【課題】 浮上搬送中に被処理基板の前端部や後端部がばたつかないようにして基板の浮上高さを正確安定に制御し、塗布膜の膜厚品質を向上させること。
【解決手段】 基板搬送部８４は、基板Ｇを気体圧力の力で空中に浮かせる浮上式ステージ８０の両側に平行に配置された一対のガイドレール１００Ｌ，１００Ｒと、これらのガイドレール上で搬送方向（Ｘ方向）に移動可能に取り付けられた一対のスライダ１０２Ｌ，１０２Ｒと、両ガイドレール１００Ｌ，１００Ｒ上で両スライダスライダ１０２Ｌ，１０２を同時または平行に直進移動させる搬送駆動部と、基板Ｇの四隅を着脱可能に保持するために両スライダ１０２Ｌ，１０２に搭載されている保持部１０６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】塗布領域に液体を精度良く塗布する。
【解決手段】基板１の非塗布領域１２を試塗位置に位置させた状態でノズルをＸ方向に往復移動させながら基板１の非塗布領域１２に向けて有機ＥＬ材料を吐出させて塗布軌跡ＣＬを基板１の非塗布領域１２上に形成する。そして、この塗布軌跡ＣＬの光学像ＩｃｌをＣＣＤカメラで撮像し、その塗布軌跡ＣＬを示す画像データを制御部のメモリに一時的に記憶する。また、基板１の塗布領域１１を塗布位置に位置させた状態で基板１の溝１１の光学像Ｉ11をＣＣＤカメラで撮像し、その溝１１を示す画像データを制御部のメモリに一時的に記憶する。そして、それらの画像データに基づき塗布軌跡ＣＬと溝１１とが一致するように基板１を位置決めする。その後で、塗布処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】一のロットＡの基板と後続の他のロットＢの基板との間で、第２の加熱ユニットの加熱処理温度を変更する場合に、スループットの向上を図ること。
【解決手段】温調ユニットＣＰＬ２、塗布ユニットＢＣＴ、加熱ユニットＬＨＰ２、温調ユニットＣＰＬ３、塗布ユニットＣＯＴ、加熱ユニットＬＨＰ３、冷却ユニットＣＯＬの順にウエハＷを搬送する場合に、ロットＡの最後のウエハＡ１０を加熱ユニットＬＨＰ３にて処理した後、当該ユニットＬＨＰ３の加熱温度を変更し、前記ロットＢの先頭のウエハＢ１が温調ユニットＣＰＬ３に搬送された搬送サイクルの次の搬送サイクルから、当該先頭のウエハＢ１に続く加熱ユニットＬＨＰ２にて加熱処理されたウエハＢを退避ユニットＢＦ２に順次満たしていき、また加熱ユニットＬＨＰ３の温度変更後においては、前記退避ユニットＢＦ２内のウエハＢを順次下流側のモジュールに搬送するようにウエハを搬送する。 （もっと読む）

【課題】基板の処理装置に用いられる複数の気圧式駆動部に気体を供給する気体供給設備の品質を安定させる。
【解決手段】気体供給ユニット１７０は、略直方体形状の連結ブロック１８２を有し、連結ブロック１８２の一の側面１８２ａには、複数の電磁バルブ１９０からなる電磁バルブブロック１８０と、複数のスピードコントローラ２００からなるスピードコントローラブロック１８１が連結されている。連結ブロック１８２内には、対応する電磁バルブ１９０とスピードコントローラ２００を連通させる第１の流路と、スピードコントローラ２００から他の側面１８２ｂに連通する第２の流路が形成されている。他の側面１８２ｂの第２の流路２１１の出力側には、接続ポート２２２が設けられる。各気圧式駆動部に通じる複数の給気管１６０は、マルチコネクタ２３０を介して接続ポート２２２に接続される。 （もっと読む）

【課題】従来の位置決め機構では、誤差分に余裕を持たせて位置決めを行っており、精度の高い位置決めが出来ない。
【解決手段】本発明によると、幅方向の寸法が正規寸法よりも小さく出来た基材でも、基材とローラの間に隙間が出来たり、ガタが生じることなく位置決め出来る。また、正規寸法よりも大きく出来た基材でも、ローラでの過剰な挟み込みによる変形や搬送不良を起こすことなく位置決め出来る。また、基材幅方向の反りの有無にかかわらず有効である。 （もっと読む）

【課題】スロットダイ内部に微小エアが混入しても、これを少ない塗布液の消費量で確実かつ速やかにスロットダイ外部に排出する手段を実現することによって、生産性が高くて、かつ高品質な塗布膜形成が可能な塗布装置および塗布方法、並びにこれらを用いたディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】マニホールドと吐出口を連通するスリット、および液体排出口を有する塗布器と、塗布液を排出するために液体排出口に接続されて排出される塗布液の流通／遮断を行うための開閉手段を途中に有する液体排出経路と、塗布器に液体供給経路を介して塗布液を供給する液体供給手段と、被塗布部材を保持する保持手段と、塗布器および保持手段の少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段を備え、塗布器に気体を供給する気体供給経路が、少なくとも塗布器、液体供給経路、または液体排出経路のいずれかに接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定の領域における変形量を抑制して信頼性の向上を得られる中間ベースと、この中間ベースを用いたＸＹテーブルと、この ＸＹテーブルを用いたシール剤塗布装置と、このシール剤塗布装置を用いた液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】中間ベース２３は横長矩形状の板体であり、下面略中央部に長手方向とは直交する方向に亘るとともに両側端縁から突出して設けられ、端部に駆動モータ２９が連結される第１のボールねじ２７および、この両側部で軸方向に沿って並行して設けられる複数の第１のＬＭガイド２６を備え、中央部２本の第１のＬＭガイド相互間で第１のボールねじが設けられる部位を領域Ａとし、この領域Ａの両側部位を領域Ｂとしたとき、領域Ａにおける第１のボールねじに近接した位置に追設される少なくとも１本の第３のＬＭガイド３０と、領域Ｂにおける板厚中に長手方向に沿って設けられ長手方向と直交する方向に互いに並行な複数の丸孔３８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出される溶液の重量を高精度に測定することができるよう易の供給装置を提供することにある。
【解決手段】基板を保持するテーブル３と、このテーブルの上方に配置され基板に液滴状の溶液を吐出して塗布する複数のノズルと、ノズルの下方に位置決め可能に設けられ複数のノズルから同時に吐出される複数の液滴状の溶液のうち、１つのノズルから吐出された溶液だけを通過させる遮蔽部材２８と、遮蔽部材を通過した溶液の重量を測定する電子天秤を具備する。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントを行うために、基板表面に極めて薄く、均一な厚みの樹脂膜を効率的に形成する。
【解決手段】基板Ｓをスピンドル１にインクジェット手段１０を対向配設し、インクジェット手段１０は、軸部１１の下端部に装着され、水平方向に配設され、基板Ｓの直径以上の長さを有する杆状のノズル本体１２を有し、このノズル本体１２に多数の噴射口１３が形成され、各噴射口１３は樹脂液通路１４に通じており、スピンドル１により基板Ｓを回転させる間に、圧電素子１６をアクチュエータとして可撓膜部１５を押圧することによって樹脂液滴を表面に噴射させる。圧電素子１６は制御回路１７により樹脂液滴の噴射間隔が制御され、基板Ｓの内周側に位置する噴射口１３からの樹脂液滴の噴射間隔は長く、外周側に向かうに応じて噴射間隔を短くするように制御する。 （もっと読む）

【課題】この発明は塗布ヘッドのノズルの目詰まりやノズルに残留する溶液の変質を防止する溶液の供給装置を提供することにある。
【解決手段】上面に基板を載置して所定方向に駆動される搬送テーブル１３と、搬送テーブルの上方に所定方向に対して交差する方向に沿って配置され溶液を基板に液滴状に噴射して塗布する複数のノズルと、搬送テーブルによる基板の搬送方向と交差する方向にノズルと基板を相対的に移動させるＹ駆動源２１と、ノズルのうちの基板における塗布パターンの形成予定領域に対向するノズルから溶液を噴射させて塗布させるとともに、所定の切り換えタイミングで移動手段を駆動して形成予定領域に対向していなかったノズルを形成予定領域に対向させて溶液を噴射させる制御装置を具備する。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置に関係なく、液滴吐出部の吐出面とステージとの間のギャップを求めることができて、液滴吐出部の交換時間を短縮できると共に、固定ステージにも適用できる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】ビーム部４１，４２に移動可能に取り付けられると共に載置面１１ａに載置された基板１０に液滴を吐出する複数の液滴吐出部６と、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面近傍の部位に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部と、上記各液滴吐出部の吐出面との間の距離および上記各基準部との間の距離を測定する測長部１４と、上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する算出部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】塗装処理装置において、小物のワークの搬送、塗装処理槽への浸漬、引き上げ及び次の工程への搬送を連続的に行って塗装の効率化と塗装品質の向上を図る。
【解決手段】無端チェーンの間にワーク２１を搬送するネットを取り付けた無端チェーンコンベア１５を塗装処理槽１３の上を通過して循環するように配設し、塗装処理槽１３の上の無端チェーンコンベア１５を下方向に押下げる落とし込みスプロケット２５と、このスプロケットを駆動する上下方向駆動シリンダ３１と、無端チェーンコンベア１５を横に移動させる長さ調整スプロケット２７と、このスプロケットを進退させる横方向駆動シリンダ３３とを備え、無端チェーンコンベア１５の下方向への移動長さ分だけ長さ調整スプロケット２７を横に移動させて無端チェーンコンベア１５を塗装処理槽１３に落とし込む。 （もっと読む）

【課題】吐出した液滴の位置ズレや基板の熱的損傷を回避するとともに、液滴からなる膜パターンの均一性を向上させた液滴吐出装置及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】マザー基板ＭＡを載置するステージが、マザー基板ＭＡの各吐出領域Ｓに対応可能な複数のヒータ（ヒータ対ＨＰ）を有する。そして、マザー基板ＭＡを吐出ヘッド４０に対して主走査方向（Ｙ矢印方向）に走査するときに、吐出ヘッド４０と対向する吐出領域Ｓに対応したヒータ対ＨＰが、対応する吐出領域Ｓを局所的に昇温する。 （もっと読む）

【課題】吐出した液滴の位置ズレや基板の熱的損傷を回避するとともに、液滴からなる膜パターンの均一性を向上させた液滴吐出装置及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】マザー基板ＭＡを載置するステージが、副走査方向（反Ｘ矢印方向）に配列される複数のヒータＨを有し、載置されたマザー基板ＭＡの領域を副走査方向に分割して昇温する。そして、第二液状膜ＬＦ２を形成するときに、吐出ヘッド４０の副走査方向側に対応するヒータＨ（ヒータ対ＨＰ）が、先行して形成した第一液状膜ＬＦ１の領域を局所的に昇温し、低粘度化させる。 （もっと読む）

【課題】塗布液の酸化を防止しながらコスト面および安全面を考慮した塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】ステージ上に配置されたノズル５２から吐出された塗布液をそのステージ上面に載置された基板に塗布する塗布方法である。塗布方法は、局所雰囲気生成工程を含む。局所雰囲気生成工程は、ノズル５２が塗布液を吐出する空間および塗布液が塗布された基板の塗布部位を含む塗布空間に対して局所的に所定気体を供給して、塗布液の塗布を所定の雰囲気で行う。 （もっと読む）

【課題】加熱ユニットと基板の搬送機構との間で高い精度で基板を受け渡すために行われる加熱ユニットの調整作業の手間を抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板に薬液を供給して液処理を行う液処理ユニットと、前記液処理ユニットにより液処理される前あるいは液処理された後の基板を加熱処理するための加熱ユニット４１を複数段に積み重ねて構成されたタワーＴと、加熱ユニット４１と液処理ユニットとの間で基板の受け渡しを行う搬送手段と、前記タワーＴを構成すると共に加熱ユニット４１が装着されて支持され、炭素繊維強化複合材により構成された支持枠部５と、を備えるように塗布装置を構成する。炭素繊維強化複合材は熱により変形し難いため、加熱ユニット４１の熱により支持枠部５が変形して、加熱ユニット４１の位置がずれることを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】線状に塗布された粘性流体に、その終端位置において膨らみが生ずることのない粘性流体の塗布方法および粘性流体の塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布ノズル２１から吐出させた粘性流体Ｓを、水平に保持されたワークＷの表面に線状に塗布する粘性流体Ｓの塗布方法であって、塗布動作の終了点となる終端位置の手前で、塗布ノズル２１への粘性流体Ｓの供給を停止させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】ガスの消費量を低減できる紫外線塗料硬化設備及び塗料硬化方法を提供すること。
【解決手段】紫外線塗料硬化設備１１は、ワークＷに紫外線を照射して紫外線硬化型塗料を硬化させる。紫外線塗料硬化設備１１は、搬送手段１４、光源１３、供給手段４０及び整流手段５１を備える。搬送手段１４は、ワーク出入口１２ｃを介してワークＷを処理槽１２内に搬入し、ワーク出入口１２ｄを介して処理槽１２外にワークＷを搬出する。光源１３は、処理槽１２内のワークＷに紫外線を照射する。供給手段４０は、ヘリウムガスを処理槽１２内に供給するガス供給口４１を有する。整流手段５１は、ガス供給口４１よりも下方に配置され、ヘリウムガスの通過時に流れを整えて微小風速のダウンフローを生じさせる。 （もっと読む）

【課題】 板状の基材を水平に吸着支持するチャック台において、基材を吸着支持する面の平面度を、機械加工精度を上げなくても、高精度に調整することの可能な基材用チャック台を提供する。
【解決手段】 チャック台１３を、基材８を載置するための支持面１４ａを備えた定盤１４と、その定盤１４を３個のベッセル点Ｐで支持するベッセル点支持具１５と、その定盤１４を、ベッセル点以外の領域で支持すると共に定盤の支持高さを調整可能な複数の可調整支持具１６を備えた構成とし、可調整支持具１６による支持高さの調整によって定盤の支持面１４ａの平面度を調整可能とする。 （もっと読む）

【課題】
複数種類の塗液を塗布方向に設けられた複数の塗布領域に高品位、かつ、高効率で塗布し、生産性の向上を図ることができる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】
塗液の塗布方向に複数個の塗布領域を有する基板上に、複数種類の塗液を各塗布領域内で互いに平行になるように塗布するにあたり、次の（Ａ）〜（D）の工程を順に行う。
（Ａ）複数種類の塗液を吐出する複数個の吐出孔を有する口金と基板とを対向配置する工程
（B）口金と基板とを相対的に移動させながら上流側の塗布領域から下流側の塗布領域に異なる種類の塗液を順に塗布する工程
（C）塗液を吐出した吐出孔の清掃を行う工程
（D）前記（B）、（C）の工程を繰り返す工程 （もっと読む）