【課題】記録媒体の塗布領域境界部で生じる輝度ムラを良好に抑制する記録装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】記録装置１０は、基板１１を配置する処理ステーション１６と、インクジェット方式で記録媒体を塗布する複数の記録素子１８を備えた記録媒体塗布部１３と、記録媒体の塗布雰囲気を制御する雰囲気制御ユニット１４と、を備える。雰囲気制御ユニット１４は、処理ステーション１６を囲むように設けられた処理室２０と、供給された主溶媒３０を気化させる主溶媒気化部２１と、処理室２０と主溶媒気化部２１との間で気化された主溶媒３０を循環させる循環経路部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プリント対象物に対して多くの処理工程を要する印刷作業を効率よく行うことができ、作業能率の向上を図れるとともに、印刷の態様を容易に変更することが可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】印刷装置１は、印刷対象物５が載置されるパレット６と、パレット６を搬送する作業ステーションユニット２ｂ〜２ｇにおける搬送ユニット１０と、搬送ユニット１０のパレット搬送方向に沿って配設された複数の作業ユニット３ｂ〜３ｇとを有して構成され、印刷対象物５に複数の処理作業を順に行って所望の図柄等を印刷する印刷装置であって、搬送ユニット１０が、各作業ユニット３ｂ〜３ｇにおける作業位置にパレット６を順に搬送する上部搬送機構１１と、上部搬送機構１１に沿って下方に配設され、上部搬送機構１１におけるパレット搬送方向に対して反対方向にパレット６を搬送する下部搬送機構１２とを有して上下二段に構成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は炭素ナノチューブを合成する装置において触媒を基板上に均一に塗布する触媒塗布装置に関するものである。
【解決手段】 本発明の一実施形態による触媒塗布装置は基板に塗布する触媒を保存しつつ、下部にメッシュ（Ｍｅｓｈ）網を具備したメッシュボード、メッシュボードまたは基板を移動させる移送部およびメッシュボードに振動を加え前記触媒を前記基板に塗布する振動機（Ｖｉｂｒａｔｏｒ）を含む。 （もっと読む）

【課題】基板の大型化に伴って塗布装置を分割化する場合であっても不良基板が生産されるのを抑えることのできる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージに沿って特定方向に延びるレールと、前記レール上を走行しつつ塗布液を吐出することにより、前記ステージ上に載置された基板上に塗布液を塗布する塗布ユニットと、を備えており、前記ステージには、このステージを分割する分割部が形成されており、この分割部は、前記特定方向におけるステージの一方側端部から他方側端部に亘って延びるように形成される構成とする。 （もっと読む）

【課題】丸棒状部材の部材外周面に、ホットメルトが適切に塗布されるようにする。
【解決手段】ディッピングローラ６０の外周付着面６０Ａに外周塗布面７０Ａが平行に臨むように配設した塗布ローラ７０は、第２駆動手段７４により回転駆動される。塗布ローラ７０の外周塗布面７０Ａに部材外周面１３を平行に臨ませる丸棒状部材１１は、部材支持部８２に支持された状態で第３駆動手段８８により回転駆動される。丸棒状部材１１の部材外周面１３全周にホットメルトＨＭの塗布が完了したら、第２駆動手段７４を制御して塗布ローラ７０の回転を停止させると共に、第３駆動手段８８を制御して丸棒状部材１１の回転を塗布時よりも増速させる。そして丸棒状部材１１を、増速回転した状態で塗布ローラ７０から離間させる。 （もっと読む）

【課題】ペーストパターンの断面測定時に信頼性のある測定結果が得られ、工程時間を短縮して生産率を高められると共に、正確なる断面測定工程によって品質管理及び向上を図れるようにしたペースト塗布器及びその制御方法を提供する。
【解決手段】基板を着脱可能に搭載するステージと、ステージに搭載された基板の主面に対向するペースト吐出口を有し、ステージと相対的に移動しながら基板にペーストを吐き出すノズルと、ステージ、カラム、又はヘッドユニットのいずれかに固着された断面測定手段であって、基板と相対的に移動せず、停止状態で基板上に塗布されたペーストパターンの断面を測定する断面測定手段とを含んで構成され、塗布されたペーストパターンの断面管理地点を設定する段階と、設定された断面管理地点が断面測定手段に位置するように相対移動する段階と、基板と相対的に移動せず、直接的に断面を測定する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】搬送プログラムの作成を容易にしながら、スループットの向上を図ることができる技術を提供すること。
【解決手段】第１の処理ブロックと第２の処理ブロックとの間に受け渡しブロックを設け、キャリアブロックから第１の直通搬送手段により基板を受け渡しブロックに搬送し、ここから基板を第１の処理ブロックの塗布膜形成用の単位ブロックと第２の処理ブロックの塗布膜形成用の単位ブロックとに振り分けて受け渡す。次いで第１及び第２の処理ブロックにて夫々塗布膜が形成された基板を一旦受け渡しブロックに集め、ここから第２の直通搬送手段により基板をインターフェイスブロックに搬送する。処理ブロックが増加するので、スループットの向上を図ることができ、またキャリアブロックから第１の処理ブロックへの搬送経路と、第２の処理ブロックへの搬送経路とが同じになるので、搬送プログラムの作成が容易となる。 （もっと読む）

保護部材１４及び該保護部材１４を組み込むノズル組立体１１が提供される。保護部材１４は、材料の糸状体１６を受ける糸状体案内通路１８を有するノズル１２と共に使用するためのものである。保護部材１４は、ノズル１２の糸状体案内通路１８に受け入れられるように構成された本体６０を備える。保護部材１４の本体６０は、糸状体１６のための通路６３を有し、糸状体案内通路１８と、移動している糸状体１６との間に配置される。保護部材１４の本体６０は、少なくともその一部が、案内されている糸状体１６によって引き起こされる磨耗に耐えるのに十分な耐磨耗性を有する材料から成る。代替的には、本体６０の一部を、糸状体１６によって引き起こされる磨耗に耐えるのに十分な耐磨耗性を有する材料で被覆してもよい。
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【課題】スリーブ本体の先端部と円筒容器の開口端部との干渉による削れカスが生じにくく、しかも、円筒容器の挿入に伴う出し入れ時に円筒容器に傷等のダメージを与えない円筒容器保持用マンドレルを安価に提供する。
【解決手段】底部を有する円筒容器Ｃの内側に挿入してその円筒容器を保持するマンドレルＭであって、前記円筒容器に挿入されるスリーブ本体１と、該スリーブ本体の先端部に着脱可能に設けられた先端部材１０とを備えるとともに、前記先端部材のうち、少なくとも前記スリーブ本体に挿入された円筒容器の底部の内面と当接する部分の表面に硬質被膜１１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類や大きさが異なる場合でも、基準マークの位置認識時間を短縮すること。
【解決手段】液滴吐出装置１は、一対の基準マークＭの位置が異なる複数種のワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７を主走査方向に相対的に移動させて描画を行なう描画手段と、給材された各ワークＷをプリアライメント状態にセットすると共に各ワークＷに対しθ補正によるアライメント動作可能に構成されたワークステージ２１と、副走査方向に延在する帯状の認識可能領域８４を有し、一対の基準マークＭを画像認識する画像認識手段８０と、認識結果に基づいて、ワークステージ２１をアライメント動作させるアライメント制御手段と、ワークステージ２１に対し、各ワークＷを除給材する除給材手段７０と、を備え、除給材手段７０は、主走査方向において、一対の基準マークＭが認識可能領域８４と合致する位置に各ワークＷを給材する。 （もっと読む）

【課題】薄膜材料の使用量を抑制させて膜厚の均一性を向上させた液滴吐出装置および液
晶表示装置を提供する。
【解決手段】吐出ヘッド１６が、ノズル列ＮＲの副走査方向（＋Ｙ方向）であって、かつ
、ノズル列ＮＲの主走査方向（＋Ｘ方向）に、基板Ｓに向かって延びる板状の摺接部材２
０を有する。そして、ステージが基板Ｓを主走査するとき、摺接部材２０が吐出ヘッド１
６とともに基板Ｓに対して相対的に移動し、先行する液状膜ＦＬと後続する液状膜ＦＬと
の重畳領域ＯＡのみに摺接する。 （もっと読む）

【課題】処理雰囲気の制御を容易にすることができる成膜装置構成を提供する。
【解決手段】処理室内に配置された基板(100)上に塗布部(113)から液体を塗布することにより基板上に膜を形成する成膜装置を、処理室(107)を区画する壁(107a,107b，107d等)と、塗布部(113)を処理室に搬送する第１搬送部(105)と、基板の載置台(103)と、を有し、上記処理室(107)は、少なくとも上記壁、上記第１搬送部および上記載置台を有する部位により閉空間とされるよう構成する。かかる構成によれば、載置台と塗布部との距離を小さくすることができる。よって、処理室の容量を小さくすることができ、内部雰囲気の制御を容易にすることができる。例えば、その内部を不活性ガスでパージする際、パージに要する時間を低減でき、また、使用する不活性ガス量を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】タクトタイムの短縮を図ることができる小型のテーブルコータシステム及び塗布方法を提供する。
【解決手段】テーブルコータ４及び前工程装置２ｃ、後工程装置５との間で基板の搬送を行う搬送装置３が、ガイドレール１１上をスライド可能な台車１２上にガイドレール１１の延在方向に沿って並べられて配置され、それぞれ、前工程装置２ｃとテーブルコータ４の間の基板の搬送を行う第１の搬送ロボット３ａと、テーブルコータ４及び後工程装置５の間の基板の搬送を行う第２の搬送ロボット３ｂを備える。第１の搬送ロボット３ａ及び第２の搬送ロボット３ｂは、台車１２のスライドによって、第１の搬送ロボット３ａについての前工程装置２ｃ及びテーブルコータ４に対応する位置への切換と、第２の搬送ロボット３ｂについてのテーブルコータ４及び後工程装置５に対応する位置への切換が同時になされる。 （もっと読む）

【課題】 ターンテーブル上のボンベの中心軸が傾いていても、これを垂直に補正して外周面の所定位置に印刷できるようにしたボンベ用プリンタを提供する。
【解決手段】 ボンベ用プリンだ１０として、ターンテーブル１３を上部ターンテーブル部１３ａと下部回転駆動部１３ｂとに分割し、これらの間にバランス制御手段１５を配設する。バランス制御手段１５を、圧電センサを用いた３つの重量センサ１６，１６，１６と、油圧シリンダを用いた３つの昇降手段１７，１７，１７と、バランス制御回路１８とで構成する。ボンベ２５の外周筒と底板とが傾いて接合されていて、ボンベ２５が上部ターンテーブル部１３ａに傾いて載置された場合に、バランス制御手段１５が上部ターンテーブル部１３ａを傾斜させてボンベ２５の中心軸ＣＬ２を垂直方向に補正し、さらに位置決め手段２６がボンベ２５の中心軸ＣＬ２をターンテーブル１３の回転中心軸ＣＬ１に芯合せする。
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【課題】最小単位の装置のブロック構成化を図ることにより装置の配置構成に自由度を向上させ、装置構成上の問題を伴うことなく装置全体の小型化が向上し装置全体のフットプリントを小さくすること。
【解決手段】被処理基板Ｇに対して所定の処理を施す処理部を一方向に複数配置して構成された処理部配置部２１〜２３と、この処理部配置部内に設けられ前記被処理基板を搬送する第１の搬送機構と、この処理部配置部外かつ前記一方のほぼ延長線上に固定してまたは前記一方向のほぼ延長線上に対して直交する方向に固定してまたは／及び前記一方向の延長線上と平行する線上を移動自在に設けられ前記第１の搬送機構に対して直接或いは間接的に前記被処理基板を受け渡し自在に構成された第２の搬送機構１１〜１５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】性能の劣化を抑制しつつ、小型化を実現できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出ヘッドと、吐出面と対向する第１位置を含む所定領域で吐出ヘッドに対して移動可能であり、所定軸に沿って配置された複数の移動体と、複数の移動体を所定軸に沿って移動させる駆動装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】多軸コントローラに内装されるマスターボードとスレーブボードを増減すること
によって容易に制御対象物の軸数を拡張又は減縮することができる多軸コントローラを提
供する。
【解決手段】本発明の多軸コントローラは、コントローラボックス１と拡張ボックス２か
ら構成されており、コントローラボックス１の第１のバックパネル基板３には、ＣＰＵボ
ード４とマスターボード５が第１のバックパネル基板３に着脱可能に嵌め込まれている。
また、拡張ボックス２の第２のバックパネル基板６には、スレーブボード７が第２のバックパネル基板６に着脱可能に嵌め込まれている。そして、マスターボード５と、拡張ボックス２と、スレーブボード７を増減することによって、制御される軸数を拡張又は減縮することができる。 （もっと読む）

【課題】製造及び取り付けの手間を省略化することができ、また、ノズルと基板との間隔のブレをなくし、レールの調整をなくすことができる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１は、上面６が中央部に設けられた基板保持領域１１と前記基板保持領域１１の幅方向外側から側縁１０ａまでの位置に設けられた平滑領域１０を備える基板保持ステージ２と、基板保持ステージの幅方向に並んで配置されノズル５を保持する一対の保持部材４を有するスライダ３を備える。保持部材４は、それぞれ、その下端の前記基板保持ステージ側縁外側位置に前記基板保持ステージの側面方向に延在する係合部１３として形成され、前記下端の前記基板保持ステージ側縁内側が前記平滑領域１０に載置されるとともに、前記係合部が側面に沿って配置されることで、スライダ３の前記基板保持ステージ２の幅方向へのずれが防止される。 （もっと読む）

【課題】処理タクトタイムを短縮化しながら、所望の精度で被処理媒体に処理を施すことができる処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置は制御部７とＸ軸エンコーダ６ＡとＹ軸エンコーダ６Ｂを備える。制御部７は、ずれ算出部７５と範囲算出部７４と整定判定部７１と処理幅算出部１０７を備える。Ｘ軸エンコーダ６ＡとＹ軸エンコーダ６Ｂは基準点の位置を検出する。ずれ算出部７５は目標位置と基準点との位置ずれ量を算出する。処理幅算出部１０７は液晶パネル上のセル内に、インクジェットヘッドが処理を施す処理領域の幅を算出する。範囲算出部７４は、液晶パネル上のセル内にインクジェットヘッドが処理を施す処理領域が収まる、位置ずれ量の範囲（整定範囲）を算出する。整定判定部７１は、検知手段の検知した位置ずれ量が整定範囲内に収束することで、振動が整定したと判定する。整定判定後、インクジェットヘッドから液晶パネルに処理を施す。 （もっと読む）

【課題】塗布膜形成用の単位ブロックに退避モジュールを設けることにより、インターフェイスアームの設置数を軽減して、製造コストの削減と装置のフットプリントの縮小化を図ること。
【解決手段】例えばＣＯＴ層Ｂ３に、塗布モジュールＣＯＴ１〜ＣＯＴ３の数よりも１枚多い枚数のウエハを退避することができる退避モジュールＢＦ３１〜３４を設ける。ＣＯＴ層Ｂ３では、温調モジュールＣＰＬ３、ＣＯＴ１〜ＣＯＴ３、加熱冷却モジュールＬＨＰ３、ＢＦ３１〜３４の搬送経路でウエハを搬送し、露光装置の処理速度がＣＯＴ層Ｂ３の処理速度よりも小さいときに、前記ＣＰＬ３の下流側のモジュールに置かれたウエハの総数が、前記ＣＰＬ３の次のモジュールから退避モジュールの前のモジュールまでの前記搬送経路の総モジュール数よりも１枚多い数になるように、メインアームによりウエハを搬送する。 （もっと読む）