異物を除去しつつ、一定量の薬液を吐出ノズルから高精度で吐出し得るようにする。
【解決手段】薬液供給装置は弾性変形自在のベローズ１４により膨張収縮するポンプ室１５が設けられたポンプ１２を有し、薬液容器１０内の薬液はポンプ室１５に吸入流路２１を介して案内される。ポンプ室１５内の薬液は吐出流路２２を介して吐出ノズル１１に吐出される。ポンプ１２にはポンプ室１５から供給された薬液をポンプ室１５に戻すとともに膨張収縮部を有する循環流路２３がループ状に接続されている。循環流路２３にはポンプ室に戻される薬液を濾過するフィルタ３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】流路構造を利用して流路等に設けられたフィルタのメンテナンスを行うことで、好ましいフィルタのメンテナンスを可能とする液付与装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】塗布皿２４と廃液タンク７２とを連通させる排出流路６４は、ろ過フィルタ６６が設けられ、排出流路６４のろ過フィルタ６６よりも塗布皿２４側にメンテナンス用排出流路６４’が接続されるとともに、メンテナンス用排出流路６４’は一方向弁７０’が設けられる。塗布皿２４のドレインバルブ６０、オーバーフローバルブ６２を閉じて排出ポンプ６８を反転動作させると、一方向弁７０’に所定の開放圧力が付与され、一方向弁７０’が開放される。ろ過フィルタ６６から除去された異物を含む塗布液は、一方向弁７０’、メンテナンス用排出流路６４’を介して廃液タンク７２へ回収される。 （もっと読む）

【課題】液体を供給又は回収するための流路のつまりや塗布異常の発生を防止し、塗布安定性を向上させる。
【解決手段】媒体に液体を塗布する塗布面を有する塗布部材と、前記塗布部材の塗布面に当接することで形成される液体保持空間に液体を保持するための保持部材とを備え、前記塗布部材の塗布面を回転させることにより、前記保持部材より前記塗布面に供給された液体を前記媒体に塗布する液体塗布装置であって、前記液体を貯蔵する貯蔵手段と、前記貯蔵手段と前記保持部材とを連通する第１及び第２の流路と、前記第１及び第２の流路、並びに前記液体保持空間を含む流路において液体の流れを発生させるための液体移動手段と、を備え、前記貯蔵手段には、前記液体に含まれる不要物を除去して該液体を再生させる液体再生手段が設けられている液体塗布装置を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】画素部の形成とその修正を含めた一連の工程において、薄膜が抜けることなく修正される薄膜製造方法と、その薄膜製造システムを提供する。
【解決手段】カラーフィルタの製造フローには、初期インクジェット工程、修正インクジェット工程およびＩＴＯ電極膜形成工程がある。初期インクジェット工程１１には、インク充填部に親液処理を施す工程Ｓ２が含まれ、修正インクジェット工程１２には、不良箇所のインク充填部に親液処理を施す工程Ｓ７が含まれる。初期インクジェット工程におけるプラズマ処理量は、修正インクジェット工程におけるプラズマ処理量以上に設定される。 （もっと読む）

【課題】短時間で、且つ処理溶液に混入している異物を確実に濾過することができる浸漬処理装置および浸漬処理装置の運転方法を提供する。
【解決手段】貯留した処理溶液により、浸漬した処理対象物の表面処理を行う処理タンク２と、処理タンク２以上の容量を有するバッファタンク３と、処理タンク２とバッファタンク３とを相互に接続する循環流路４と、処理タンク２とバッファタンク３との間に処理溶液を送液する送液手段と、循環流路４に介設したフィルタ６と、送液手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、処理タンク２に貯留された処理溶液の濾過時に、処理タンク２に貯留している全ての処理溶液をバッファタンク３に送液した後、バッファタンク３から処理タンク２に送液する。 （もっと読む）

【課題】アプリケーターロールの外周面に付着したゴミや余剰の塗料を良好に除去するとともに塗膜の厚みのばらつきを抑え、缶胴への塗料の塗布を良好に行うことができ、また耐久性を向上することができる缶の塗装装置及び塗装方法を提供することにある。
【解決手段】外周面３ａが缶胴に摺接されるアプリケーターロール３と、塗料供給部から供給された塗料Ｐを前記アプリケーターロール３の外周面３ａに付着させるグラビアロール４とを備えた缶の塗装装置１であって、前記アプリケーターロール３の外周面３ａに摺接して該外周面３ａに付着したゴミＤや余剰の塗料Ｐを除去するゴミ取りロール５と、前記ゴミ取りロール５に付着したゴミＤや塗料Ｐを掻き取るスクレーパー８と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レジストを塗布し、露光後に現像処理を行った基板のレジスト表面に残渣が付着したまま残る残渣欠陥の発生を抑えること。
【解決手段】基板の表面にレジストを塗布してする塗布モジュールと、レジスト塗布後、露光処理された基板の表面に現像液を供給し、前記レジストを現像処理してレジストにパターンを形成する現像モジュールと、レジストを変質させずにレジストの表面の親水性を高めて、前記現像処理後に当該レジストに付着した残渣を除去するための薬液を前記基板に供給する薬液ノズルと、を備えるように塗布、現像装置を構成する。前記薬液としては例えばアルコールや酸を含んだアルコールが用いられる。 （もっと読む）

【課題】短時間に補正量の算出をおこなう。
【解決手段】基板に対して相対的に移動可能なヘッドユニットには、吐出ヘッド１５が保持されている。そして、吐出ヘッド１５内における補正用ノズル２９に連通する圧力室２６とインク室２５との間には、粒子含有インクに含まれている粒子を通し難いフィルタ３０を設けている。こうして、粒子を約１０重量％含有したインクを用いる場合でも、補正用ノズル２９から吐出されたインクに含まれる粒子の濃度を約２重量％程度に下げることができ、着弾位置のばらつきを低減することができる。その結果、着弾ばらつきの中心位置を±５μmの精度で求める際に、補正用ノズル２９よりインクを吐出してから着弾位置を計測するまでの一連の作業を１０回繰り返せばよく、短時間に高精度の着弾位置補正を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】一定温度の塗布液を一気に且つ大量に塗布できる塗布液供給システムを提供する。
【解決手段】第２の循環経路３のポンプ８は常時駆動し、タンク１内の現像液の温度を一定に維持している。この状態で、第１の循環経路２のポンプ４を駆動し、ポンプ４で汲み出した現像液をスリットノズル６まで送り込む。このとき開閉弁７を閉じておくと、スリットノズル６内に供給された現像液はスリット状吐出口６ｄからカーテン状になって下方に流下し、被処理基板Ｗの表面に供給される。 （もっと読む）

【課題】エア等の異物を簡単に除去できる異物除去装置を提供すること。
【解決手段】エネルギＵＶを加えられて硬化する液状のガスケット材料２を収容する収容容器３と、前記ガスケット材料２をワーク４に塗布する塗布装置５との間に配置される異物除去装置１０において、前記収容容器３と前記塗布装置５とを接続するものであって、窓１８が形成された接続管１１と、前記窓１８を介して前記ガスケット材料２を監視し、前記ガスケット材料２に含まれる異物８を検出する異物検出装置１９と、前記異物検出装置１９が前記ガスケット材料２に含まれる異物８を検出した場合に、前記異物８を含む前記ガスケット材料２に対して前記エネルギＵＶを加えるエネルギ付加装置２０と、前記エネルギ付加装置２０が前記エネルギＵＶを加えて硬化させたガスケット材料２ａを除去する除去装置１６と、を有する。 （もっと読む）