【課題】高精細および高密度な配線基板を品質を安定させ生産する。
【解決手段】配線パターンＣが形成される基板Ｂを搬送するテーブル移動機構１２と、パターン形成材料を含んだ液状体を前記基板Ｂに吐出する第１液状体吐出機構１４および第２液状体吐出機構１７と、前記基板Ｂに吐出された前記液状体の吐出状態を検査する吐出状態検査機構１６と、前記基板Ｂに吐出された前記液状体を乾燥させる乾燥機構１８と、を有し、前記テーブル移動機構１２による前記基板Ｂの搬送方向に沿って、前記第１液状体吐出機構１４と、前記吐出状態検査機構１６と、前記第２液状体吐出機構１７と、前記乾燥機構１８とが順次配設されていることを特徴とする配線基板製造装置１００。 （もっと読む）

【課題】加熱処理などを処理対象部材に均一に実行できる部材処理装置を提供する。
【解決手段】対象支持フォーク１２０で処理対象部材ＧＢを対象待機位置ＷＰから対象処理位置ＢＰまで前進させ、対象支持フォーク１２０を複数の前後張架線材１０１より下方まで相対移動させることで、左右方向に並列な配置で前後方向に各々張架されている複数の前後張架線材１０１で処理対象部材ＧＢを対象処理位置ＢＰに支持させる。この状態で、フォーク移動機構１２２により複数の前後張架線材１０１より下方に位置させた対象支持フォーク１２０を対象処理位置ＢＰから対象待機位置ＷＰまで後退させる。このような状態で、複数の前後張架線材１０１で対象処理位置ＢＰに支持された処理対象部材ＧＢにパネルヒータ１１１で加熱処理が実行される。 （もっと読む）

【課題】基板に液晶を滴下する際の時間的な効率を向上させた液晶滴下装置を提供する。
【解決手段】ヘッド１０１は、液晶２０１が滴下されたガラス基板２００がステージ１１１から搬出され、次に、液晶２０１が滴下されていないガラス基板２００がステージ１１１に搬入されるまでの期間内に、制御装置１６０の制御に基づいて、ステージ１１１の上方からカップ１４２の上方へ移動し、当該カップ１４２へ液晶２０１を滴下するとともに、ステージ１１１の上方へ戻る。 （もっと読む）

【課題】半導体チップ同士を導通させる。
【解決手段】本発明にかかる配線形成方法は、半導体基板１２に対しインクジェットヘッド７０から導電性のインク滴Ｒを吐出して、導電層１６による配線を形成するための方法である。当該方法は、半導体基板１２の表面１２ａから側面１２ｂにかけて第１の導電層を形成する工程と、半導体基板１２の裏面１２ｃに第２の導電層を形成して前記第１の導電層と前記第２の導電層とを繋ぎ合わせる工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】溶液を効率的に目的の位置のみに精度よく付着することである。
【解決手段】透明基板２の一方の面上には網目状に隔壁６が形成されており、隔壁６によって囲繞された各囲繞領域内に透明電極３が形成されている。この透明基板２を溶液噴出装置５０にセットし、溶液噴出装置５０で有機ＥＬ層４を成膜する。溶液噴出装置５０は、透明基板２を載置するワークテーブル５１と、ワークテーブル５１を副走査方向に移動する駆動装置５２と、走査方向に移動するヘッド部５４と、ヘッド部５４に設けられたノズル５５と、ノズル５５に設けられた加熱器５９とを備える。加熱器５５によって加熱されたＥＬ溶液が液滴としてノズル５５の噴出口５５ａから噴出されて、透明電極３に液滴が着弾し、液滴の溶媒が蒸発することで、有機ＥＬ層４が形成される。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】連結レールの直線精度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明の基板ステージ１０では、主載置台１１に取り付ける補助載置台１２ａ〜１２ｄに上下方向調整装置６が設けられており、主載置台１１に補助載置台１２ａ〜１２ｄを固定し、主載置台１１上の主レール１３₁、１３₂と補助載置台１２ａ〜１２ｄ上の補助レール１４ａ〜１４ｄとを連結し、連結レール８₁、８₂を形成する際に、上下方向調整装置６によって連結レール８₁、８₂の両端を上方に湾曲させておく。補助載置台１２ａ〜１２ｄの端部が自重で下方に湾曲すると、連結レール８₁、８₂が直線状になる。補助レール１４ａ〜１４ｄの端部を主載置台１１上に乗せておくと、主レール１３₁、１３₂との連結部分に段差が生じない。 （もっと読む）

【課題】効率的にドット抜け検出を行うことができ、ドット抜け検出のサイクルタイムを削減できる液滴吐出装置等を提供する。
【解決手段】セットテーブル２１にセットしたワークＷに対して、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニット１３を主走査方向に相対移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させることにより、ワークＷに描画を行う液滴吐出装置１において、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査するための吐出不良検査ユニット１７を備え、吐出不良検査ユニット１７は、機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出により、所定の検査パターンが描画される被描画ユニット１６１と、描画された検査パターンを撮像して画像認識し吐出不良を判断する吐出不良判断手段１６２と、を有し、被描画ユニット１６１は、セットテーブル２１から主走査方向に外れた主走査移動軸上に配設されている。 （もっと読む）

【課題】用紙Ｐに塗布される処理液の塗布量のばらつきを抑制する。
【解決手段】制御部２４は、処理液の塗布を開始して１枚目の用紙Ｐに処理液を塗布する際における回転速度が、処理液の塗布を開始して２枚目の用紙Ｐに処理液を塗布する際における回転速度よりも遅くなるように、供給ローラ２０の回転速度を制御する。これにより、供給ローラ２０の初期動作による塗布量増加が、供給ローラ２０の回転速度を遅くすることによる処理液の供給量の減少により相殺され、塗布を開始して１枚目の用紙Ｐへの処理液の塗布量と、塗布を開始して２枚目の用紙Ｐへの処理液の塗布量との差が抑制される。このため、用紙Ｐに塗布される処理液の塗布量のばらつきを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】塗工精度の向上と、厚塗、薄塗を可能とし、コンパクト設計で、吐出圧力や位置についてフレキシブルな制御方式で、広範囲な速度設定ができる塗工機を提供する。
【解決手段】塗布対象の基材２１をほぼ鉛直に保持する保持部１２と、塗布材料を塗布口から導出し、基材２１の一方の面に塗布材料を塗布する第一の塗布実行部１１と、塗布材料を塗布口から導出し、基材２１の他方の面に塗布材料を塗布する第二の塗布実行部１１と、第一の塗布実行部１１及び第二の塗布実行部１１を、それぞれ所定の速度で基材２１に沿ってほぼ鉛直方向の移動するよう制御する制御部１３とを備える。第一の塗布実行部１１と第二の塗布実行部１１は、基材２１の両面の対向するようほぼ同じ位置に配置され、かつ、ほぼ同じ速度で下降するよう制御される。 （もっと読む）

【課題】三次元形状表面を有する印刷対象物に対してその表面に所望の印刷を施す。
【解決手段】ベース１上にＸ軸方向およびＺ軸方向に移動自在かつ３方向の回転軸を各々中心として回転自在に支持されて印刷対象物８０を保持する保持チャック２６と、ベース１上に設けられ、印刷対象物８０の上方をＹ軸方向に移動可能に支持されたプリンタヘッド５と、保持チャック２６の移動および回転制御並びにプリンタヘッド５の移動制御を行う移動制御装置と、移動制御装置による相対移動および相対回転制御に応じてプリンタヘッド５からのインクの吐出制御を行うプリント制御装置とを備える。 （もっと読む）

【解決手段】 非接触型エッジコーティング装置（１００）は、物理的に接触することなく、形状が非円形の太陽電池用基板（１０１）のエッジにコーティング材料を塗布する。当該装置（１００）は、基板（１０１）を保持する回転可能な基板支持部（１１３）を備えるとしてよい。当該装置（１００）はさらに、コーティング材料を受け取って、基板（１０１）が回転させられている間に、いずれの部分も基板のエッジと物理的に接触することなく、当該コーティング材料を基板（１０１）のエッジに塗布する塗布部（１２１）を備えるとしてよい。基板支持部（１１３）は、カム（１１２）に機械的に結合されているとしてよく、カム（１１２）は、塗布部（１２１）に機械的に結合されている従動子（１２３）と接触している。当該装置（１００）ではさまざまなコーティング材料を利用するとしてよく、ホットメルトインクおよびＵＶ硬化性メッキレジスト等が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】成形材料の塗布によるグレージングガスケット成形の自動化を実現し、成形材料の複層ガラスパネルへの高速塗布と高精度塗布を可能にしたグレージングガスケット成形方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１ワークテーブル２０上に水平に載置された複層ガラスパネル１００の一方の面の周縁部に沿い第１塗布ガン４０５を移動しながら成形材料を周縁部の全長に亘り塗布してグレージングガスケット１１０を成形する。第１塗布ガン４０５でグレージングガスケットを成形した後の複層ガラスパネル１００をグレージングガスケットが成形されていない他方の面が上方を向くように反転機構６０で反転して第２ワークテーブル３０上に水平に載置する。第２ワークテーブル３０上に載置された複層ガラスパネル１００の他方の面の周縁部に沿い第２塗布ガン５０５を移動しながら成形材料を周縁部の全長に亘り塗布してグレージングガスケットを成形する。 （もっと読む）

【課題】塗布装置において基板上に塗布液を均一に塗布する。
【解決手段】塗布ヘッドを主走査方向に往復移動するヘッド移動機構は、主走査方向に伸びるガイド部に係合しつつガイド部との間にエアを噴出することにより非接触状態にてガイド部に支持されるスライダを有する。スライダにはエアチューブ３３１を介してエアが供給され、スライダに取り付けられる塗布ヘッドの複数の吐出口には複数の塗布液チューブ３３２を介して塗布液が供給される。エアおよび塗布液の供給源と塗布ヘッドとの間において、エアチューブ３３１の周囲には複数の塗布液チューブ３３２が配置され、結束材３３３が複数の塗布液チューブ３３２の全体の外周に密着して当該外周を覆うことにより、これらのチューブが結束されてチューブ群３３が構築される。チューブ群３３では基板上への塗布液の塗布時における変形が抑制され、基板上に塗布液を均一に塗布することが実現される。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッド内の機能液の温度上昇を抑制し、液滴の吐出量を安定させ、精度の高いパターンを形成するパターン形成装置及び回路基板を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３０の側面に、熱伝導率の高いアルミニウムによって形成された、水冷式の熱交換器４０を設置し、液滴吐出ヘッド３０に蓄熱されようとする熱を吸熱させた。また、熱交換器４０には、温度調整装置によって所定の温度に冷却された冷却水Ｗを供給した。 （もっと読む）

本発明は、袋、好ましくは、片付き交差式底部を有する袋（１８）の生産のための底部形成装置に関する。本発明による底部形成装置は、糊を袋の構成要素（２）に塗布する少なくとも１つの糊ユニット（１）を有する。糊ユニット（１）は、ノズルバー（４）を有し、ノズルバーは、糊を袋構成要素（２）の上に押出す少なくとも１つのノズルを有する。更に、ノズルバー（４）への押付け力を使用して、袋構成要素（２）を位置決めするカウンターサポート（５）が設けられる。
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【課題】処理雰囲気の制御を容易にすることができる成膜装置を提供する。また、当該装置を用いることにより、スループットを向上させ、また、製品の製造コストを低減する。
【解決手段】成膜装置を、基板(100)を移動可能に搭載するステージ(103)と、ステージの上方に配置された液滴吐出部(113)と、ステージの下方に配置された加熱部(150)と、前記ステージの上方において、前記液滴吐出部に対応する第１領域と前記加熱部に対応する第２領域を覆うカバーと、カバーに接続された不活性ガスライン(107)と、を有し、前記カバーは、前記カバーの天井部(105a)に前記液滴吐出部を装着するとともに、前記天井部に接続された前記第１および前記第２領域の周りを囲う壁部(105b)と、を含み、前記カバーが、前記基板と前記壁部との間に空間を有するよう配置される構成とする。かかる構成によれば、不活性ガス雰囲気中で液滴を吐出し、また、加熱（固化）することができる。 （もっと読む）

【課題】基板に適切な塗布量のペーストを塗布することが可能なペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】基板ステージ１１６は、ガラス基板５０を搭載する。塗布部１１２は、ペーストを充填するシリンジ１４０と、当該シリンジ１４０内のペーストを吐出するノズル１４２とを有し、基板ステージ１１６に搭載されたガラス基板５０に対してペーストを塗布する。制御用ＰＣ１２０は、閉ループ状のパターンでペーストを塗布するに際し、ノズル１４２からのペーストの吐出開始と吐出停止とが基板ステージ１１６と塗布部１１２の相対移動中に実行されるように、基板ステージ１１６の動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】処理対象となる基板が上面に載置されるステージを備える基板処理装置において、ステージの上面の平坦性を確保しつつ、ステージの運搬を容易にする。
【解決手段】ステージ１０ａの設置にあたっては、まず、ステージ１０ａを構成するベース石定盤１１ａ及び取付け石定盤１２ａを準備し、床面９５の上を水平方向に移動可能なキャスター付きの架台８１，８２の上面にベース石定盤１１ａ及び取付け石定盤１１ｂを載置する。しかるのちに、基板処理装置１の設置場所においてベース石定盤１１ａの右面１１２ａと取付け石定盤１２ａの左面１２２ａとを面接触させ、ベース石定盤１１ａの上面１１１ａと取付け石定盤１２ａの上面１２１ａとが同一平面となるようにレベリングブロック８３を微調整する。 （もっと読む）

【課題】液体材料の応答時間の遅れや経時的な粘度の変化などの問題を予め多数の制御データを準備しなくとも解消することができる液体材料の塗布装置、塗布方法およびプログラムの提供。
【解決手段】ワークと、ワークと対向するスクリュー式ディスペンサを一定速度で相対移動させ、液体材料の吐出量を非一定で連続塗布するにあたり、塗布開始前に吐出量を変化させる際の応答遅れ時間を算出する応答時間算出工程を有する塗布方法であって、応答時間算出工程は、移動速度を一定とした塗布の途中でディスペンサに吐出量を変化させる信号を送信し、その時間を記憶する第１工程と、塗布された液体材料を計測することで吐出量の変化開始時間を算出し、その時間を記憶する第２工程と、第１工程で記憶した時間と第２工程で記憶した時間との差分値を吐出量を変化させる際の応答遅れ時間として記憶する第３工程と、を有する液体材料の塗布方法、塗布装置およびプログラム。 （もっと読む）

【課題】基板に形成された位置決め用のマークの検出の確実性を向上させた塗布液塗布装置を提供する。
【解決手段】基板ステージ１１６は、アライメントマーク５１が形成されたガラス基板５０を搭載するものであり、側面からガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分が搭載されるべき面にかけて貫通する導光部１５２が形成されている。照明部１６０−１は、基板ステージ１１６の側面における導光部１５２の開口部へ向けて光を照射し、導光部１５２内に配置された反射ミラー１５５は、照明部１６０−１からの光を基板ステージ１１６のガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分が搭載されるべき面に向けて反射させる。 （もっと読む）