【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、半導体や医療品、食品対応したクリーンな塗布を可能とする。
【解決手段】液剤塗布装置カバー上部のＨＥＰＡフィルターを設け、塗布ヘッドの下方には塗布部材を水平方向に位置決めるＸ−Ｙテーブル上に塗布部材を載置している。塗布時における塗布対応上下駆動部や、ＸＹテーブルユニットの摺動部や駆動部を塗布面より下方に構成した。 （もっと読む）

【課題】乾燥室内に配置された被塗装物の乾燥効率を高めつつ、低コストかつ省エネルギーを実現した塗装乾燥ブースを提供する。
【解決手段】塗装乾燥ブース１は、天井２ａに、通気口６の一部を遮蔽する遮蔽部８が設けられている。通気口６は、遮蔽部８により遮蔽され、部分通気口６ａが残る。この残った部分である部分通気口６ａの天井２ａにおける面積は、被塗装物となる車両Ｃが天井２ａに対して投影される際の投影面積に応じて確定される。具体的には、天井２ａは、全面にメッシュ状の通気口６を備えつつ、この通気口６の四方を方形状に遮蔽する板状の遮蔽部８を複数備える。板状の遮蔽部８は、各辺に対応して長方形状のものが２枚ずつ、計８枚設けられている。 （もっと読む）

【課題】乾燥炉の水平部分を傾斜部分に対して十分に上方に設けることができない場合でも、水平部分の内部に滞留している熱気が傾斜部分を通って乾燥炉の出入口から炉外に漏出することがない、新規な乾燥炉を提供する。
【解決手段】 エレベータ意匠品の塗装に用いる山型乾燥炉１００であって、出入口１０から斜め上方に延びる傾斜部分１１と、この傾斜部分１１の上端部分に接続されて水平に延びる水平部分１２と、この水平部分１２の内部に熱気Ａを供給する熱気供給手段と、前記水平部分１２の内部に滞留している熱気Ａが前記傾斜部分１１を通って前記出入口１０から炉外に漏出することを防止する、前記傾斜部分１１と前記水平部分１２との接続部分に設けられた熱気漏出防止手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】マーキングのためにＵＶインクを用いる場合に起因する不具合の発生を防止した液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置３は、サブストレート基板に液滴を吐出して所定のパターンを描画する液滴吐出ヘッドを含む液滴吐出部６５と、液滴が吐出されたサブストレート基板に後処理を施す後処理部７０と、を備えている。後処理部７０は、サブストレート基板を搬送する搬送部と、その処理チャンバー内にサブストレート基板に対して紫外線を照射するランプを備えている。 （もっと読む）

【課題】塗布により発生する汚染物質の拡散を防止しつつ、塗布スペースのクリーン度を確保し、基板へのパーティクルの付着を抑制する塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１およびノズルヘッド１３のノズル噴出口を囲むように第１のブース１２を設け、かつ第１のブース１２を囲むように第２のブース１４を設置し、第１のブース１２内の圧力を第２のブース１４内の圧力より高くすると共に、第２のブース１４内の圧力を第２のブース１４外の圧力より低くする。 （もっと読む）

【課題】特別な窒素ガスチャンバー等を用いることなく、簡易な構成で、不活性ガスの使用量を少なくすることができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】照射室２０の内部には、被処理物に電子線を照射する処理が行われる照射空間２１が含まれている。電子線発生部１０で発生した電子線は、照射窓部３０を介して照射空間２１内に取り出される。被処理物は、搬送装置４０により、照射空間２１を通過するように搬送される。照射空間２１は、照射窓部３０と、照射空間２１を通過した電子線を捕捉するビームキャッチャー５０と、被処理物の搬送を妨げることなく、電子線の照射方向に略平行に設けられた外枠部２１０とにより囲まれた空間として構成される。ガス供給部６０は、電子線照射処理の際、照射空間２１内に不活性ガスを供給することにより、照射空間２１内の照射雰囲気を不活性ガス雰囲気とする。 （もっと読む）

【課題】気密室８の設備の製造コスト及び置換ガスＧのランニングコストを低減できると共に、シート上に位置ズレさせることなく正確に重ね塗りできること。
【解決手段】シートの巻出装置２と、エンドレス状のシート搬送用外周面３ａを所定シート走行速度で走行するシート搬送装置３と、シートの巻取装置４と、シート案内用ガイドロール５と、シート搬送装置３の外周面３ａより外側に、シート走行方向Ｅへ間隔を開けて配置した複数台の塗工装置６と、シート搬送装置３の外周面３ａの外側で、塗工装置６から離れて塗工装置６よりもシート走行方向下流側に配置した定着装置７と、外部Ｆと気密状態に区画した室内８ａにこれら巻出装置２乃至定着装置７を収納配置して置換ガスＧを充満させる密封室８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 塗装スペースと乾燥スペースとを兼ねることで、工場内のスペース効率を最大限有効に活用し得ると共に、塗装作業と乾燥作業を通した作業効率が向上し、水性塗料のみならず、有機溶剤型塗料を使用した場合でも、適用可能とする。
【解決手段】 塗装室１は、直方体に形成され、前方に被塗装物を出し入れする際に開閉する出入り扉１ａが設けられ、他の三方は、密閉構造とされている。この塗装室１の両側方には、間仕切り壁１ｂおよび開口開閉扉１ａを介して、乾燥機収納室２が設けられている。乾燥機収納室２は、非使用時にコンパクト化された乾燥機５を収納している。乾燥作業時には、開閉扉４が開放されて、乾燥機本体５ｃが塗装室１内に進出する。 （もっと読む）

【課題】閉空間内に流れる気流の影響を受けて、塗装ムラが発生したり、前記気流中の異物が被塗工物に混入したり、また、塗料中における固形分の凝集によって発生した異物が被塗工物に付着したりすることを防止した、局所クリーン方式による塗膜形成装置を低コストで供給する。
【解決手段】塗膜を形成するエリアとその外部とを遮断して閉空間１Ａをつくり出す横断面矩形の筺体１で構成される、無端状ベルト形状の被塗工物の外周に塗料で塗膜を形成する、塗膜形成装置１００において、前記筺体１の上壁の中央部分から前記閉空間１Ａ内にクリーンな空気を給気するファンフィルタユニット３と、前記ファンフィルタユニット３から給気された空気を前記筺体１Ａの側壁の内側へ流すように配置された第１の整流板１８ａと、前記第１の閉空間１Ａ内の空気を外部に排気する排気ファン４と、が設けられているものとする。 （もっと読む）

【課題】車両の塗装に使用する塗料が溶剤系から水性系塗料に変ったのに伴い、塗装面の乾燥に時間が掛かるようになったので、乾燥むらを生じないと共に効率良く乾燥できるような車両用塗装ブースの乾燥装置を提供する。
【解決手段】横長の空気吹き出し口３ａを有するノズル３を、該吹き出し口３ａを上下に揺動可能にノズル保持器５に枢着し、更に該ノズル保持器５を上下及び左右に移動可能に枠体２に係着した車両用塗装ブースの乾燥装置を形成した。 （もっと読む）

【課題】吐出した液滴が風によってノズルに付着することを防止することができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る液滴吐出装置は、ノズル２８を備え、ノズル２８から液滴を吐出する吐出ヘッド１０と、ノズル２８の周囲を囲い、かつ、液滴を通過させる開口部１４ａを備える風除け部材１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】パーティクルおよびミストの基板への付着を防止することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１００は、箱形の処理チャンバ１を備える。この処理チャンバ１の４つの側面には、スリット１ａがそれぞれ設けられている。処理チャンバ１を取り囲むように箱形のハウジング２が設けられている。処理チャンバ１とハウジング２との間に空間ＳＰが形成される。ハウジング２の上部には、空間ＳＰ内にダウンフローを形成するためのファンフィルタユニットＦＦＵが設けられている。ファンフィルタユニットＦＦＵに供給された空気は、当該ファンフィルタユニットＦＦＵにより清浄化され、空間ＳＰに供給される。空間ＳＰに供給された空気は、処理チャンバ１の各スリット１ａを介して当該処理チャンバ１内に供給される。これにより、処理チャンバ１内に竜巻状の気流が発生される。 （もっと読む）

【課題】塗布液の塗布を開始するまでの時間で短縮することによって処理効率を向上する。
【解決手段】塗布機構（ノズルユニット２）は、下方に向けて塗布液を吐出するノズル２１〜２３を有する。第１ボックス７１は、内部に空間を有する。ステージ４は、第１ボックス７１内において基板Ｐを載置する。仕切部材９は、第１ボックス７１内に配置され、内部に空間が形成される形状でありかつ一方に開口部を有する。第１ガス供給手段（供給管７８）は、仕切部材９の内部空間に対して不活性ガスを供給する。ステージ移動機構部５は、基板Ｐがノズル２１〜２３の下を通過するとともに開口部から仕切部材９の内部に進入するように、ノズル２１〜２３および仕切部材９に対して相対的にステージ４を移動させる。 （もっと読む）

【課題】被塗布体である基板上へ異物が落下することを防止する塗布装置を提供する。
【解決手段】ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、そのステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。ボックスは、ノズル移動機構を包囲して設けられ、そのノズル移動機構側からステージ側へノズルの少なくとも一部が突出して往復移動する開口部が形成される。気体膜生成手段は、その噴射口から所定の気体を噴射して、ボックスの開口部を遮る帯状の気体膜を生成する。 （もっと読む）

【課題】高耐久性及び高遮蔽性を備えながら騒音の小さい貫通部遮蔽構造を提供する。
【解決手段】仕切壁４５に対する貫通部材１８，２３の移動経路として横方向に延びるスリット状開口４６を仕切壁４５に形成し、スリット状開口４６を閉塞する複数の遮蔽板４７Ａ，４７Ｂを、スリット状開口４６に沿って移動する貫通部材１８，２３により順次に押し開く揺動自在な垂下状態でスリット状開口４６に沿って並設する貫通部遮蔽構造において、遮蔽板４７Ａ，４７Ｂを隣り合う２枚ずつの組にして、各組ごとに、一方の遮蔽板４７Ａが貫通部材１８，２３により押し開かれることに伴い、それとは反対向きに他方の遮蔽板４７Ｂが開き揺動する状態に、それら２枚の遮蔽板４７Ａ，４７Ｂを相互に連動させる連動機構４８を設ける。 （もっと読む）

【課題】めがねレンズ上へのコーティングのデポジションを改善することにある。
【解決手段】本発明によるめがねレンズのコーティング装置は、不活性ガス雰囲気形成手段が、不活性ガスを一時的に噴射する手段（７）と、ウィンドウ（１３）が設けられかつめがねレンズ（２）を支持する支持体（３）を受入れる手段（２２）を備えた少なくとも１つの個別的かつ自立的なケーシング（６）と、めがねレンズ（２）の周囲に密封包囲体を形成することができるシーリング手段（２１）とを有し、前記包囲体は、不活性ガスを一時的に噴射する手段（７）と協働できる逆止入口部材（１５）を有している。 （もっと読む）

【課題】ワークの表面に帯電している静電気をほぼ完全に除去することによって該ワークの表面に付着している塵を完全に除去できる表面処理装置を提供する。
【解決手段】処理室２に設けられたワーク搬送手段５と、搬入口３の近傍に設けられた第１静電気除去カーテン１０と、これより下流に設けられた静電気除去エアー吹付け部１１と、これ１１より下流に設けられた静電気除去ブラシ１６と、この上方に設けられた第１塵除去エアー吹付け部１７とを備えた構成とする。したがって、ワークＷの表面に帯電している静電気をほぼ完全に除去して該ワークＷの表面に付着している塵を完全に除去できる。 （もっと読む）

【課題】 液滴の塗布時間が短縮可能であるとともに、液滴の乾燥時間の差に起因した液滴の乾燥ムラの発生を抑制することが可能な塗布装置及びこの塗布装置に適用可能な塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 一対の電極間に保持される光活性層を形成するための液滴を塗布する塗布装置であって、処理基板ＳＵＢが載置されるステージ１３１と、ステージ１３１上の処理基板ＳＵＢに対向して配置され処理基板ＳＵＢ上に向けてそれぞれ液滴を塗布する複数のヘッド１３２と、ステージ１３１上に載置された処理基板ＳＵＢと複数のヘッド１３２とが対向した状態でヘッド１３２のそれぞれが処理基板ＳＵＢの異なる領域に液滴を塗布するようにステージ１３１及びヘッド１３２の少なくとも一方を移動させる移動機構１３３と、処理基板ＳＵＢとヘッド１３２との間に閉空間Ｓを形成するためのカバー１３４と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、それぞれのワーク支承装置（１０９）に各々が配置される表面処理済みワーク、特に車体（１１０）を乾燥するための乾燥装置であって、ワークが乾燥装置トンネル（１０８）を通して搬送方向（１１２）に沿って移動されかつ複数の床要素（１１８）を備える乾燥装置床（１１６）によって下方方向に画定される乾燥装置トンネルを有する乾燥装置ハウジング（１０２）と、乾燥装置トンネル（１０８）を通してワークを搬送する搬送装置（１３８）と、を備える乾燥装置に関する。この目的のために、搬送装置（１３８）が、搬送方向（１１２）に連続して配置されかつ少なくとも１つの支承ローラ（１４２）を各々が備えるとともに乾燥装置トンネル（１０８）を通して搬送されるときにワーク支承装置（１０９）が載置される複数の支承ローラユニット（１４０）を備え、これらの支承ローラユニット（１４０）は、乾燥装置床（１１６）のそれぞれの床要素（１１８）に別個に装着可能である。
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