【課題】比較的大きな部材を接合する場合でも接合に要する時間が過度に長くなることを抑制すること。
【解決手段】接合部材製造装置は、第１の部材Ｄを把持する第１の把持具１１と、第２の部材Ｅを把持する第２の把持具１２と、第１の接合面Ｄｆに媒介物質Ｇを塗布する塗布装置４０と、第１の把持具１１及び／又は第２の把持具１２を移動させる移動装置２０と、制御装置とを備える。制御装置は、第１の拡大平面Ｄｅと第２の拡大平面Ｅｅとを互いに平行になるように対向させつつ、厚さの方向に見て第１の接合面Ｄｆと第２の接合面Ｅｆとが重なる範囲が所定の範囲以下となるように配置し、第１の拡大平面Ｄｅと第２の拡大平面Ｅｅとの間隔を維持しながら、厚さの方向に見て第１の接合面Ｄｆと第２の接合面Ｅｆとが重なる範囲が次第に大きくなる方向へ、第１の部材Ｄを第２の部材Ｅに対して相対的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式による基板への機能性液の打滴が最適化され、好ましい微細パターンを形成し得る液体塗布装置及び方法並びにインプリントシステムを提供する。
【解決手段】ノズル(51)がマトリクス配置されたヘッド(24)を用いたレジスト塗布装置(12)において、基板(20)の搬送方向(y方向)と直交するx方向の標準の打滴ピッチP_dをノズルの折り返しピッチとし、x方向の最小ノズル間ピッチP_nの単位でx方向の打滴ピッチを変更する。また、y方向について、最小打滴周期のm倍(mは2以上の整数)を標準の打滴周期として、最小打滴周期の単位でディレイ時間を設定する。シリアル方式では、y方向に沿って並べられた複数のノズルを切り換えることでｙ方向の打滴間隔を変更することができ、x方向に走査する際の打滴タイミングを変更することで、x方向の打滴間隔を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】紙間で必要な空吐出量を確保した空吐出を行うために印刷速度が低下することがある。
【解決手段】用紙間で搬送ベルト４３の吸引孔２０１に対して１ライン分のすべてのノズルから空吐出を行うことができないときには、搬送ベルト４３の吸引孔２０１に対向するノズル１０２については吸引孔２０１に対して空吐出滴３００の空吐出を行い、吸引孔２０１への空吐出を行なうことができないノズル１０２については用紙Ｐ上への空吐出滴３０１の空吐出を行なう。 （もっと読む）

【課題】基板に対して反射防止膜を形成する工程、レジスト膜を形成する工程、露光後の基板に対して現像を行う工程を実施する塗布、現像装置において、装置の奥行き寸法を抑えること。
【解決手段】基板にレジスト膜を形成するためのＣＯＴ層Ｂ４と、レジスト膜の下側に反射防止膜を形成するためのＢＣＴ層Ｂ５と、レジスト膜の上に反射防止膜を形成するためのＴＣＴ層Ｂ３と、現像処理を行うためのＤＥＶ層Ｂ１，Ｂ２とを互に積層する。これら積層体の前後に各層に対応する受け渡しステージを積層した受け渡しステージ群を設け、受け渡しステージを介して各層の間で基板の受け渡しができる。またレジスト液を基板に塗布するユニットなどの薬液ユニットについては、横並びの３連カップを共通の処理容器内に配置し、これらカップ内でレジスト塗布などの液処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ワーク処理のタクトタイムに影響を与えることなく、且つ時間的制約を受けずに、機能液滴吐出ヘッドの吐出検査を実施することができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法を提供することである。
【解決手段】ワークＷがセットされる一対のワークステージ２と、各ワークステージ２の外側に配設され、機能液滴吐出ヘッド４２からの検査吐出を受ける一対の検査ステージ１５と、各検査エリアに配設され、検査ステージ１５の検査吐出結果を画像認識する一対の画像認識ユニット１６と、ワークステージ２を、描画エリアおよび除給材エリア間で自在に移動させ、且つ検査ステージ１５を描画エリアおよび検査エリア間で移動させるステージ移動手段３２，３３，３４，３５，３６と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】描画精度を維持したまま、コストおよび単位重量を低く抑えることができる液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】描画エリア３１において、ワークＷの移動に同期して、機能液滴吐出ヘッド５３を吐出駆動することで描画を行うと共に、描画エリア３１からワークＷの移動方向片側に外れた２つの除給材エリア３５，３６において、ワークＷの除給材を行う液滴吐出装置１であって、Ｘ軸スライダー２３を有すると共に、ワークＷがセットされる一対のワークステージ２１と、Ｘ軸スライダー２３を介して、一対のワークステージ２１の移動を描画エリアおよび２つの除給材エリア３５，３６に亘ってガイドするＸ軸移動ガイド２２と、を備え、Ｘ軸移動ガイド２２は、描画エリア３１と２つの除給材エリア３５，３６に対応して３分割されているものである。 （もっと読む）

【課題】クラック、断線等の発生を防止し、信頼性の高い導体パターンを形成することができる導体パターンの形成方法等を提供すること。
【解決手段】本発明の導体パターンの形成方法は、液滴吐出法により基材上にインクの液滴を吐出し、乾燥して基材上にパッド部とパッド部に接続する配線部とを有する導体パターンの前駆体を形成する導体パターン前駆体形成工程と、焼成工程とを有し、パッド部形成領域は、配線部形成領域の延長線上に位置する第１の領域と、第１の領域を介して第１の領域の両側に位置する第２の領域と、各第２の領域の第１の領域と反対側の側部に位置する第３の領域とを有し、導体パターン前駆体形成工程では、パッド部形成領域内に、インクの液滴を付着させる付着点の密度が、第１の領域および第３の領域のいずれよりも第２の領域の方が低くなるようにインクの液滴を吐出する。 （もっと読む）

【課題】液滴ディスペンシング装置及び有機電界発光素子用の発光物質塗布方法を提供する。
【解決手段】対角線方向への液剤の吐出を容易に行え、大型化された基板にも適用容易にするために、（ｉ）パターニング対象体の移動方向である第１方向、及びこれと交差する第２方向に、それぞれ移動自在に構成された第１移動ユニット１５、１６及び第２移動ユニット１１、１２、（ｉｉ）第２移動ユニットに装着されるディスペンシング・ユニット、及び（ｉｉｉ）第１方向及び第２方向に平行な仮想面上で、第２移動ユニットを、第１移動ユニットに対して回転させるように、第１移動ユニットと第２移動ユニットとの間に装着される第３移動ユニット１３、１４を具備する液滴ディスペンシング装置１０、及びこれを利用した有機電界発光素子用の発光物質の塗布方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ドア治具を介した車体に対するドアの係脱をロボットにより操作する場合に、ドア治具の位置検出や把持機構、複雑なロボットのティーチング作業が不要となるドア治具を提供する。
【解決手段】車体ｗのセンターピラーｗ１に取り付けられる車体側治具１０とドアｄに取り付けられるドア側治具３０とから構成され、車体側治具１０に形成した車体側係合部１４とドア側治具３０に形成したばね線材からなる弾性部材３５とを係合させることにより、車体ｗに対してドアｄを所定の開度で保持するドア治具１とした。車体側係合部１４は棒状部材として構成され、弾性部材３５は、車体側係合部１４を乗り上げるように弾性変形する起立部４２と、車体側係合部１４に係合する係合凹部２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】クラック、断線等の発生を防止し、信頼性の高い導体パターンを形成することができる導体パターンの形成方法、配線基板および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の導体パターンの形成方法は、液滴吐出法により基材上に導体パターン形成用インクの液滴を吐出し、乾燥して該基材上にパッド部と該パッド部に接続する配線部とを有する導体パターンの前駆体を形成する導体パターン前駆体形成工程と、前記前駆体を焼成し、前記導体パターンを形成する焼成工程とを有し、前記導体パターン前駆体形成工程では、前記基材上の前記パッド部を形成するパッド部形成領域内に、前記導体パターン形成用インクの液滴を付着させる位置が複数の環状体８５を同心的に配置してなる形状をなすように、前記導体パターン形成用インクの液滴を吐出する。 （もっと読む）

【課題】基板上に吐出した液滴を良好に硬化させつつ、吐出不良の発生を防止することのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板に紫外線硬化型の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０を含むヘッドユニット６５と、液滴を吐出した基板に紫外線を照射する紫外線照射部９５と、ヘッドユニット６５及び紫外線照射部９５をそれぞれ移動可能に保持するガイド部６６を含むヘッドユニット移動機構６２と、を備える液滴吐出装置である。 （もっと読む）

【課題】ダイ金型の加工面および肩部に容易に被膜を形成し、ワーク表面の傷の発生を防止する。
【解決手段】耐摩耗性を有する光硬化型の樹脂Ｒをダイ金型Ｋの加工面上に吐出する樹脂吐出部２と、ダイ金型Ｋの加工面上に吐出された樹脂Ｒを所要膜厚となるようにならすスクレーパ３２を備えたスクレーパ部３と、樹脂Ｒを硬化させる光を照射する光照射部４とがダイ金型Ｋの長さ方向にこの順序に一列に組み合わせたものである。樹脂吐出部２は、樹脂Ｒを貯めるタンク１１と、タンク１１の吐出口１２を開閉する弁１３と、吐出口１２よりも前方に位置する一対のガイドローラ２２とを備え、光照射部３にガイドローラ４４を備える。一対のガイドローラ２２およびガイドローラ４４により、スクレーパ３２をダイ金型Ｋの加工面に対して間隔をおいて支持し、各部をダイ金型Ｋ上の長さ方向に沿って移動可能に案内する。 （もっと読む）

【課題】ワークを搬送機構を有する全自動作業用装置であって、卓上に載置して使用することができる作業装置の提供。
【解決手段】ワークと作業ヘッドとを相対的に移動しながらワークに所望の作業を行う卓上型作業装置であって、基台と、基台上に配設され、作業ヘッドおよび作業ヘッド駆動機構を有する作業部と、卓上型作業装置の側部に一体的に配設されるローダと、卓上型作業装置の側部に一体的に配設されるアンローダと、基台上に配設され、ローダから供給されたワークをアンローダまで搬送する搬送部と、制御部と、を備え、前記搬送部が、ワークを作業位置で固定する固定機構を有し、前記作業部が、作業位置の上方に配設された作業ヘッドを有し、制御部が、基台内に配設される第１の制御部、および卓上型作業装置の側部または上部に配設される第２の制御部とを含んで構成されることを特徴とする卓上型作業装置。 （もっと読む）

【課題】原材料の供給を容易に行うことが可能であり、且つメンテナンス性に優れた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板を搬入する基板搬入部４と、基板に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンス部３３と、液滴が吐出された基板を搬出する基板搬出部９と、を備えた液滴吐出装置３である。少なくとも基板搬入部４、メンテナンス部３３、及び基板搬出部９は、装置を平面視した際における外周辺の一つに沿って配置されている。 （もっと読む）

【課題】ワークを短時間で搬送可能なワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】第１ステージと、前記第１ステージに近接して配置された第２ステージと、を有し、各前記第１及び第２ステージには、ワークが載置される載置面と、前記載置面に設けられた通気孔と、前記通気孔にエアーを供給するエアー供給部と、が設けられ、前記ワークを保持するととともに、前記第１及び第２ステージ間において保持した前記ワークを搬送させるワーク搬送部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板が載置される載置台に対する塗布部の相対的な速度を大きくすることが可能であり、また、基板における塗布液の膜厚が略均一であるような有効塗布領域を比較的大きくすることができる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】基台１１上に、当該基台１１の長手方向に沿って一の方向に直線状に移動し、基板Ｓが載置される載置台１６が設けられている。また、基台１１上に、当該基台１１の長手方向に沿って一の方向とは逆の方向である他の方向に直線状に移動し、塗布部３０を支持する塗布部支持機構２０が設けられている。制御部５０は、載置台１６を一の方向に移動させるとともに塗布部支持機構２０を他の方向に移動させ、この際に塗布部３０から載置台１６に載置された基板Ｓに塗布液を供給することにより基板Ｓに塗布液を塗布するよう制御を行う。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布される液状体の状態を改善することが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】所定の塗布位置において基板を立てた状態で回転させつつ前記基板の表面及び裏面にそれぞれ液状体を吐出するノズルを有する塗布機構と、前記基板を基板搬入位置、前記塗布位置及び基板搬出位置の間で搬送する搬送機構と、前記基板搬入位置、前記塗布位置及び前記基板搬出位置とは異なる位置であって前記搬送装置が接続可能な保持位置でダミー基板を保持するダミー基板保持機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】光源の冷却機能と送風機能を備えた簡便な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズルから液滴２８を基板７に吐出する液滴吐出装置にかかわる。ノズルと基板７とを相対移動させるステージ及びキャリッジと、空気を流動させて気流３９を形成する送風装置３５と、送風装置３５から流出した気流３９を流通させる流路部３８と、基板７に着弾した液滴２８に紫外光４４ａを照射する照射装置４４と、流路部３８を通過する気流３９を基板７に着弾した液滴２８に吹き付ける第１吹出口２２と、を有し、流路部３８は照射装置４４と第１吹出口２２とに気流３９を供給する。 （もっと読む）

【課題】インク液滴の着弾精度を高くする。
【解決手段】基板搬送機構１と、メンテナンスユニット移動機構１１と、インクジェットヘッド４Ｒ，４Ｇ，４Ｂとアライメントカメラ８を支持固定するラーメン構造の強化フレーム２Ａ，２Ｂ，２Ｃと、インクの捨て打ちを受けるインクパン１２とを備え、基板７の搬送とメンテナンスユニット９の移動方向を同じとし、インクパン１２が基板搬送に直交する方向から挿入される構造であり、インクジェットヘッド直下に基板７とメンテナンスユニット９とインクパン１２がそれぞれ排他的に配置する。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の基板テーブルを軽量化できるとともに、基板テーブルを平坦形状に調節し、その平面度を維持することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を載置する載置面を有する基板テーブルと、前記基板テーブルの載置面に載置された基板に対し、所定の処理を行なう基板処理部と、前記基板テーブルを支持するテーブル調整支持ユニットとを備え、前記テーブル調整支持ユニットは、前記基板テーブルの載置面が平坦形状になるように前記基板テーブルの平面度を調整する。 （もっと読む）