【課題】処理対象物の重量が重い場合でも、特にθ方向の位置合わせを高精度かつ容易に行い得る低コストのアライメント機能付きステージを提供する。
【解決手段】基板Ｓをその処理面を開放して保持するステージ本体４ａを備えたアライメント機能付きステージを有し、基板の処理面に背向する他面に吸着自在な吸着手段８と、前記吸着手段での吸着箇所以外の領域に気体を供給する気体供給手段９と、前記吸着手段を回転中心として基板が同一平面内で回転されるように前記吸着手段に回転力を付与する駆動手段１０とを備え、前記駆動手段は、前記吸着手段を所定の微小角度範囲内で回転させる微動機構と、前記吸着手段を微動機構より大きな角度範囲で回転させる粗動機構とから構成され、前記粗動機構が前記吸着手段に直結されている。 （もっと読む）

【課題】基板が薄く大型化しても静電気により基板が割れるのを抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置する石材製のステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、を有しており、前記ステージの基板が載置される載置面には、載置された基板を前記載置面に吸着させる吸着溝が形成されており、この吸着溝にはアース接続された導電材が埋設されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】テーブルの温調を行う加熱機構と冷却機構として安価な装置を備えることにより、テーブルの温度が目標温度に集束する時間を短縮することのできる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射装置は、支持体上に液体を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドの近傍に対向配置され支持体を支持するテーブル１９と、テーブルに接続された加熱装置および冷却装置１８を有し、テーブルの温度調整を行うテーブル温調機構６と、液滴吐出ヘッドおよびテーブル温調機構に駆動信号を供給する制御装置８と、を備え、制御装置は、テーブルの温度が設定温度に対して相対的に高い場合には冷却装置を駆動させ、テーブルの温度が設定温度に対して相対的に低い場合には加熱装置を駆動させることにより、テーブルの温度が設定温度になるよう温度調整を行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄時に洗浄液が環状フレーム押さえに当たってウエーハ上面に飛散することのない保護膜塗布装置を提供することである。
【解決手段】環状フレーム押さえ手段４９は、強磁性体からなる錘部９２と、錘部に連結され環状フレームを抑える爪部９４とを含む振り子体９０と、スピンナテーブルの外周部に配設されて振り子体を回動可能に支持する支持部８８と、爪部が環状フレームを押さえる押さえ位置と爪部が環状フレームを解放する解放位置との間で回動可能なように振り子体を支持部に回動可能に取り付ける振り子軸９５と、錘部に対面して支持部に固定され、爪部が解放位置に位置付けられた状態で錘部を所定の磁力で固定する永久磁石からなる錘固定部９６とを有する。スピンナテーブルの回転速度が所定速度以下の時には、永久磁石の磁力が振り子体の遠心力に打ち勝って錘固定部が錘部を固定することにより爪部が解放位置に位置付けられる。 （もっと読む）

【課題】
ディスペンサ自体を減圧下にさらすことなく、減圧雰囲気下で液状材料をディスペンスしてボイドを抑制する。
【解決手段】
ステージ２０上に対象物１０が設置された後、ステージ２０上にチャンバ３０が設置される。チャンバ３０は、液状材料５０を格納したキャピラリ３３を有する。チャンバ３０とステージ２０との間に第１の密封空間４０が形成される。また、蓋材６０がチャンバ３０上に設置され、チャンバの吐出部３３に格納された液状材料５０と蓋材６０との間に、第２の密封空間４５が形成される。さらに、第１の密封空間４０を減圧することにより、吐出部３３から対象物１０上に液状材料５０が吐出される。その後、チャンバ３０内は大気に開放され、仮に発生していた場合であってもボイドの縮小が達成される。 （もっと読む）

【課題】ワークへの接着剤の均一な塗布と、接着剤のワークからのはみ出し防止を実現できる接着剤供給装置及び接着剤供給方法を提供する。
【解決手段】貼り合せ対象となるワークＳに対して接着剤Ｒを供給する接着剤供給装置において、ワークＳの縁部に接離可能なダミー供給領域部１２を備え、ワークＳ及びダミー供給領域部１２に、接着剤Ｒを供給する供給部１０と、ダミー供給領域部１２を、ワークＳから離れる方向に移動させる移動部１３を有する。 （もっと読む）

【課題】記録媒体から粉塵が発生する虞のある場合において、そのような粉塵が液体噴射ヘッドに付着することを抑制することができる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェット式プリンターは、記録用紙Ｐを支持する支持面３１ａ，３２ａ，３３ａを有する支持部材３０と、支持部材３０に対向するように配置されるとともに記録用紙Ｐの表面に対してインクを噴射する記録ヘッド２１とを備え、支持部材３０の一部分には板金４０が設けられるとともに、板金４０は接地されている。 （もっと読む）

【課題】微妙な色合いや濃淡を表現することが可能な、流体噴射装置を提供する。
【解決手段】透光性の記録媒体を保持する媒体保持部３３ａと、紫外線硬化性を有する成分を含む流体を媒体保持部３３ａに保持された記録媒体に向けて噴射する噴射ヘッドと、媒体保持部３３ａに保持された記録媒体に向けて紫外線を照射する照射装置と、を備える流体噴射装置である。媒体保持部３３ａの記録媒体を保持する側の保持面３３ｂには、照射装置から照射され、記録媒体を透過してきた紫外線の反射率に差異を生じさせ、所定の変調パターンを有する反射光としてこれを記録媒体に反射する光変調部６０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットを用いた基板への塗布工程において、インクの捨て吐出や基板端部への描画の際に、基板裏面やステージ上に不要なインクが付着することを防ぐことができる、基板載置ステージ及びこれを備えたインクジェット塗布装置を実現する。
【解決手段】 インクジェットヘッドにより液滴が滴下される基板を載置する載置面と、前記載置面の周辺に沿って形成された複数の側壁とを有する基板載置ステージであって、前記側壁には、エア排気口が形成され、前記基板載置ステージは、前記エア排気口からの排気により吹き飛ばされた液滴を吸引する吸引機構を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗膜の厚みを一定にできる両面塗工装置を提供する。
【解決手段】両面塗工装置は、ウェブ材Ｗを支持するバックアップローラ２と、バックアップローラ２に対向して配置され、ウェブ材Ｗの第１の面に塗料Ｐを塗布する第１塗装ヘッド１と、バックアップローラ２の下流に、下流側程間隔が広がるように配置され、多数の貫通穴９が開いた無端ベルト７と、無端ベルト７の裏側から貫通穴９を介してウェブ材Ｗを吸引する吸引チャンバ８とを備え、ウェブ材Ｗの第１の面の非塗装部分を吸着するように掛け渡された複数の吸引コンベア４と、吸引コンベア４に対向して配置され、ウェブ材Ｗの第２の面に塗料を塗布する第２塗装ヘッド３と、吸引コンベア４の間に配置され、ウェブ材Ｗの第１の面に向かってガスを噴射する多数の小孔１０を備える静圧パッド５とを有する。 （もっと読む）

【課題】
インクジェットプリンターを用いた立体形状印刷物表面への多品種少量や個別印刷生産に寄与することで適用製品の広範囲化、高品質化、多品種少量や個別印刷生産に寄与し、また、繰り返し使えて、かつ印刷物商品の形状に対する自由度を高くできるのみならず、複数の異なる形状の被印刷物を一括して印刷できる立体形状印刷物用印刷治具を提供する
【解決手段】
本発明にかかるインクジェットプリンターに用いる立体形状印刷物用印刷治具は、立体形状の被印刷物を、複数の位置決め用の開孔を備えた被印刷物載置手段と、前記被印刷物載置手段に設けられた複数の位置決め用の開孔の１部に交換可能に立設する棒状体または、及び面状部材と一体化した棒状体または、及び立体形状部材と一体化した棒状体からなる被印刷物取り付け手段と、被印刷物載置手段をインクジェットプリンターに位置決め固定するベッド固定手段４を備えた。 （もっと読む）

【課題】弱手作業者や片手作業者であっても使用可能なグリース塗布装置を提供する。
【解決手段】図（ａ）に示すように、作業者は手５２の指５３で棒状ワーク１０の細幅部１４を摘んで、スライドブロック２５のワーク載せ部２６及び補助ワーク載せ部２７に載せる。図（ｂ）に示すように、指５３で棒状ワーク１０の細幅部１４を摘んだままで、手５２で棒状ワーク１０を矢印（４）のように押す。棒状ワーク１０が所定位置まで前進したら、棒状ワーク１０に適量のグリースが塗布される。塗布が終わったら、棒状ワーク１０を矢印（４）とは反対方向に引き、スライドブロック２５から外す。これで、一連の塗布作業が終了する。
【効果】一連の作業は、片手で実施することができる。片手作業者であっても作業を行うことができる。加えて、棒状ワークはスライドブロックに載せる程度でよく、スライドブロックに押さえつける必要はない。弱手作業者であっても作業を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】そりが生ずるワークに対して簡単にワークのそりを矯正でき、描画精度を向上できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を水平方向に吐出可能に取り付けられた液滴吐出ヘッド３５を備え、液滴吐出ヘッド３５から液滴を吐出してワーク５に塗布する液滴吐出部３０と、ワーク５を鉛直方向に吊り下げて把持し、ワーク５を液滴吐出部３０の液滴吐出ヘッド３５に対向して保持可能なチャック部７８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ドア治具を介した車体に対するドアの係脱をロボットにより操作する場合に、ドア治具の位置検出や把持機構、複雑なロボットのティーチング作業が不要となるドア治具を提供する。
【解決手段】車体ｗのセンターピラーｗ１に取り付けられる車体側治具１０とドアｄに取り付けられるドア側治具３０とから構成され、車体側治具１０に形成した車体側係合部１４とドア側治具３０に形成したばね線材からなる弾性部材３５とを係合させることにより、車体ｗに対してドアｄを所定の開度で保持するドア治具１とした。車体側係合部１４は棒状部材として構成され、弾性部材３５は、車体側係合部１４を乗り上げるように弾性変形する起立部４２と、車体側係合部１４に係合する係合凹部２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】フィルムの両側辺部のカール矯正がなされた状態で、このフィルムへの塗布材の塗布を行なうことができるようし、フィルムの塗布品質を高める。
【解決手段】巻出側フィルムロール２から巻き出されたフィルム１は、巻取側フィルムロール３に巻き取られて、その塗布対象エリアが塗布部１７で吸着テーブル１０上に位置するように搬送される。塗布対象エリアが吸着テーブル１０上に位置すると、フィルム１が停止して吸着テーブル１０上に載置されるとともに、その長手方向にテンションが加えられて弛みなどが除かれる。しかしながら、これにより、塗布対象エリアの両側辺部にカールが生ずる。そこで、塗布対象エリアが吸着テーブル１０上に載置されるとともに、吸着テーブル１０の両側に設けられたカール矯正バー１３，１４が塗布対象エリアのカール部に移動し、この部分を吸着テーブルの吸着面に押し付けてカール矯正を行なう。 （もっと読む）

【課題】ボディの所定範囲以外を傷つけることなく、ドアを開いた状態で確実に固定することができるドア固定治具を提供する。
【解決手段】回動部２０のうち、凹部２４（係合部）より車内側に、回動部２０の回動方向に延びた補助係合部２５を設け、振動等により回動部２０が跳ね上がって凹部２４とボディＢとの係合が外れた場合は、補助係合部２５がボディＢの車内側から係合させることにより、ドアＤが大きく開くことを防止する。また、補助係合部２５の外周部２５ｂを、凹部２４の回転軌跡の外周円弧Ｃに沿った形状とすることで、凹部２４とボディＢとの係合部Ｐ１と、補助係合部２５とボディＢとの係合部Ｐ２とをほぼ同位置に配することができるため、補助係合部２５がエッジＢ１を越えた領域を傷つける恐れを回避できる。 （もっと読む）

【課題】塗布層にクレーターが発生することを抑制することができるダイコータ装置を提供する。
【解決手段】ダイコータ装置１１は、基板１３を固定するステージ１５と、前記基板上にペースト状材料を塗布するペースト状材料塗布部１８とを備え、前記ステージは、ステージ本体と、その上に配置され除電機能を有する表面層２１とを有する。 （もっと読む）

【課題】ドア開度を二段階に切換可能なドア塗装用治具として、治具側での開度切り換えにロボット等が介在することなしに治具そのものの自律動作により行える構造を提供する。
【解決手段】ロックピン５のロック状態では、ドア開き防止アーム３がドアウエスト開口部Ｏｄに係合し、且つドア開度保持アーム４のフック部１４がドアＤｒの内側面に当接することで、ドアＤｒを実質的な閉止状態に固定保持している。ロックピン５がアンロック状態となると、ウエイト１３付きのドア開度保持アーム４が反時計回り方向に回動し、ドア開き防止アーム３を跳ね上げながら開度が大きくなる方向にドアＤｒを押圧操作する。同時にドア開度保持アーム４のフック部１５が作業穴Ｈに係合することでそのドア開度に固定保持する。 （もっと読む）

【課題】エアーの咬み込みを有効に防止することができるワークのセット方法、ワークの損傷および位置ズレを有効に防止することができるワークのリフトアップ方法、リフトアップ装置などを提供することを課題とする。
【解決手段】ワークＷのセット方法は、昇降自在に構成されると共にワークを上反り状に保持可能な保持機構２６１を用い、ワークＷを、その接触部が中間部から両側部に向かって進むようにワークテーブル１４１上に載せ込むようにする。また、ワークＷのリフトアップ方法は、昇降自在に構成されると共にワークＷを上反り状に保持可能な保持機構２６１を用い、ワークＷを、その離間部が両側部から中間部に向かって進むようにワークテーブル１４１から持ち上げるようにする。 （もっと読む）

【課題】塗布不良を防止することができ、基板搬送部上を清浄に保持することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。また、装置の構成部材の破損、故障などの不具合を回避することが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】基板Ｓを保持する保持部２３ｂを有し基板を保持した状態で搬送する搬送機構２３が基板搬送部に設けられており、当該基板を保持部に押圧する補助機構２４を備えることとしたので、搬送機構の保持部に加えて補助機構によっても基板を保持することができる。このため、基板がより強く保持されることになり、その分基板のズレが抑制されることになる。これにより、基板のズレに伴う塗布不良を防止することができ、基板搬送部上を清浄に保持することが可能となる。 （もっと読む）